CS228185B1 - Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku - Google Patents
Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku Download PDFInfo
- Publication number
- CS228185B1 CS228185B1 CS204782A CS204782A CS228185B1 CS 228185 B1 CS228185 B1 CS 228185B1 CS 204782 A CS204782 A CS 204782A CS 204782 A CS204782 A CS 204782A CS 228185 B1 CS228185 B1 CS 228185B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- pressure
- calibration
- sensing unit
- hole
- electrostatic converter
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Description
Vynález se týká elektrostatického měniče pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku, například měřících mikrofonů.
V současné době převážně používaná reciprocitnl a kalibrační přístroje v oblasti nízkých kmitočtů působí při kalibraci nesnáze tím, že vyžadují aplikaci obtížně stanovitelná paliytropická korekce. Známá kalibrační zařízení ralisovaná na principu elektrodynamickáho měniče e plstem o malá hmotnosti, zatíženým velmi malou datinou, má značnou nevýhodu v tom, že okraje pístu je třeba těsnit tenkou membránou. Obdobná nesnáz ee projevuje u zařízení pistonfonu, kdy těsnění mezi pístem a tlakovou komůrkou ee obtížně realizuje, zejména při infrazonických kmitočtech.
Uvedená nedostatky, odstraňuje elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku tvořený dvěma elektrodami, z nichž alespoň jedna je pevná, podle vynálezu. Jeho podstata spočívá v tom, že v alespoň jedná pevná elektrodě je vytvořen nejméně jeden průchozí otvor. Dalěí výhodu přináší, je-li pevná elektroda mezi průchozím otvorem a vzduchovou mezerou opatřena perforací.
Výhodou měniče pro tlakovou kalibraci je jeho jednoduchost a možnost kalibrace v oblasti středních, i nižších kmitočtů, ale 1 v oblasti kmitočtů infrazonických.
Stanovení kalibračního tlaku je zalošeno na měření geometrických rozměrů, kapacity a polarizačního a budícího napětí. Výhodná je to, že vzduchová mezera měniče je současně tlakovou komůrkou e membrána zastává kromě funkce mechanoekuetickáho předmětu táž aktivní funkci z hlediska elektrického buzení.
Vynález je dále blíže popsán na příkladu jeho provedení pomocí výkresu, kde obr. 1, znázorňuje řez elektrostatickým měničem pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku, obr. 3 měnič při měření více snímačů tlaku.
Elektrostatický měnič podle obr. 1 je tvořen dvěma elektrodami, pevnou elektrodou £ a pohyblivou elektrodou 1, která jsou rovnoběžně uloženy v izolantu J a mezi kterými ja vytvořena vzduchová mezera 2· V pevná elektrodě £ je vytvořen kolmo na pohyblivou elektrodu i průchozí otvor 2· Pohyblivá elektroda 1, která je vytvořena jako membrána z plastická hmoty, je mimo oblast nad průchozím otvorem 2 opatřena kovovou vrstvou £.
Do průchozího otvoru 2 ae zasouvá měření mikrofon I. Tímto uspořádáním vzniká jednočinný měnič. Při kalibraci se odstraňuje ochranný kryt měřeného mikrofonu Z, aby nedotlo k nežádoucímu zkreslení objemu mezi pohyblivou- elektrodou i, pevnou elektrodou £ a měřeným mikrofonem Z«
Elektrostatický měnič podle obr. 2 je vytvořen pevnou elektrodou £ a pohyblivou elektrodou i, která jaou rovnoběžně uloženy v isolantu 2» a mezi kterými je vytvořena vzduchová mezera 6. v pevné elektrodě £ je vytvořen kolmo na pohyblivou elektrodu 1 průchozí otvor 2- Pevná elektroda £ je mezi průchozím otvorem 2 a vzduchovou mezerou 6 opatřena perforací §. Uprostřed tohoto průchozího otvoru 2 je vytvořeno těsnění Z. Pohyblivá elektroda 1 je elektricky vodivá po celá ploše a je vyrobena z tenká kovová anebo pokovená plastická fólie. Činnost tohoto zařízení je obdobná jako v předchozím příkladě.
Elektrostatický měnič podle Obr. 3 je vytvořen phyblivou elektrodou 1,která je umístěna symetricky mezi pevnými elektrodami £, 44. které jsou uloženy v isolantu 2, 33. Mezi pohyblivou elektrodou 1 a pevnými elektrodami £ a 44 vznikají vzduchové masery £ a 66.
V průchozích otvorech 2 8 která jsou vytvořeny v pevných elektrodách £, 44 jsou umístěny kalibrované mikrofony Z a 73. jejichž membrány jsou spojeny perforací 8 pevné elektrody £ a mezerou £ a perforovanou částí 88 pevná elektrody 44 s maaarou 66. Činnost tohoto zařízení je obdobná jako v prvním příkladě a umožňuje současnou kalibraci více snímačů tlaku.
Claims (2)
- PŘEDMĚT VYNÁLEZU1. Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku tvořený nejméně dvěma elektrodami, z nichž alespoň jedna je pevná, vyznačující se tím, že v aleapoň jedné pevné elektrodě (4, 44) je vytvořen nejméně jeden průchozí otvor (5, 55).
- 2. Elektrostatický měnič podle bodu 1, vyznačující ae tím, že pevná elektroda (4,44) je mezi průchozím otvorem (5, 55) a vzduchovou mezerou (6, 66) opatřena perforací
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS204782A CS228185B1 (cs) | 1982-03-24 | 1982-03-24 | Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS204782A CS228185B1 (cs) | 1982-03-24 | 1982-03-24 | Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CS228185B1 true CS228185B1 (cs) | 1984-05-14 |
Family
ID=5356426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CS204782A CS228185B1 (cs) | 1982-03-24 | 1982-03-24 | Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CS (1) | CS228185B1 (cs) |
-
1982
- 1982-03-24 CS CS204782A patent/CS228185B1/cs unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3088323A (en) | Piezoresistive transducer | |
EP0872153B1 (en) | Micromechanical microphone | |
KR101848226B1 (ko) | 향상된 압력 센서 구조 | |
KR101825903B1 (ko) | 개선된 압력 센서 구조 | |
US6122972A (en) | Capacitive pressure sensor with moving or shape-changing dielectric | |
JP5394564B2 (ja) | 真空誘電体を有する静電容量式圧力センサ | |
US4169389A (en) | Pressure measuring device | |
US20030079548A1 (en) | Electrostatic pressure transducer and a method thereof | |
CS228185B1 (cs) | Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku | |
Hennion et al. | A new principle for the design of condenser electret transducers | |
JPS5819529A (ja) | 圧力検出装置 | |
JP3022142U (ja) | 圧力スイッチ | |
JP2001083030A (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
JP2007085968A (ja) | 圧力センサ | |
JP4059306B2 (ja) | サーボ式静電容量型真空センサ | |
JPS6024428A (ja) | 圧力センサ− | |
SU580594A1 (ru) | Измерительный электрод электрохимического преобразовател | |
RU2263291C2 (ru) | Емкостный датчик давления | |
CZ28681U1 (cs) | Tlakový kapacitní keramický senzor | |
RU2079978C1 (ru) | Миниатюрный электретный микрофон | |
CS212378B1 (cs) | Zařízeni pro absolutní tlakovou kalibraci snímačů akustického tlaky | |
SU1760407A1 (ru) | Датчик ударного давлени | |
JPS5951328A (ja) | 圧力検出器 | |
JPS604837A (ja) | 圧力検出器 | |
KR20070072743A (ko) | 콘덴서 마이크로폰과 그를 실장하는 이동 통신 단말기 |