CS228185B1 - Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku - Google Patents

Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku Download PDF

Info

Publication number
CS228185B1
CS228185B1 CS204782A CS204782A CS228185B1 CS 228185 B1 CS228185 B1 CS 228185B1 CS 204782 A CS204782 A CS 204782A CS 204782 A CS204782 A CS 204782A CS 228185 B1 CS228185 B1 CS 228185B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
pressure
calibration
sensing unit
hole
electrostatic converter
Prior art date
Application number
CS204782A
Other languages
English (en)
Inventor
Zdenek Doc Ing Csc Skvor
Original Assignee
Zdenek Doc Ing Csc Skvor
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zdenek Doc Ing Csc Skvor filed Critical Zdenek Doc Ing Csc Skvor
Priority to CS204782A priority Critical patent/CS228185B1/cs
Publication of CS228185B1 publication Critical patent/CS228185B1/cs

Links

Landscapes

  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Description

Vynález se týká elektrostatického měniče pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku, například měřících mikrofonů.
V současné době převážně používaná reciprocitnl a kalibrační přístroje v oblasti nízkých kmitočtů působí při kalibraci nesnáze tím, že vyžadují aplikaci obtížně stanovitelná paliytropická korekce. Známá kalibrační zařízení ralisovaná na principu elektrodynamickáho měniče e plstem o malá hmotnosti, zatíženým velmi malou datinou, má značnou nevýhodu v tom, že okraje pístu je třeba těsnit tenkou membránou. Obdobná nesnáz ee projevuje u zařízení pistonfonu, kdy těsnění mezi pístem a tlakovou komůrkou ee obtížně realizuje, zejména při infrazonických kmitočtech.
Uvedená nedostatky, odstraňuje elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku tvořený dvěma elektrodami, z nichž alespoň jedna je pevná, podle vynálezu. Jeho podstata spočívá v tom, že v alespoň jedná pevná elektrodě je vytvořen nejméně jeden průchozí otvor. Dalěí výhodu přináší, je-li pevná elektroda mezi průchozím otvorem a vzduchovou mezerou opatřena perforací.
Výhodou měniče pro tlakovou kalibraci je jeho jednoduchost a možnost kalibrace v oblasti středních, i nižších kmitočtů, ale 1 v oblasti kmitočtů infrazonických.
Stanovení kalibračního tlaku je zalošeno na měření geometrických rozměrů, kapacity a polarizačního a budícího napětí. Výhodná je to, že vzduchová mezera měniče je současně tlakovou komůrkou e membrána zastává kromě funkce mechanoekuetickáho předmětu táž aktivní funkci z hlediska elektrického buzení.
Vynález je dále blíže popsán na příkladu jeho provedení pomocí výkresu, kde obr. 1, znázorňuje řez elektrostatickým měničem pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku, obr. 3 měnič při měření více snímačů tlaku.
Elektrostatický měnič podle obr. 1 je tvořen dvěma elektrodami, pevnou elektrodou £ a pohyblivou elektrodou 1, která jsou rovnoběžně uloženy v izolantu J a mezi kterými ja vytvořena vzduchová mezera 2· V pevná elektrodě £ je vytvořen kolmo na pohyblivou elektrodu i průchozí otvor 2· Pohyblivá elektroda 1, která je vytvořena jako membrána z plastická hmoty, je mimo oblast nad průchozím otvorem 2 opatřena kovovou vrstvou £.
Do průchozího otvoru 2 ae zasouvá měření mikrofon I. Tímto uspořádáním vzniká jednočinný měnič. Při kalibraci se odstraňuje ochranný kryt měřeného mikrofonu Z, aby nedotlo k nežádoucímu zkreslení objemu mezi pohyblivou- elektrodou i, pevnou elektrodou £ a měřeným mikrofonem Z«
Elektrostatický měnič podle obr. 2 je vytvořen pevnou elektrodou £ a pohyblivou elektrodou i, která jaou rovnoběžně uloženy v isolantu 2» a mezi kterými je vytvořena vzduchová mezera 6. v pevné elektrodě £ je vytvořen kolmo na pohyblivou elektrodu 1 průchozí otvor 2- Pevná elektroda £ je mezi průchozím otvorem 2 a vzduchovou mezerou 6 opatřena perforací §. Uprostřed tohoto průchozího otvoru 2 je vytvořeno těsnění Z. Pohyblivá elektroda 1 je elektricky vodivá po celá ploše a je vyrobena z tenká kovová anebo pokovená plastická fólie. Činnost tohoto zařízení je obdobná jako v předchozím příkladě.
Elektrostatický měnič podle Obr. 3 je vytvořen phyblivou elektrodou 1,která je umístěna symetricky mezi pevnými elektrodami £, 44. které jsou uloženy v isolantu 2, 33. Mezi pohyblivou elektrodou 1 a pevnými elektrodami £ a 44 vznikají vzduchové masery £ a 66.
V průchozích otvorech 2 8 která jsou vytvořeny v pevných elektrodách £, 44 jsou umístěny kalibrované mikrofony Z a 73. jejichž membrány jsou spojeny perforací 8 pevné elektrody £ a mezerou £ a perforovanou částí 88 pevná elektrody 44 s maaarou 66. Činnost tohoto zařízení je obdobná jako v prvním příkladě a umožňuje současnou kalibraci více snímačů tlaku.

Claims (2)

  1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU
    1. Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku tvořený nejméně dvěma elektrodami, z nichž alespoň jedna je pevná, vyznačující se tím, že v aleapoň jedné pevné elektrodě (4, 44) je vytvořen nejméně jeden průchozí otvor (5, 55).
  2. 2. Elektrostatický měnič podle bodu 1, vyznačující ae tím, že pevná elektroda (4,
    44) je mezi průchozím otvorem (5, 55) a vzduchovou mezerou (6, 66) opatřena perforací
CS204782A 1982-03-24 1982-03-24 Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku CS228185B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS204782A CS228185B1 (cs) 1982-03-24 1982-03-24 Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS204782A CS228185B1 (cs) 1982-03-24 1982-03-24 Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS228185B1 true CS228185B1 (cs) 1984-05-14

Family

ID=5356426

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS204782A CS228185B1 (cs) 1982-03-24 1982-03-24 Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS228185B1 (cs)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3088323A (en) Piezoresistive transducer
EP0872153B1 (en) Micromechanical microphone
KR101848226B1 (ko) 향상된 압력 센서 구조
KR101825903B1 (ko) 개선된 압력 센서 구조
US6122972A (en) Capacitive pressure sensor with moving or shape-changing dielectric
JP5394564B2 (ja) 真空誘電体を有する静電容量式圧力センサ
US4169389A (en) Pressure measuring device
US20030079548A1 (en) Electrostatic pressure transducer and a method thereof
CS228185B1 (cs) Elektrostatický měnič pro tlakovou kalibraci snímačů tlaku
Hennion et al. A new principle for the design of condenser electret transducers
JPS5819529A (ja) 圧力検出装置
JP3022142U (ja) 圧力スイッチ
JP2001083030A (ja) 静電容量型圧力センサ
JP2007085968A (ja) 圧力センサ
JP4059306B2 (ja) サーボ式静電容量型真空センサ
JPS6024428A (ja) 圧力センサ−
SU580594A1 (ru) Измерительный электрод электрохимического преобразовател
RU2263291C2 (ru) Емкостный датчик давления
CZ28681U1 (cs) Tlakový kapacitní keramický senzor
RU2079978C1 (ru) Миниатюрный электретный микрофон
CS212378B1 (cs) Zařízeni pro absolutní tlakovou kalibraci snímačů akustického tlaky
SU1760407A1 (ru) Датчик ударного давлени
JPS5951328A (ja) 圧力検出器
JPS604837A (ja) 圧力検出器
KR20070072743A (ko) 콘덴서 마이크로폰과 그를 실장하는 이동 통신 단말기