CS219667B1 - Zariadenie na automatické vylúčenie dvojznacnej informácie o tlaku vo vysokofrekvenčními bezelektródovoin vákuometri - Google Patents

Description

Vynález rieši automatické vylúčenie dvojznačnej informácie o meranom tlaku vo vysokofrekvenčnom bezelektródovom vákuometri. V podstatě pozostáva z výbojovéj komory spojenej s budiacim generátorom opatřeným elektrodami, ktorý je spojený indikačným obvodom. Fotoprijímač je nasměrovaný na výbojovú komoru a je spojený ešte s vyhodnocovacím zariadením. Vynález je znázorněný na priloženom výkrese na obr. 1. 219667 3

Vynález sa týká zariadenia na automatické vylúčenie dvojznačnej informácie o tlaku vo vysokofrekvenčnom bezelektródovom vákuometri.

Doteraz známy vysokofrekvenčný bezelektró- j dový vákuometer pre jednoznačnost’ merania tlaku využívá dva samostatné meracie přístroje registru- ' júce fotonapátie získané vo fotoprijímači ako výsledok odozvy na žiarivý tok z vysokofrekvenčného výboj a a katodový prúd. Túto nevýhodu odstraňuje zariadenie na vylúče- i nie dvojznačnej informácie o tlaku vo vysokofrekvenčnom bezelektródovom vákuometri podía vy- ; nálezu, ktorého podstata je v tom, že výbojová komora je spojená s budiacim generátorom opatřeným elektródami, którý je spojený s indikačným obvodom. Fotoprijímač je nasměrovaný na výbojovú komoru a je spojený ešte s vyhodnocovacím zariadením.

Tento indikačný obvod v spojení s budiacim generátorom automaticky určí oblast’ merania tlaku plynu. Takýmto spósobom sa vylúči nutnost’ použitia dvoch meracích přístroj ov a meranie tlaku sa zjednoduší.

Na přiložených výkresoch je na obr. 1 znázorněná bloková schéma zariadenia na automatické vylúčenie dvojznačnej informácie o tlaku vo vysokofrekvenčnom bezelektródovom vákuometri. Na obr. 2 je závislost fotonapátia U a katodového prúdu I elektronky budiaceho generátora od tlaku plynu vo výbojovej komoře. Na obr. 3 je schéma indikačného obvodu.

Vysokofrekvenčný bezelektródový vákuometer (obr. 1) podía vynálezu pozostáva z týchto funkčných blokov: výbojovej komory 1 spojenej s váku- ovým systémom, v ktorom sa tlak meria, fotoprijí- i mača 2, vyhodnocovacieho zariadenia 3, budiaceho generátora 4 s elektródami 5 a indikačného obvodu 6 spojeného s budiacim generátorom 4.

Budiacim generátorom 4 sa zapálí vysokofrekvenčný elektrický výboj vo výbojovej komoře 1, ktorého žiarivosť pre příslušný plyn je závislá od tlaku. Žiarivý tok vychádzajúci z nízkotlakovej výbojovej plazmy sa mění vo fotoprijímači 2 na jemu úmernú veličinu fotonapátie U, ktoré sa spracúva a meria vo vyhodnocovacom zariadení 3. Ako vyplývá z obr. 2 na meranie tlaku plynu sa využívá fotonapátie závislé od tlaku, ale táto ; závislosť je tróchu komplikovaná jej tvarom. Ako vidieť z obr. 2, jednej hodnotě fotonapátia možno

Claims (3)

1. PREDMET Zariadenie na automatické vylúčenie dvojznačnej informácie o tlaku vo vysokofrekvenčnom bezelektródovom vákuometri, vyznačené tým, že výbojová komora (1) je spojená s budiacim gene- 219667 prisúdiť dve hodnoty tlaku, okrem maxima; Z tohoto dóvodu je potřebné sledovat’ ešte inú veličinu katodový prúd I elektronky budiaceho generátora 4, którý tiež vykazuje maximum v závislosti na tlaku, ale toto je posunuté k hranici zhasínania vysokofrekvenčného elektrického výboja. V takomto případe informácia o tlaku sa stává jednoznačnou. Ak katodový prúd I>Ir (obr.
2. 2) meria sa na straně nízkého vákua, ak I<Ir meria sa na straně vysokého vákua. Doterajší vákuometer obsahoval 2 merania — meranie katodového prúdu I budiaceho generátora 4. Vysokofrekvenčný bezelektródový vákuometer podía vynálezu obsahuje len meranie fotonapátia. Toto zjednodušenie z híadiska odčítania meraných hodnot umožňuje indikačný obvod 6, którý indikuje raz meranie na straně nízkého vákua a raz na straně vysokého vákua (obr. 2). Přístroj sa nastavuje pomocou referenčného napátia Ur v indikačnom obvode (obr..
3. 3), pri ciachovaní v prislušnom plyne v maximě fotonapátia tak, aby oba indikujúce optické členy striedavo blikali. Pri zmene tlaku v plyne a teda aj fotonapátia potom vždy svieti len jeden optický člen. V případe naciachovania meracieho prístroja obsiahnutého vo vyhodnocovacotn zariadení v jednotkách tlaku musí přístroj obsahovat’ dve stupnice — jednu pre meranie nízkého vákua a druhů pre meranie vysokého vákua strany fotonapátia. Potom ku každej z týchto stupnic sa přiřadí jeden optický člen, którý osvetíuje tú stupnicu, na ktorej měranie prebieha. - ; Použitím indikačného obvodu vo vysokofrek- ! venčnom bezelektródovom vákuometri sa odstráni namáhavé odčítanie hodnot z dvoch meracích ; prístrojov a vákuometer sa stává praktickejším nielen pre laboratorně, ale aj priemyselné použitie. Vysokofrekvenčný bezelektródový vákuometer možno využiť v týchto nasledovných prípadoch: — v hociktorom případe, kde je potřebné merať tlaky rádu cca 10~3 až 103 Pa — bezkontaktně snímanie tlaku umožňuje použiť túto metodu v trvale uzavretých vákuových systémoch akými sú napr. vákuové solárně kolektory — vo vákuových aparatúrach, ktoré rotujú — v agresívnych prostrediach — tam, kde sa pracuje s plazmou nízkého tlaku VYNÁLEZU rátorom (4) opatřeným elektródami (5), którý je spojený s indikačným obvodom (6), pričom fotoprijímač (2) nasměrovaný na výbojovú komoru (1) je spojený s vyhodnocovacím zariadením (3). 3 výkresy 2f<? 66*

   Obr.l

   P Obr. 2 BLOKU 9 -C=Z3

   Obr. 3

   ó/r