CS215255B1

CS215255B1 - Facility for joining the contact spots

Info

Publication number: CS215255B1
Application number: CS168875A
Authority: CS
Inventors: Manfred Bansemir
Original assignee: Manfred Bansemir
Priority date: 1975-03-13
Filing date: 1975-03-13
Publication date: 1982-08-27

Description

Vynález se týká zařízení pro spojování kontaktních míst prostřednictvím drátových můstků, například připojovacích praporků páskových nosičů konstrukčních prvků se svařovacími výstupky polovodičových čipů svařením, například působením ultrazvuku. *BACKGROUND OF THE INVENTION The invention relates to a device for connecting contact points by means of wire bridges, for example connecting flags of the tape carriers of structural elements to the welding protrusions of semiconductor chips by welding, for example by ultrasound. *

Pro zhotovování ultrazvukově svařovaných drátových spojů, například u křemíkových plošných polovodičových konstrukčních prvků, se používají zařízení, u- kterých se drát přivádí šikmým otvorem, uspořádaným za svařovací plochou svařovacího nástroje.For the production of ultrasonically welded wire joints, for example in the case of silicon wafer semiconductor components, devices are used in which the wire is fed through an oblique opening arranged downstream of the welding surface of the welding tool.

Aby se těmito přístroji mohly zhotovovat obloukovité drátové spoje, jsou známé různé možnosti.In order to be able to produce arcuate wire connections with these devices, various possibilities are known.

Kontaktní spoje u polovodičových konstrukčních prvků se například vytváří tak, že se po provedení prvního svaření nadzvedne svařovacím nástrojem drát, použitý pro svařování a vede se k druhému kontaktnímu místu. Po té provede svařovací nástroj výhodně automaticky řízený pohyb dopředu a dozadu, přičemž se drát nejdříve vede přes druhé kontaktní místo a v koncovém bodě tohoto pohybu se pevně sevře drátovými kleštěmi na svařovacím nástroji. Pří zpětném pohybu svařovacího nástroje se drát vyhne kolem kontaktního místa a svařovacího nástroje, a vytvoří oblouk.For example, the contact joints of the semiconductor components are formed such that, after the first welding, the welding tool is lifted by the welding tool and led to the second contact point. Thereafter, the welding tool preferably performs an automatically controlled forward and backward movement, wherein the wire is first guided through the second contact point and is clamped firmly at the end point of this movement by wire tongs on the welding tool. Upon retraction of the welding tool, the wire evolves around the contact point and the welding tool, creating an arc.

Při dopředném a zpětném pohybu svařovacího nástroje není zajištěno, že se drát vždy vyhne ve stejném předem zadaném směru. Kromě toho není zajištěno, aby se oblouk’ nevytvořil mezi kontaktními místy, nýbrž mezi svařovacím nástrojem a drátovými kleštěmi, jestliže je mezi nimi dostatečně velká vzdálenost. Dále je známé zařízení pro vytváření kontaktního styku mezí tenkými plechovými proužky a jemnými dráty pomocí ultrazvuku, které je zejména vhodné pro vytváření kontaktních spojů hřebenovitých struktur miniaturních tranzistorů. Podle vynálezu se hřeben pevně upne na kovadlince zvláštně vytvořeným upínacím talířkem. Tento upínací talířek má vybrání, které je geometrií kontaktů a tvaru svařovací elektrody přizpůsoben tak, že vznikají minimální vzdálenosti mezi kontaktními místy a upínacím místem, čímž se zabrání spolukmitání hřehenovitého ramena. Namáhání tahem přivařovaných kontaktních drátů, které vzniká při odlehčení hřehenovitého pásku při vyjímání z upínacího zařízení, se odstraní vytvořením oblouku drátu. To se dosáhne tím, že tenký plech, který je v kovadlince řízen pomocí hřídelky s vačkovým kotoučem, se po prvním vytvořeném kontaktním spoji z koVadllnky vysune a obloukovitě vyhne kontaktní drát působením tlaku.During the forward and reverse movement of the welding tool, it is not ensured that the wire always evades in the same predetermined direction. In addition, it is not ensured that the arc is not formed between the contact points, but between the welding tool and the wire pliers if the distance between them is sufficiently large. Furthermore, an apparatus for making contact between thin sheet metal strips and fine wires by means of ultrasound is known, which is particularly suitable for forming the contact joints of the comb-like structures of miniature transistors. According to the invention, the ridge is clamped firmly on the anvil by a specially designed clamping plate. This clamping plate has a recess that is adapted to the geometry of the contacts and the shape of the welding electrode so that minimum distances between the contact points and the clamping point are created, thereby avoiding co-oscillation of the angular arm. The tensile stresses of the welded contact wires resulting from the unloading of the ribbed strip when removed from the clamping device are eliminated by forming an arc of the wire. This is achieved in that the thin sheet which is controlled in the anvil by means of a camshaft shaft, after the first contact contact formed, is pulled out of the coil and arcuate the contact wire under pressure.

Tímto zařízením je možné realizovat předem zadané výšky oblouku a ukládat drátové oblouky v předem zadaném směru. Toto zařízení lze realizovat prakticky jen pro takové polovodičové konstrukční prvky, které mají vhodnou geometrii, málo připojovacích drátů a dostatečně velké vzdálenosti mezi kontaktními místy.With this device it is possible to realize predetermined arc heights and to store wire arcs in a predetermined direction. This device can be realized practically only for such semiconductor components which have a suitable geometry, few connecting wires and sufficiently large distances between the contact points.

U jiného způsobu a zařízení pro provádění tohoto způsobu přivařování drátu ultrazvukem se svařovací nástroj uvede nejprve do polohy nad prvnímIn another method and apparatus for carrying out this method of ultrasonic welding of a wire, the welding tool is first brought into position above the first

1 5 2 5 5 kontaktním místem. Potom se polovodičový konstrukční prvek, který se má spojit s drátem, uvede do souosé polohy se svařovacím nástrojem, a sice pod tímto svařovacím nástrojem. Potom se krátkodobě sepne ultrazvukový kmitač, nesoucí na svém konci svařovací nástroj, pro provedení prvního přivařenl. Pro přípravu druhého svaření se svařovací nástroj vyhne o několik stupňů zpět a pohybuje se k druhému kontaktnímu místu. Pří tomto pohybu se drát vytáhne ze svařovacího přístroje. Během svařování druhého kontaktního místa se průřez drátu patou svařovacího nástroje zeslabí tak, že zbývající konec drátu se může před zpětným pohybem svařovacího přístroje odtrhnout kleštěmi?1 5 2 5 5 contact point. Then, the semiconductor component to be connected to the wire is brought into alignment with the welding tool, namely below the welding tool. Thereafter, the ultrasonic oscillator carrying the welding tool at its end is switched on for a short time to carry out the first welding process. To prepare the second welding, the welding tool moves back a few degrees and moves to the second contact point. During this movement, the wire is pulled out of the welding machine. During welding of the second contact point, the wire cross-section is weakened so that the remaining end of the wire can be torn off with pliers before the welding machine moves back?

Zařízení 'pro provádění tohoto známého způsobu sestává v podstatě z výkyvného rámu a na něm nakloubené kolébky, kteréžto obě části jsou řízeny vačkovým kotoučem a jsou pohyblivé proti dorazům, tvořeným nastavovacími šrouby. Tímto zařízení není bez dalších opatření možné, zhotovovat drátové můstky s předem zadanou výškou oblouku. Kromě toho nemohou se tímto zařízením opracovávat dlouhé nosiče konstrukčních prvků páskového tvaru.The apparatus for carrying out this known method consists essentially of a pivoting frame and a cradle articulated thereon, both of which are controlled by a cam disk and are movable against stops formed by adjusting screws. With this device, it is not possible to produce wire bridges with a predetermined arc height without further measures. In addition, long carriers of tape-shaped structural members cannot be machined with this device.

Účelem vynálezu je dosáhnout při výrobě polovodičových konstrukčních prvků zvýšení spolehlivostí při spojování kontaktních míst a z toho vyplývající snížení zmetkovitosti.The purpose of the invention is to achieve an increase in the reliability of the connection of the contact points and the consequent reduction of scrap in the manufacture of semiconductor components.

Úkolem vynálezu tudíž je, vytvořit zařízení pro spojování kontaktních míst pomocí drátových můstků, například připojovacích praporků páskových nosičů konstrukčních prvků s přivařovacími výstupky polovodičových čipů pomocí svařování, výhodně působením ultrazvuku, které pomocí nastavitelných mezlvýšek svařovacího nástroje zaručuje reprodukovatelnou předem zadanou výšku oblouku vytvářeného drátového můstku 1 mezi kontaktními místy v různých vzdálenostech a v různých svařovacích rovinách a pro dlouhé páskové nosiče konstrukčních prvků při stále stejné přesnosti. Drát, použitý pro zhotovování kontaktních můstků je vystaven u kóntaktních míst jen nepatrným změnám v ohýbání.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a device for connecting contact points by means of wire bridges, for example fastening tabs of structural element tape carriers with semiconductor chip welding projections, preferably by ultrasonic welding. between the contact points at different distances and in different welding planes and for long strip members of the structural elements at the same accuracy. The wire used to make the contact bridges is only slightly bent at the contact points.

Pro řešení tohoto úkolu se vychází ze zařízení .pro spojování kontaktních míst prostřednictvím drátových můstků, například připojovacích praporků páskových nosičů konstrukčních prvků se svařovacími výstupky polovodičových čipů přivařením drátu, výhodně působením ultrazvuku, u kterého je ústrojí pro vytvářeni kmitů se svařovacím nástrojem, drženým ve svařovacím nástavci, upevněno na kolébce. Kromě toho jsou upraveny páky, pohybovatelné proti nastavitelným dorazům a opatřené válečky a spojené s kotoučovými vačkami. Podle vynálezu je kolébka upevněna osou na kyvné páce, ktepá je nakloubena na ose kývání. Jedno rameno, kyvné páky má váleček, který doléhá na kotoučovou vačku. Dále je uspořádána kolébková páka, na kterou doléhá kolébka, a která je společně s kyvnou pákou uspořádaná na ose kývání. Osa kývání je uložena v úhlové páce, vytvořené ve tvaru písmena T, která je jedním svým krátkým ramenem, které směřuje k svařovacímu nástavci, výkyvné uložena na pevné ose otáčení. Mezi prostorově pevným závěsným bodem a úhlovou pákou, spolupracující s nastavitelným dorazem, je uspořádán pružný prostředek. Aby se pohyb svařovacího nástroje mohl lehce řídit, je účelné aby kolébka doléhala prodloužením, rovnoběžným se svařovacím nástavcem, na kolébkovou páku, jejíž druhý konec je opatřen válečkem, který se odvaluje na kotoučové vačce.To solve this problem, a device is provided for joining contact points by wire bridges, for example, fastening tabs of the tape carrier of structural elements with the welding protrusions of the semiconductor chips by welding the wire, preferably by ultrasonication. attachment, mounted on the cradle. In addition, levers movable against adjustable stops and provided with rollers and coupled to the disc cams are provided. According to the invention, the cradle is fixed by an axis on a rocking lever which is articulated on the rocking axis. One arm, the rocker lever has a roller that rests on the disc cam. Furthermore, a rocker lever is provided on which the rocker rests and which, together with the rocker lever, is arranged on the rocking axis. The pivot axis is supported by a T-shaped angular lever, which is pivotally mounted on a fixed axis of rotation by one of its short arms facing the welding adapter. A resilient means is provided between the spatially fixed hinge point and the angle lever cooperating with the adjustable stop. In order for the movement of the welding tool to be easily controlled, it is expedient that the cradle bears on the cradle, the other end of which is provided with a roller which rolls on the disc cam, by an extension parallel to the welding extension.

Zejména výhodné poměry se dosáhnou tehdy, jestliže osa kývání a osa otáčení leží ve střední provozní poloze na přímce, která se protíná s přímkou, procházející středem válečku uspořádaného na ramenu kyvné páky příslušné kotoučové vačky, přičemž uvedený průsečík je blízko svařovací roviny.Particularly advantageous ratios are obtained when the oscillation axis and the pivot axis lie in a central operating position on a line intersecting with the line passing through the center of the roller arranged on the rocker arm of the respective disc cam, said intersection being near the welding plane.

Další účelné vytvoření zařízení podle vynálezu spočívá v tom, že tento průsečík leží pod svařovací rovinou. Tím se dosáhne toho, že se svařovací nástroj při nadzvednutí ód prvního kontaktního místa nepatrně pohne ve směru k druhému kontaktnímu místu.Another advantageous embodiment of the device according to the invention is that this intersection lies below the welding plane. As a result, the welding tool moves slightly in the direction of the second contact point when the ode of the first contact point is raised.

Dále je účelné uspořádat střední polohu osy kývání tak, že leží přibližně na ose úhlu vymezeného patou svařovacího nástroje, nacházejícího se v manipulační výšce a oběma mezními polohami osy, uspořádané na kyvné páce.Furthermore, it is expedient to arrange the center position of the pivot axis so that it lies approximately on the axis of the angle defined by the heel of the welding tool located at the handling height and by the two limit positions of the axis arranged on the rocker.

Aby se veškeré mezní hodnoty pohybových pochodů zařízení mohly předem zadat jednoduchým způsobem, jsou uspořádány tři nastavitelné dorazy, vytvořené jako stavěči šrouby, z nichž dva jsou.zašroubovány vždy v jedné úhlové páce, uložené na ose otáčení, které jsou ovladatelné vždy jednou kotoučovou vačkou. Třetí stavěči šroub je zašroubován v prostorově pevně stojícím ramenu.In order to be able to pre-enter all the limit values of the movement processes of the device in a simple manner, three adjustable stops, provided as set screws, are provided, two of which are screwed in one angular lever mounted on an axis of rotation and operable by one disc cam. The third setscrew is screwed into the spatially fixed arm.

Další výhodné vytvoření zařízení spočívá v tom, že všechny kotoučové vačky jsou uspořádány na společné vačkové hřídeli a středy válečků, upravených na kolébkové páce a na ramenu kyvné páky, Jsou •uspořádány na jedné přímce vycházející od této vačkové osy.A further advantageous embodiment of the device is that all disc cams are arranged on a common camshaft and the centers of the rollers provided on the rocker lever and on the rocker arm are arranged on a single line extending from the cam axis.

Tímto zařízením podle vynálezu je zajištěno, že výška oblouku drátového můstku, který se má vytvořit, se může předem zadat pomocí nastavitelné mezlvýšky.By this device according to the invention it is ensured that the height of the wire bridge arch to be formed can be predetermined by means of an adjustable intermediate height.

Kromě toho je zatížení drátů použitých pro svařování nepatrné, neboť na drát působí jen nepodstatné namáhání ohybem, - což Je podmíněno způsobem práce zařízení a dochází jen k malým střídavým pnutím u kohtaktních míst. Dále dovoluje zařízení také spojování svařovacích výstupků s připojovacími praporky dlouhých nosičů konstrukčních prvků, přičemž je možné libovolné přiřazení kontaktních míst.In addition, the loading of the wires used for welding is negligible, since the wire is subjected to only insignificant bending stresses, which is conditional on the way the device works and there is little alternating stress at the tapping points. Furthermore, the device also permits the joining of the welding projections with the attachment flags of the long structural member carriers, with any assignment of contact points possible.

Vynález bude v dalším textu blíže objasněn na příkladu provedení znázorněném na výkresech, kde na obr.. 1 je pohled ze strany na zařízení pro spojování kontaktních míst a na obr. 2 je pohled shora na zařízení. Zařízení znázorněné v obr. 1 a 2 je vhodné pro výrobu takových polovodičových konstrukčních prvků, u kterých se mají táhnout mezi kontaktními mls2 1 5 2 5 5 ty, ležícími navzájem od sebe s rozestupy, drátové můstky v libovolném směru.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a side view of a device for connecting contact points, and FIG. 2 is a top view of the device. The apparatus shown in FIGS. 1 and 2 is suitable for the production of such semiconductor components in which wire bridges in any direction are to be drawn between the contact spacers 1 5 2 5 5 spaced apart from one another.

Zařízení ž obr. 1 je uspořádáno na blíže neznázorněném stojanu a má také dopravní ústrojí, které Je ovladatelné ve směru souřadnicových í>s x—y, pro nosiče konstrukčních prvků, například hřebenoVitě pásky, trstrojí i pro vytváření kmitů, je s příslušným svařovacím nástavcem 2 upnuto V kolébce 3, která je nakloubena ná ose 4. Na svařovacím nástavci 2 je upevněn svařovací nástroj 5, který slouží pro spojování drátu 7, navinutého' ha zásobní’ cívce 6, s polovodičovými konstrukčními prvky, neznázorněnými na výkresu. Osa 4 je uspořádána na kratším ramenu 8 kyvné páky 9, jejíž delší rameno 19 je, spojeno prostřednictvím válečku li s kotoučovou vačkou 12 znázorněnou principiálně v obr. 2. osa 13 kýváni kyvné páky 9 je uložena v úhlové páce 14 ve tvaru písmene T. Krátké rameno 13, směřující ke svařovacímu nástavci 2, je -upevněna v prostorové pevně stojící ose 16 otáčení. V druhém krátkém ramenu 17 je uložena osa 13 kýváni. Kolmý konec 18 je tažen tažnou pružinou 19 proti dorazu, předem nastavenému stavěcími šrouby 20‘, 20” a 20*“.. Osa 16 otáčení a osa 13 kývání jsou prostorově uspořádány tak, že přímka 21, procházející osou 16 otáčení a střední provozní polohou osy 13 kývání, se protíná s přímkou 24, procházející středem kotoučové vačky 12 a středem válečku 11, v průsečíku 23, který leží, blízko svařovací roviny. Průsečík 23 může také ležet nepatrně pod svařovací rovinou 22.The device 1 is arranged on a stand (not shown) and also has a transport device which is controllable in the coordinate direction> sx-y, for structural elements such as tape combs, trolleys and oscillations, with the respective welding adapter 2. In the cradle 3, which is articulated by an axis 4. A welding tool 5 is fastened to the welding adapter 2, which serves to connect the wire 7, wound 'h' to the storage coil 6, with the semiconductor components not shown in the drawing. The axis 4 is arranged on the shorter arm 8 of the rocker lever 9, the longer arm 19 of which is connected via a roller 11 to the disc cam 12 shown principally in FIG. 2. The rocker axis 13 of the rocker lever 9 is mounted in an angular lever 14 in T-shape. The short arm 13 facing the welding extension 2 is fixed in the spatially fixed standing axis 16 of rotation. In the second short arm 17 a rocking axis 13 is mounted. The perpendicular end 18 is pulled by a tension spring 19 against a stop preset by adjusting screws 20 ', 20' and 20 ''. The rotational axis 16 and the rocking axis 13 are spatially arranged such that a line 21 passing through the rotational axis 16 and the middle operating position The pivot axis 13 intersects with a line 24 passing through the center of the disc cam 12 and the center of the roller 11, at the intersection 23 which lies close to the welding plane. The intersection 23 may also lie slightly below the welding plane 22.

Střední provozní poloha osy 13 kýváni je přibližně na ose úhlu, tvořeného patou svařovacího nástroje 5, nacházejícího se v manipulační výšce a možnými mezními polohami osy 4. Na ose 13 kývání je kromě toho otočně upevněna kolébková páka 23, jejiž jeden konec je opatřen válečkem 28, který se. odvaluje na kotoučové vačce 27. Druhý konec kolébkové páky 23 podpírá rovnoběžně ke svařovacímu nástavci 2 uspořádané prodloužení 28 na dosedacím koliku 39, upraveném vedle osy svařovacího nástroje 5. Pro řízení zařízeni jsou kromě toho zašroubovány oba stavěči šrouby 20’ a 20” ve dvou úhlových pákách 29 a 30, které jsou uloženy na ose 16 otáčení a jsou ovládány prostřednictvím přibližně vodorovně probíhajících a kotouči 31 a 32 opatřených prodloužení 33 a 34, vždy jednou kotoučovou vačkou 33 a 36. Stavěči šroub 20 je zašroubován v prostorově pevně stojícím ramenu 37.The middle operating position of the pivot axis 13 is approximately on the axis of the angle formed by the heel of the welding tool 5 at the handling height and the possible limit positions of the pivot axis 4. In addition, the rocker lever 23 is rotatably mounted on the pivot axis 13. , which. the other end of the rocker lever 23 supports an extension 28 arranged parallel to the welding extension 2 on the locating pin 39 provided next to the axis of the welding tool 5. In addition, the two adjusting screws 20 'and 20 ”are screwed in at two angles levers 29 and 30, which are mounted on the pivot axis 16 and are actuated by means of approximately horizontally extending and discs 31 and 32 provided with extensions 33 and 34, each with a disc cam 33 and 36. The set screw 20 is screwed into a spatially fixed arm 37.

Na počátku pracovního cyklu se kolébková páka 23 kotoučovou vačkou 27 vykývne kolem osy 13 kývání tak, že se svařovací nástavec 2 s na něm upevněným svařovacím nástrojem 5 pohne směrem dolů. Svařovací nástroj 5 se- přitom vykývne z výchozí výšky až do prvtíí manipulační polbhy a na to z první manipulační polohy, resp. výšky až k první svařovací rovině 22 kolem osy 4. Po provedení prvního svaru se svařovací nástroj S stejným způsobem nadzvedne opět až k první manipulační výšce. Potom se Úhlová páka 14 vykývne. od úhlově páky 30, pohybované kotoučovou vačkou 35, kolem osy 16 otáčení ták, Že se osa 13 kývání pohybuje směrem nahoru a úhlová páka 14 dosedne na doraz, předem nastavený stavěcim šroubem 20“. Osa 13 kývání, osa 18 otáčení, váleček 11 a osa, na které jsou upevněny kotoučové vačky 12, 27, 35 a 36, byly přitom prostorově uspořádány tak, že pro patu 38 se dostane vzhledem k svařovací rovině 22 přibližně kolmý pohyb, Teáto pohyb se konči tehdy, jakmile úhlová páka 14, dosedne na stavěči šroub 20“ a pata 38 tak dosáhla nastavené mezivýšky.At the start of the operating cycle, the rocker lever 23 is pivoted by the disc cam 27 about the rocking axis 13 so that the welding adapter 2 with the welding tool 5 mounted thereon moves downwards. The welding tool 5 is swiveled from the starting height up to the first operating position and for this from the first operating position or position. After the first weld has been made, the welding tool S is lifted again up to the first operating height. Then the angle lever 14 is swiveled. from the angular lever 30, moved by the disc cam 35, about the pivot axis 16, that the pivot axis 13 moves upward and the angular lever 14 abuts the stop, preset by the set screw 20 '. The pivot axis 13, the pivot axis 18, the roller 11 and the axis on which the disk cams 12, 27, 35 and 36 are fixed were arranged in such a way that the foot 38 is approximately perpendicular to the welding plane 22. ends when the angle lever 14 engages the adjusting screw 20 'and the foot 38 has reached the set intermediate height.

Po té, co bylo druhé svařované místo nastaveno pod svařovací nástroj 5, sé úhlová páka 14 vykývne od úhlové páky 29 v opačném směru a pata 38 se pohybuje přibližně kolmo směrem dolů až na druhou manipulační výšku, závislou na nastaveni stavěcího Šroubu 20*.After the second welding spot has been positioned below the welding tool 5, the angular lever 14 pivots away from the angular lever 29 in the opposite direction, and the heel 38 moves approximately perpendicularly down to the second handling height, depending on the adjustment of the adjusting screw 20 *.

Sklonění ke druhému kontaktnímu místu se provede potom jako sklonění k prvnímu kontaktnímu místu, a sice jako otočný pohyb kolem osy 4. Po provedení druhého svaru se svařovací nástroj 5 stejným způsobem jako po prvním svaru nadzvedne, až ke druhé manipulační výšce, a na to až k výchozí výšce, přičemž současně překrývajícím se průběhem pohybů se poloha úhlové páky 14 ve výchozí výšce opět určí stavěcim šroubem 20‘“. Současně s tímto průběhem pohybů se mezi zhotovením prvního a druhého spoje osa svařovacího nástroje 3 vykývne o předem zadaný úhel.The inclination to the second contact point is then performed as a inclination to the first contact point, namely a rotary movement about the axis 4. After the second weld, the welding tool 5 is lifted up to the second handling height in the same way as after the first weld. The position of the angular lever 14 at the starting height is again determined by the set screw 20 ''. Simultaneously with this movement, the axis of the welding tool 3 swings by a predetermined angle between the first and second joints.

To je způsobeno tím, že po prvním svaru se kyvná páka 9 vykývne kolem osy 13 kývání tak, že se osa 4 pohybuje směrem dolů. Výšková poloha svařovacího nástroje 3 se přitom předem zadá kolébkovou pákou 25 a je prakticky nezávislá na pohybu osy 4. Vodorovný pohyb paty 38 se tím udržuje malý tak, že osa 13 kýváni leží na, nebo lépe nad osou úhlu, vymezeného patou 38 a horní a dolní mezní polohou osy 4.This is due to the fact that after the first weld, the rocking lever 9 pivots about the rocking axis 13 so that the rocking axis 4 moves downwards. The height position of the welding tool 3 is predetermined by the rocker lever 25 and is practically independent of the movement of the axis 4. The horizontal movement of the heel 38 is thereby kept small such that the oscillation axis 13 lies at or better above the angle axis defined by the heel 38 and lower limit position of axis 4.

Kromě toho se superponuje průběh pohybu pro překlápěni osy nástroje 3 průběhu pohybu pro nadzvednutí svařovacího nástroje 3 z první manipulační výšky do mezivýšky. Tím se dosáhne nejdříve kolmého pohybu a potom s vodorovnou složkou, svařovacího nástroje 5. Zpětné překlopení osy nástroje se provede po druhém svaru během nadzvednutí svařovacího-nástroje 5 do výchozí výšky.In addition, the motion sequence is superimposed for pivoting the tool axis 3 of the motion sequence to lift the welding tool 3 from the first handling height to the intermediate height. This achieves first a perpendicular movement, and then with the horizontal component, the welding tool 5. The tool axis is re-tilted after the second weld while the welding tool 5 is raised to the starting height.

Claims

1. Device for connecting contact points by means of wire bridges, for example, connecting flag strips of structural member tape carriers with welding islands of semiconductor chips, in particular by means of ultrasound, in which the device is

OF THE INVENTION for generating oscillations with a welding tool held in a welding attachment mounted on a cradle and in which levers provided with rollers movable against adjustable stops and connected to disc cams are provided,

2 1 5 2 5 5 that the cradle (3) is fixed by an axis (4) on a rocker (9) articulated on a rocking axis (13), one arm (10) of which has a roller (11) which bears on the disc cam ( 12), and that the rocker lever (25) on which the rocker (3) rests is arranged together with the rocker lever (9) on the rocker axis (13), which is mounted in an angular lever (14) in the T-shape which it is pivotably mounted on a fixed axis of rotation (16) by a short arm (15) facing the welding adapter (2) and that between the spatially fixed hinge point and the angle lever (14); cooperating with the adjustable stop (20), a resilient means is provided.

Device according to claim 1, characterized in that • the cradle (3) bears on the cradle (25), the other end of which is parallel to the welding extension (2), next to the welding tool (5). provided with a roller (26) that rolls on the disc cam (27).

Device according to Claims 1 and 2, characterized in that the pivot axis (13) and the pivot axis (16) lie in the middle operating position on a line (21) intersecting with a line (24) extending perpendicularly through the center of the roller (21). 11), arranged on the arm (10) of the rocker lever (9) of the respective disc cam, at an intersection (23) near the welding plane (22).

4. Device according to claim 3, characterized in that the intersection point (23) is below the welding plane (22).

Device according to one of Claims 1 to 3, characterized in that the mean operating position of the pivot axis (13) lies approximately on the axis of the angle between the heel (38) of the welding tool at the handling height and between the two limit positions of the axis (4). arranged on the rocker lever (9).

6. Apparatus according to claim 1, 2, 3 and 5, wherein three are arranged. adjustable stops (20), formed as set screws (20 ', 20', 20 ''), of which diVa (20 ', 20' ') are screwed in one angular lever (29, 30) each, mounted on the axis ( 18) rotations, which are each actuated by one disc cam (35, 36) and that the third set screw (20 ") is screwed into the spatially fixed arm (37).

Device according to Claims 1, 2, 3, 5 and 6, characterized in that the disc cams (12, 27, 35, 36) are arranged on a common axis and that the centers of the rollers (26, 11) arranged on the rocker lever (25) and on the arm (10) of the rocker lever (9) are arranged on the same line starting from this cam axis.