CS196099B1

CS196099B1 - Light modulator for the device for the objective controle of the projection lenses

Info

Publication number: CS196099B1
Application number: CS894277A
Authority: CS
Inventors: Vaclav Ezr; Jiri Folvarcny
Original assignee: Vaclav Ezr; Jiri Folvarcny
Priority date: 1977-12-28
Filing date: 1977-12-28
Publication date: 1980-02-29

Description

Vynález se týká modulátoru svžtla pro zařízení k objektivní kontrole promítacích objektivů, umístěného v prostoru mezi zdrojem světla a kontrolovaným objektivem.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a light modulator for an objective inspection apparatus for projection lenses located in a space between a light source and a controlled objective.

U známých zařízení pro objektivní kontrolu promítacích objektivů, u kterých svazek světelných paprsků je po modulaci promítán kontrolovaným objektivem na fotoelektrickou sondu, je pro modulaci světla používán jako modulátor rotační kotouč s modulačním obrazem provedeným na jeho obvodu, který se otáčí v prostoru mezi zdrojem světla a kontrolovaným promítacím objektivem. Modulační obrazec přitom sestává ze skupin proužků světlo propouštějících a světlo nepropouštějících, jejichž počet na dané promítané výseči modulačního obrazce odpovídá při určité synchronní obvodové rychlosti rotačního kotouče, modulátoru počtu čar na 1 mm.In known apparatus for objectively controlling projection lenses in which a beam of light is projected by a controlled lens onto a photoelectric probe after modulation, a rotating disc with a modulating image on its periphery rotates in the space between the light source and controlled projection lens. The modulation pattern consists of groups of light transmitting and light transmitting strips, the number of which on a given projected segment of the modulating pattern corresponds to a line modulator per 1 mm at a certain synchronous peripheral speed of the rotating disk.

Nevýhodou těchto známých modulátorů světla pro zařízení pro objektivní kontrolu promítacích objektivů je obtížnost výroby modulačního obrazce na obvodu rotačního kotouče, pří které je vzhledem ke klínovitému tvaru jednotlivých proužků, popřípadě jejich skupin, problémem dodržet stejnou plochu proužků světlo propouštějících a proužků světlo nepropouštějících.A disadvantage of these known light modulators for the objective lens projection control device is the difficulty of producing a modulation pattern on the periphery of the rotary disk, which makes it difficult to maintain the same area of light transmissive strips and light transmissive strips due to the wedge shape.

Uvedená nevýhoda je odstraněna modulátorem světla pro zařízení k objektivní kontrole promítacích objektivů podle vynálezu, jehož podstata záleží v tom, že jak samotný modulační obrazec, tak i jednotlivé světlo propouštějící a světlo nepropouštějící proužky mají tvar pravoúhlého Čtyřúhelníka. Nosič s modulačními obrazci je při tom v záběru se soustavou přímočaře synchronně se otáčejících hnacích a přítlačných válců. Pro zajištění pravidelného posuvu bez prokluzů jsou hnací válce na vhodném miste opatřeny bu3 třecím povrchem, nebo ozubením, zapadajícím do otvorů provedených na okrají nosiče modulačního obrazce. Nosičem modulačního obrazce může být s výhodou smyčka filmového pásu, nebo deska ze skla, popřípadě z vhodné plastické hmoty·This disadvantage is overcome by the light modulator for the objective lens inspection device according to the invention, which is based on the fact that both the modulation pattern itself and the individual light-transmitting and light-transmitting strips have a rectangular rectangular shape. The carrier with the modulating patterns is in this case engaged with a system of linearly synchronously rotating drive and pressure rollers. In order to ensure regular sliding without slippage, the drive rollers are provided with either a friction surface or a toothing in a suitable position, which fits into the holes provided on the edge of the modulation pattern carrier. The carrier of the modulation pattern may advantageously be a film strip loop or a plate of glass or a suitable plastic.

Výhodou modulátoru podle vynálezu je podstatně menší náročnost a vyšší dosažitelná přesnost výroby modulačního obrazce ve tvaru pravoúhlého čtyřúhelníka proti výrobě obrazce ve tvaru kruhových výsečí.The advantage of the modulator according to the invention is substantially less complexity and higher achievable accuracy of the production of the rectangular rectangular modulation pattern over the production of the circular sector pattern.

Příkladné provedení modulátoru světla pro zařízení k objektivní kontrole promítacích objektivů podle vynálezu je schematicky zobrazeno na přiložených výkresech, kde na obr. 1 je se soustavou transportních třecích válečků a na obr. 2 se soustavou transportních ozubených válečků.An exemplary embodiment of a light modulator for an objective projection lens inspection apparatus according to the invention is schematically shown in the accompanying drawings, in which Fig. 1 shows a set of transport friction rollers and Fig. 2 shows a set of transport toothed rollers.

Na obr. 1 je schematicky znázorněn modulátor podle vynálezu, u kterého bylo jako nosíce modulačního obrazce 5_ použito skleněné desky 4_, posunované v prostoru mezi zdrojem světla 1 a zkoušeným promítacím objektivem 17 soustavou hnacích válečků 6_ poháněných hnacím ústrojím 1_ a přítlačných válečků 8_, působících na hrany nosiče £. Modulační obrazec 5, který je podle příkladného provedení opakován pro každou rozlišovací schopnost třikrát, je při zjištování kvality promítacího objektivu 1 7 promítán svazkem světelných paprsků 2_ do kontrolovaného objektivu 1 7 . Při synchron1 shows a schematic representation of a modulator according to the invention in which a glass plate 4 is used as the carrier of the modulation pattern 5, displaced in the space between the light source 1 and the projected objective 17 by a set of driving rollers 6 driven by the driving device 7 and thrust rollers 8 acting to the edges of the carrier. The modulation pattern 5, which is repeated three times for each resolution, according to the exemplary embodiment, is projected into the inspected lens 17 to determine the quality of the projection lens 17. When sync

96099 ní rychlosti posunu odpovídá modulačnímu obrazci 5_ hodnota vyjádřená počtem Čar na jeden mm, kterou je kontrolovaný objektiv 17 schopen rozlišit. Hodnota 16 odpovídající počtu čar/ram je s výhodou uvedena vedle modulačního obrazce96099, the modulation pattern 5 corresponds to the value expressed by the number of lines per mm that the inspected lens 17 can distinguish. The value 16 corresponding to the number of lines / frames is preferably indicated next to the modulation pattern

Na obr. 2 je schematicky zobrazeno provedení modulátoru pro případ, kdy nosičem modulačního obrazce 5 je perforovaný filmovýFig. 2 shows schematically an embodiment of a modulator in the case where the carrier of the modulation pattern 5 is a perforated film

Claims

A light modulator for an objective projection lens inspection apparatus, located in a space between a light source and a projected objective lens, characterized in that the modulation pattern (5) is rectangular on the carrier (4), wherein the carrier (4) is disposed between the gripper 11, displaced by the set of drive tooth rollers 12 and 13 driven by the drive apparatus 14 and the thrust rollers 15. Of the drive rollers 12 and 13, the drive roll 12 is used to move the perforated film strip 11 forward, while the drive roll 13 is used to move the perforated film strip 11 back.

BACKGROUND OF THE INVENTION The light (1) and the controlled lens (17) are displaceably displaceable.

Light modulator according to claim 1, characterized in that the carrier (4) with the modulating patterns (5) is engaged with the set of rollers (6 and 8).