CN2911684Y - 陶瓷微型热导检测器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种测量精度高，体积小的用于气相色谱仪的陶瓷微型热导检测器。包括具有二个不相通内腔的外壳，进气嘴与出气嘴均与内腔相通，关键是外壳为至少二块非导电材料制成的壳体连接而成，空腔内设有电阻敏感元件并接引出导线。本实用新型结构简单，敏感元件与壳体可直接接触，则内腔可以很小，无须考虑敏感元件绝缘的问题，同时采用常规的蚀刻技术，可保证敏感元件的制作精度，进一步提高测量精度，本实用新型可适应各种类型的分离柱，尤为可适用毛细管柱，可对微量气体进行精确的定量定性分析，还可降低成本和大幅减小检测器的体积。
Description
技术领域：
本实用新型涉及一种测量仪器的检测器件，具体是指一种用于气相色谱仪的热导检测器。
背景技术：
气相色谱仪是一种应用十分广泛的气体(或气态)定性与定量分析的仪器，而热导检测器的作用是其内腔通过被测气体，通过检测热导的变化，输出电信号进而测定进入内腔的气体(或气态)的量与种类。现有的热导检测器的基本结构是金属材料制成的外壳，设有进出气孔和外壳内设有空腔，空腔内设有悬空设置的电阻敏感元件，电阻敏感元件一般是有一塞柱，塞柱一端有两金属支撑臂，两支撑臂之间有一螺旋状的金属电阻丝；上述的结构必须保证电阻丝与空腔壁面保持相当的距离以达到绝缘的目的，这造成如下的缺陷，一是热导检测器的体积过大，不易携带，其二内腔总体积较大，致使热导检测器只能与填充柱配合使用，而不能与毛细管柱配合使用，无法做到微量气体分析，应用面小，其三是测量精度难以达到定量分析和精度相对较差，其四是体积大，耗材多，成本较高。
发明内容：
本实用新型的发明目的是公开一种测量精度高，体积小的用于气相色谱仪的热导检测器。
实现本实用新型的技术解决方案如下：包括具有二个不相通内腔的外壳，进气嘴与出气嘴均与内腔相通，关键是外壳为至少二块非导电材料制成的壳体连接而成，空腔内设有电阻敏感元件并接引出导线。
所述的外壳为三层结构，两块壳体中间有一导气块，导气块两端为导线堵头而形成空腔。
所述的外壳为二块陶瓷片材构成的二层结构。
所述的二个互不相通的内腔设置在一片壳体的内侧面。
所述的二个互不相通的内腔分别设置在二片壳体的内侧面。
所述的电阻敏感元件为直接蚀刻在内腔内表面。
所述的内腔为内侧表面为平面状的壳体夹持一有通孔的弹性绝缘材料制成的隔离片构成，在壳体的平面状内侧面上直接蚀刻电阻敏感元件。
所述的壳体为二层复合材料，外层为金属材料，形成内腔的内层为具绝缘性能的陶瓷材料；所述的外层的外表面为散热片结构。
本实用新型结构简单，敏感元件与壳体可直接接触，则内腔可以很小，无须考虑敏感元件绝缘的问题，同时采用常规的蚀刻技术，可保证敏感元件的制作精度，进一步提高测量精度，本实用新型可适应各种类型的分离柱，尤为可适用毛细管柱，可对微量气体进行精确的定量定性分析，还可降低成本和大幅减小检测器的体积。
附图说明：
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为图1的A-A方向的内部结构示意图。
图3为本实用新型的局部剖示结构示意图。
具体实施方式：
请参见图1～图3，本实用新型的具体实施例如下：包括具有二个不相通内腔的外壳2，进气嘴3与出气嘴4均与内腔5相通，关键是所述的外壳2为至少二块非导电材料制成的壳体连接而成，空腔内设有电阻敏感元件1并接引出导线6；本实用新型在使用时，将两个内腔5中的四个敏感元件1连接成惠斯登电桥，检测前惠斯登电桥为平衡状态，检测时一空腔进入待测气体，导致敏感元件的电阻变化，进而输出相应的电信号而精确定性、定量的分析测量；由于外壳2为非导电材料制成，为丝状的敏感元件1可直接与外壳2内壁面接触，故可将内腔5与外壳2均制作的很小。
所述的外壳2可以为三层结构，两块壳体中间有一导气块7，导气块7两端为导线堵头而形成空腔；空腔内设置敏感元件1(可参见图2)，引线出口进行封装，两块壳体用紧固螺栓8连接。
所述的外壳2为二块陶瓷片材构成的二层结构；内腔在二块壳体之间形成，这样的检测器结构更为简单，体积、重量可大幅降低。
所述的二个互不相通的内腔5设置在一片壳体的内侧面；另一片壳体可为平面状态，二片壳体夹持在一起则可构成封闭状的内腔5，所述的内腔5可以在制作陶瓷片时一次烧结成，则整个制作工艺和步骤均可简化，减小了成本。
所述的二个互不相通的内腔5可分别设置在二片壳体的内侧面，将二片壳体夹持或通过紧固螺栓8紧固连接在一起，这可进一步减小整体的体积。
所述的电阻敏感元件1为直接蚀刻在内腔5内表面；蚀刻技术为现有技术，敏感元件可以做的相当精确，其与陶瓷材料连接在一起，工艺不仅简单且抗震，易于野外便携使用。
所述的内腔5为内侧表面为平面状的壳体夹持一有通孔的弹性绝缘材料制成的隔离片构成，在壳体的平面状内侧面上直接蚀刻电阻敏感元件；这使陶瓷壳体的制作更为简单，腔体的形状、尺寸大小只需调整隔离片的通孔的形状、大小和隔离片的厚度就可以做到，这可在壳体的大小不变的情况下，形成一系列的内腔体积大小变化的系列检测器。
所述的壳体为二层复合材料，外层为金属材料，形成内腔的内层为具绝缘性能的陶瓷材料；上述结构既可保证本实用新型易于做到微型与小型化，外层为金属材料也可保证产品的强度和良好的散热性能；在金属材料的外层的外表面为散热片结构，可进一步提高散热效果。
Claims (10)
1.一种陶瓷微型热导检测器，包括具有二个不相通内腔的外壳(2)，进气嘴(3)与出气嘴(4)均与内腔(5)相通，其特征在于所述的外壳(2)为至少二块非导电材料制成的壳体连接而成，空腔内设有电阻敏感元件(1)并接引出导线(6)。
2.按权利要求1所述的陶瓷微型热导检测器，其特征在于所述的外壳(2)为三层结构，两块壳体中间有一导气块(7)，导气块(7)两端为导线堵头而形成空腔。
3.按权利要求1所述的陶瓷微型热导检测器，其特征在于所述的外壳(2)为二块陶瓷片材构成的二层结构。
4.按权利要求3所述的陶瓷微型热导检测器，其特征在于所述的二个互不相通的内腔(5)设置在一片壳体的内侧面。
5.按权利要求3所述的陶瓷微型热导检测器，其特征在于所述的二个互不相通的内腔(5)分别设置在二片壳体的内侧面。
6.按权利要求3或4或5所述的陶瓷微型热导检测器，其特征在于所述的电阻敏感元件(1)为直接蚀刻在内腔(5)内表面。
7.按权利要求1或3所述的陶瓷微型热导检测器，其特征在于所述的内腔(5)为内侧表面为平面状的壳体夹持一有通孔的弹性绝缘材料制成的隔离片构成，在壳体的平面状内侧面上直接蚀刻电阻敏感元件(1)。
8.按权利要求3或4或5所述的陶瓷微型热导检测器，其特征在于所述的壳体为二层复合材料，外层为金属材料，形成内腔(5)的内层为具绝缘性能的陶瓷材料。
9.按权利要求6所述的陶瓷微型热导检测器，其特征在于所述的壳体为二层复合材料，外层为金属材料，形成内腔(5)的内层为具绝缘性能的陶瓷材料。
10.按权利要求7所述的陶瓷微型热导检测器，其特征在于所述的壳体为二层复合材料，外层为金属材料，形成内腔(5)的内层为具绝缘性能的陶瓷材料，所述的外层的外表面为散热片结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200620008295 CN2911684Y (zh) | 2006-03-21 | 2006-03-21 | 陶瓷微型热导检测器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN 200620008295 CN2911684Y (zh) | 2006-03-21 | 2006-03-21 | 陶瓷微型热导检测器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2911684Y true CN2911684Y (zh) | 2007-06-13 |
Family
ID=38133551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200620008295 Expired - Fee Related CN2911684Y (zh) | 2006-03-21 | 2006-03-21 | 陶瓷微型热导检测器 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN2911684Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102549422A (zh) * | 2009-10-09 | 2012-07-04 | 普拉德研究及开发股份有限公司 | 微型热传导率探测器、其制作方法及使用其的色谱系统 |
| CN111999338A (zh) * | 2020-07-22 | 2020-11-27 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种微型热导气体传感器 |
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2006
- 2006-03-21 CN CN 200620008295 patent/CN2911684Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102549422A (zh) * | 2009-10-09 | 2012-07-04 | 普拉德研究及开发股份有限公司 | 微型热传导率探测器、其制作方法及使用其的色谱系统 |
| CN111999338A (zh) * | 2020-07-22 | 2020-11-27 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种微型热导气体传感器 |
| CN111999338B (zh) * | 2020-07-22 | 2022-07-22 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种微型热导气体传感器 |
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