CN2795232Y - 一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源，属于半导体制造领域。该坩埚电源包括有：主控计算机、光纤通信控制器、温度控制器、坩埚蒸发器、调功计，所述的主控计算机通过光纤、光纤通信控制器与温度控制器连接；所述的温度控制器与坩埚蒸发器连接，用于坩埚温度的监控；所述的温度控制器还与调功计连接，用于控制调功计的导通相角；所述的调功计还与坩埚蒸发器连接，用于控制坩埚蒸发器的温度。本实用新型具有如下显著优点：(1)采用了光纤通信控制器，实现了270KV高电位与低电位主控计算机的隔离控制；(2)结构简单，接线少，控制简单方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源，特别地涉及离子注入机，属于半导体制造领域。
背景技术
在半导体制造过程的离子注入工艺中，要求离子注入机设备不但能使用气体注入B、P、As等离子，还要求能注入Sb、In等重金属离子，而Sb、In等重金属元素不能通过气态化合物分子直接送气，只能使用卤化物固体气化工作，这样就必须使用固体坩锅蒸发器。在整个过程中，坩锅蒸发器加热温度的控制直接决定着固体离子源能否稳定可靠地工作，而其加热温度又由坩埚电源控制决定，因而设计一种性能优良的的坩锅蒸发器的坩锅电源是必要的，然而目前国内各研发生产厂家所生产使用的坩锅电源存在或者结构过于复杂、或者温度控制性能不够理想等缺点。
发明内容
本实用新型即是针对上述现有技术的现状而提出的一种结构简单、可靠性高的用于坩埚蒸发器的坩埚电源。
本实用新型通过以下技术方案来实现：
一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源，包括有：主控计算机、光纤通信控制器、温度控制器、坩埚蒸发器、调功计，所述的主控计算机通过光纤、光纤通信控制器与温度控制器连接；所述的温度控制器与坩埚蒸发器连接，用于坩埚温度的监控；所述的温度控制器还与调功计连接，用于控制调功计的导通相角；所述的调功计还与坩埚蒸发器连接，用于控制坩埚蒸发器的温度。
所述的温度控制器为热电阻或者热电耦之一；所述的调功计为调相控制型调功计。
本实用新型具有如下显著优点：
1、采用了光纤通信控制器，实现了270KV高电位与低电位主控计算机的隔离控制；
2、结构简单，接线少，控制简单方便。
附图说明
图1为本实用新型的一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源的原理框图；
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的介绍，但不作为对本实用新型的限定。
参考图1，一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源，包括有：主控计算机1、光纤通信控制器3、温度控制器4、坩埚蒸发器5和调功计6，主控计算机1通过光纤2与光纤通信控制器3连接，光纤控制器3将主控计算机1发出的温度设定命令——光信号转化为电信号，并经过地址确认，再将温度设定的数字量经过D/A转换成0～5V的模拟量，该0～5V的模拟量线性对应0～900℃，该信号传送至温度控制器4的温度设定端，温度控制器4采集到将坩锅蒸发器5的加热温度，并将温度反馈信号进行放大，并进行线性修正，然后将已处理的实测温度信号与设定的温度信号进行比较，比较的结果去调节控制调功计6的导通相角，如果实测的温度比设定的温度高，那么调功计6的导通相角便减小，使加热功率减小，而使坩锅蒸发器5温度下降；如果实测的温度比设定的温度低，那么调功计6的导通相角便增大，使加热功率增加，而使坩锅蒸发器5温度上升，这样形成的一个闭环控制，可以使坩锅蒸发器5的加热温度控制精度非常精确。另一方面温度控制器4将温度反馈信号进行处理后以0～5V的模拟信号送至光纤通信控制器3的模拟输入端，再经光纤通信控制器3中A/D转换，由单片机处理后，再将电信号转化成光信号，通过光纤传输到主控计算机1。
图1中电源模块7为光纤通信控制器3、坩埚蒸发器5和调功计6提供工作电压。
本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (4)
1.一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源，包括有：主控计算机、光纤通信控制器、温度控制器、坩埚蒸发器、调功计，其特征在于：所述的主控计算机通过光纤、光纤通信控制器与温度控制器连接；所述的温度控制器与坩埚蒸发器连接，用于坩埚温度的监控；所述的温度控制器还与调功计连接，用于控制调功计的导通相角；所述的调功计还与坩埚蒸发器连接，用于控制坩埚蒸发器的温度。
2.如权利要求1所述的一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源，其特征在于：所述的温度控制器为热电阻。
3.如权利要求1所述的一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源，其特征在于：所述的温度控制器为热电耦。
4.如权利要求1所述的一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源，其特征在于：所述的调功计为调相控制型调功计。
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2005
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Cited By (3)
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