CN2700781Y - 带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型的带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,主要由压缩机、冷头、驱动电机、曲柄连接机构组成,压缩机和冷头成90度布置,其特点为:活塞和气缸体之间安装有直线滑轨轴承,该轴承的导轨和滑块分别与活塞和活塞滑块固定座固定连接,活塞滑块固定座安装于气缸体之内并成一体;排出器和冷缸体之间安装有直线滑轨轴承,该轴承的导轨和滑块分别与排出器和排出器滑块固定座固定连接,排出器滑块固定座安装于冷缸体之内并成一体。由于该制冷机的活塞和排出器分别由直线滑轨轴承支撑,可保证活塞和排出器在轴向往复运动过程的径向位置,减少和消除与气缸间磨损,提高制冷机工作寿命和可靠性。且成本低、易批量生产,工作寿命可达5000小时以上。
Description
技术领域
本实用新型属于制冷技术领域的制冷机,特别涉及一种带直线滑轨轴承支撑的特林制冷机。
背景技术
斯特林制冷机是一种主动式制冷机,其制冷循环为斯特林逆循环(由两个等温过程和两个等容回热过程组成的热力循环)。斯特林制冷具有制冷效率高、体积小、重量轻、启动快、安装灵活、工作温度范围宽、操作简便等优点,被广泛应用于红外探测仪、X射线仪、伽玛射线测量仪、高温超导滤波器和计算机中CMOS电路、捕集水蒸汽的冷阱等。
自1954年第一台斯特林制冷机问世以来,各国对斯特林制冷机进行了较深入的研究。由于红外技术和超导电子学的发展,尤其是红外探测技术在军事领域和空间领域的应用,极大地推进了斯特林制冷机的发展。斯特林制冷机的寿命和可靠性得到了很大提高,成为研究最深入、应用最广泛、变型最多的一种制冷机。
早期传统的斯特林制冷机为整体结构,压缩机和冷头成90°布置,压缩机活塞与冷头排出器经曲柄连杆机构由旋转电机驱动,活塞和排出器与相应气缸的密封形式为非金属弹性环的接触密封。这种活塞和排出器的运动相位和行程恒定,热力学和动力学特性相互独立,容易实现稳定的制冷性能。但活塞和排出器对相应气缸的侧向力较大,磨损比较严重。由于传动机构为有油润滑,制冷工质存在污染,因而制冷机的工作寿命受到影响。
1968年,荷兰Pillips公司认识到传统斯特林制冷机的薄弱环节(轴承、密封、污染等存在缺陷),首先提出线性谐振压机概念,并将其应用于斯特林制冷机设计,并采用无润滑的间隙密封。这种制冷机压缩机的运动部件少、侧向力小、污染小、磨损低,因而工作寿命和可靠性得到提高。但由于运动活塞和排出器无径向支撑,所以,其平均无故障时间(MTBF)一般也只有2500小时,少数实验样机可以达到5000小时。
为了进一步提高斯特林制冷机的工作寿命和可靠性,使其达到空间应用的20000小时以上的要求,1976年,北美Pillips实验室开始为NASA和DARPA开发线性谐振式星载长寿命斯特林制冷机(历时5年),提出并实现了电磁轴承支撑技术,以保证活塞与气缸的密封间隙,大大提高制冷机的工作寿命,其样机达到了65K/5W的制冷指标,地面实验寿命也达到了28000小时;但由于结构和控制系统过于复杂,体积、重量太大(60kg),使得后来未列入卫星应用计划而中止研制和开发。英国牛津大学于70年代末开始直接开发星载长寿命斯特林制冷机,首先将其研制的并获空间成功应用的摆线悬臂梁型板状弹簧支撑技术(简称板簧)应用于斯特林制冷机,以保证活塞和回热器运动组件的完全非接触,消除磨损,使斯特林制冷机的可靠性和工作寿命大大提高,开创了风靡低温界的牛津型斯特林制冷机时代。与Pillips公司的电磁轴承柔性支撑相比,板弹簧柔性支撑具有结构简单、可靠、重量轻的优点。至1992年11月,BAe公司(现明为Matra Marconi Space)研制的牛津型斯特林制冷机的地面实验寿命(MTBT)达到了41933小时。板弹簧支撑的难点在于气缸、活塞组件和板弹簧组件的对准和组装、间隙测量与准直方面要求很高,造价高,适合于数量少的空间技术。后期,美国超导技术公司(STI)应用气体悬浮技术和板弹簧支撑技术研制成气体悬浮支撑运动活塞的直线电机驱动的斯特林制冷机,提高了制冷机的寿命。
上述直线电机驱动的斯特林制冷机的直线电机沿轴向的往复力直接作用于活塞和排出器,因而侧向力小,磨损小,工作寿命较高(5000小时左右)。如果结合间隙密封和板弹簧支撑或气体悬浮支撑,寿命可达到15000小时以上。但由于电机设计和制冷机关联,加工制造过程对电机、板弹簧等零部件的加工精度要求很高,因而成本较高。此外,制冷机热力学和动力学特征相互影响,相互制约,运动相位与行程会因制冷机内外部环境的改变而发生变化,并且也存在相互影响和制约,制冷量和温度控制比较复杂,影响制冷机的工作可靠性。
综上所述,可以看出,工作寿命在5000-15000小时之间造价低廉、适合批量制造的斯特林制冷机存在空缺。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种带有直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,该制冷机的制冷机活塞和排出器由直线滑轨轴承支撑,可保证制冷机的压缩机活塞和冷头排出器在轴向往复运动过程的径向位置,减少和消除其与相应气缸间的磨损,提高制冷机工作寿命和可靠性。而且成本低、易于批量生产,工作寿命可达5000小时以上。
本实用新型的技术方案如下:
本实用新型提供的带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,主要由压缩机、冷头、驱动电机、曲柄连接机构四部分组成,压缩机和冷头成90°布置,压缩机活塞13与冷头排出器18分别与由旋转电机驱动的曲柄连杆机构相连,所述活塞13和冷头排出器18分别与相应气缸的密封为间隙密封;曲柄连接机构的曲轴8同时与活塞连杆9和排出器连杆6相连,旋转电机通过曲轴8、排出器连杆6和活塞连杆9分别驱动压缩机活塞13在气缸体11中往复运动,驱动冷头排出器18在冷缸体4中往复运动;压缩腔12与冷头的室温腔39由小孔径通道15相连通;回热器3位于冷头排出器18内部,回热器3的两端分别与室温腔39和冷腔2相连通;其特征在于:
在压缩机活塞13和气缸体11之间安装一直线滑轨轴承100,该直线滑轨轴承100的导轨20和滑块10分别与压缩机活塞13和活塞滑块固定座14固定连接,所述活塞滑块固定座14安装于气缸体11之内并成一体;
在所述排出器18和冷缸体4之间安装一直线滑轨轴承200,该直线滑轨轴承200的导轨28和滑块17分别与冷头排出器18和冷头排出器滑块固定座16固定连接,所述冷头排出器滑块固定座16安装于冷缸体4之内并成一体。
所述的直线滑轨轴承100中的导轨20横截面为四方形,所述压缩机活塞13以导轨20的两相垂直的基准面C和D为基准面与导轨20定位配合;所述活塞滑块固定座14以滑块10的两相垂直的基准面A和B为基准面与滑块10定位配合;所述活塞滑块固定座14的外圆柱面M2与气缸体11的内圆柱面M5定位配合,所述气缸体11的另一内圆柱面M4与活塞13的外圆柱面M1之间的密封间隙均匀;
所述的直线滑轨轴承200的导轨28横截面为四方形,所述冷头排出器18以导轨28的两相垂直的基准面C’和D’为基准面与导轨28定位配合;所述冷头滑块固定座16以滑块17的两相垂直的基准面A’和B’为基准面与滑块17定位配合;所述冷头滑块固定座16的外圆柱面M2’与冷缸体4的内圆柱面M5’定位配合,冷缸体4的另一内圆柱面M4’与冷头排出器18的外圆柱面M1’之间的密封间隙均匀。
所述基准面A和B与气缸体11的轴线之间、基准面C和D与活塞13的轴线之间、基准面A’和B’与气缸体4的轴线之间以及基准面C’和D’与冷头排出器18的轴线之间的平行度和位置精度至少为6级。
在所述滑块10与活塞滑块固定座14之间的水平方向设有推动滑块10的滑块侧压块24,滑块10的侧面与滑块固定座基准面B紧密接触;在所述滑块10与活塞滑块固定座14之间的垂直方向设有滑块底垫19,滑块10上表面与滑块固定座基准面A紧密接触;
所述滑块17与滑块固定座16之间设有推动滑块17的滑块侧压块33,滑块17的侧面与滑块固定座基准面B’紧密接触;在所述滑块17与滑块固定座16之间的垂直方向设有滑块底垫29,滑块17上表面与滑块固定座基准面A’紧密接触。
在所述导轨20与压缩机活塞13之间的水平方向设有推动导轨20的导轨侧压块22,导轨20的侧面与活塞基准面C紧密接触;
所述导轨28与冷头排出器18之间设有推动导轨28的导轨侧压块31,导轨28侧面与排出器基准面C’紧密接触。
所述的活塞圆柱面M1和活塞滑块固定座圆柱面M2之间、排出器圆柱面M1’、M1”和排出器滑块固定座圆柱面M2’之间的同轴度至少为6级精度。
所述的气缸体11的内圆柱面M4和另一内圆柱面M5之间的同轴度、冷缸体4的内圆柱面M4’和另一内圆柱面M5’之间的同轴度至少为6级精度。
本实用新型的制冷机选择了旋转电机驱动的结构形式。由于这种结构的斯特林制冷机的活塞和排出器之间的相位和各自的位移完全由旋转电机和曲柄连杆机构保证,所以,制冷机的行程和相位在运行过程中完全恒定,动力学和热力学相对独立,不存在相互影响,因而制冷机热性能稳定,可靠性高。此外,旋转电机可以从市场独立购置,便于产业化。
旋转电机驱动的斯特林制冷机存在的主要问题是活塞和排出器的侧向力较大,与相应汽缸间的磨损较大,从而影响工作寿命。为了解决上述问题,最大限度地发挥旋转电机驱动的斯特林制冷机的优势,本实用新型采用直线滑轨轴承支撑压缩机活塞和冷头排出器,保证制冷机活塞与气缸之间、排出器与冷缸之间的微米级密封间隙,将制约制冷机寿命的滑动摩擦转换为成熟的线性轴承的滚动摩擦,从而减少活塞与气缸间的摩擦,提高制冷机工作寿命。
由于采用了直线滑轨轴承支撑,制冷机的活塞和排出器与相应气缸之间的磨损得到控制。但同时,影响制冷机工作寿命的关键转移到了直线滑轨轴承部件上。直线滑轨轴承的寿命直接制约着制冷机的寿命。根据制冷机工作参数和直线滑轨轴承的性能指标进行计算,采用油脂润滑的直线滑轨轴承的工作寿命可以达到5690000小时,远远满足制冷机的要求。选用饱和蒸汽压很低的油脂润滑产品(市场可以购到)并结合曲轴箱设置吸附剂材料可以减少油脂放气对制冷工质的污染,提高制冷机工作寿命。本实用新型也可以采用空间高性能轴承所使用过的固体润滑技术对直线轴承进行镀固体润滑膜处理,既可以提高直线滑轨轴承的寿命,同时也消除了由于油脂润滑材料可能带来的污染。与油脂润滑相比,固体润滑性能较差,因而磨损相对较大,因此固体润滑的直线滑轨轴承的工作寿命会有所降低。固体润滑轴承的工作寿命一般为油脂润滑的0.1~0.2倍。按最差的情况计算,可得到固体润滑直线滑轨轴承的工作寿命也能达到569000小时以上。此外,曲柄连杆机构和旋转电机中的轴承可选用固体润滑滚动轴承、固体滑动轴承或低扩散润滑油脂轴承。
本实用新型提供的带有直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,该制冷机的活塞和排出器由直线滑轨轴承支撑,可保证制冷机的活塞和排出器在轴向往复运动过程的径向位置,减少和消除其与相应气缸间的磨损,提高制冷机工作寿命和可靠性。而且成本低、易于批量生产,其工作寿命可达5000小时以上。
附图说明
附图1为本实用新型的斯特林制冷机整体剖视图;
附图2-1为活塞组件结构示意图;
附图2-2为附图2-1的S-S剖视图;
附图2-3为附图2-1的P-P剖视图;
附图3为气缸体结构示意图;
附图4-1为排出器结构示意图;
附图4-2为附图4-1的Q-Q剖视图;
附图4-3为附图4-1的K-K剖视图;
附图5为冷缸体组件结构示意图;
其中: 曲轴8 活塞连杆9
排出器连杆6 压缩机活塞13
气缸体11 冷头排出器18 冷缸体4
压缩腔12 室温腔39 小孔径通道15
回热器3 冷腔体2 导轨20、28
滑块10、17 滚珠37、38 活塞滑块固定座14
排出器滑块固定座16 基准面A、B、C、D、A’、B’、C’、D’
导轨侧压块22、31 滑块侧压块24、33
滑块底垫19、29 活塞圆柱面M1
排出器圆柱面M1’、M1” 排出器滑块固定座圆柱面M2’
气缸体内圆柱面M4、M5 冷缸体内圆柱面M4’、M5’
活塞滑块固定座外圆柱面M2
螺钉21、23、25、26、27、30、32、33、34、35
具体实施方式
附图1为本实用新型的斯特林制冷机整体剖视图;由图可知,本实用新型带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,主要由压缩机、冷头、驱动电机、曲柄连接机构四部分组成,压缩机和冷头成90°布置,压缩机活塞13与冷头排出器18分别与由旋转电机驱动的曲柄连杆机构相连,所述活塞13和冷头排出器18分别与相应气缸的密封为间隙密封;曲柄连接机构的曲轴8同时与活塞连杆9和排出器连杆6相连,旋转电机通过曲轴8、排出器连杆6和活塞连杆9分别驱动压缩机活塞13在气缸体11中往复运动,驱动冷头排出器18在冷缸体4中往复运动;压缩腔12与冷头的室温腔39由小孔径通道15相连通;回热器3位于冷头排出器18内部,回热器3的两端分别与室温腔39和冷腔2相连通;
附图2-1为活塞组件结构示意图;附图2-2为附图2-1的S-S剖视图;附图2-3为附图2-1的P-P剖视图;附图3为气缸体结构示意图;由图可知,本实用新型在压缩机活塞13和气缸体11之间安装一直线滑轨轴承100,该直线滑轨轴承100由导轨20、滑块10和滚珠37组成,其导轨20与压缩机活塞13通过螺钉21固定连接,滑块10与活塞滑块固定本实用新型本实用新型本实用新型座14通过螺钉26固定连接,所述活塞滑块固定座14安装于气缸体11之内并成一体(图1中有示);
附图4-1为排出器结构示意图;附图4-2为附图4-1的Q-Q剖视图;附图4-3为附图4-1的K-K剖视图;附图5为冷缸体组件结构示意图;由图可知,在所述排出器18和冷缸体4之间安装一直线滑轨轴承200,该直线滑轨轴承200由导轨28、滑块17和滚珠38组成,其导轨28与冷头排出器18通过螺钉30固定连接,滑块17与滑块固定座16通过螺钉36固定连接,所述冷头排出器滑块固定座16安装于冷缸体4之内并成一体(图1中有示)。
所述的直线滑轨轴承100中的导轨20横截面为四方形,压缩机活塞13以导轨20的两相垂直的基准面C和D为基准面与导轨20定位配合;所述活塞滑块固定座14以滑块10的两相垂直的基准面A和B为基准面与滑块10定位配合;所述活塞滑块固定座14的外圆柱面M2与气缸体11的内圆柱面M5(图4所示)定位配合,最终保证所述气缸体11的另一内圆柱面M4与活塞13的外圆柱面M1之间均匀的密封间隙;
所述的直线滑轨轴承200的导轨28横截面为四方形,所述冷头排出器18以导轨28的两相垂直的基准面C’和D’为基准面与导轨28定位配合;所述冷头滑块固定座16以滑块17的两相垂直的基准面A’和B’为基准面与滑块17定位配合;所述冷头滑块固定座16的外圆柱面M2’与冷缸体4的内圆柱面M5’定位配合,最终保证冷缸体4的另一内圆柱面M4’与冷头排出器18的外圆柱面M1’和M1”之间均匀的密封间隙。
所述基准面A和B与气缸体11的轴线之间、基准面C和D与活塞13的轴线之间、基准面A’和B’与气缸体4的轴线之间以及基准面C’和D’与冷头排出器18的轴线之间的平行度和位置精度至少为6级。
在所述滑块10与活塞滑块固定座14之间的水平方向设有滑块侧压块24,用螺钉25推动滑块侧压块24,使滑块10的侧面与滑块固定座基准面B紧密接触;在所述滑块10与活塞滑块固定座14之间的垂直方向设有滑块底垫19,用螺钉27推动滑块底垫19,使滑块10上表面与滑块固定座基准面A紧密接触,最后用螺钉26将滑块10与活塞滑块固定座14固定成一体;
所述滑块17与滑块固定座16之间设有滑块侧压块33,用螺钉34推动滑块侧压块33,使滑块17的侧面与滑块固定座基准面B’紧密接触;在所述滑块17与滑块固定座16之间的垂直方向设有滑块底垫29,用螺钉35推动滑块底垫29,使滑块17上表面与滑块固定座基准面A’紧密接触,最后用螺钉36将滑块17与滑块固定座16固定成一体;
在所述导轨20与压缩机活塞13之间的水平方向设有导轨侧压块22,用螺钉23推动导轨侧压块22,使导轨20的侧面与活塞基准面C紧密接触,最后用螺钉21将导轨20与压缩机活塞13固定;
所述导轨28与冷头排出器18之间设有导轨侧压块31,用螺钉32推动导轨侧压块31,使导轨28侧面与排出器基准面C’紧密接触,最后用螺钉36将导轨28与冷头排出器18固定。
所述的活塞圆柱面M1和活塞滑块固定座圆柱面M2之间、排出器圆柱面M1’、M1”和排出器滑块固定座圆柱面M2’之间的同轴度至少为6级精度。
所述的气缸体11的内圆柱面M4和另一内圆柱面M5之间、冷缸体4的内圆柱面M4’和另一内圆柱面M5’之间的同轴度至少为6级精度。
制冷机内部充有一定压力的氦气。工作时,旋转电机通过曲柄连接机构6、8、9驱动压缩机活塞13在气缸体11中往复运动,旋转电机同时通过曲柄连接机构6、8、9驱动冷头的排出器18在冷缸体4中往复运动;排出器18与活塞13的运动相位差由曲柄连接机构6、8、9保持为冷头排出器18超前压缩机活塞13 90度;压缩腔12中的氦气在活塞13的往复运动过程中产生压力波,该压力波通过连接压缩腔12与室温腔39的小孔径通道15传至冷头的室温腔39,经排出器18内部的回热器3再进入冷腔2,氦气在冷腔体2内膨胀产生冷量;这种结构保证了制冷机按斯特林制冷循环运行,实现制冷降温。
在直线滑轨轴承100的作用下,压缩机活塞13沿轴向往复运动的同时,其径向位置得到保持,因而减少或避免了压缩机活塞13的外表面与气缸体11的内表面的摩擦,提高制冷机工作可靠性和寿命。
同样,在直线滑轨轴承200的作用下,冷头排出器18沿轴向往复运动的同时,其径向位置得到保持,因而减少或避免了冷头排出器18外表面与冷缸体4内表面的摩擦,提高制冷机工作可靠性和寿命。
Claims (7)
1、一种带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,主要由压缩机、冷头、驱动电机、曲柄连接机构四部分组成,压缩机和冷头成90°布置,压缩机活塞(13)与冷头排出器(18)分别与由旋转电机驱动的曲柄连杆机构相连,所述活塞(13)和冷头排出器(18)分别与相应气缸的密封为间隙密封;曲柄连接机构的曲轴(8)同时与活塞连杆(9)和排出器连杆(6)相连,旋转电机通过排出器连杆(6)、曲轴(8)和活塞连杆(9)分别驱动压缩机活塞(13)在气缸体(11)中往复运动,驱动冷头排出器(18)在冷缸体(4)中往复运动;压缩腔(12)与冷头的室温腔(39)由小孔径通道(15)相连通;回热器(3)位于冷头排出器(18)内部,回热器(3)的两端分别与室温腔(39)和冷腔(2)相连通;其特征在于:
在压缩机活塞(13)和气缸体(11)之间安装一直线滑轨轴承(100),该直线滑轨轴承(100)的导轨(20)和滑块(10)分别与压缩机活塞(13)和活塞滑块固定座(14)固定连接,所述活塞滑块固定座(14)安装于气缸体(11)之内并成一体;
在所述排出器(18)和冷缸体(4)之间安装一直线滑轨轴承(200),该直线滑轨轴承(200)的导轨(28)和滑块(17)分别与冷头排出器(18)和冷头排出器滑块固定座(16)固定连接,所述冷头排出器滑块固定座(16)安装于冷缸体(4)之内并成一体。
2、按权利要求1所述的带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,其特征在于,所述的直线滑轨轴承(100)中的导轨(20)横截面为四方形,所述压缩机活塞(13)以导轨(20)的两相垂直的基准面(C)和(D)为基准面与导轨(20)定位配合;所述活塞滑块固定座(14)以滑块(10)的两相垂直的基准面(A)和(B)为基准面与滑块(10)定位配合;所述活塞滑块固定座(14)的外圆柱面(M2)与气缸体(11)的内圆柱面(M5)定位配合,所述气缸体(11)的另一内圆柱面(M4)与活塞(13)的外圆柱面(M1)之间的密封间隙均匀;
所述的直线滑轨轴承(200)的导轨(28)横截面为四方形,所述冷头排出器(18)以导轨(28)的两相垂直的基准面(C’)和(D’)为基准面与导轨(28)定位配合;所述冷头滑块固定座(16)以滑块(17)的两相垂直的基准面(A’)和(B’)为基准面与滑块(17)定位配合;所述冷头滑块固定座(16)的外圆柱面(M2’)与冷缸体(4)的内圆柱面(M5’)定位配合,冷缸体(4)的另一内圆柱面(M4’)与排出器(18)的外圆柱(M1’)之间的密封间隙均匀。
3、按权利要求1所述的带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,其特征在于,所述基准面(A)和(B)与气缸体(11)的轴线之间、基准面(C)和(D)与活塞(13)的轴线之间、基准面(A’)和(B’)与气缸体(4)的轴线之间以及基准面(C’)和(D’)与冷头排出器(18)的轴线之间的平行度和位置精度至少为6级。
4、按权利要求1所述的带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,其特征在于,在所述滑块(10)与滑块固定座(14)之间的水平方向设有推动滑块(10)的滑块侧压块(24),滑块(10)的侧面与滑块固定座基准面(B)紧密接触;在所述滑块(10)与滑块固定座(14)之间的垂直方向设有滑块底垫(19),滑块(10)上表面与滑块固定座基准面(A)紧密接触;
所述滑块(17)与滑块固定座(16)之间设有推动滑块(17)的滑块侧压块(33),滑块(17)的侧面与滑块固定座基准面(B’)紧密接触;在所述滑块(17)与滑块固定座(16)之间的垂直方向设有滑块底垫(29),滑块(17)上表面与滑块固定座基准面(A’)紧密接触。
5、按权利要求1所述的带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,其特征在于,在所述导轨(20)与活塞(13)之间的水平方向设有推动导轨(20)的导轨侧压块(22),导轨(20)的侧面与活塞基准面(C)紧密接触;
所述导轨(28)与排出器(18)之间设有推动导轨(28)的导轨侧压块(31),导轨(28)侧面与排出器基准面(C’)紧密接触。
6、按权利要求1所述的带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,其特征在于,所述的活塞圆柱面(M1)和活塞滑块固定座圆柱面(M2)之间、排出器圆柱面(M1’)、(M1”)和排出器滑块固定座圆柱面(M2’)之间的同轴度至少为6级精度。
7、按权利要求1所述的带直线滑轨轴承支撑的斯特林制冷机,其特征在于,所述的气缸体(11)的内圆柱面(M4)和另一内圆柱面(M5)的同轴度、冷缸体(4)的内圆柱面(M4’)和另一内圆柱面(M5’)的同轴度至少为6级精度。
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2004
- 2004-04-19 CN CN 200420003982 patent/CN2700781Y/zh not_active Expired - Lifetime
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