CN2563685Y

CN2563685Y - 空气支承滑动器与支撑臂组合

Info

Publication number: CN2563685Y
Application number: CN 02271954
Authority: CN
Inventors: 罗伯特·艾尔特; 布鲁斯·伊莫; 加里·凯尔思克
Original assignee: Shenzhen Excelstor Technology Co Ltd
Current assignee: Shenzhen Excelstor Technology Co Ltd
Priority date: 2002-07-19
Filing date: 2002-07-19
Publication date: 2003-07-30
Anticipated expiration: 2012-07-19

Abstract

一种空气支承滑动器与支撑臂组合包括一空气支承滑动器及一支撑臂，其中该滑动器包括一个具削减部分的安装部，该削减部分形成一阶梯轮廓或斜面轮廓，该阶梯轮廓包括一邻近滑动器一侧壁的粘合面及一邻近另一侧壁的凹陷面，凹陷面比粘合面距离空气支承表面近，该斜面轮廓包括一邻近滑动器一侧壁的粘合面及一邻近另一侧壁的斜面，其中该斜面与粘合面形成一角度；该支撑臂包括一负载梁、一弯曲部及支撑弯曲部的负载梁环绕部，该弯曲部包括一安装板，其中该安装板具有一凹凸周边结构。

Description

空气支承滑动器与支撑臂组合

【技术领域】

本实用新型是关于一种硬盘，特别是指硬盘内的一种滑动器与支撑臂组合。

【背景技术】

现有磁头支撑装置包括一个具有一体成型的弯曲部的负载梁，此类支撑装置已为美国专利5,282,102所揭示。位于美国明尼苏达州的哈钦森技术公司(Hutchinson Techno1ogy，Inc.)在1992年9月14号出版的“1650型产品概要”(Type 1650 Product Summary)揭示了另外的磁头支撑装置。

请参阅图1A至图1D，现有的1650型支撑臂100包括一提升杆192、一负载梁101、一弯曲部110及支撑弯曲部110的负载梁环绕部103与104。该弯曲部110包括万向节150、横向连接部142与144、纵向连接部152及154及安装板160，弯曲部110上还形成有槽112、114、116及孔122、124、126、128，其中横向连接部142与144分别与万向节150相连，支撑部132、134、136及138分别将负载梁环绕部103及104与横向连接部142与144连接在一起，纵向连接部152及154将安装板160与万向节150连接在一起。

空气支承滑动器170包括一空气支承部171及一安装部172。该支承部171包括一对轨道174A与174B及一分隔174A与174B的分隔槽175，轨道174A与174B邻接侧壁177端各形成有斜面176A与176B。一读写装置178装于滑动器170的侧壁179上。

当滑动器170装于支撑臂100后，滑动器170的角184、186与188将覆盖负载梁环绕部103与104，该覆盖区用来阻挡非运行冲击使滑动器170所发生的Z向位移；角180是否受到支撑臂100的限制取决于滑动器170装于安装板160的位置(请参阅坐标系190，该坐标系适于下述有关描述)。X向及Y向转角被角184、186与188限制在10度以内。横向连接部142与144及纵向连接部152与154的刚度保持较高，以限制非运行冲击使滑动器170所发生的Z向位移。

1650型支撑臂与负载梁环绕部件的间隙通过下述方式实现：支撑部132、134、136及138呈斜向伸出负载梁环绕部103及104所在平面，使弯曲部110被提升于另外一个平面，横向连接部142与144所在平面与负载梁环绕部103及104所在平面相距t_L＝0.075mm，因此滑动器170与负载梁环绕部103及104在角184、186、188处的间隙为C_SL＝0.075mm。

横向连接部144一部分被蚀刻掉，使组成部144A比组成部144B薄。例如，通常负载梁厚度由t_L＝0.075mm蚀刻到t_F＝0.025mm，从而使滑动器170与组成部144A之间在区域182处的间隙达到C_AZ＝t_L-t_F＝0.050mm；横向连接部142与144相似，具有组成部142A与142B。万向节150厚度与组成部142A及144A相同。上述间隙为滑动器170未承受负载时的间隙值。

当滑动器170载入盘片时，由于支撑臂预载荷(通常为3到3.5克)的影响，使间隙C_SL减小到不足0.020mm，且间隙C_AZ减小到不足0.005mm，从而使横向连接部142与滑动器170在区域182处产生干涉，导致预载荷位置相对轨道174A及174B空气支承表面压力中心位置前移，改变了滑动器170的悬浮参数，极端情形下，将导致磁头破碎。

上述干涉问题在Z向冲击载荷下将会变得更复杂，在运行模式下，如果冲击载荷使支撑臂100向盘片发生移动，支撑臂100大范围的移动将导致滑动器170与承载梁环绕部103及104之间的间隙减小，当滑动器170的受到大于60克的冲击时，将会导致轨道174A及174B与盘片发生相撞。

干涉问题可通过增加间隙C_AZ与C_SL得到解决，但增加间隙需要定制的支撑臂设计，从而导致大量的机械设备重组更新，并需要大量的资金投入。

现有硬盘中，滑动器通过粘合在支承臂的安装板上而与支承臂结合在一起，当滑动器移入硬盘盘片，滑动器所携带的读写装置读写数据时，常由于各种原因使读写装置并非处于盘片上最佳位置，因此需要滑动器做出调整动作，使读写装置处于最佳位置，即需要调整与滑动器相连的支承臂的位置，因此支承臂必须保持在较小的刚度范围内才能方便的调整其运行姿态。

【发明内容】

本实用新型的目的在于提供廉价、简单形成所需滑动器和支承臂间隙及较小支承臂刚度的滑动器与支撑臂组合设计。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：本实用新型空气支承滑动器与支撑臂组合包括一空气支承滑动器及一支撑臂，其中该滑动器包括一个具削减部分的安装部，该削减部分形成一阶梯轮廓或斜面轮廓，该阶梯轮廓包括一邻近滑动器一侧壁的粘合面及一邻近另一侧壁的凹陷面，凹陷面比粘合面距离空气支承表面近，该斜面轮廓包括一邻近滑动器一侧壁的粘合面及一邻近另一侧壁的斜面，其中该斜面与粘合面形成一角度；该支撑臂包括一负载梁、一弯曲部及支撑弯曲部的负载梁环绕部，该弯曲部包括一安装板，其中该安装板具有一凹凸周边结构，且该负载梁环绕部上还可形成有槽口或蚀刻区。

通过上述技术方案，利用削减型滑动器和具有凹凸轮廓的安装板及具有槽口或蚀刻区的负载梁环绕部的支撑臂组合，蚀刻形成支撑臂及磨削形成削减型滑动器的工艺简单性，使工艺尺寸设计范围更大，且不需更换机械设备，节约资金投入，并可得到所需的刚度范围。

下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的描述。

【附图说明】

图1A是现有1650型支撑臂的俯视图。

图1B、1C、1D及1E分别是装有滑动器的1650型支撑臂的立体组合图、俯视图、沿线1D-1D的剖视图及部份放大图。

图2A是本实用新型空气支承滑动器的俯视图。

图2B是本实用新型空气支承滑动器的主视图。

图2C是本实用新型空气支承滑动器的仰视图。

图2D是本实用新型空气支承滑动器的右视图。

图2E、2F、2G及2H分别为本实用新型空气支承滑动器另一实施例的俯视图、主视图、仰视图及右视图。

图3A是图2A中空气支承滑动器与现有1650型支撑臂组合的俯视图。

图3B是沿图3A中线3B-3B的剖视图。

图3C是图3B中圆圈标示区域的放大图。

图3D是图2E中空气支承滑动器与现有1650型支撑臂组合的俯视图。

图3E是沿图3D中线3E-3E的剖视图。

图3F是图3E中圆圈标示区域的放大图。

图4A是本实用新型支撑臂的俯视图。

图4B是图4A中弯曲部的放大图。

图4C是沿图4B中线4C-4C的剖视图。

图4D是图4B中圆圈标示区域的放大图。

图4E是图2A中空气支承滑动器与图4A中支撑臂组合的俯视图。

图4F是图2E中空气支承滑动器与图4A中支撑臂组合的俯视图。

图5A是本实用新型支撑臂另一实施例的俯视图。

图5B是沿图5A中线5B-5B的剖视图。

图5C是图1B中现有空气支承滑动器与图5A支撑臂组合的俯视图。

图5D是沿图5C线5D-5D的剖视图。

图5E是图5D中圆圈标示区域的放大图。

图5F是图2A中空气支承滑动器与图5A中支撑臂组合的俯视图。

图5G是沿图5F线5G-5G的剖视图。

图5H是图5G中圆圈标示区域的放大图。

图5I是图2E中空气支承滑动器与图5A中支撑臂组合的俯视图。

图5J是沿图5I线5J-5J的剖视图。

图5K是图5J中圆圈标示区域的放大图。

图6A是本实用新型支撑臂又一实施例的俯视图。

图6B是沿图6A中线6B-6B的剖视图。

图6C是图2A中空气支承滑动器与图6A中支撑臂组合的俯视图。

图6D是沿图6C线6D-6D的剖视图。

图6E是图2A中空气支承滑动器与图6A中支撑臂组合的立体图。

图6F是图2E中空气支承滑动器与图6A中支撑臂组合的俯视图。

图6G是沿图6F中线6G-6G的剖视图。

图6H是图2E中空气支承滑动器与图6A中支撑臂组合的立体图。

【具体实施方式】

请参阅图2A至图2D，此为本实用新型空气支承滑动器的第一实施例，本实用新型空气支承滑动器200包括一空气支承部201及一安装部202。该空气支承部201包括用以提供空气支承表面的二轨道203A、203B。该二轨道203A、203B为一沟槽204隔开。该二轨道203A、203B邻近该空气支承滑动器200的侧壁206处各形成有斜面205A、205B。相对侧壁206还形成有另一侧壁207，该侧壁207可供安装读写装置290。

该安装部202具有一阶梯状轮廓210。该阶梯状轮廓210包括三个面：一邻近侧壁207的粘合面211、一邻近侧壁206的凹陷面212和一凹槽连接面213。其中凹陷面212比粘合面211距离轨道203A、203B的空气支承面更近，因此当空气支承滑动器200安装于一个支撑臂上时，凹陷面212比粘合面211离支撑滑动器的负载梁环绕部分远。

粘合面211的长为l_A，宽为W；粘合面211距轨道203A、203B的空气支承表面为第一距离t_AA；凹陷面212的长为l_N；空气支承器200总长为L，其中，l_A+l_N＝L。凹陷面212距轨道203A、203B的空气支承表面为第二距离t_NA，因此凹陷深度d_N＝t_AA-t_NA。粘合面211与凹陷面212通过连接面213相连，连接面213的曲率半径为r_N。

安装部202由于阶梯状轮廓210形成超过四个角，其中，两个凹陷角221、222由侧壁206、凹陷面212、前壁208和后壁209交汇形成，粘合角225、226由侧壁207、粘合面211、前壁208和后壁209交汇形成，凹陷粘合角223、224由凹陷连接面213、粘合面211、前壁208和后壁209交汇形成。

本实施例中，凹陷面212由磨削形成。该空气支承滑动器200宽W＝1.600mm，长L＝2.032mm，厚，即第一距离t_AA＝0.432。凹陷面212长l_N＝0.600mm，粘合面211长l_A＝1.432mm，空气支承滑动器200在凹陷面212处的厚度，即第二距离t_NA＝0.352mm，因此凹陷深度d_N＝0.080mm，连接面213的曲率半径r_N＝0.080mm。

请参阅图2E至图2H，此为本实用新型空气支承滑动器的第二实施例，本实用新型空气支承滑动器250包括一空气支承部251及一安装部252。其中，空气支承部251和空气支承滑动器200的空气支承部201相同。

安装部252具有一渐变斜面轮廓260。该渐变斜面轮廓260包括两个表面：一邻接侧壁257的粘合面261和一邻接另一侧壁256的斜面262。

粘合面261具有与前述粘合面211相同的长l_A与宽W，且空气支承滑动器250在轨道253A、253B的空气支承表面和粘合面261之间的厚度t_AA与空气支承滑动器200的厚度t_AA相同。

斜面262长l_T，且斜面长l_T与滑动器200的凹陷面212的长l_N相同，空气支承滑动器250的总长L与空气支承滑动器200相同，且满足公式l_T+l_A＝L。斜面262和粘合面261交于线263，其所形成倾斜角为θ。在侧壁256处，滑动器250倾斜面262和轨道253A、253B的空气支承表面之间的厚度为t_TA，且t_TA和图2F中的t_NA相同。其中斜面高度d_T满足d_T＝t_CA-t_TA，且斜面高度d_T和滑动器200的凹陷深度d_N相同，角度θ满足tanθ＝(d_T/l_T)，在本实施例中，θ＝0.13弧度。

请参阅图3A至3C，此为本实用新型空气支撑滑动器和现有支撑臂的组合实施例，当空气支承滑动器200安装于现有支撑臂100后，凹陷面212和横向连接部142的组成部142A在区域228处形成滑动器-弯曲部间隙C_NF，该间隙C_NF＝0.130mm，由于凹陷深度d_N＝0.080mm的影响，该间隙比公知滑动器-弯曲部间隙大一个凹陷深度0.080mm，且凹陷面212和支撑臂100间，即滑动器200的角221、222及226处和负载梁环绕部分103、104间的滑动器-负载梁间隙C_NI＝0.155mm，该间隙也比公知滑动器-负载梁间隙C_NL大一个凹陷深度d_N。

请参阅图3D至3F，此为本实用新型空气支撑滑动器和现有支撑臂的组合的另一实施例，当空气支承滑动器250安装于现有支撑臂100后，斜面262和横向连接部142的组成部142A之间形成滑动器-弯曲部间隙C_TF，间隙C_TF与前述间隙C_NF相同，且滑动器-负载梁间隙C_TL也与前述间隙C_NL相同。

因此削减型滑动器(如上述两种滑动器200与250，其分别具有磨削面：凹陷面212与斜面362)消除了滑动器安装部与负载梁环绕部103及104间的干涉，且该类削减型滑动器覆盖了负载梁环绕部103、104，当空气支承滑动器从磁盘移出时，凹陷面212或斜面262将会限制空气支承滑动器发生角度偏移。凹陷深度d_N或斜面高度d_T可据需要在磨削过程中轻易改变，从而消除现有技术需要重组机械设备的缺点。

为保证读写装置更好地读写及稳定地性能表现，必须在一定的精度范围内维持空气支承滑动器的悬浮高度，因此支撑臂的X向及Y向扭转刚度必须保持在较小值，如小于3.0μNmm/deg的范围内。为提高滑动器支撑臂组合的性能，常通过减小支撑臂X向及Y向刚度及在滑动器上加重负载来实现。减小刚度的做法需要更大的滑动器安装部与承载臂103及104间的间隙，该间隙由如凹陷面212及斜面262的削减区域形成。

请参阅图4A至4F，此为本实用新型支撑臂的第一实施例，支撑臂400包括一提升杆480、一负载梁401和一弯曲部410，该弯曲部410和负载梁401一体成型。

弯曲部410包括横向连接部442、444、支撑部432、434、436、438、安装板460、万向节450及纵向连接部454、456，弯曲部410上还开有弯曲槽412、414、弯曲孔422、424及安装板孔426、428。支撑部432、434支撑横向连接部442，支撑部436、438支撑横向连接部444。支撑部432、434、436及438和后续图6E中支撑部均为倾斜设置，安装板460被提升于负载梁401所在平面以上的另一平面，安装板460用于支撑滑动器。横向连接部442、444和环形万向节450相连。万向节450通过纵向连接部454、456和安装板460相连。

安装板460具有独特地凹凸周边结构，其包括两个外凸缘462A、462B、两个内凹缘464A、464B及一个H状的粘结剂储存槽468。内凹缘464A、464B之间的距离d_I比外凸缘462A、462B间的距离d_o短。如图4D所示，内凹缘464A为点划线466包围部分。外凸缘462A和内凹缘464A的连接点463A距万向节450的内缘452A为d_WMIN且内凹缘464A和纵向连接部454间的点465A距内缘452A为d_WMAX。

安装板460外凸缘462A距万向节450的内缘452A为第一距离，内凹缘464A距万向节450的内缘452A为第二距离，第一距离与第二距离在连接点463A处相等，在内凹缘464A其他各点处则第二距离比第一距离远。内凹缘464A、464B使纵向连接部454、464比公知纵向连接部更长，从而减小支撑壁400的X向刚度。

负载梁环绕部403包括一内缘，其内缘由壁403A、403B、403C组成；负载梁环绕部404内缘则由壁404A、404B、404C组成。壁403A、403B、403C、404A、404B、404C的方向及长度使得当滑动器200装于安装板460后，该滑动器200的四角221、222、224及226覆盖负载梁环绕部403与404。

请参阅图4E，此为本实用新型第一空气支承滑动器和本实用新型支承臂组合的实施例，本当空气支承滑动器200安装于支撑臂400后，其Z向的移动被负载梁403在角224、226处阻挡。

通过控制凹陷面212的深度、弯曲部410的厚度及纵向连接部454、456的长度使X向和Y向的刚度得到优化，同时保持角度偏移限制。空气支承滑动器200装于支撑臂400后和现有技术相比所产生的X及Y向的刚度变化如下表所示：

滑动器/支撑臂	X向刚度	Y向刚度
滑动器/支撑臂	X向刚度	Y向刚度	1650型	9.6μNmm/deg	4.4μNmm/deg
1650LS型	5.7μNmm/deg	2.6μNmm/deg	1650型	9.6μNmm/deg	4.4μNmm/deg
1650LS型	5.7μNmm/deg	2.6μNmm/deg	滑动器200/支撑臂400	2.5μNmm/deg	2.1μNmm/deg

请参阅图4F，此为本实用新型第二空气支承滑动器和本实用新型支承臂组合的实施例，空气支承滑动器250装于支撑臂400的情形，滑动器250覆盖负载梁环绕部403、404，同时以与前述滑动器200相似的方式形成所需间隙。

随着支承臂400在X向及Y向刚度的减小，Z向刚度也将随着减小，因此可通过下述技术对支承臂400进行改进。

请参阅图5A至图5B，此为本实用新型支承臂的另一实施例，支撑臂500和前述支撑臂400相似，包括一提升杆580及一负载梁501。该负载梁501包括负载梁孔502、弯曲槽512、514、支撑体532、534、536、538、横向连接部542、544、万向节550、安装板孔526、528及安装板560，其中该安装板560还包括一粘结剂储存槽568。负载梁环绕部503、504分别包括两蚀刻区570、580。蚀刻区570包括位于负载梁环绕部503内部的侧壁572、576、579及共用的负载梁环绕部503内缘503I。

蚀刻区570厚度为t_E，负载梁厚度为t_L，通过去除负载梁厚度为d_E的材料形成蚀刻区570，其中d_E＝t_L-t_E。当滑动器170装于支撑臂500上时，蚀刻区570比滑动器170与负载梁环绕部503的覆盖区面积大，侧壁572、579间的距离L_E比滑动器170长度L_S大0.05到0.08mm，因此滑动器170的角184与188落入蚀刻区570角574、578的邻近区域内。

蚀刻区580包括侧壁582、586、589及共用的负载梁环绕部504内缘504I。侧壁582、589间的距离L_E比滑动器170长度L_S大，因此滑动器170的角180、186落入蚀刻区580的角584、588的邻近区域内。

蚀刻区570的侧壁576和蚀刻区580的侧壁586相距W_I，滑动器的宽度W_S比W_L小，滑动器170及负载梁环绕部503、504的相覆盖部分将落入蚀刻区570、580的范围内。

请参阅图5C至图5E，此为现有滑动器和本实用新型支承臂组合的实施例，滑动器170的安装部172和支撑臂500的横向连接部542间的间隙C_AZ于区域182处至少与现有滑动器的弯曲部间隙相等。角184、186、188、180和支撑臂500间的间隙C_SEL比CAZ大一个蚀刻深度d_E＝0.050mm。

支撑臂500消除了负载梁环绕部503、504与滑动器170间由于运行冲击载荷产生的干涉，该负载梁环绕部503、504的蚀刻设计减少了承载臂发生共振的可能，同时保持支撑臂成对称结构，且当受到非运行冲击及急停冲击时，滑动器170的过行程在移过蚀刻深度d_E＝0.050mm的额外间隙后，将会在蚀刻区接触支撑臂500而被限制，从而通过限制过行程达到防止支撑臂永久变形的目的。

请参阅图5F至5H，此为本实用新型第一空气支承滑动器和本实用新型组合的实施例，滑动器200装于支撑臂500后，滑动器200的安装部202和支撑臂500的横向连接部542在区域228处的间隙C_NF比间隙C_AZ大一个凹陷深度d_N，角221、222、226、225与支撑臂500间的间隙C_NEL比前述间隙C_SEL大一个凹陷深度d_N。

请参阅图5I至5K，本实用新型第二空气支承滑动器和本实用新型组合的实施例，滑动器250装于支撑臂500后，安装部252和横向连接部542间的间隙C_TF与前述间隙C_NF相同，角271、272、276、275与支撑臂500间的间隙C_TEL和前述间隙C_NEL相同。

请参阅图6A至6B，此为本实用新型支承臂的又一实施例，支撑臂600和前述支承臂400相似，该支撑臂600包括负载梁601，该负载梁601包括负载梁孔602、弯曲槽612、614、支撑体632、634、636、638、横向连接部642、644、万向节650、安装板孔626、628及安装板660，其中该安装板660还包括一粘结剂储存槽668。

负载梁环绕部603、604分别于内缘603I、604I上蚀刻形成槽口，以避免滑动器200的粘合面211的角223、224、225、226和负载梁环绕部603、604相接触。内缘603I、604I的轮廓可避免被滑动器200或250的粘合面211或261所覆盖。当滑动器200或250在Z向发生移动时，该槽口使得粘合面211或261轻易地越过负载梁环绕部603与604，因此粘合面211或261轮廓比内缘603I与604I小。

内缘603I包括壁603A、603B、603C、603D、603E，且壁603B、603D间的距离比粘合面211或261的长度l_A大；内缘604I包括壁604A、604B、604C及位于壁604C的点604D处的凹槽。壁604C、603C在点604D处的距离比滑动器200或250的宽度W大。

请参阅图6C，滑动器200的角223、224、225、226没有覆盖负载梁环绕部603、604，因此粘合面211可自由沿Z向滑动而不受负载梁环绕部603、604阻挡。类似地，滑动器250的粘合面261也可自由沿Z向滑动。

然而，滑动器200与250的削减部分如凹陷面212和斜面262则覆盖了负载梁环绕部603、604，如果滑动器200Z向移动大于间隙C_NL则滑动器200的角221、222将与负载梁环绕部603、604相接触。当滑动器200从盘片上移出时(参阅图3C)，凹陷面212所形成的覆盖区就限制了滑动器200的角偏移，斜面262也有相似地功用。

利用削减型滑动器与具有凹凸轮廓的安装板及开有槽口的负载梁环绕部的支撑臂600的组合，将会明显减小X向及Y向的刚度，同时提供了对非运行冲击载荷的角限制制动；蚀刻形成支撑臂及磨削形成削减型滑动器的工艺简单性，使工艺尺寸设计范围更大，且可方便的得到所需的低刚度。

Claims

1.一种空气支承滑动器与支撑臂组合，滑动器包括两相对侧壁、一空气支承部及一安装部；支撑臂是用于支撑该滑动器，其包括一负载梁及与负载梁一体成型的弯曲部，该负载梁包括第一负载梁环绕部及第二负载梁环绕部，该弯曲部包括一安装板及一环形万向节，其特征在于：该滑动器的安装部包括一粘合面及一削减部，削减部与一侧壁相交，支撑臂的安装板具有一凹凸周边结构，且该滑动器的粘合面可从第一及第二负载梁环绕部间穿过，其中，该滑动器通过其粘合面与安装板的结合与支撑臂装于一起，该滑动器沿垂直于安装板方向的运动由该削减部与支撑臂的接触而得到限制。

2.如权利要求1所述的空气支承滑动器与支撑臂组合，其特征在于：该削减部为一阶梯凹陷部。

3.如权利要求1所述的空气支承滑动器与支撑臂组合，其特征在于：该削减部为一斜面。

4.如权利要求1所述的空气支承滑动器与支撑臂组合，其特征在于：该万向节厚度比第一或第二负载梁环绕部薄。

5.如权利要求1所述的空气支承滑动器与支撑臂组合，其特征在于：该安装板的凹凸周边结构包括一对相对的外凸缘及一对相对的内凹缘，外凸缘与内凹缘交替布置，外凸缘之间的距离比内凹缘之间的距离大。

6.如权利要求1所述的空气支承滑动器与支撑臂组合，其特征在于：该安装板包括一蚀刻部分，该蚀刻部分形成一粘合剂储存槽。

7.如权利要求6所述的空气支承滑动器与支撑臂组合，其特征在于：该粘合剂储存槽为一H状。

8.如权利要求1所述的空气支承滑动器与支撑臂组合，其特征在于：该弯曲部还包括一纵向连接部，该弯曲部使支撑臂X向刚度不大于2.5微牛毫米每度(μNmm/deg)。

9.如权利要求1所述的空气支承滑动器与支撑臂组合，其特征在于：该弯曲部还包括一纵向连接部，该弯曲部使支撑臂X向刚度不大于2.1微牛毫米每度(μNmm/deg)。

10.如权利要求1所述的空气支承滑动器与支撑臂组合，其特征在于：该弯曲部使支撑臂Y向刚度不大于2.5微牛毫米每度(μNmm/deg)。