CN2460229Y - 干燥气化装置 - Google Patents

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CN2460229Y CN 01202436 CN01202436U CN2460229Y CN 2460229 Y CN2460229 Y CN 2460229Y CN 01202436 CN01202436 CN 01202436 CN 01202436 U CN01202436 U CN 01202436U CN 2460229 Y CN2460229 Y CN 2460229Y
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Abstract

本实用新型提供一种干燥气化装置,由文式管、异丙醇或酒精容器及位于其中的气化基座等相互连接组成。流经文式管的高压空气产生的真空吸力将异丙醇或酒精注入所述容器中的预定液面,通入气化基座的隋性氮气作为异丙醇或酒精溶液的搅拌及携载气体使所述溶液在密闭环境下不与空气接触且又无需加热源,容器内不蓄压,故使用安全,且因无需加装防爆及周边安全装置而使成本较低,操作简便,更可提供较佳的干燥效果。

Description

干燥气化装置
本实用新型指一种干燥气化装置，即可以在常温状态下将异丙醇(IPA)(或酒精)气化，相对具有较佳的安全性，且因无须加装防爆装置以及复杂的周边安全控制设备因而成本低，且其操作简单无须专业技术人员，便于人力运用，另外由于气化后的异丙醇(IPA)(或酒精)可完全均匀地布满欲干燥的空间，而相对可提供较佳的干燥效果。
一般提供半导体晶圆干燥机或其他干燥机所使用的异丙醇(IPA)(或酒精)气化装置是将异丙醇(IPA)(或酒精)经喷雾喷嘴或将异丙醇(IPA)(或酒精)加热产生热蒸气，并非常温的将异丙醇(IPA)(或酒精)气化，又因异丙醇(IPA)(或酒精)为易燃、低闪火点的特性，故加热方式需完整的防爆装置及繁杂的周边安全控制，不但成本高，且亦需配合专业的作业人员才能操作，而喷雾的方式又因异丙醇(IPA)(或酒精)经喷雾喷嘴喷出依然是液态水无法完全均匀布满空间，因而有鉴于此，本设计者经过不断的研究设计而创作出一种干燥气化装置。
本实用新型的目的是提供一种使用安全、成本低廉、操作简单、便于运用且干燥效果好的干燥气化装置。
本实用新型一种干燥气化装置，包括一个上方具有多个连接口的容器、一具若干喷嘴的气化基座及一文氏管吸入器，高压空气经管路送入文氏管吸入器至另一端出口排出，该文氏管吸入口处产生真空吸力，经管路与所述容器上方连接口将容器内的空气吸出，使该容器产生真空吸力，故异丙醇可由管路经容器的入口管路将异丙醇注入至所预定高度的水液面而形成异丙醇溶液，随即将惰性氮气经输送管送入位于容器内的气化基座，经该气化基座所设多个喷嘴喷出在异丙醇溶液中；使惰性氮气形成螺旋状气泡搅拌异丙醇，而惰性氮气气泡则上升至液面破裂时将异丙醇激化而产生常温异丙醇气体。其中该异丙醇亦可由酒精替代。
本实用新型的优点是：1．可以在常温状态下将异丙醇(IPA)(或酒精)气化，相对具有较佳的安全性，且因无须加装防爆装置以及复杂的周边安全控制设备而具有低成本的优点；2．操作简便无须专业技术人员，便于人力运用；3．气化后的异丙醇(IPA)(或酒精)可完全均匀地布满欲干燥的空间，而相对可提供较佳的干燥效果。
现配合附图及实施例详加说明于后：
图1是本实用新型实施例异丙醇(IPA)气化器结构示意图。
图2是本实用新型实施例异丙醇(IPA)气化器的操作状态示意图。
图3是本实用新型实施例其中气化基座的立体断面放大图。
图4是本实用新型实施例其中气化基座的立体放大图。
如图1至图4所示，为本实用新型的较佳实施例，其中该干燥气化装置主要是可提供常温的异丙醇(IPA)(或酒精)气体供半导体晶圆干燥机使用，其包括有一个上方具有多个连接口101、102、103的容器10、一具若干喷嘴141的气化基座14、一文氏管吸入器11等构件，通过将高压空气经管路18送入文氏管吸入器11至另一端出口19排出，使文氏管吸入口处20产生真空吸力，经管路22与异丙醇(IPA)容器(或酒精容器)10上方连接口101将异丙醇(IPA)容器(或酒精容器)10内的空气吸出，因而使异丙醇(IPA)容器(或酒精容器)10产生真空吸力，故异丙醇(IPA)(或酒精)可由管路23经容器10的入口管路104将异丙醇(IPA)(或酒精)注入至所预定高度的水液面17而形成异丙醇(IPA)溶液(或酒精溶液)，随即将惰性氮气(N2)经输送管16送入气化基座14，经该气化基座14所设多个喷嘴141喷出在异丙醇(IPA)溶液(或酒精溶液)中，使惰性氮气(N2)形成螺旋状气泡搅拌异丙醇(IPA)(或酒精)，而惰性氮气(N2)气泡则上升至液面破裂时将异丙醇(IPA)(或酒精)激化而产生常温异丙醇(IPA)气体(或酒精气体)，并经由惰性氮气(N2)不断搅拌，在前述气化过程中因使用惰性氮气(N2)作为搅拌及携载气体，使异丙醇(IPA)(或酒精)在密闭环境下不与空气接触且又无加热源，异丙醇(IPA)容器(或酒精容器)10内不蓄压，故使用安全，在使用时只需供应惰性氮气(N2)即可得到气化后无污染的异丙醇(IPA)(或酒精)，由惰性氮气(N2)携带使用。

Claims (2)

1．一种干燥气化装置，其特征在于该装置包括一个上方具有多个连接口的容器、一具若干喷嘴的气化基座及一文氏管吸入器，高压空气管路与文氏管吸入器相连，该文氏管吸入器的另一端有一出口，其吸入口经管路与所述容器上方一连接口相连，异丙醇输送管路经容器的入口管路与该容器上方的另一连接口相连，惰性氮气输送管与位于容器内的气化基座相连通，该气化基座上设多个喷嘴。
2．根据权利要求1所述的干燥气化装置，其特征在于所述异丙醇可由酒精替代。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101175579B (zh) * 2005-05-13 2012-06-27 兰姆研究股份公司 干燥表面的方法

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