CN2398624Y - 流体压力传感器 - Google Patents
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Abstract
流体压力传感器,涉及一种压力传感器,为解决硅压力传感器反应信号弱、精度低、在腐蚀性介质中使用不便而设计。其特征在于主要由压力敏感元件、电容测微器所组成。瓶状壳体1内装有电容测微极片组的固定极片32、活动电极片31,活动极片31与石英玻璃膜片4相接触,石英玻璃膜片4受压变形引起电容活动极片位移,检测位移产生的信号来测量压力变化。它结构简单,测量精度高,能在腐蚀性介质中直接使用,主要适用于液体、气体压力的自动检测。
Description
本实用新型涉及一种压力传感器。
目前普遍采用硅压力传感器作压力检测元件，其工作原理是：压力作用在硅片上使硅片变形导致蚀刻在硅片上的桥路电阻阻值变化，由输出电信号来检测压力的变化。但硅压力传感器的稳定、零漂及精度等都无法达到较高的指标。原因是：硅片变形为非完全弹性变形，电阻桥路的输出电信号较弱(～30mv)；传感器在液体中使用时还需通过金属膜片和硅油传递压力。使硅压力传感器结构较复杂，滞迟误差较大，总精度很难优于0.1％，硅压力传感器也不宜在腐蚀性介质中使用。
本实用新型的目的在于提供一种稳定性好，零漂及滞迟误差小，输出信号強，总精度高，且能直接在腐蚀性介质中使用的压力传感器。
为达到上述目的，本实用新型的技术方案是：该传感器的外壳为上端有口、下端无底的圆瓶状，在外壳的中下段装有一与内壁尺寸形状相同的倒置杯状体，旣杯状体的口向下，杯状体的杯底面上制有通孔，在杯状体内装电容测微极片组的两个平行且有一定间距的中心有孔的固定极片，在两个固定极片之间设置一活动极片，活动极片上的中心连杆穿过固定极片中心孔与设置在杯状体杯口端面上的弹性膜片中心相接，在弹性膜片的下面装有与弹性膜片形状大小相同的中心有一圆孔的压圈，压圈与弹性膜片相对应面的圆周边缘上制有密封槽，密封槽内装有密封圈，盖面上带孔的底盖压紧压圈与圆瓶状外壳连成一体，连接电容测微极片组的导线通过杯状体的底面上的通孔接在圆瓶状外壳内的电子线路板上，电子线路板的引出线穿过圆瓶状外壳上端的瓶口对接检测仪器，引出圆瓶状外壳瓶口的导线装入防护套内，防护套在圆瓶状外壳瓶颈部用密封胶封死。
下面结合实施例及其附图详细叙述本实用新型流体压力传感器的结构细节及使用情况。
图1是本实用新型流体压力传感器的结构示意图。
参照图1，该传感器不锈钢圆瓶状外壳1为上有瓶口下端无瓶底的的圆瓶状体，圆瓶状外壳1从中下段起至底口，在内壁上制有直台阶的圆瓶状壳体(1)的内径增大段，在近底口内壁上制有螺纹，在外壳内径增大部分的直台处，装有与圆瓶状外壳内径增大部分相匹配的倒置石英玻璃质的杯状体2，杯状体2的口向下，杯状体的杯底面上制有通孔，在杯状体2内装有电容测微极片组的两个平行并有一定间距的中心有孔的固定极片32，在两个固定的极片之间设置一活动极片31，活动极片31上的中心连杆穿过固定极片32的中心孔与设置在杯状体2杯口端面上的厚度为0.15～0.5mm的石英玻璃膜片4中心相接，在石英玻璃膜片4的下面装有中心有圆孔的压圈5，压圈与石英玻璃膜片4相对应面的圆周边缘上制有密封槽，密封槽内装有密封圈6，盖面上带孔的制有与圆瓶状外壳(1)下端开口处的内螺纹相配合的有外螺纹的旋塞式底盖7旋紧压圈5；连接电容测微极片组的固定极片32、活动极片31的导线通过杯状体2的底面上的通孔连接在圆瓶状外壳1内上方的电子线路板8上，电子线路板8的引出线穿过圆瓶状外壳1上端的瓶口对接检测仪器，引出圆瓶状外壳1瓶口的导线装入防护套9内，防护套9在圆瓶状外壳1的瓶颈部用密封胶封死。
本传感器在检测现场应用时，先将线路与检测仪器接通后，校验仪器，随后将传感器放入被测流体中，如测水井内水的压力变化，当井水压力变化时，石英玻璃膜片受压后带动电容测微极片组的活动极片产生位移将位移转換成电压信号输出，在仪器上显示压力变化。
本实用新型的优点：1、压力敏感元件采用石英玻璃膜片，该膜片具有完善的弹性特性，采用该压力敏感元件的传感器迟滞误差小，总精度高；2、石英玻璃膜片的稳定性好，该压力传感器密封好，可直接在腐蚀性介质中使用；3、与硅压力传感器相比，输出信号強，便于仪器检测。
Claims (3)
1：流体压力传感器，包括压力敏感元件、测微器，其特征在于压力敏感元件为弹性膜片，测微器为电容测微器，具体结构为该传感器不锈钢外壳为上有瓶口下端无底的圆瓶状外壳(1)，在圆瓶状外壳(1)中下段内壁上装有倒置石英玻璃质的杯状体(2)，杯状体(2)的杯底面上制有通孔，在杯状体(2)内装有电容测微极片组的两个平行且有一定间距的中心有孔的固定极片(32)，在两个固定极片(32)之间设置一活动极片(31)，活动极片(31)上的中心连杆穿过固定极片(32)中心孔与设置在杯状体(2)杯口端面上的厚度为0.15～0.5mm的石英玻璃膜片(4)中心相接触，在石英玻璃膜片(4)的下面装有与石英玻璃膜片(4)形状大小相同的中心有一圆孔的压圈(5)，压圈(5)与石英玻璃膜片(4)相对应面的圆周边缘上制有密封槽，密封槽内装密封圈(6)，盖面上带孔的底盖(7)压紧压圈(5)与瓶状外壳(1)连成一体；连接电容测微极片组的固定极片(32)和活动极片(31)的导线通过杯状体(2)的底面上的通孔连接在圆瓶状外壳(1)内的上部电子线路板(8)上，电子线路板的引出线穿过圆瓶状外壳(1)上端瓶口对接检测仪器，引出圆瓶状外壳(1)瓶口的导线装入防护套(9)内，防护套(9)在圆瓶状外壳(1)的口颈处用密封胶封死。
2：根据权利要求1所述的流体压力传感器，其特征在于所述的圆瓶状壳体(1)从中下段起至底口，在内壁上制有直台阶的圆瓶状壳体(1)的内径扩大段，在近底口内壁上制有螺纹。
3：根据权利要求1所述的流体压力传感器，其特征在于所述的圆瓶状壳体的底盖(7)为带外螺纹的旋塞式底盖。
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|---|---|---|---|
| CN 99245181 CN2398624Y (zh) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 流体压力传感器 |
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| CN 99245181 CN2398624Y (zh) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 流体压力传感器 |
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| Publication Number | Publication Date |
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| CN2398624Y true CN2398624Y (zh) | 2000-09-27 |
Family
ID=34031130
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| CN 99245181 Expired - Fee Related CN2398624Y (zh) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 流体压力传感器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2398624Y (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100443891C (zh) * | 2001-07-10 | 2008-12-17 | 哈拉尔德·本尼斯塔德 | 电容式传感器装置 |
| CN103674392A (zh) * | 2012-09-12 | 2014-03-26 | 株式会社鹭宫制作所 | 压力传感器 |
| CN106517118A (zh) * | 2016-11-08 | 2017-03-22 | 广东先导稀材股份有限公司 | 电子级红磷的制备装置及方法 |
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1999
- 1999-10-25 CN CN 99245181 patent/CN2398624Y/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100443891C (zh) * | 2001-07-10 | 2008-12-17 | 哈拉尔德·本尼斯塔德 | 电容式传感器装置 |
| CN103674392A (zh) * | 2012-09-12 | 2014-03-26 | 株式会社鹭宫制作所 | 压力传感器 |
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