CN2387549Y - 8微米长波通滤光片 - Google Patents
8微米长波通滤光片 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2387549Y CN2387549Y CN 99226997 CN99226997U CN2387549Y CN 2387549 Y CN2387549 Y CN 2387549Y CN 99226997 CN99226997 CN 99226997 CN 99226997 U CN99226997 U CN 99226997U CN 2387549 Y CN2387549 Y CN 2387549Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- utility
- model
- film
- substrate
- lead telluride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
一种8微米红外长波通滤光片,它是以锗为基底,硒化锌、碲化铅为膜层材料,采用真空蒸镀制备的干涉滤光片。该滤光片主膜系设计了减薄膜系两边高折射率碲化铅膜层的厚度,修正了透过波段因折射率失配产生的波纹,具有良好的光谱性能,并且降低了对蒸镀膜层厚度精度的要求。本实用新型适于批量生产,成品率高,适合于航天仪器热红外大气窗口、红外光栅截除高阶次峰干扰等使用。
Description
本实用新型涉及滤光片,具体地说涉及干涉滤片。
8微米长波通滤光片是一种用于航天、航空仪器的大气热红外窗口或抑制红外光栅高阶次峰的光学薄膜器件。现有技术的膜层结构,在制造时由于膜层厚度监控精度要求高等原因,所以成品率较低,使得产品的成本较高。
本实用新型的目的,是提供一种8微米长波通滤光片。
本实用新型是这样实现的,即,以表面抛光的锗板作为基板,在其两个面分别交替镀有多层碲化铅膜层和硒化锌膜层,其中,第一面主膜系为nS/0.5L0.78HLHLHLHLHLHLHL0.78H2L/n0,第二面膜系为nS/(0.5LH0.5L)82.7L/n0,式中各符号的含义分别为:nS表示锗基板;L表示λ0/4硒化锌膜层;H表示λ0/4碲化铅膜层;n0表示空气,中心波长λ0,对于第一面主膜系及第二面膜系分别为5.7微米和4微米。
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的详述。
图1是本实用新型滤光片的结构示意图;
图2是本实用新型滤光片的第一面主膜系的光谱计算曲线图;
图3是本实用新型滤光片的第二面膜系的光谱计算曲线图;
图4是本实用新型滤光片的理论计算光谱曲线图;
图5是本实用新型滤光片的实测光谱曲线图。
参阅图1,本实用新型滤光片包括一块基板1,在该基板1的两面分别镀有多层干涉薄膜2、3。本实用新型以表面抛光的锗板作为基板1,其外形和厚度可视实际需要而定,例如采用直径为10毫米、18毫米、20毫米或25毫米的圆形,厚度介于0.5毫米-1.5毫米之间。基板1两面的多层干涉薄膜2、3系由互相交替间隔的碲化铅膜2和硒化锌膜3组成,在本实用新型中,是通过真空蒸镀将高折射率碲化铅膜料和低折射率硒化锌膜料按设计的膜系分别交替蒸镀在基片1的两个面上。
其中,设计的第一面主膜系为
nS/0.5L0.78HLHLHLHLHLHLHL0.78H2L/n0;
第二面膜系为:
nS/(0.5LH0.5L)82.7L/n0,
式中各符号的含义分别为:nS表示锗基板;L表示λ0/4硒化锌膜层;H表示λ0/4碲化铅膜层;n0表示空气,中心波长λ0,对于第一面主膜系及第二面膜系分别为5.7微米和4微米。
本实用新型采用反射式多级次间接直控光电法来监控膜层蒸镀的厚度,由于上述所设计的膜系,在蒸镀时对于膜层的监控的精度要求降低,因此,不仅使本实用新型滤光片的制造简便,而且还使成品率提高。本实用新型的主膜系设计中,采用了减薄膜系两边碲化铅H层来修正长波透过处的波纹。
图5给出了本实用新型滤光片的实测光谱曲线,具体地,本实用新型8微米长波通滤光片的实测性能如下:
1、成品外形:直径φ10、φ18、φ20、φ25等,
厚度d为0.5mm~1.5mm。
2、工作波段:8μm-14μm,平均透过率
T≥78%
3、截止区域:λ≤7.3μm,平均透过率
T≤1%。
综上所述,本实用新型具有以下有益效果:
1、8微米长波通滤光片特性指标优良,透过率高,通带波纹小、截止波段宽、截止深度好。
2、本技术方案合理可行,使产品具有成品率高,可批量生产的特点,产品性能稳定,满足使用要求。
3、该滤光片对于大气热红外窗口具有高的收集能量,而对于小于8微米波段区域具有良好的背景抑制及抗干扰能力。
4、本实用新型设计的主膜系还可用于其他要求的红外波长前截止滤光片,只需相应改变中心波长。
Claims (1)
1、一种滤光片,包括一表面抛光的基板(1),其第一和第二两个面上分别交替镀有多层碲化铅膜层(2)和硒化锌膜层(3),其特征是:
该基板(1)系为锗板;
第一面主膜系为
nS/0.5L0.78HLHLHLHLHLHLHL0.78H2L/n0;
第二面膜系为
nS/(0.5LH0.5L)82.7L/n0,
式中各符号的含义分别为:nS表示锗基板;L表示λ0/4硒化锌膜层;H表示λ0/4碲化铅膜层;n0表示空气,中心波长λ0,对于第一面主膜系及第二面膜系分别为5.7微米和4微米。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 99226997 CN2387549Y (zh) | 1999-06-18 | 1999-06-18 | 8微米长波通滤光片 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 99226997 CN2387549Y (zh) | 1999-06-18 | 1999-06-18 | 8微米长波通滤光片 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN2387549Y true CN2387549Y (zh) | 2000-07-12 |
Family
ID=34016596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 99226997 Expired - Fee Related CN2387549Y (zh) | 1999-06-18 | 1999-06-18 | 8微米长波通滤光片 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN2387549Y (zh) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100414333C (zh) * | 2006-07-07 | 2008-08-27 | 中山大学 | 一种单纤三向分波/合波器 |
CN100419471C (zh) * | 2005-08-02 | 2008-09-17 | 中山大学 | 一种多频锐角空间滤光片 |
CN100468081C (zh) * | 2005-06-03 | 2009-03-11 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 光学元件 |
CN1979230B (zh) * | 2005-12-07 | 2010-12-15 | 株式会社村上开明堂 | 介质多层滤光器 |
CN102269835A (zh) * | 2011-08-30 | 2011-12-07 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 具有高矩形度透过率曲线的红外带通滤光片 |
CN101194391B (zh) * | 2005-05-20 | 2012-01-04 | 阿斯特里姆有限公司 | 航天器的热控制膜 |
CN103207424A (zh) * | 2013-04-01 | 2013-07-17 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种超宽波段截止长波通滤光膜及其制造方法 |
CN112014915A (zh) * | 2019-05-30 | 2020-12-01 | 西北工业大学深圳研究院 | 10-14微米中心波长可调的多层对称二维透射光栅及其制备方法 |
-
1999
- 1999-06-18 CN CN 99226997 patent/CN2387549Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101194391B (zh) * | 2005-05-20 | 2012-01-04 | 阿斯特里姆有限公司 | 航天器的热控制膜 |
CN100468081C (zh) * | 2005-06-03 | 2009-03-11 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 光学元件 |
CN100419471C (zh) * | 2005-08-02 | 2008-09-17 | 中山大学 | 一种多频锐角空间滤光片 |
CN1979230B (zh) * | 2005-12-07 | 2010-12-15 | 株式会社村上开明堂 | 介质多层滤光器 |
CN100414333C (zh) * | 2006-07-07 | 2008-08-27 | 中山大学 | 一种单纤三向分波/合波器 |
CN102269835A (zh) * | 2011-08-30 | 2011-12-07 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 具有高矩形度透过率曲线的红外带通滤光片 |
CN103207424A (zh) * | 2013-04-01 | 2013-07-17 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种超宽波段截止长波通滤光膜及其制造方法 |
CN103207424B (zh) * | 2013-04-01 | 2015-09-09 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种超宽波段截止长波通滤光膜及其制造方法 |
CN112014915A (zh) * | 2019-05-30 | 2020-12-01 | 西北工业大学深圳研究院 | 10-14微米中心波长可调的多层对称二维透射光栅及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103217730B (zh) | 一种渐变光学厚度窄带负滤光片膜系 | |
US5398133A (en) | High endurance near-infrared optical window | |
US5400174A (en) | Optical notch or minus filter | |
US20190383972A1 (en) | Layer system and optical element comprising a layer system | |
CN2387549Y (zh) | 8微米长波通滤光片 | |
CN101266309A (zh) | 具有宽的低反射旁通带的单峰窄带反射滤光片 | |
CA2480350A1 (en) | Diffraction grating element, production method of diffraction grating element, and method of designing diffraction grating element | |
JP2023178283A (ja) | 超薄型薄膜光干渉フィルタ | |
CN111061001A (zh) | 一种480~580nm透过可见光滤光片及制备方法 | |
CN2511984Y (zh) | 长波红外宽带滤光片 | |
CN101266312B (zh) | 具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片 | |
CN106199803B (zh) | 一种温度探测用宽带红外滤光片及其制备方法 | |
CN202230219U (zh) | 10.8微米的红外带通滤光片 | |
CN1146734C (zh) | 超窄带通光学薄膜滤光片及膜层厚度产生方法 | |
CN112114389A (zh) | 一种隔热增透膜及其制备方法和用途 | |
CN219625736U (zh) | 一种可调谐中红外高反射膜系统 | |
CN103885108A (zh) | 衰减带通滤光片及其制备方法 | |
CN102269835A (zh) | 具有高矩形度透过率曲线的红外带通滤光片 | |
CN103245999B (zh) | 一种宽光谱带外抑制光学滤光片 | |
CN209624816U (zh) | 一种基于金纳米颗粒的波长可调谐窄带滤光片 | |
CN114895396A (zh) | 基于硅与锗锑碲复合纳米柱阵列可调谐的红外窄带滤光片 | |
US7985489B2 (en) | Temperature-resistant layered system | |
CN114252939A (zh) | 一种兼具截止和减反特性的金属结构超表面红外光学膜 | |
CN203250040U (zh) | 宽光谱带外抑制光学滤光片 | |
CN108490527B (zh) | 一种多层孔状微结构的反射式多波段梳状窄带滤光片 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |