CN2255681Y - 射频板条式二氧化碳激光器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及气体激光器技术。本实用新型在激光器内部上、下两平板条电极以悬挂式结构安装，在左、右镜座上镶有磁块，以磁调谐机构调整光学谐振腔，激光器以射频激励。本实用新型的输出功率可达2000瓦，输出光束质量好，可聚焦成圆点。本实用新型可广泛应用于激光工业加工。

Description

射频板条式二氧化碳激光器

本实用新型涉及气体激光器技术。

已有的射频二氧化碳波导激光器，其输出功率较小，最大只有200瓦左右；已有的射频波导阵列二氧化碳激光器，其输出功率虽能达到1000瓦，但因光束不能聚焦成圆点而不能实用。

本实用新型的目的在于，设计一种输出功率可达到2000瓦，输出光束质量优良，可用于工业加工的射频板条式二氧化碳激光器。

下面结合附图，对本实用新型作详细说明。

本实用新型的结构见附图1，在腔体(8)内的底座(7)上面的中间处，放置下电极(3)，在底座(7)上，靠下电极(3)的两侧竖有四根钢支柱(6)，在钢支柱(6)上部与之垂直地横架两块石英玻璃(11)，上电极(1)固定在两块石英玻璃(11)上，悬挂在下电极(3)的上方，在上电极(1)的上面接有电极引线(10)；在上、下电极(1)、(3)的两端头，空开一段距离的底座(7)上，安有左、右镜座(15)、(4)，在右镜座(4)上安有柱面凸反镜(2)，在左镜座(15)上安有柱面凹反镜(13)；在上、下电极(1)、(3)之间，等距离地并联若干线圈(12)，在腔体(8)的左端头安有法兰(14)，在腔体(8)右端头的法兰中间开有输出窗(5)；在底座(7)，上、下电极(1)、(3)以及左右镜座(15)、(4)中间都开有冷却水通道(9)，接冷却水。

本实用新型的上、下电极(1)、(3)的形状都是长方形平板且都是铜制做的，在上、下电极(1)、(3)相对的平面上镀金。

本实用新型的左右镜座(15)、(4)中镶入多块磁体，以磁力和螺钉保证柱面凹、凸反镜所需的多维运动，避免了机械调节的螺纹间隙，确保柱面镜的精确定位。

本实用新型工作时，先将电极引线通过射频匹配器，接上射频电源，再在抽过真空的腔体内充入二氧化碳等激光工作气体，等充到一定的工作气压后，打开冷却水，使上、下电极之间加入射频高压，电极之间产生α形的气体辉光放电，产生激光经输出窗输出。

本实用新型的优点是，上、下电极四周开放，便于气体对流，再加上电极上镀的金对二氧化碳气体复合催化作用，提高激光功率，延长激光器寿命，激光输出功率较射频波导激光器的输出功率大得多，可达到2000瓦，加之输出光束质量好，可以聚焦成圆点，因而可广泛应用于激光加工。

附图说明：附图1是本实用新型的结构图。

1、上电极；、2、柱面凸反镜；3、下电极；4、右镜座；5、输出窗；6、钢支柱；7、底座；8、腔体；9、冷却水通道；10、电极引线；11、石英玻璃；12、线圈；13、柱面凹反镜；14法兰；15、左镜座。

Claims (3)

1.一种由腔体，电极等组成的射频板条式二氧化碳激光器，其特征在于，在腔体内的底座上面的中间处，放置下电极，在底座上靠下电极的两侧竖有四根钢支柱，在钢支柱上部与之垂直地横架两块石英玻璃，上电极固定在两块石英玻璃上，悬挂在下电极的上方，在上电极的上面接有电极引线，在上、下电极的两端头，空开一段距离的底座上，安有左、右镜座，在右镜座上安有柱面凸反镜，在左镜座上安有柱面凹反镜；在上、下电极之间，等距离地并联着线圈；在腔体的左、右两端头安有法兰，在腔体右端的法兰中间开有输出窗；在底座，上、下电极以及左、右镜座中间都开有冷却水通道。

2.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述上、下电极的形状都是长方形平板，且都是用铜制做的，在上、下电极相对的平面上镀金。

3.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述左、右镜座中，镶入多块磁体。

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