CN2248406Y - 金属蒸气激光器窗口防污染隔离器 - Google Patents
金属蒸气激光器窗口防污染隔离器 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提供了一种金属蒸气激光器窗口防污染装置,该装置外壳用玻璃制成筒状空腔,腔内安装若干由带有通孔的金属材料制成的吸附挡板。玻璃筒两端收口使之适于激光器窗口及和放电管连接。增大挡板总面积,可以有效提高金属粒子的凝结数使到达窗口的运动粒子明显减少,从而实现防污染的目的。主要用于金属蒸气激光器窗口的防污染。
Description
本实用新型涉及气体激光器技术领域,尤其涉及金属蒸气激光器窗口防污染装置。
在金属蒸气激光器中,金属蒸气的扩散和电极材料的溅射物对窗口存在较严重的污染,在现有的这类激光器中,一般都是用加长冷凝段或用辅助阳极、玻璃隔离头等方法来减少金属蒸气中的运动粒子对窗口的污染。但这里存在的问题是加长冷凝段不利于激光器的小型化,辅助阳极则不能克服金属中性原子对窗口的污染,而玻璃隔离头由于金属蒸气在玻璃表面的凝结系数很小,防污效果也欠佳。
本实用新型的目的是提供一种金属蒸气激光器窗口防污染隔离装置,它能有效地减少金属蒸气中的运动粒子到达窗口以实现对窗口的保护。
本实用新型的目的由以下技术方案实现:在激光区域与窗口之间安装新型防污隔离器。隔离器外壳由玻璃制成,在外壳内安装若干与金属蒸气有很好亲和力的金属片挡板,玻璃外壳中部的内径是管口内径的两倍,期间均匀地固定着一组直径与外壳中部内径相等的圆形金属挡板,若干片金属挡板之间的距离用铜套在铜棒上固定,金属挡板中心开有比放电毛细管内径大一毫米的通孔,顺120°夹角方向开有三个小孔。挡板可采用各种形状,在不挡光路的前提下,以表面积最大为佳。在He-Cd白光激光器中,工作气体的平均自由程相对于放电管的几何尺寸小3-4个数量级。当Cd粒子从高浓度向低浓度扩散时,Cd粒子将同作为背景的He粒子及其它Cd粒子发生多次碰撞,每次碰撞都将改变它的运动方向和能量,因此,在大量背景粒子作用下,Cd粒子只能以无规行方式来实现从高浓度向低浓度的扩散。由于He、Cd混合平均自由程很短,一个Cd粒子从放电管口出来到窗口要经过成千上万次碰撞,Cd粒子不仅要与背景粒子碰撞,还会与隔离器的表面主要是金属片的表面发生碰撞。与金属表面碰撞的Cd粒子会以一定的几率凝结在表面上,因此减小了到达窗口的粒子数。金属表面有减少Cd粒子对窗口污染的作用,实质上是内表面的吸附作用。因此增加吸附表面,可以进一步减少污染;选择对Cd粒子有高凝结系数的金属(如银,金,铜,锡等)作吸附挡板,隔离器的防污效果将更好。
本实用新型与现有技术相比的效果和优点,在于该隔离器是通过增大金属蒸气的吸附表面,选用对金属蒸气有高凝结系数的金属材料作吸附挡板来减少向窗口运动的金属粒子,从而避免金属蒸气对窗口的污染,因此在防污效果和小型化方面都优于现有技术。
本实用新型的附图说明
图1为本实用新型正视图
图2为本实用新型剖视图
图3为本实用新型挡板结构图
本实用新型的实施例如下,将玻璃管,吹制成一个端头1内径为12mm,另一端内径为24mm,长为60mm的玻璃管,成为隔离器外壳2。用六片同心圆形紫铜片作为金属挡板3,金属挡板3上顺夹角120°方向均布三个小孔7,小孔7的孔径以能穿过铜棒8为准,用三根铜棒8将六片轴心形孔4金属挡板3穿在一起,挡板3之间用直径与铜棒8外径间隙配合的铜管切成等长套在铜棒8上来固定每片挡板3,以保持档板3的等间距,将这组档板3放入玻璃外壳2中,并使档板中孔4与外壳同轴,然后将玻璃外壳2的另一端收小,成端5,并切成布氏角磨平,贴上窗片6,就构成了本隔离器。
实验发现,在距放电管口(玻璃管1)出口处的第一、第二两片铜片上吸附有大量的镉粒子,第三片铜片上只发现有很少的镉粒子沉积,在其余铜片上没有肉眼可观察到的隔膜,在窗口6上,用强光照射,没有肉眼可观察到的镉痕迹,用干涉显微镜测量,测不出任何膜厚。由此可见,这种新型隔离器的防污效果很好。
Claims (2)
1.一种金属蒸气激光器窗口防污染隔离器,主要由玻璃外壳和金属档板组成,其特征在于玻璃外壳内均匀地固定着一组直径与外壳内径相等的圆形金属档板,金属档板之间的距离用铜管套在铜棒上固定。
2.根据权利要求1所述的金属蒸气激光器窗口防污染隔离器,其特征在于金属挡板的中孔直径比放电毛细管内径大一毫米。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 95242233 CN2248406Y (zh) | 1995-10-10 | 1995-10-10 | 金属蒸气激光器窗口防污染隔离器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN 95242233 CN2248406Y (zh) | 1995-10-10 | 1995-10-10 | 金属蒸气激光器窗口防污染隔离器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN2248406Y true CN2248406Y (zh) | 1997-02-26 |
Family
ID=33883230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN 95242233 Expired - Fee Related CN2248406Y (zh) | 1995-10-10 | 1995-10-10 | 金属蒸气激光器窗口防污染隔离器 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN2248406Y (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105226484A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-01-06 | 成都微深科技有限公司 | 一种具有漏粒子收集装置的二氧化碳激光器 |
CN108277461A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-07-13 | 上海超导科技股份有限公司 | 适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置 |
CN108418083A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-08-17 | 北京科益虹源光电技术有限公司 | 一种用于激光器的窗口结构及准分子激光器 |
-
1995
- 1995-10-10 CN CN 95242233 patent/CN2248406Y/zh not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN108418083A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-08-17 | 北京科益虹源光电技术有限公司 | 一种用于激光器的窗口结构及准分子激光器 |
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