CN221377295U - 一种超纯电子化学品取样装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及超纯电子化学品在线取样技术领域，尤其是指一种超纯电子化学品取样装置，包括主体，主体上焊接有第一电磁隔膜阀和第二电磁隔膜阀，第一电磁隔膜阀右侧输出端固定连接有第一单向阀，第二电磁隔膜阀左侧输出端固定连接有第二单向阀，第一单向阀和第二单向阀内侧顶端固定连接有横管取样管，主体前端下方固定连接有第一延伸管和第二延伸管，第一延伸管前侧顶端设置有第一螺纹接口；通过设计配合，使得装置不仅解决了以往装置因材质选取不合理而造成的杂质析出问题，同时降低以往装置存在取样代表性不充分的情况，让流动在主体内的化学品被取样时让超纯电子化学品的品质判定更加准确。

Description

一种超纯电子化学品取样装置

技术领域

本实用新型涉及超纯电子化学品在线取样技术领域，尤其涉及一种超纯电子化学品取样装置。

背景技术

超纯电子化学品是半导体工业重要的常用试剂。随着中国半导体产业的快速发展，超纯电子化学品的市场需求也在高速增长，同时对品质要求也越来越高。我国超纯电子化学品研究生产起步较晚，国内超纯电子化学品生产厂家虽已开始布局半导体领域的电子级超纯电子化学品，但目前未有统一的在线取样装置，其不规范的取样流程和或不合理的选材，严重影响后续超纯电子化学品的品质判定。

公告号为CN218546234U的专利说明书公开了一种超洁净电子化学品取样装置，包括电子化学品储存罐本的出料管，出料管上安装的出料控制阀，出料管一端位置处设置的第一弧形管以及第一弧形管的一端连接的竖管，还包括取样组件，所述竖管的底端设置有取样组件；所述取样组件包括穿刺管、橡胶塞和防尘液，穿刺管固定在竖管的底端，穿刺管的底端套接有第一U型管，第一U型管底端的中部出液管，第一U型管的一端顶部连接有第二弧形管，第二弧形管一端底部连接有第二U型管，第二U型管一端的顶部设置有延伸管，该实用新型结构新颖，构思巧妙，使得第一U型管的内部空间始终处于无尘状态，操作十分便捷，且能节省使用成本，充分利用现有的空间。

然而在实施相关技术中发现上述一种超洁净电子化学品取样装置存在以下问题：上述装置的管道均由不锈钢制作而成，材料的选择存在杂质析出问题，容易出现超纯电子化学品取样不规范和或选用材质的不合理性，从而可能造成的后续超纯电子化学品品质判定误导的弊端，同时也会出现在线取样的方式无法满足样品代表性问题，鉴于此，提供一种超纯电子化学品取样装置以克服上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种超纯电子化学品取样装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种超纯电子化学品取样装置，包括主体，所述主体上焊接有第一电磁隔膜阀和第二电磁隔膜阀，所述第一电磁隔膜阀右侧输出端设置有第一单向阀，所述第二电磁隔膜阀左侧输出端设置有第二单向阀，所述第一单向阀和第二单向阀内侧顶端设置有横管取样管，所述主体前端下方设置有第一延伸管和第二延伸管，所述第一延伸管前侧顶端设置有第一螺纹接口，所述第二延伸管前侧顶端设置有第二螺纹接口，所述第一螺纹接口和第二螺纹接口前端预制有密封圈，所述横管取样管中间下端面设置有出料管，所述出料管底端设置有限位壳，所述限位壳内部下方左右两侧设置有伸缩管，所述伸缩管内侧顶端设置有夹环，所述夹环前侧顶端固定连接有斜板，解决了以往装置因材质选取不合理而造成的杂质析出问题，同时降低以往装置存在取样代表性不充分的情况。

作为上述技术方案的进一步描述：所述夹环下端面与限位壳内部下方中间滑动连接，所述斜板下端面与限位壳内部下方前侧滑动连接，方便在限位壳内部下方进行左右滑动。

作为上述技术方案的进一步描述：所述主体上方贯穿第一电磁隔膜阀和第二电磁隔膜阀，且主体为所有附属器件的框架支撑，选材一致可让后续超纯电子化学品的品质判定更加准确。

作为上述技术方案的进一步描述：所述第一电磁隔膜阀和第二电磁隔膜阀的两端开闭管制横管取样管的通、闭，且第一电磁隔膜阀和第二电磁隔膜阀的通、闭均由外部控制器控制，所述横管取样管及第一电磁隔膜阀和第二电磁隔膜阀的内径尺寸均为DN20，非金属材质可让超纯电子化学品不与金属产生反应。

作为上述技术方案的进一步描述：所述第一螺纹接口和第二螺纹接口为对外部连接的接口，且第一延伸管和第二延伸管均固定在主体前侧下方的左右两侧位置处，防止连接处与第一螺纹接口和第二螺纹接口出现漏液的情况。

作为上述技术方案的进一步描述：所述伸缩管、夹环和斜板的数量均为两个，且伸缩管、夹环和斜板均设置在限位壳内部下方的左右两侧，对接料烧杯进行稳定夹持。

作为上述技术方案的进一步描述：所述斜板整体为夹环前侧顶端向外侧倾斜四十五度，所述夹环的形状为半圆形，且夹环的内侧口径为八十毫米，所述夹环内侧设置有橡胶片，夹环口径小于接料烧杯的底部直径，方便夹持底部。

本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型设计的超纯电子化学品取样装置，通过设计配合，使得装置不仅解决了以往装置因材质选取不合理而造成的杂质析出问题，同时降低以往装置存在取样代表性不充分的情况，让流动在主体内的化学品被取样时让超纯电子化学品的品质判定更加准确，同时在横管取样管的正下方设置能够稳定接料的夹环和斜板，可以将取样用烧杯被伸缩管和夹环夹持底部，防止横管取样管下方的出料管在出料时，向下的冲击力让接料的烧杯出现晃动的情况，也可防止出现烧杯在接料时发生倾倒并导致其内盛装的化学品倾撒，提高接料烧杯的接料稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的第一延伸管立体结构示意图；

图3为本实用新型的第一电池隔膜阀立体结构示意图；

图4为本实用新型的个横管取样管立体结构示意图；

图5为本实用新型的夹环立体结构示意图。

图例说明：

1、主体；2、第一电磁隔膜阀；3、第二电磁隔膜阀；4、第一单向阀；5、横管取样管；6、第一延伸管；7、第二延伸管；8、第一螺纹接口；9、第二螺纹接口；10、出料管；11、限位壳；12、密封圈；13、第二单向阀；14、伸缩管；15、夹环；16、斜板。

具体实施方式

参照图1-5，本实用新型提供的一种超纯电子化学品取样装置，包括主体1，主体1上焊接有第一电磁隔膜阀2和第二电磁隔膜阀3，第一电磁隔膜阀2右侧输出端螺旋固定有第一单向阀4，第二电磁隔膜阀3左侧输出端螺旋固定有第二单向阀13，第一单向阀4和第二单向阀13内侧顶端焊接有横管取样管5，主体1前端下方焊接有第一延伸管6和第二延伸管7，第一延伸管6前侧顶端被攻丝器攻丝而成的第一螺纹接口8，第二延伸管7前侧顶端被攻丝器攻丝而成的第二螺纹接口9，第一螺纹接口8和第二螺纹接口9前端预制有密封圈12，横管取样管5中间下端面焊接有出料管10，出料管10底端焊接有限位壳11，限位壳11内部下方左右两侧焊接有伸缩管14，伸缩管14内侧顶端焊接有夹环15，夹环15前侧顶端焊接有斜板16，夹环15下端面与限位壳11内部下方中间滑动连接，斜板16下端面与限位壳11内部下方前侧滑动连接，不仅解决了以往装置因材质选取不合理而造成的杂质析出问题，同时降低以往装置存在取样代表性不充分的情况，让流动在主体1内的化学品被取样时让超纯电子化学品的品质判定更加准确。

作为上述技术方案进一步的实施方案：主体1上方贯穿第一电磁隔膜阀2和第二电磁隔膜阀3，且主体1为所有附属器件的框架支撑，主体1的材质为EP级非金属材质，EP级废金属材质制作的主体1可在化学品流通时，不与其发生反应，提高电子化学品被品质判定时的准确性。

作为上述技术方案进一步的实施方案：第一电磁隔膜阀2和第二电磁隔膜阀3的两端开闭管制横管取样管5的通、闭，且第一电磁隔膜阀2和第二电磁隔膜阀3的通、闭均由外部控制器控制，横管取样管5及第一电磁隔膜阀2和第二电磁隔膜阀3的内径尺寸均为DN20，第一电磁隔膜阀2和第二电磁隔膜阀3内部隔膜垫片为EP级非金属材质，方便超纯电子化学品在进行取样时，让正在流通的超纯电子化学品进入横管取样管5中等待取样，且不存在取出位液高或者位液低的化学品，提高取样流程的规范性。

作为上述技术方案进一步的实施方案：第一螺纹接口8和第二螺纹接口9为对外部连接的接口，且第一延伸管6和第二延伸管7均固定在主体1前侧下方的左右两侧位置处，密封圈12材质为EP级橡胶密封圈12，为保证第一螺纹接口8和第二螺纹接口9对外连接的密闭性。

作为上述技术方案进一步的实施方案：伸缩管14、夹环15和斜板16的数量均为两个，且伸缩管14、夹环15和斜板16均设置在限位壳11内部下方的左右两侧，斜板16整体为夹环15前侧顶端向外侧倾斜四十五度，夹环15的形状为半圆形，且夹环15的内侧口径为八十毫米，夹环15内侧设置有橡胶片，可以将取样用烧杯被伸缩管14和夹环15夹持底部，防止横管取样管5下方的出料管10在出料时，向下的冲击力让接料的烧杯出现晃动的情况，提高接料烧杯的接料稳定性。

工作原理：

使用本实用新型时，首先将主体1连接到现场工艺管道处，此时第一电磁隔膜阀2和第二电磁隔膜阀3的初始状态为关闭状态，第一延伸管6和第二延伸管7的第一螺纹接口8和第二螺纹接口9与工艺管道位置处连接，密封圈12为保证第一螺纹接口8和第二螺纹接口9对外连接的密闭性，在连接完毕后打开第一电磁隔膜阀2和第二电磁隔膜阀3，让现场工艺循环充分，关闭通向主体1内循环的第一电磁隔膜阀2和第二电磁隔膜阀3，打开连接第一单向阀4和第二单向阀13的阀口，此时物料通过主体1和第一单向阀4、第二单向阀13进入横管取样管5中，物料则通过横管取样管5下方的出料管10进入事先放置在限位壳11内侧的接料烧杯内，此时接料烧杯的内侧被夹环15夹持固定，伸缩管14发生形变，接料完毕后，向外侧掰动斜板16，斜板16带动夹环15向外侧移动，伸缩管14发生形变，此时将接料烧杯从限位壳11内取出即可，随后打开现场氮气或氦气吹扫主体1管道后，拆下主体1。

最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种超纯电子化学品取样装置，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)上焊接有第一电磁隔膜阀(2)和第二电磁隔膜阀(3)，所述第一电磁隔膜阀(2)右侧输出端固定连接有第一单向阀(4)，所述第二电磁隔膜阀(3)左侧输出端固定连接有第二单向阀(13)，所述第一单向阀(4)和第二单向阀(13)内侧顶端固定连接有横管取样管(5)，所述主体(1)前端下方固定连接有第一延伸管(6)和第二延伸管(7)，所述第一延伸管(6)前侧顶端设置有第一螺纹接口(8)，所述第二延伸管(7)前侧顶端设置有第二螺纹接口(9)，所述第一螺纹接口(8)和第二螺纹接口(9)前端预制有密封圈(12)，所述横管取样管(5)中间下端面固定连接有出料管(10)，所述出料管(10)底端固定连接有限位壳(11)，所述限位壳(11)内部下方左右两侧固定连接有伸缩管(14)，所述伸缩管(14)内侧顶端固定连接有夹环(15)，所述夹环(15)前侧顶端固定连接有斜板(16)；

所述主体(1)的材质为EP级非金属材质，所述第一电磁隔膜阀(2)和第二电磁隔膜阀(3)内部隔膜垫片为EP级非金属材质。

2.根据权利要求1所述的一种超纯电子化学品取样装置，其特征在于：所述夹环(15)下端面与限位壳(11)内部下方中间滑动连接，所述斜板(16)下端面与限位壳(11)内部下方前侧滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种超纯电子化学品取样装置，其特征在于：所述主体(1)上方贯穿第一电磁隔膜阀(2)和第二电磁隔膜阀(3)，且主体(1)为所有附属器件的框架支撑。

4.根据权利要求1所述的一种超纯电子化学品取样装置，其特征在于：所述第一电磁隔膜阀(2)和第二电磁隔膜阀(3)的两端开闭管制横管取样管(5)的通、闭，且第一电磁隔膜阀(2)和第二电磁隔膜阀(3)的通、闭均由外部控制器控制，所述横管取样管(5)及第一电磁隔膜阀(2)和第二电磁隔膜阀(3)的内径尺寸均为DN20。

5.根据权利要求1所述的一种超纯电子化学品取样装置，其特征在于：所述第一螺纹接口(8)和第二螺纹接口(9)为对外部连接的接口，且第一延伸管(6)和第二延伸管(7)均固定在主体(1)前侧下方的左右两侧位置处。

6.根据权利要求1所述的一种超纯电子化学品取样装置，其特征在于：所述伸缩管(14)、夹环(15)和斜板(16)的数量均为两个，且伸缩管(14)、夹环(15)和斜板(16)均设置在限位壳(11)内部下方的左右两侧。

7.根据权利要求1所述的一种超纯电子化学品取样装置，其特征在于：所述斜板(16)整体为夹环(15)前侧顶端向外侧倾斜四十五度，所述夹环(15)的形状为半圆形，且夹环(15)的内侧口径为八十毫米，所述夹环(15)内侧设置有橡胶片。