CN221244511U - 一种电子特气提纯系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种电子特气提纯系统。该电子特气提纯系统包括依次连接的气瓶、汽化器、铝胶吸附塔、分子筛吸附塔、第一精密过滤器、高沸精馏塔、低沸精馏塔、第二精密过滤器以及储罐，所述汽化器与所述铝胶吸附塔之间设有与所述汽化器和铝胶吸附塔之间的管路并联的进气管，所述进气管上设有压缩机，所述气瓶通过出气管连接有第一气袋，所述第一气袋与所述进气管连接，所述低沸塔的出气口设有捕集器，所述捕集器内设有第二气袋。相比于现有技术，本实用新型的电子特气提纯系统中仅有一步吸附、两级精馏，流程简单，操作单元少；采用常温吸附，能耗低；对低沸精馏塔塔顶不凝物进行捕集回收，减少产品浪费，提高产品利用率。
Description
技术领域
本实用新型属于电子特气提纯技术领域，具体涉及一种电子特气提纯系统。
背景技术
六氟乙烷和三氟甲烷等电子特气在半导体集成电路制造得到广泛应用。在集成电路蚀刻剂应用中，即使极少量的杂质也可能会提高制造高密度集成电路的缺陷率。随着电子或电气设备的性能更高、尺寸更小、缠绕密度更高的趋势、电路图案变的更细，获得高精度的电路图案，对电子特气的纯度要求也越来越高。
目前，电子特气提纯方法常用的主要有精馏和吸附。授权公告号为CN111908996B的中国发明专利公开了一种六氟乙烷的纯化系统及其纯化方法。将粗品六氟乙烷通过装有干燥剂及分子筛干燥吸附剂的干燥吸附器中，以去除粗品中的大部分水及部分含氯杂质得到粗产品，将粗产品通入一级精馏塔中，采用共沸精馏的方式得到塔顶粗精馏产物，塔顶粗精馏产物再通过二级精馏塔、二级吸附塔，最终得到纯度为99.999％的六氟乙烷。申请公布号为CN114133314A的中国发明专利申请公开了一种电子级三氟甲烷的纯化装置及纯化工艺。纯化流程为冷却分离、二氧化碳吸附、氟碳化合物吸附、精馏、精馏产物吸附、过滤。最终得到99.999％的纯度的三氟甲烷。如上述专利，现有技术中，六氟乙烷和三氟甲烷提纯采用多次吸附、多次精馏的方式，来达到提纯六氟乙烷和三氟甲烷的目的。流程繁琐，且存在较多的冷凝、汽化操作，体系能耗大。
实用新型内容
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种电子特气提纯系统。
本实用新型的一种电子特气提纯系统的技术方案是：
一种电子特气提纯系统，包括依次连接的气瓶、汽化器、铝胶吸附塔、分子筛吸附塔、第一精密过滤器、高沸精馏塔、低沸精馏塔、第二精密过滤器以及储罐，所述汽化器与所述铝胶吸附塔之间设有与所述汽化器和铝胶吸附塔之间的管路并联的进气管，所述进气管上设有压缩机，所述气瓶通过出气管连接有第一气袋，所述第一气袋与所述进气管连接，所述低沸塔的出气口设有捕集器，所述捕集器内设有第二气袋。
进一步的，所述铝胶吸附塔为一级铝胶吸附塔，所述分子筛吸附塔为三级分子筛吸附塔。
进一步的，所述一级铝胶吸附塔和三级分子筛吸附塔的操作压力为0.6MPa，操作温度为常温。
进一步的，所述低沸精馏塔的工作压力为0.2～0.5MPa，塔釜工作温度为-45℃～30℃，塔顶工作温度为-65℃～-40℃。
进一步的，所述高沸精馏塔的工作压力为0.2～0.5MPa，塔釜工作温度为-45℃～30℃，塔顶工作温度为-65℃～-40℃。
进一步的，所述捕集器的工作压力为0.2～0.5MPa，工作温度为-65℃～-40℃。
本实用新型提供了一种电子特气提纯系统，其有益效果是：
本实用新型的电子特气提纯系统使用时，气瓶中压力较高时，气瓶中的六氟乙烷或三氟甲烷经汽化器减压至0.6MPa后，进入铝胶吸附塔和分子筛吸附塔，除去原料气中H2O、CO2等杂质。第一精密过滤器除去原料气中的固体颗粒物，气体进入高沸精馏塔和低沸精馏塔进行精馏处理，出料得到纯化后的六氟乙烷或三氟甲烷产品，六氟乙烷或三氟甲烷经第二精密过滤器进入储罐，然后通过低温液体泵充装至成品钢瓶中。低沸精馏塔的塔顶的轻组分进入后续捕集器进行回收，捕集下来的物料中含有一定量的产品，收集至第二气袋后进行回收利用。气瓶内压力较低时，气瓶中的六氟乙烷或三氟甲烷经汽化器进入连接管，经压缩机增压后进入铝胶吸附塔和分子筛吸附塔。气瓶内残余的六氟乙烷或三氟甲烷被氮气吹扫至第一气袋中，第一气袋中的六氟乙烷或三氟甲烷经压缩机增压后进入铝胶吸附塔和分子筛吸附塔。相比于现有技术，本实用新型的电子特气提纯系统中仅有一步吸附、两级精馏，流程简单，操作单元少；采用常温吸附，能耗低；对低沸精馏塔塔顶不凝物进行捕集回收，减少产品浪费，提高产品利用率。
附图说明
图1是本实用新型的电子特气提纯系统的流程图。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：
本实用新型的电子特气提纯系统的具体实施例，如图1所示，包括依次连接的气瓶、汽化器、铝胶吸附塔、分子筛吸附塔、第一精密过滤器、高沸精馏塔、低沸精馏塔、第二精密过滤器以及储罐，汽化器与铝胶吸附塔之间设有与汽化器和铝胶吸附塔之间的管路并联的进气管，进气管上设有压缩机，气瓶通过出气管连接有第一气袋，第一气袋与进气管连接，低沸塔的出气口设有捕集器，捕集器内设有第二气袋。
铝胶吸附塔为一级铝胶吸附塔，分子筛吸附塔为三级分子筛吸附塔。一级铝胶吸附塔和三级分子筛吸附塔的操作压力为0.6MPa，操作温度为常温。低沸精馏塔的工作压力为0.2～0.5MPa，塔釜工作温度为-45℃～30℃，塔顶工作温度为-65℃～-40℃。高沸精馏塔的工作压力为0.2～0.5MPa，塔釜工作温度为-45℃～30℃，塔顶工作温度为-65℃～-40℃。捕集器的工作压力为0.2～0.5MPa，工作温度为-65℃～-40℃。
本实用新型的电子特气提纯系统使用时，气瓶中压力较高时，气瓶中的六氟乙烷或三氟甲烷经汽化器减压至0.6MPa后，进入铝胶吸附塔和分子筛吸附塔，除去原料气中H2O、CO2等杂质。第一精密过滤器除去原料气中的固体颗粒物，气体进入高沸精馏塔和低沸精馏塔进行精馏处理，出料得到纯化后的六氟乙烷或三氟甲烷产品，六氟乙烷或三氟甲烷经第二精密过滤器进入储罐，然后通过低温液体泵充装至成品钢瓶中。低沸精馏塔的塔顶的轻组分进入后续捕集器进行回收，捕集下来的物料中含有一定量的产品，收集至第二气袋后进行回收利用。气瓶内压力较低时，气瓶中的六氟乙烷或三氟甲烷经汽化器进入连接管，经压缩机增压后进入铝胶吸附塔和分子筛吸附塔。气瓶内残余的六氟乙烷或三氟甲烷被氮气吹扫至第一气袋中，第一气袋中的六氟乙烷或三氟甲烷经压缩机增压后进入铝胶吸附塔和分子筛吸附塔。相比于现有技术，本实用新型的电子特气提纯系统中仅有一步吸附、两级精馏，流程简单，操作单元少；采用常温吸附，能耗低；对低沸精馏塔塔顶不凝物进行捕集回收，减少产品浪费，提高产品利用率。
以上仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种电子特气提纯系统，其特征在于，包括依次连接的气瓶、汽化器、铝胶吸附塔、分子筛吸附塔、第一精密过滤器、高沸精馏塔、低沸精馏塔、第二精密过滤器以及储罐，所述汽化器与所述铝胶吸附塔之间设有与所述汽化器和铝胶吸附塔之间的管路并联的进气管，所述进气管上设有压缩机，所述气瓶通过出气管连接有第一气袋，所述第一气袋与所述进气管连接，所述低沸精馏塔的出气口设有捕集器，所述捕集器内设有第二气袋。
2.根据权利要求1所述的电子特气提纯系统，其特征在于，所述铝胶吸附塔为一级铝胶吸附塔，所述分子筛吸附塔为三级分子筛吸附塔。
3.根据权利要求2所述的电子特气提纯系统，其特征在于，所述一级铝胶吸附塔和三级分子筛吸附塔的操作压力为0.6MPa，操作温度为常温。
4.根据权利要求1所述的电子特气提纯系统，其特征在于，所述低沸精馏塔的工作压力为0.2～0.5MPa，塔釜工作温度为-45℃～30℃，塔顶工作温度为-65℃～-40℃。
5.根据权利要求1所述的电子特气提纯系统，其特征在于，所述高沸精馏塔的工作压力为0.2～0.5MPa，塔釜工作温度为-45℃～30℃，塔顶工作温度为-65℃～-40℃。
6.根据权利要求1所述的电子特气提纯系统，其特征在于，所述捕集器的工作压力为0.2～0.5MPa，工作温度为-65℃～-40℃。
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