CN221127113U - 一种具有超温停机功能的直流溅射电源 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有超温停机功能的直流溅射电源，包括直流溅射电源设备，所述直流溅射电源设备的正面固定有安装板，且安装板的表面安置有用于显示数据的显示屏，显示屏的一端设有用于直流溅射电源设备温度检测的温度传感器，温度传感器通过导线与直流溅射电源设备内的控制线路电性连接；所述直流溅射电源设备的顶部中心开设有散热口；所述直流溅射电源设备的顶部两端设有用于散热组件拆卸的拆装组件，且拆装组件的内侧设有散热组件。本实用通过设置散热组件，从而便于对直流溅射电源起到散热的作用，以便提高直流溅射电源本申散热时的效果，并且，也提高直流溅射电源的使用寿命，降低损失。
Description
技术领域
本实用新型涉及直流溅射电源技术领域，具体为一种具有超温停机功能的直流溅射电源。
背景技术
直流溅射电源是一种用于溅射工艺的电源设备，它将直流电转换为高频高压电源，以供应溅射过程中所需的能量。直流溅射电源在薄膜沉积、表面涂覆、材料改性等许多领域中得到广泛应用。选择合适的直流溅射电源需要考虑输出功率、稳定性、可靠性、效率等多个因素，以满足工艺需求和质量要求。
然而，现有的直流溅射电源由于长期工作，其本身散热效果不佳，从而导致其使用寿命降低，并且，也不便对其进行拆卸携带与检修的作用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种具有超温停机功能的直流溅射电源，本实用通过设置散热组件，从而便于对直流溅射电源起到散热的作用，以便提高直流溅射电源本申散热时的效果，并且，也提高直流溅射电源的使用寿命，降低损失；以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种具有超温停机功能的直流溅射电源，包括直流溅射电源设备，所述直流溅射电源设备的正面固定有安装板，且安装板的表面安置有用于显示数据的显示屏，显示屏的一端设有用于直流溅射电源设备温度检测的温度传感器，温度传感器通过导线与直流溅射电源设备内的控制线路电性连接；所述直流溅射电源设备的顶部中心开设有散热口；
所述直流溅射电源设备的顶部两端设有用于散热组件拆卸的拆装组件，且拆装组件的内侧设有散热组件；所述散热组件包括散热风机、吸热口、排热管和排热口，所述散热风机的底部两端固定安装有吸热口，且散热风机的顶部两端固定安装有排热管，排热管的顶部安装有排热口。
优选的，所述拆装组件包括固定座、卡槽、卡块和安装座，所述固定座的顶部两端开设有卡槽，卡槽的内部卡接有卡块，卡块的顶部固定安装有安装座，安装座的内侧设有散热风机。
优选的，所述安装座的内侧上方开设有固定槽，且固定槽的内侧卡接有固定块，所述安装座的内侧下方固定安装有用于直流溅射电源设备支撑放置的支撑块。
优选的，所述散热风机的两侧上方固定安装有便于卡住固定的固定块。
优选的，所述温度传感器安装于安装板的表面上，所述显示屏的下方设有便于控制的按钮。
优选的，所述安装板的正面两端固定安装有用于手部握住的把手。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用通过设置散热组件，从而便于对直流溅射电源设备起到散热的作用，以便提高直流溅射电源设备散热时的效果，并且，也提高直流溅射电源设备的使用寿命，降低损失。
本实用通过设置固定座、卡槽、卡块和安装座等部件配合，从而便于使散热组件起到拆卸更换与安装的作用，并且，也便于使其进行检修维护与携带的作用。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型直流溅射电源与散热风机分离结构示意图；
图3为本实用新型固定座与安装板分离结构示意图。
图中：1、直流溅射电源设备；2、安装板；3、显示屏；4、按钮；5、温度传感器；6、把手；7、散热口；8、固定座；9、卡槽；10、卡块；11、安装座；12、固定槽；13、支撑块；14、散热风机；15、固定块；16、吸热口；17、排热管；18、排热口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1～3，本实用新型提供一种技术方案：
一种具有超温停机功能的直流溅射电源，包括直流溅射电源设备1，直流溅射电源设备1的正面固定有安装板2，且安装板2的表面安置有用于显示数据的显示屏3，显示屏3的一端设有用于直流溅射电源设备1温度检测的温度传感器5，温度传感器5通过导线与直流溅射电源设备1内的控制线路电性连接；通过使温度传感器5与控制线路配合使用，从而使直流溅射电源设备1工作时所产生的高温，然后，使控制线路直接对直流溅射电源设备1进行停机；温度传感器5安装于安装板2的表面上，显示屏3的下方设有便于控制的按钮4，安装板2的正面两端固定安装有用于手部握住的把手6，直流溅射电源设备1的顶部中心开设有散热口7，从而使直流溅射电源设备1本身散热的作用；
直流溅射电源设备1的顶部两端设有用于散热组件拆卸的拆装组件，且拆装组件的内侧设有散热组件，散热组件包括散热风机14、吸热口16、排热管17和排热口18，散热风机14的底部两端固定安装有吸热口16，且散热风机14的顶部两端固定安装有排热管17，排热管17的顶部安装有排热口18，散热风机14的两侧上方固定安装有便于卡住固定的固定块15。
本实用通过设置散热组件，从而便于对直流溅射电源设备1起到散热的作用，以便提高直流溅射电源设备1散热时的效果，并且，也提高直流溅射电源设备1的使用寿命，降低损失。
通过启动散热风机14，使其底部上的吸热口16对直流溅射电源设备1产生的高温通过散热口7进行快速吸热，然后，经过散热风机14顶部上的排热口18排放出去，以便提高直流溅射电源设备1的使用寿命，降低损失。
拆装组件包括固定座8、卡槽9、卡块10和安装座11，固定座8的顶部两端开设有卡槽9，卡槽9的内部卡接有卡块10，卡块10的顶部固定安装有安装座11，安装座11的内侧设有散热风机14，安装座11的内侧上方开设有固定槽12，从而便于使固定块15卡入其内，以便提高散热风机14安置时的稳定性；且固定槽12的内侧卡接有固定块15，安装座11的内侧下方固定安装有用于直流溅射电源设备1支撑放置的支撑块13。
本实用通过设置固定座8、卡槽9、卡块10和安装座11等部件配合，从而便于使散热组件起到拆卸更换与安装的作用，并且，也便于使其进行检修维护与携带的作用。
当需要对散热组件拆卸携带与更换检修时，通过手部拿去安装座11，使其底部上的卡块10脱离于卡槽9内，以便对安装座11内侧上的散热组件进行拆卸维修与携带的作用，然后，在通过手部拿取散热风机14使其两侧上的固定块15脱离于固定槽12，方便对散热风机14拆卸下来检修与携带。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种具有超温停机功能的直流溅射电源，包括直流溅射电源设备（1），其特征在于：所述直流溅射电源设备（1）的正面固定有安装板（2），且安装板（2）的表面安置有用于显示数据的显示屏（3），显示屏（3）的一端设有用于直流溅射电源设备（1）温度检测的温度传感器（5），温度传感器（5）通过导线与直流溅射电源设备（1）内的控制线路电性连接；所述直流溅射电源设备（1）的顶部中心开设有散热口（7）；
所述直流溅射电源设备（1）的顶部两端设有用于散热组件拆卸的拆装组件，且拆装组件的内侧设有散热组件，所述散热组件包括散热风机（14）、吸热口（16）、排热管（17）和排热口（18），所述散热风机（14）的底部两端固定安装有吸热口（16），且散热风机（14）的顶部两端固定安装有排热管（17），排热管（17）的顶部安装有排热口（18）。
2.根据权利要求1所述的一种具有超温停机功能的直流溅射电源，其特征在于：所述拆装组件包括固定座（8）、卡槽（9）、卡块（10）和安装座（11），所述固定座（8）的顶部两端开设有卡槽（9），卡槽（9）的内部卡接有卡块（10），卡块（10）的顶部固定安装有安装座（11），安装座（11）的内侧设有散热风机（14）。
3.根据权利要求2所述的一种具有超温停机功能的直流溅射电源，其特征在于：所述安装座（11）的内侧上方开设有固定槽（12），且固定槽（12）的内侧卡接有固定块（15），所述安装座（11）的内侧下方固定安装有用于直流溅射电源设备（1）支撑放置的支撑块（13）。
4.根据权利要求1所述的一种具有超温停机功能的直流溅射电源，其特征在于：所述散热风机（14）的两侧上方固定安装有便于卡住固定的固定块（15）。
5.根据权利要求1所述的一种具有超温停机功能的直流溅射电源，其特征在于：所述温度传感器（5）安装于安装板（2）的表面上，所述显示屏（3）的下方设有便于控制的按钮（4）。
6.根据权利要求5所述的一种具有超温停机功能的直流溅射电源，其特征在于：所述安装板（2）的正面两端固定安装有用于手部握住的把手（6）。
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