CN221122805U - 一种恒温磷源表面烘干推进炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种恒温磷源表面烘干推进炉，包括烘干炉本体、工作盒、风箱和调节组件；所述烘干炉本体的一侧开设有进炉口，所述进炉口的上下内壁通过销轴转动安装有炉门，所述烘干炉本体的上表面安装有排气管。本恒温磷源表面烘干推进炉，利用加热后的气体通过格栅风口对放置组件上的硅片磷源进行恒温加热，这个过程中，V型滤板可以使气体均匀分散的透过格栅风口，以便于提升对硅片磷源的烘干效果，其中，通过调节组件可以带动风箱运动，从而使得风箱可以在安装板的滑道内做来回往复运动，风箱运动带动格栅风口移动，从而通过加热气体对硅片磷源进行均匀烘干运动，进一步提升对硅片磷源的烘干效果。

Description

一种恒温磷源表面烘干推进炉

技术领域

本实用新型涉及硅片电池制造技术领域，具体为一种恒温磷源表面烘干推进炉。

背景技术

硅片电池制造的基本流程包括硅片切割、扩散、纳米制备、光刻、腐蚀等多个步骤。其中扩散工序是将P型硅片上的杂质磷扩散进入硅片，形成N型硅片的过程。这一步骤主要起到改变硅片电气特性的作用。磷源温度是影响扩散效果的关键因素之一。在实际生产过程中，磷源温度要达到1200-1250℃才能实现磷扩散进入硅片内部。现有技术中，通常通过烘箱进行烘干，虽然可以增加对硅片磷源的烘干速度，但是当磷源温度过高或温度梯度过大时，会影响对硅片磷源的烘干效果，使得硅片磷源表面出现皱纹，为此，我们提出一种恒温磷源表面烘干推进炉。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种恒温磷源表面烘干推进炉，打开炉门通过进炉口将放置组件放入工作盒内，然后启动引风机通过引风管将外部空气依次吸入软管、U型管直至进入风箱内，其次在电加热板和电加热丝的作用下对气体进行加热，使得加热后的气体通过格栅风口对放置组件上的硅片磷源进行恒温加热，这个过程中，V型滤板可以使气体均匀分散的透过格栅风口，以便于提升对硅片磷源的烘干效果，其中，通过调节组件可以带动风箱运动，从而使得风箱可以在安装板的滑道内做来回往复运动，风箱运动带动格栅风口移动，从而通过加热气体对硅片磷源进行均匀烘干运动，进一步提升对硅片磷源的烘干效果，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种恒温磷源表面烘干推进炉，包括烘干炉本体、工作盒、风箱和调节组件；

所述烘干炉本体的一侧开设有进炉口，所述进炉口的上下内壁通过销轴转动安装有炉门，所述烘干炉本体的上表面安装有排气管，所述烘干炉本体的内部两侧对称设置有多个压紧弹簧，两侧的压紧弹簧一一对应，所述工作盒两侧分别与相近的压紧弹簧的另一端连接，所述工作盒上设置有放置组件，所述烘干炉本体的内部上方安装有安装板，所述安装板的内部开设有滑道，所述风箱的中部沿水平方向滑动安装在滑道内，所述烘干炉本体的右侧滑动安装有U型管，所述U型管的下端沿水平方向滑动安装在烘干炉本体上，所述U型管的另一端位于烘干炉本体的上方，所述U型管的下端和风箱连通，所述风箱的下端连通安装有格栅风口，所述格栅风口的内部安装有V型滤板，所述风箱内安装有电加热板，所述电加热板的外表面缠绕安装有多组电加热丝，所述格栅风口位于工作盒的上方，所述烘干炉本体内部安装有调节组件，所述调节组件和风箱的上部侧面连接，所述U型管的上端安装有软管，所述烘干炉本体的上表面安装有引风机，所述引风机的进风口处安装有引风管，所述引风机的出风口和软管的另一端连接。

进一步的，所述放置组件包括开设于工作盒侧面的固定槽，所述固定槽内滑动安装有工作板，所述工作板的外侧安装有把手，所述工作板的上表面均匀安装有多个圆柱，所述圆柱的上表面开设有放置槽，所述工作板的底面和工作盒的底面开设有多个上下对应的通孔。先将硅片磷源放置在圆柱的放置槽内，然后通过把手将工作板滑入工作盒的固定槽内，以便于对硅片磷源进行烘干工作。

进一步的，所述调节组件包括转动安装在烘干炉本体内部的丝杠，所述丝杠的左端凸出于烘干炉本体的左侧壁，所述丝杠上螺纹安装有安装块，所述安装块和风箱的上部侧面连接，所述烘干炉本体的左侧外表面安装有驱动组件，所述驱动组件和丝杠的左端连接。通过驱动组件带动丝杠转动，丝杠转动带动其上的安装块移动，安装块移动带动风箱移动，从而可以不断调节风箱的位置，以有效提升对硅片磷源的均匀烘干工作。

进一步的，所述驱动组件包括安装在烘干炉本体左侧外表面的电机支架，所述电机支架上安装有电机，所述电机的输出轴通过联轴器连接在丝杠的左端，所述电机的输入端电连接外部控制器的输出端。通过外部控制器控制电机工作，电机工作带动丝杠，从而通过电动完成对硅片磷源的烘干工作。

进一步的，还包括皮带，所述丝杠的左端轴上安装有第二皮带轮，所述烘干炉本体的左侧转动安装有转轴，所述转轴的左端安装有第一皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮通过皮带传动配合连接，所述转轴的右端安装有齿轮，所述工作盒的上表面左侧安装有齿条，所述齿条和齿轮啮合连接。通过丝杠转动带动第一皮带轮转动，第一皮带轮转动在第一皮带轮、第二皮带轮和皮带的配合作用下带动第二皮带轮转动，第二皮带轮转动带动转轴转动，转轴转动带动齿轮转动，齿轮与齿条啮合连接，从而使得齿条移动带动工作盒移动，工作盒在压紧弹簧的作用下，可以使得工作盒轻微晃动并且齿轮与齿条处于一直啮合的状态，从而在工作盒轻微晃动下将硅片磷源的上的水渍晃出，以提升对硅片磷源的烘干效率。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本恒温磷源表面烘干推进炉，打开炉门通过进炉口将放置组件放入工作盒内，然后启动引风机通过引风管将外部空气依次吸入软管、U型管直至进入风箱内，其次在电加热板和电加热丝的作用下对气体进行加热，使得加热后的气体通过格栅风口对放置组件上的硅片磷源进行恒温加热，这个过程中，V型滤板可以使气体均匀分散的透过格栅风口，以便于提升对硅片磷源的烘干效果，其中，通过调节组件可以带动风箱运动，从而使得风箱可以在安装板的滑道内做来回往复运动，风箱运动带动格栅风口移动，从而通过加热气体对硅片磷源进行均匀烘干运动，进一步提升对硅片磷源的烘干效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型第一剖面结构示意图；

图3为本实用新型第二剖面结构示意图。

图中：1烘干炉本体、2排气管、3电机支架、4电机、5进炉口、6炉门、7第一皮带轮、8皮带、9第二皮带轮、10引风管、11引风机、12软管、13 U型管、14滑道、15安装板、16丝杠、17安装块、18风箱、19格栅风口、20齿条、21齿轮、22转轴、23把手、24工作盒、25压紧弹簧、26工作板、27圆柱、28硅片放置槽、29通孔、30电加热板、31 V型滤板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实施例提供一种技术方案：一种恒温磷源表面烘干推进炉，包括烘干炉本体1、工作盒24、风箱18和调节组件；

烘干炉本体1的一侧开设有进炉口5，进炉口5的上下内壁通过销轴转动安装有炉门6，烘干炉本体1的上表面安装有排气管2，烘干炉本体1的内部两侧对称设置有多个压紧弹簧25，两侧的压紧弹簧25一一对应，工作盒24两侧分别与相近的压紧弹簧25的另一端连接，工作盒24上设置有放置组件，烘干炉本体1的内部上方安装有安装板15，安装板15的内部开设有滑道14，风箱18的中部沿水平方向滑动安装在滑道14内，烘干炉本体1的右侧滑动安装有U型管13，U型管13的下端沿水平方向滑动安装在烘干炉本体1上，U型管13的另一端位于烘干炉本体1的上方，U型管13的下端和风箱18连通，风箱18的下端连通安装有格栅风口19，格栅风口19的内部安装有V型滤板31，风箱18内安装有电加热板30，电加热板30的外表面缠绕安装有多组电加热丝，格栅风口19位于工作盒24的上方，烘干炉本体1内部安装有调节组件，调节组件和风箱18的上部侧面连接，U型管13的上端安装有软管12，烘干炉本体1的上表面安装有引风机11，引风机11的进风口处安装有引风管10，引风机11的出风口和软管12的另一端连接。

首先，打开炉门6通过进炉口5将放置组件放入工作盒24内，然后启动引风机11通过引风管10将外部空气依次吸入软管12、U型管13直至进入风箱18内，其次在电加热板30和电加热丝的作用下对气体进行加热，使得加热后的气体通过格栅风口19对放置组件上的硅片磷源进行恒温加热，这个过程中，V型滤板31可以使气体均匀分散的透过格栅风口19，以便于提升对硅片磷源的烘干效果，其中，通过调节组件可以带动风箱18运动，从而使得风箱18可以在安装板15的滑道14内做来回往复运动，风箱18运动带动格栅风口19移动，从而通过加热气体对硅片磷源进行均匀烘干运动，进一步提升对硅片磷源的烘干效果，通过排气管2可以排出有害气体并进行收集，避免有害气体污染大气。

放置组件包括开设于工作盒24侧面的固定槽，固定槽内滑动安装有工作板26，工作板26的外侧安装有把手23，工作板26的上表面均匀安装有多个圆柱27，圆柱27的上表面开设有放置槽28，工作板26的底面和工作盒24的底面开设有多个上下对应的通孔29。先将硅片磷源放置在圆柱27的放置槽28内，然后通过把手23将工作板26滑入工作盒24的固定槽内，以便于对硅片磷源进行烘干工作。

调节组件包括转动安装在烘干炉本体1内部的丝杠16，丝杠16的左端凸出于烘干炉本体1的左侧壁，丝杠16上螺纹安装有安装块17，安装块17和风箱18的上部侧面连接，烘干炉本体1的左侧外表面安装有驱动组件，驱动组件和丝杠16的左端连接。通过驱动组件带动丝杠16转动，丝杠16转动带动其上的安装块17移动，安装块17移动带动风箱18移动，从而可以不断调节风箱18的位置，以有效提升对硅片磷源的均匀烘干工作。

驱动组件包括安装在烘干炉本体1左侧外表面的电机支架3，电机支架3上安装有电机4，电机4的输出轴通过联轴器连接在丝杠16的左端，电机4的输入端电连接外部控制器的输出端。通过外部控制器控制电机4工作，电机4工作带动丝杠16，从而通过电动完成对硅片磷源的烘干工作。

还包括皮带8，丝杠16的左端轴上安装有第二皮带轮9，烘干炉本体1的左侧转动安装有转轴22，转轴22的左端安装有第一皮带轮7，第一皮带轮7和第二皮带轮9通过皮带8传动配合连接，转轴22的右端安装有齿轮21，工作盒24的上表面左侧安装有齿条20，齿条20和齿轮21啮合连接。通过丝杠16转动带动第一皮带轮7转动，第一皮带轮7转动在第一皮带轮7、第二皮带轮9和皮带8的配合作用下带动第二皮带轮9转动，第二皮带轮9转动带动转轴22转动，转轴22转动带动齿轮21转动，齿轮21与齿条20啮合连接，从而使得齿条20移动带动工作盒24移动，工作盒24在压紧弹簧25的作用下，可以使得工作盒24轻微晃动并且齿轮21与齿条20处于一直啮合的状态，从而在工作盒24轻微晃动下将硅片磷源的上的水渍晃出，以提升对硅片磷源的烘干效率。

本实用新型提供的一种恒温磷源表面烘干推进炉的工作原理如下：首先，打开炉门6通过进炉口5将放置组件放入工作盒24内，然后启动引风机11通过引风管10将外部空气依次吸入软管12、U型管13直至进入风箱18内，其次在电加热板30和电加热丝的作用下对气体进行加热，使得加热后的气体通过格栅风口19对放置组件上的硅片磷源进行恒温加热，这个过程中，V型滤板31可以使气体均匀分散的透过格栅风口19，以便于提升对硅片磷源的烘干效果，其中，通过调节组件可以带动风箱18运动，从而使得风箱18可以在安装板15的滑道14内做来回往复运动，风箱18运动带动格栅风口19移动，从而通过加热气体对硅片磷源进行均匀烘干运动，进一步提升对硅片磷源的烘干效果。先将硅片磷源放置在圆柱27的放置槽28内，然后通过把手23将工作板26滑入工作盒24的固定槽内，以便于对硅片磷源进行烘干工作。通过驱动组件带动丝杠16转动，丝杠16转动带动其上的安装块17移动，安装块17移动带动风箱18移动，从而可以不断调节风箱18的位置，以有效提升对硅片磷源的均匀烘干工作。通过外部控制器控制电机4工作，电机4工作带动丝杠16，从而通过电动完成对硅片磷源的烘干工作。通过丝杠16转动带动第一皮带轮7转动，第一皮带轮7转动在第一皮带轮7、第二皮带轮9和皮带8的配合作用下带动第二皮带轮9转动，第二皮带轮9转动带动转轴22转动，转轴22转动带动齿轮21转动，齿轮21与齿条20啮合连接，从而使得齿条20移动带动工作盒24移动，工作盒24在压紧弹簧25的作用下，可以使得工作盒24轻微晃动并且齿轮21与齿条20处于一直啮合的状态，从而在工作盒24轻微晃动下将硅片磷源的上的水渍晃出，以提升对硅片磷源的烘干效率。

值得注意的是，本实施例中，外部控制器核心芯片选用的是STC单片机，具体型号为STC15W204S，电机4则可根据实际应用场景自由配置，电机4可选用北京市三菱电机(中国)有限公司出品的JE系列单相伺服电机。外部控制器控制电机4工作采用现有技术中常用的方法。

以上仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (5)

1.一种恒温磷源表面烘干推进炉，其特征在于：包括烘干炉本体（1）、工作盒（24）、风箱（18）和调节组件；

所述烘干炉本体（1）的一侧开设有进炉口（5），所述进炉口（5）的上下内壁通过销轴转动安装有炉门（6），所述烘干炉本体（1）的上表面安装有排气管（2），所述烘干炉本体（1）的内部两侧对称设置有多个压紧弹簧（25），两侧的压紧弹簧（25）一一对应，所述工作盒（24）两侧分别与相近的压紧弹簧（25）的另一端连接，所述工作盒（24）上设置有放置组件，所述烘干炉本体（1）的内部上方安装有安装板（15），所述安装板（15）的内部开设有滑道（14），所述风箱（18）的中部沿水平方向滑动安装在滑道（14）内，所述烘干炉本体（1）的右侧滑动安装有U型管（13），所述U型管（13）的下端沿水平方向滑动安装在烘干炉本体（1）上，所述U型管（13）的另一端位于烘干炉本体（1）的上方，所述U型管（13）的下端和风箱（18）连通，所述风箱（18）的下端连通安装有格栅风口（19），所述格栅风口（19）的内部安装有V型滤板（31），所述风箱（18）内安装有电加热板（30），所述电加热板（30）的外表面缠绕安装有多组电加热丝，所述格栅风口（19）位于工作盒（24）的上方，所述烘干炉本体（1）内部安装有调节组件，所述调节组件和风箱（18）的上部侧面连接，所述U型管（13）的上端安装有软管（12），所述烘干炉本体（1）的上表面安装有引风机（11），所述引风机（11）的进风口处安装有引风管（10），所述引风机（11）的出风口和软管（12）的另一端连接。

2.根据权利要求1所述的一种恒温磷源表面烘干推进炉，其特征在于：所述放置组件包括开设于工作盒（24）侧面的固定槽，所述固定槽内滑动安装有工作板（26），所述工作板（26）的外侧安装有把手（23），所述工作板（26）的上表面均匀安装有多个圆柱（27），所述圆柱（27）的上表面开设有放置槽（28），所述工作板（26）的底面和工作盒（24）的底面开设有多个上下对应的通孔（29）。

3.根据权利要求1所述的一种恒温磷源表面烘干推进炉，其特征在于：所述调节组件包括转动安装在烘干炉本体（1）内部的丝杠（16），所述丝杠（16）的左端凸出于烘干炉本体（1）的左侧壁，所述丝杠（16）上螺纹安装有安装块（17），所述安装块（17）和风箱（18）的上部侧面连接，所述烘干炉本体（1）的左侧外表面安装有驱动组件，所述驱动组件和丝杠（16）的左端连接。

4.根据权利要求3所述的一种恒温磷源表面烘干推进炉，其特征在于：所述驱动组件包括安装在烘干炉本体（1）左侧外表面的电机支架（3），所述电机支架（3）上安装有电机（4），所述电机（4）的输出轴通过联轴器连接在丝杠（16）的左端，所述电机（4）的输入端电连接外部控制器的输出端。

5.根据权利要求3所述的一种恒温磷源表面烘干推进炉，其特征在于：还包括皮带（8），所述丝杠（16）的左端轴上安装有第二皮带轮（9），所述烘干炉本体（1）的左侧转动安装有转轴（22），所述转轴（22）的左端安装有第一皮带轮（7），所述第一皮带轮（7）和第二皮带轮（9）通过皮带（8）传动配合连接，所述转轴（22）的右端安装有齿轮（21），所述工作盒（24）的上表面左侧安装有齿条（20），所述齿条（20）和齿轮（21）啮合连接。