CN221051660U - 一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐 - Google Patents

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钱志刚
刘顺江
吕灵娟
冯文秀
邹允耕
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Abstract

本实用新型公开了一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,涉及氢氟酸处理技术领域。包括固定桶,所述固定桶上设置有用于提供支持的支撑组件,所述支撑组件上分别设置有用于对转动方向进行改变的第一换向组件和第二换向组件,所述第一换向组件包括多个第一连接板,所述第一连接板上均设有第二齿轮,所述第二换向组件包括第二连接板。本实用新型通过第一换向组件、第二换向组件和支撑组件的设置,实现了通过第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮的配合从而控制固定板进行不同方向的转动,避免搅拌杆只能进行单一方向的转动,使得需要改变转动方向进行不同方向的搅拌,缩短搅拌时间,同时在转动罩和固定环的配合下带动固定板进行整体旋转,确保搅拌的均匀。

Description

一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐
技术领域
本实用新型涉及氢氟酸处理技术领域,具体涉及一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐。
背景技术
电子级氢氟酸是一种高度纯净的氢氟酸溶液,主要用于半导体制造过程中的清洗和刻蚀,由于其具有高度的腐蚀性和毒性,因此需要严格的安全措施和操作规程,电子级氢氟酸是一种重要的工业化学品,对于推动半导体行业的发展起着至关重要的,作用光伏产业中单晶硅原料清洗、硅片刻蚀、抛光等过程都需要用到氢氟酸,会产生大量的含氢氟酸废水,氢氟酸具有pH值低、腐蚀性强、氧化性强且电导率高的特点,直接排放会对环境造成重大污染,目前针对含氢氟酸废水的处理工艺主要采用沉淀法,即向含氢氟酸废水中投加熟石灰、氯化钙及混凝剂等药剂使氟离子与钙离子生成氟化钙,来达到去除氟的目的。
在对氢氟酸废水进行处理前,需要向缓冲罐内部的氢氟酸废水中添加碱性溶液,从而通过化学反应将酸性废气转化为盐类物质,从而达到净化废气的目的,在添加碱性溶液时,需要通过搅拌设备充分的将碱性溶液与氢氟酸废水搅拌混合,目前在使用搅拌设备在搅拌时,搅拌杆只能进行单一方向的转动,使得需要改变转动方向进行不同方向的搅拌,导致需要增加搅拌时间,确保搅拌混合的均匀,为此提出一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐。
实用新型内容
本实用新型的目的在于:为解决搅拌杆只能进行单一方向的转动的问题,本实用新型提供了一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐。
本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案:
一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,包括固定桶,所述固定桶上设置有用于提供支持的支撑组件,所述支撑组件上分别设置有用于对转动方向进行改变的第一换向组件和第二换向组件,所述第一换向组件包括多个第一连接板,所述第一连接板上均设有第二齿轮,所述第二换向组件包括第二连接板,所述第二连接板上均设有多个第四齿轮,所述第一换向组件和第二换向组件底部均设置有用于进行搅拌的搅拌组件,所述固定桶内设置有用于带动液体进行扰动的扰动组件。
进一步地,所述固定桶顶部设有固定盖,所述固定盖上均设有多个进料管,所述固定桶外侧均设有多个支撑腿,所述固定桶底部设有出料管,所述固定盖顶部设有电动机。
进一步地,所述支撑组件包括固定环,所述固定环与固定盖相连接,所述固定环内部设有转动罩。
进一步地,所述固定环截面呈L状,且转动罩在固定环内部转动。
进一步地,所述扰动组件包括连接轴,所述连接轴与转动罩相连接,所述连接轴底部设有搅拌杆,所述连接轴外侧分别设有第三齿轮和螺旋板。
进一步地,所述第四齿轮和第二齿轮内部均设有固定杆,所述第四齿轮和第二齿轮与固定杆相连接,所述固定杆与转动罩相连接,且第四齿轮和第二齿轮与第三齿轮相啮合,所述第二连接板和第一连接板底部均设有第一齿轮,且第一齿轮分别与第二齿轮和第四齿轮相啮合。
进一步地,所述搅拌组件包括多个固定轴,所述固定轴与第一齿轮相对应,且固定轴与第一齿轮相连接,所述固定轴外侧均设有固定板。
进一步地,所述电动机底部安装有传动箱,所述传动箱与固定盖相连接,且传动箱输出端与连接轴相连接。
进一步地,所述进料管和出料管内部均设有控制阀。
进一步地,所述螺旋板、连接轴和搅拌杆表面均涂覆有耐腐蚀涂层。
本实用新型的有益效果如下:
本实用新型通过第一换向组件、第二换向组件和支撑组件的设置,实现了通过第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮的配合从而控制固定板进行不同方向的转动,避免搅拌杆只能进行单一方向的转动,使得需要改变转动方向进行不同方向的搅拌,缩短搅拌时间,同时在转动罩和固定环的配合下带动固定板进行整体旋转,确保搅拌的均匀。
通过扰动组件的设置,实现了通过连接轴、螺旋板和搅拌杆的配合,从而对固定桶内部的液体进行充分扰动,便于固定板进行搅拌混合。
附图说明
图1是本实用新型立体结构示意图;
图2是本实用新型固定桶局部剖视图;
图3是本实用新型支撑组件局部剖视图;
图4是本实用新型第二换向组件放大视图;
附图标记:1、固定桶;101、固定盖;102、进料管;103、出料管;104、支撑腿;105、电动机;3、第一换向组件;301、第一连接板;302、第一齿轮;303、第二齿轮;4、支撑组件;401、固定环;402、转动罩;5、扰动组件;501、连接轴;502、第三齿轮;503、搅拌杆;504、螺旋板;6、搅拌组件;601、固定板;602、固定轴;7、第二换向组件;701、第二连接板;702、第四齿轮。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接,并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
在本实用新型实施方式的描述中,需要说明的是,术语“内”、“外”、“上”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
如图1-4所示,一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,包括固定桶1,固定桶1上设置有用于提供支持的支撑组件4,支撑组件4上分别设置有用于对转动方向进行改变的第一换向组件3和第二换向组件7,第一换向组件3包括多个第一连接板301,第一连接板301上均设有第二齿轮303,第二换向组件7包括第二连接板701,第二连接板701上均设有多个第四齿轮702,第一换向组件3和第二换向组件7底部均设置有用于进行搅拌的搅拌组件6,固定桶1内设置有用于带动液体进行扰动的扰动组件5,在使用时,首先将氢氟酸与碱性溶液分别向固定桶1内部添加,添加完成后通过第一换向组件3和第二换向组件7配合扰动组件5带动内部的氢氟酸与碱性溶液进行搅动,在搅动的同时配合搅拌组件6对氢氟酸与碱性溶液进行充分的搅拌,使得氢氟酸与碱性溶液混合,从而通过化学反应将酸性废气转化为盐类物质。
如图1、2所示,固定桶1顶部设有固定盖101,固定盖101上均设有多个进料管102,固定桶1外侧均设有多个支撑腿104,固定桶1底部设有出料管103,固定盖101顶部设有电动机105,固定桶1底部呈碗状,便于对盐类物质进行沉淀收集,在使用时,通过固定盖101对固定桶1顶部进行密封,避免在使用时氢氟酸泄漏造成污染。
如图2、3所示,支撑组件4包括固定环401,固定环401与固定盖101相连接,固定环401内部设有转动罩402,在使用时,通过固定环401和转动罩402的配合,从而对第二换向组件7和第一换向组件3进行支撑,确保使用时的稳定。
如图2、3所示,固定环401截面呈L状,且转动罩402在固定环401内部转动,在对氢氟酸与碱性溶液混合时,通过第二换向组件7、第一换向组件3与扰动组件5的配合,从而带动转动罩402相对于固定环401进行旋转,使得搅拌组件6配合扰动组件5对氢氟酸与碱性溶液进行充分的混合。
如图2-4所示,扰动组件5包括连接轴501,连接轴501与转动罩402相连接,连接轴501底部设有搅拌杆503,连接轴501外侧分别设有第三齿轮502和螺旋板504,连接轴501在转动罩402内部转动,螺旋板504旋转时能够推动氢氟酸与碱性溶液混合进行扰动,搅拌杆503与固定桶1底部相贴合,从而对固定桶1底部的液体进行搅拌,确保混合时的均匀,在使用时,首先通过电动机105带动连接轴501进行转动,从而螺旋板504配合搅拌杆503带动液体在桶内进行上下循环,使得氢氟酸与碱性溶液能够进行混合。
如图2-4所示,第四齿轮702和第二齿轮303内部均设有固定杆,第四齿轮702和第二齿轮303与固定杆相连接,固定杆与转动罩402相连接,且第四齿轮702和第二齿轮303与第三齿轮502相啮合,第二连接板701和第一连接板301底部均设有第一齿轮302,且第一齿轮302分别与第二齿轮303和第四齿轮702相啮合,第二齿轮303的数量为奇数,第四齿轮702的数量为偶数,在使用时,旋转的第三齿轮502分别与第二齿轮303和第四齿轮702进行啮合,从而对动力进行传递,使得第四齿轮702和第二齿轮303分别通过第一齿轮302带动搅拌组件6进行旋转,从而对氢氟酸与碱性溶液进行搅拌,在第二齿轮303和第四齿轮702与第三齿轮502啮合转动的同时,第四齿轮702和第二齿轮303绕着第三齿轮502进行转动,从而通过转动罩402带动搅拌组件6相对于固定环401进行旋转,使得搅拌组件6在自转的同时随着转动罩402进行移动,确保氢氟酸与碱性溶液搅拌的充分。
如图2-4所示,搅拌组件6包括多个固定轴602,固定轴602与第一齿轮302相对应,且固定轴602与第一齿轮302相连接,固定轴602外侧均设有固定板601,在使用时,转动的固定板601推动氢氟酸与碱性溶液,同时在螺旋板504的配合下,对氢氟酸与碱性溶液进行混合,确保对氢氟酸废水处理的效果。
如图1、2所示,电动机105底部安装有传动箱,传动箱与固定盖101相连接,且传动箱输出端与连接轴501相连接,传动箱内部设置有变速齿轮组,从而能够对电动机105的转动速度进行改变,确保在搅拌时氢氟酸与碱性溶液混合的均匀。
如图1、2所示,进料管102和出料管103内部均设有控制阀,在使用时,通过控制阀对进料管102和出料管103进行关闭,避免在搅拌时氢氟酸发生泄漏,确保使用时的稳定性。
如图2、3所示,螺旋板504、连接轴501和搅拌杆503表面均涂覆有耐腐蚀涂层,涂覆有耐腐蚀涂层的螺旋板504、连接轴501和搅拌杆503在使用时,避免受到氢氟酸与碱性溶液的腐蚀,从而延长设备的使用寿命。
综上,在使用时,首先将氢氟酸与碱性溶液分别向固定桶1内部添加,添加完成后通过第一换向组件3和第二换向组件7配合扰动组件5带动内部的氢氟酸与碱性溶液进行搅动,在搅动的同时配合搅拌组件6对氢氟酸与碱性溶液进行充分的搅拌,使得氢氟酸与碱性溶液混合,从而通过化学反应将酸性废气转化为盐类物质,固定桶1底部呈碗状,便于对盐类物质进行沉淀收集,在使用时,通过固定盖101对固定桶1顶部进行密封,避免在使用时氢氟酸泄漏造成污染,在使用时,通过固定环401和转动罩402的配合,从而对第二换向组件7和第一换向组件3进行支撑,确保使用时的稳定,在对氢氟酸与碱性溶液混合时,通过第二换向组件7、第一换向组件3与扰动组件5的配合,从而带动转动罩402相对于固定环401进行旋转,使得搅拌组件6配合扰动组件5对氢氟酸与碱性溶液进行充分的混合,连接轴501在转动罩402内部转动,螺旋板504旋转时能够推动氢氟酸与碱性溶液混合进行扰动,搅拌杆503与固定桶1底部相贴合,从而对固定桶1底部的液体进行搅拌,确保混合时的均匀,在使用时,首先通过电动机105带动连接轴501进行转动,从而螺旋板504配合搅拌杆503带动液体在桶内进行上下循环,使得氢氟酸与碱性溶液能够进行混合,第二齿轮303的数量为奇数,第四齿轮702的数量为偶数,在使用时,旋转的第三齿轮502分别与第二齿轮303和第四齿轮702进行啮合,从而对动力进行传递,使得第四齿轮702和第二齿轮303分别通过第一齿轮302带动搅拌组件6进行旋转,从而对氢氟酸与碱性溶液进行搅拌,在第二齿轮303和第四齿轮702与第三齿轮502啮合转动的同时,第四齿轮702和第二齿轮303绕着第三齿轮502进行转动,从而通过转动罩402带动搅拌组件6相对于固定环401进行旋转,使得搅拌组件6在自转的同时随着转动罩402进行移动,确保氢氟酸与碱性溶液搅拌的充分,在使用时,转动的固定板601推动氢氟酸与碱性溶液,同时在螺旋板504的配合下,对氢氟酸与碱性溶液进行混合,确保对氢氟酸废水处理的效果,传动箱内部设置有变速齿轮组,从而能够对电动机105的转动速度进行改变,确保在搅拌时氢氟酸与碱性溶液混合的均匀,在使用时,通过控制阀对进料管102和出料管103进行关闭,避免在搅拌时氢氟酸发生泄漏,确保使用时的稳定性,涂覆有耐腐蚀涂层的螺旋板504、连接轴501和搅拌杆503在使用时,避免受到氢氟酸与碱性溶液的腐蚀,从而延长设备的使用寿命。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (10)

1.一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,其特征在于,包括固定桶(1),所述固定桶(1)上设置有用于提供支持的支撑组件(4),所述支撑组件(4)上分别设置有用于对转动方向进行改变的第一换向组件(3)和第二换向组件(7),所述第一换向组件(3)包括多个第一连接板(301),所述第一连接板(301)上均设有第二齿轮(303),所述第二换向组件(7)包括第二连接板(701),所述第二连接板(701)上均设有多个第四齿轮(702),所述第一换向组件(3)和第二换向组件(7)底部均设置有用于进行搅拌的搅拌组件(6),所述固定桶(1)内设置有用于带动液体进行扰动的扰动组件(5)。
2.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,其特征在于,所述固定桶(1)顶部设有固定盖(101),所述固定盖(101)上均设有多个进料管(102),所述固定桶(1)外侧均设有多个支撑腿(104),所述固定桶(1)底部设有出料管(103),所述固定盖(101)顶部设有电动机(105)。
3.根据权利要求2所述的一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,其特征在于,所述支撑组件(4)包括固定环(401),所述固定环(401)与固定盖(101)相连接,所述固定环(401)内部设有转动罩(402)。
4.根据权利要求3所述的一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,其特征在于,所述固定环(401)截面呈L状,且转动罩(402)在固定环(401)内部转动。
5.根据权利要求3所述的一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,其特征在于,所述扰动组件(5)包括连接轴(501),所述连接轴(501)与转动罩(402)相连接,所述连接轴(501)底部设有搅拌杆(503),所述连接轴(501)外侧分别设有第三齿轮(502)和螺旋板(504)。
6.根据权利要求3所述的一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,其特征在于,所述第四齿轮(702)和第二齿轮(303)内部均设有固定杆,所述第四齿轮(702)和第二齿轮(303)与固定杆相连接,所述固定杆与转动罩(402)相连接,且第四齿轮(702)和第二齿轮(303)与第三齿轮(502)相啮合,所述第二连接板(701)和第一连接板(301)底部均设有第一齿轮(302),且第一齿轮(302)分别与第二齿轮(303)和第四齿轮(702)相啮合。
7.根据权利要求5所述的一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,其特征在于,所述搅拌组件(6)包括多个固定轴(602),所述固定轴(602)与第一齿轮(302)相对应,且固定轴(602)与第一齿轮(302)相连接,所述固定轴(602)外侧均设有固定板(601)。
8.根据权利要求2所述的一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,其特征在于,所述电动机(105)底部安装有传动箱,所述传动箱与固定盖(101)相连接,且传动箱输出端与连接轴(501)相连接。
9.根据权利要求2所述的一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,其特征在于,所述进料管(102)和出料管(103)内部均设有控制阀。
10.根据权利要求5所述的一种电子级氢氟酸的废水缓冲罐,其特征在于,所述螺旋板(504)、连接轴(501)和搅拌杆(503)表面均涂覆有耐腐蚀涂层。
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