CN220913405U - 一种用于提高光学设备视场稳定性的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，包括光纤、色轮，还包括光纤固定架，光纤固定架对光纤伸出于色轮上方的一段长度进行定位，“一段长度”的光纤与色轮同轴心。本实用新型中光纤随色轮的转动处于的角度变化相同，光纤下端在随色轮转动的时候，不会发生失衡的问题；不同的色轮滤光片下的视场光亮强度及角度不易产生变化，避免了视场的光亮强度的差异，提高数据及特征的抓取和数据的采集的精度；光纤固定长度保持一致，不会因为安装人员的不同而残留长度不同，从而提升了测试结果准确性。

Description

一种用于提高光学设备视场稳定性的装置

技术领域

本实用新型涉及一种机台结构，具体来说是一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，用于半导体制造工艺设备中对相机视场明暗度均匀性的保持，以及色轮的平衡保持。

背景技术

在现有的半导体设备中，通常需要通过CCD传感器来观察、确认设备量测内容的状态；当涉及到高精度的图像数据采集时或特征抓取时，此时就需要用到光源来照亮我们需要采集的位置或者相应的特征；为了应对不同的材料对光的折射及波长的需要，我们通常会在光源的色轮上设定不同颜色的滤光片来配合使用，这里就会涉及到色轮在运动后如何保持平衡的问题；当前大家常见的使用方法是将LED光源一端固定在色轮上，然后将LED光缆光纤相对垂直的固定在机台内侧上方的横梁上；由于LED光缆光纤相对较粗，且自身带有一定的重力，在日常的运作使用中较容易失衡，导致在不同的色轮滤光片下的视场光亮强度及角度产生变化，从而导致视场的光亮强度存在差异，影响高精度数据及特征的抓取和数据的采集。

发明内容

现有技术存在的技术问题为：LED光缆光纤随色轮的转动处于的角度变化不同，LED光缆光纤所受到的外力会导致相机视场变化；LED光缆光纤固定长度随安装人员的不同而残留长度不同，从而影响度状态和测试结果。

因此，本实用新型旨在提供一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，既可以确保色轮在旋转运动状态下处于平衡状态，又可以保持视场光亮明暗度的相对均衡。具体采取以下技术方案：

一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，包括光纤1、色轮6，还包括光纤固定架2，所述光纤固定架2对光纤1位于色轮6上方的一段长度进行定位，使得所述“一段长度”的光纤1与色轮6同轴心。

优选的，所述光纤1与色轮6连接段的安装一支撑件4，用于确保光纤1连接段与色轮相对垂直。

优选的，所述“一段长度”的光纤1位于色轮6上方100-200mm处。

进一步的，确保光纤1与色轮6最靠近的至少100mm处于自然的自由落体状态。

进一步的，所述光纤固定架2与光纤1之间通过1-2个光纤固定点位进行固定。

进一步的，色轮6固定在色轮架上，光纤固定架2一端通过螺栓固定安装在所述色轮架上，另一端向上延伸平行于色轮中轴线，并与光纤1通过扎带绑扎固定。

优选的，光纤1的长度可调整，调整后使得：光纤对色轮的负载降低为0或设定值以下。

优选的，与所述“一段长度”的光纤1对应的光纤固定架2的横截面呈凹形，半包裹住所述光纤1。

优选的，所述光纤固定架2呈L形，下端与光纤1固定，上通过龙骨固定螺栓7与外部结构固定。

优选的，所述光纤固定架2呈Z形，上端与光纤1固定，下端与色轮架固定。

本实用新型中的有益效果在于：

1)光纤随色轮的转动处于的角度变化相同，光纤下端在随色轮转动的时候，不会发生失衡的问题；

2)不同的色轮滤光片下的视场光亮强度及角度不易产生变化，避免了视场的光亮强度的差异，提高数据及特征的抓取和数据的采集的精度；

3)光纤固定长度保持一致，不会因为安装人员的不同而残留长度不同，从而提升了测试结果准确性。

附图说明

图1是本实用新型用于提高光学设备视场稳定性的装置的实施例一的示意图。

图2是本实用新型用于提高光学设备视场稳定性的装置的实施例二的示意图。

图3是光纤与光纤固定支架固定处的截面示意图。

图中，1.光纤，2.光纤固定架，4.支撑件，5.固定螺栓，6.色轮，7.龙骨固定螺栓。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。

实施例一：

LED光纤1一端固定在色轮架上，在色轮架底部或以色轮中心为中心的内部机构顶端制作一个同心的结构，使上部LED光缆的中心与下部色轮的中心相互对应，如图1所示。确保LED与色轮的高精度相对垂直，需要以上结构下的色轮在运动状态下一直保持在一个特定角度范围内的状态，从而保持视场光强的均衡性。

在色轮上方100-200mm的位置开始固定光缆，使光缆与色轮结构同心的同时，0-100mm处于一个自然的自由落体状态；如图1所示。同时固定住色轮上侧的LED光缆。

为确保LED与色轮的高精度相对垂直，将LED色轮固定侧安装一个高强度、轻质支撑件4，例如弹簧或塑料套管，支撑件4与色轮6相互固定连接，如此结构下的色轮6在运动状态下将一直保持在一个特定角度范围内的状态，从而保持视场光强的均衡性，如图1所示。在此实施例中，支撑件4采用一弹簧。

继续参见图1，所述光纤固定架2与光纤1之间通过2个光纤固定点位进行固定。

色轮6固定在色轮架上，光纤固定架2一端通过螺栓固定安装在所述色轮架上，另一端向上延伸平行于色轮中轴线，并与光纤1通过扎带绑扎固定。

光纤1的长度可调整，调整后使得：光纤对色轮的负载降低为0或设定值以下。

如图3所示，为了进一步提升本技术方案的效果，保证光缆光纤上端与色轮同心状态，在关于光纤固定支架与光纤的固定段可以选择如图3所示的凹槽固定支架，光缆光纤可以固定支架的凹槽中进行固定，相较于扎带捆绑，此种方式进一步保证了光纤一段与色轮处于同心状态。为了保证光缆光纤的固定效果，此处光纤固定支架也可以采用硬质塑胶材质，以便于将光缆光纤以卡扣的形式固定在凹槽中。

在此实施例中，参见图1，所述光纤固定架2呈Z形，上端与光纤1固定，下端与色轮架固定。

实施例二：

本实施例参见图2，本实施例与实施例一不同之处在于：所述光纤固定架2呈L形，下端与光纤1固定，上通过龙骨固定螺栓7与外部结构固定。

如图所3示，装置包括龙骨固定螺栓7，光纤固定架2，光纤固定点位(1个或多个)，支撑件，色轮，光纤固定支架通过龙骨固定螺栓固定安装在设备龙骨(未画出)上，光纤固定支架2为L型，另一端与光缆光纤固定(如通过扎带捆绑)，光缆光纤与色轮连接处有支持件，例如弹簧或者塑料套管，此处支持件包裹于光缆光纤外部，支持件与色轮固定连接，确保光缆光纤与色轮连接处的垂直度。其中，光纤固定支架平行设置于色轮中轴线附近，保证光缆光纤的一端与色轮处于同心状态。

其余同实施例一。

以上是本实用新型的优选实施例，本领域普通技术人员还可以在此基础上进行各自变换或改进，在不脱离本实用新型总的构思的前提下，这些变换或改进都属于本实用新型要求保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种用于提高光学设备视场稳定性的装置，包括光纤(1)、色轮(6)，其特征在于：

还包括光纤固定架(2)，所述光纤固定架(2)对光纤(1)位于色轮(6)上方的一段长度进行定位，使得所述“一段长度”的光纤(1)与色轮(6)同轴心。

2.如权利要求1所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤(1)与色轮(6)连接段设有一支撑件(4)，用于支撑光纤(1)使光纤连接段与色轮相对垂直。

3.如权利要求1所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述“一段长度”的光纤(1)位于色轮(6)上方100-200mm处。

4.如权利要求2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：确保光纤(1)与色轮(6)最靠近的至少100mm处于自然的自由落体状态。

5.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤固定架(2)与光纤(1)之间通过1-2个光纤固定点位进行固定。

6.如权利要求2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：色轮(6)固定在色轮架上，光纤固定架(2)一端通过螺栓固定安装在所述色轮架上，另一端向上延伸平行于色轮中轴线，并与光纤(1)通过扎带绑扎固定。

7.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：光纤(1)的长度可调整，调整后使得：光纤对色轮的负载降低为0或设定值以下。

8.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：与所述“一段长度”的光纤(1)对应的光纤固定架(2)的横截面呈凹形，半包裹住所述光纤(1)。

9.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤固定架(2)呈L形，下端与光纤(1)固定，上通过龙骨固定螺栓(7)与外部结构固定。

10.如权利要求1或2所述的用于提高光学设备视场稳定性的装置，其特征在于：所述光纤固定架(2)呈Z形，上端与光纤(1)固定，下端与色轮架固定。