CN220774324U - 晶圆校准装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆校准装置。该装置包括支撑台、检测组件、调整组件和升降组件，支撑台用于承托卡匣；检测组件安装于支撑台，检测组件用于检测脱离预设位置的晶圆；调整组件安装于支撑台，调整组件的推动件能够将脱离预设位置的晶圆推至预设位置；升降组件安装于支撑台，升降组件与调整组件连接，升降组件能够带动推动件降至支撑台的支撑面之下。检测组件能够检测晶圆的位置，若晶圆脱离预设位置，则由调整组件将晶圆调整至预设位置，降低后续晶圆检测的出错率，防止晶圆破损；通过设置升降组件将推动件降至支撑台的支撑面之下，从而避免推动件遮挡卡匣的开口，方便后续检测装置夹取晶圆。

Description

晶圆校准装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆校准装置。

背景技术

在半导体制造过程中，晶圆放置在开放式卡匣中运输时，晶圆的位置会发生改变，使晶圆脱离在卡匣中的预设位置，而晶圆在检测过程中，晶圆的夹持位置直接影响晶圆的检测效果。

由于卡匣单侧开放，晶圆位置校准设备位于卡匣开口一侧，这样即使将卡匣内晶圆的位置进行校准后还要进行二次移动，才能使晶圆检测装置的机械手臂夹取晶圆，然而对卡匣的二次移动也会造成晶圆位置的变化，从而导致检测出错，影响检测效率；严重时可能导致晶圆与机械手臂碰撞或者晶圆从机械手臂上掉落，造成晶圆破损，直接造成经济损失。

因此，亟需一种晶圆校准装置，以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种晶圆校准装置，能够校准卡匣中晶圆的位置，并不需要二次移动，机械手臂能直接夹取晶圆。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种晶圆校准装置，用于校准卡匣内晶圆的位置，包括：

支撑台，所述支撑台用于承托所述卡匣；

检测组件，所述检测组件安装于所述支撑台，所述检测组件用于检测脱离预设位置的所述晶圆；

调整组件，所述调整组件安装于所述支撑台，所述调整组件包括推动件，所述推动件能够将脱离所述预设位置的所述晶圆推至所述预设位置；

升降组件，所述升降组件安装于所述支撑台，所述升降组件与所述调整组件连接，所述升降组件能够带动所述推动件降至所述支撑台的支撑面之下。

作为上述晶圆校准装置的一种优选技术方案，所述升降组件包括第一导轨、第一滑块、第一驱动结构和升降板，所述第一导轨安装于所述支撑台，所述第一滑块固定于所述升降板，所述第一导轨与所述第一滑块滑动连接，所述第一驱动结构的输出端与所述升降板连接，所述第一驱动结构能够带动所述升降板沿所述第一导轨运动，所述调整组件安装于所述升降板。

作为上述晶圆校准装置的一种优选技术方案，所述第一导轨的高度小于所述支撑台支撑面的高度。

作为上述晶圆校准装置的一种优选技术方案，所述调整组件还包括平移结构，所述平移结构安装于所述升降板，所述推动件安装于所述平移结构，所述平移结构能够带动所述推动件水平移动。

作为上述晶圆校准装置的一种优选技术方案，所述推动件包括至少两根推杆，所述推杆对称间隔安装于所述平移结构，所述推杆的对称面经过所述晶圆的圆心。

作为上述晶圆校准装置的一种优选技术方案，所述调整组件还包括平移板，所述平移板与所述平移结构连接，所述平移结构能够带动所述平移板移动，所述推杆安装于所述平移板，所述平移板能够带动所述推杆移动。

作为上述晶圆校准装置的一种优选技术方案，所述平移板具有凸起和凹槽，所述凹槽位于相邻两个所述凸起之间，所述推杆固定于所述凸起，所述支撑台具有缺口和凸块，所述凸块位于相邻两个所述缺口之间，所述凹槽能够容纳所述凸块，所述缺口能够容纳所述凸起。

作为上述晶圆校准装置的一种优选技术方案，所述平移结构包括第二导轨、第二滑块和第二驱动结构，所述第二导轨安装于所述升降板，所述第二滑块固定于所述平移板，所述第二导轨与所述第二滑块滑动连接，所述第二驱动结构的输出端与所述平移板连接，所述第二驱动结构能够带动所述平移板沿所述第二导轨运动。

作为上述晶圆校准装置的一种优选技术方案，所述平移结构还包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件设置于所述第二滑块和所述平移板之间，所述第一连接件与所述第二滑块固定连接，所述第一连接件与所述平移板固定连接，所述第二连接件连接于所述平移板底壁，所述第二驱动结构的输出端与所述第二连接件的侧壁连接。

作为上述晶圆校准装置的一种优选技术方案，所述检测组件包括支架和第一传感器，所述第一传感器安装于所述支架，所述支架固定于所述支撑台，所述支架的高度大于所述卡匣的高度，所述支架的宽度大于所述卡匣的宽度。

本实用新型有益效果：本实用新型提供的晶圆校准装置用于检测卡匣内晶圆的位置，包括支撑台、检测组件、调整组件和升降组件，支撑台用于承托所述卡匣；检测组件安装于支撑台，检测组件用于检测脱离预设位置的晶圆；调整组件安装于支撑台，调整组件包括推动件，推动件能够将脱离预设位置的晶圆推至预设位置；升降组件安装于支撑台，升降组件与调整组件连接，升降组件能够带动推动件降至支撑台的支撑面之下。通过检测组件能够检测晶圆的位置，若晶圆的位置脱离预设位置，则由调整组件将晶圆调整至预设位置，降低后续晶圆检测的出错率，防止晶圆破损；通过设置升降组件能够将推动件降至支撑台的支撑面之下，从而避免推动件遮挡卡匣的开口，方便后续检测装置夹取晶圆。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的晶圆校准装置的工作示意图；

图2为本实用新型实施例提供的晶圆校准装置的第一轴测图；

图3为本实用新型实施例提供的晶圆校准装置的第二轴测图；

图4为本实用新型实施例提供的调整组件的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的晶圆校准装置的第三轴测图。

图中：

1、卡匣；

2、晶圆；

3、支撑台；31、底板；32、第一支撑杆；33、托板；331、通槽；332、第一定位件；333、第二定位件；334、指示灯；335、开关；336、在位压块；337、第二传感器；338、缺口；339、凸块；

4、检测组件；41、第二支撑杆；42、连接板；43、第一传感器；44、反光板；

5、调整组件；51、平移板；511、凸起；512、凹槽；52、第二导轨；53、第二滑块；54、第二气缸；55、第一连接件；56、第二连接件；57、推杆；

6、升降组件；61、第一导轨；62、第一滑块；63、第一气缸；64、升降板；65、第一安装座；66、第二安装座；67、导向杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1至图5所示，本实用新型提供了一种晶圆校准装置，该装置用于检测卡匣1内晶圆2的位置，包括支撑台3、检测组件4、调整组件5和升降组件6。支撑台3用于承托卡匣1，检测组件4用于检测脱离预设位置的晶圆2，调整组件用于将脱离预设位置的晶圆2调整至预设位置，升降组件6能够带动调整组件5升降并能够将调整组件5降至支撑台3的支撑面之下。

具体地，参见图1至图3，卡匣1单侧开放，卡匣1内具有若干平行设置的容纳槽，晶圆2放置于容纳槽内。支撑台3包括底板31、第一支撑杆32、托板33，第一支撑杆32的两端分别连接底板31和托板33，卡匣1放置于托板33上，检测组件4安装于托板33，检测组件4用于检测脱离预设位置的晶圆2；调整组件5安装于底板31，调整组件5包括推动件，推动件能够将脱离预设位置的晶圆2推至预设位置；升降组件6安装于底板31，升降组件6与调整组件5连接，升降组件6能够带动推动件降至托板33支撑面之下。通过检测组件4能够检测晶圆2的位置，若晶圆2的位置脱离预设位置，则由调整组件5将晶圆2调整至预设位置，降低后续晶圆2检测的出错率，防止晶圆2破损；通过设置升降组件6能够将推动件降至支撑台3支撑面之下，从而避免推动件遮挡卡匣1的开口，方便后续检测装置夹取晶圆2。

优选地，检测组件44还包括支架和第一传感器43，第一传感器43安装于支架，支架为门架结构，支架的高度大于卡匣1的高度，支架的宽度大于卡匣1的宽度。具体地，支架包括第二支撑杆41和连接板42，第二支撑杆41的两端分别与托板33和连接板42连接，在本实施例中，两根第二支撑杆41平行间隔设置于托板33的顶壁，两根第二支撑杆41的间隔距离大于卡匣1的宽度，避免第二支撑杆41遮挡卡匣1的开口；两根第二支撑杆41的顶端分别与连接板42的两端通过螺钉螺纹连接，方便第二支撑杆41与连接板42安装，连接板42底壁与托板33顶壁之间的距离大于卡匣1的高度，避免连接板42遮挡卡匣1的开口；第一传感器43安装于连接板42的底壁，用于检测脱离预设位置的晶圆2。当然在其他一些实施例中，第一传感器43也可以安装于托板33；另外，若干第一传感器43还可以平行安装于第二支撑杆41，使晶圆2与第一传感器43一一对应，并且第一传感器43能够检测脱离预设位置的晶圆2。当第一传感器43安装于托板33或连接板42时，第一传感器43与晶圆2垂直分布，第一传感器43通过发出垂直信号检测晶圆2的边缘位置来判定晶圆2是否检测脱离预设位置；当第一传感器43安装于第二支撑杆41时，就要安装若干第一传感器43，使晶圆2与第一传感器43一一对应，第一传感器43通过发出水平信号检测晶圆2的边缘位置来判定晶圆2是否检测脱离预设位置。

优选地，检测组件44还包括反光板44，反光板44设置于托板33，反光板44位于第一传感器43的正下方，第一传感器43的发射器和接收器均安装于连接板42，第一传感器43的发射器发出的光信号能够经反光板44反射并被第一传感器43的接收器接收，卡匣1开口一侧朝向检测组件4，卡匣1内的晶圆2部分外露于卡匣1，若卡匣1内晶圆2的位置脱离预设位置，则晶圆2阻挡第一传感器43发出的光信号，接收器无法接收到光信号，需要对晶圆2的位置进行调整。当然，在其他一些实施例中，第一传感器43的发射器和接收器也可以相对间隔设置。

优选地，为了防止其它光信号的干扰，反光板44设置于托板33底壁，反光板44与托板33通过螺钉螺纹连接，方便对反光板44进行更换，第一传感器43正下方的托板33设置有通槽331，第一传感器43发出的光信号能够穿过通槽331照射至反光板44，这样，能够保证反光板44只会反射第一传感器43发出的光信号，避免其它光信号的干扰，使检测结果更加准确。

优选地，托板33设置有第一定位件332和第二定位件333，第一定位件332和第二定位件333安装于托板33的顶壁，第一定位件332和第二定位件333用于固定卡匣1的位置，当卡匣1放置于托板33时，通过第一定位件332和第二定位件333将卡匣1固定，防止卡匣1移动。

优选地，托板33还设置有在位压块336和第二传感器337，在位压块336穿过托板33与第二传感器337连接，第二传感器337与托板33的底壁通过螺钉螺纹连接，当卡匣1放置于托板33时，通过第一定位件332和第二定位件333将卡匣1固定，卡匣1按压在位压块336，在位压块336触发第二传感器337，用于感应卡匣1是否位于固定位置。

优选地，板33还设置有指示灯334和开关335，指示灯334和开关335设置于托板33的顶壁，指示灯334用于指示晶圆校准装置的工作状态，开关335用于控制晶圆校准装置的开闭。

优选地，调整组件5和升降组件6设置于靠近检测组件4的托板33侧部，升降组件6设置于底板31，调整组件5设置于升降组件6。具体地，调整组件5还包括平移结构，平移结构安装于升降板64，推动件安装于平移结构，平移结构能够带动推动件水平移动。

优选地，如图2和图4所示，推动件包括至少两根推杆57，推杆57对称间隔安装于平移结构，推杆57的对称面经过晶圆2的圆心；调整组件5还包括平移板51，平移板51与平移结构连接，平移结构能够带动平移板51移动，推杆57安装于平移板51，平移板51能够带动推杆57移动；平移板51具有凸起511和凹槽512，凹槽512位于相邻两个凸起511之间，推杆57固定于凸起511，支撑台3具有缺口338和凸块339，凸块339位于相邻两个缺口338之间，凹槽512能够容纳凸块339，缺口338能够容纳凸起511。

具体地，在本实施例中，推动件包括两根推杆57，两根推杆57安装于平移板51，平移结构能够带动平移板51移动，使得两根推杆57能够同步运动；两根推杆57对称间隔安装于平移板51，两根推杆57的对称面经过晶圆2的圆心，使得两根推杆57能够同时接触或分离晶圆2两侧，使晶圆2受力平衡；托板33具有两个凸起511和凹槽512，凹槽512位于两个凸起511之间，两根推杆57安装于两个凸起511，托板33具有两个缺口338和凸块339，凸块339位于两个缺口338之间，凹槽512能够容纳凸块339，两个缺口338能够容纳两个凸起511，防止平移板51遮挡反光板44；两根推杆57的对称面经过通槽331，使得第一传感器43能够检测晶圆2的边缘位置。当然，在其他一些实施例中，推动件的数量和位置可以根据实际需要设置，推动件也可以为推动板。

优选地，为了保护晶圆2，在推杆57上设置缓冲垫，使晶圆2与缓冲垫接触，能够缓冲推杆57的冲击力，避免晶圆2损坏。缓冲垫为柔性材料，例如海绵、橡胶等材料。

优选地，平移结构包括第二导轨52、第二滑块53和第二驱动结构，第二导轨52安装于升降板64，第二滑块53固定于平移板51，第二导轨52与第二滑块53滑动连接，第二驱动结构的输出端与平移板51连接，第二驱动结构能够带动平移板51沿第二导轨52运动。具体地，在本实施例中，第二驱动结构包括第二气缸54，第二导轨52安装于升降板64顶壁，第二滑块53安装于平移板51，第二导轨52与第二滑块53滑动连接，第二气缸54安装于升降板64顶壁，第二气缸54的伸缩杆与平移板51连接，第二气缸54能够推动平移板51沿第二导轨52运动，从而带动推杆57对晶圆2的位置进行调整。

当然，在其他一些实施例中，第二导轨52和第二滑块53还可以是导向杆结构，导向杆结构安装于升降板64顶壁，平移板51能够沿导向杆的长度方向运动；第二导轨52和第二滑块53还可以是丝杠结构，丝杠结构安装于升降板64顶壁，平移板51与丝杠结构螺纹连接，使平移板51能够沿丝杠的长度方向运动；第二驱动结构也可以是电动推杆、油缸等结构，用于驱动平移板51运动。

优选地，平移结构还包括第一连接件55和第二连接件56，第一连接件55设置于第二滑块53和平移板51之间，第一连接件55与第二滑块53固定连接，第一连接件55与平移板51固定连接，第二连接件56连接于平移板51底壁，第二驱动结构的输出端与第二连接件56的侧壁连接。具体地，为了节约空间和节省零件，同时为了平移板51的稳定，第二气缸54与第二导轨52平行间隔设置于平移板51的底部，使得第二气缸54也能对平移板51起到支撑作用，由于第二气缸54的高度高于第二导轨52和第二滑块53的总高度，因此在第二滑块53和平移板51之间设置第一连接件55，使的平移板51能够保持水平；由于第二气缸54的伸缩杆与第二导轨52平行，并且第二气缸54位于平移板51的底部，因此设置第二连接件56，第二连接件56的顶壁与平移板51的底壁连接，第二气缸54的伸缩杆与第二连接件56的侧壁连接，使得第二气缸54既能够支撑平移板51，又能够推动平移板51沿第二导轨52运动。

优选地，如图2和图5所示，升降组件6包括第一导轨61、第一滑块62、第一驱动结构和升降板64，第一导轨61安装于支撑台3，第一滑块62固定于升降板64，第一导轨61与第一滑块62滑动连接，第一驱动结构的输出端与升降板64连接，第一驱动结构能够带动升降板64沿第一导轨61运动，调整组件5安装于升降板64。具体地，第一驱动结构包括第一气缸63，第一导轨61垂直设置于底板31，第一滑块62与第一导轨61滑动连接，第一气缸63设置于底板31，第一气缸63的伸缩杆的延伸方向与第一导轨61平行，升降板64位于第一导轨61和第一气缸63之间，且升降板64的两侧壁分别连接第一滑块62和第一气缸63的伸缩杆，第一气缸63能够带动升降板64沿第一导轨61运动，调整组件5设置于升降板64顶壁，从而使得升降板64带动调整组件5移动。

当然，在其他一些实施例中，第一导轨61和第一滑块62还可以是丝杠结构，丝杠结构安装于底板31，升降板64与丝杠结构螺纹连接，使升降板64能够沿丝杠的长度方向运动；第一驱动结构也可以是电动推杆、油缸等结构，用于驱动升降板64运动。

优选地，升降组件6还包括第一安装座65、第二安装座66和导向杆67，第一安装座65和第二安装座66与底板31连接，导向杆67安装于第一安装座65，且导向杆67与第一气缸63滑动连接，第一气缸63的伸缩杆与底板31连接，升降板64与第一气缸63主体的侧壁连接，当第一气缸63工作时，第一气缸63的主体沿导向杆67移动，同时带动升降板64移动；第二安装座66用于安装第一导轨61，使第一导轨61安装牢固。

优选地，第一导轨61的高度小于支撑台3支撑面的高度。具体地，第一导轨61的高度小于托板33支撑面与底板31之间的高度，能够使卡匣1中的晶圆2顺利取出，避免晶圆2被遮挡。

优选地，晶圆校准装置还包括控制器，控制器分别与第一传感器43、第二传感器337、指示灯334、开关335、第一气缸63和第二气缸54连接，当工作人员将开关335闭合，控制器接收电信号，第一个指示灯334亮起，说明晶圆校准装置处于工作状态；当工作人员将卡匣1放置于托板33时，卡匣1按压在位压块336，在位压块336触发第二传感器337，控制器接收电信号，第二个指示灯334亮起；同时，控制器对第一传感器43发出信号，第一传感器43的发射器发出光信号，若第一传感器43的接收器无法收到反射的光信号，第三个指示灯334亮起，提示晶圆2阻挡第一传感器43发出的光信号，这时，控制器对第一气缸63发出信号，当第一气缸63升至最高位置，控制器对第二气缸54发出信号，第二气缸54带动推杆57将晶圆2推至预设位置，此时，第一传感器43的接收器接收光信号，第三个指示灯334熄灭，第二气缸54复位，第一气缸63下降，等待下一次第二传感器337的触发。在本实施例中，控制板可以是集中式或分布式的控制器，比如，控制器可以是一个单独的单片机，也可以是分布的多块单片机构成，单片机中可以运行控制程序，进而控制各部件实现其功能。

此外，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.晶圆校准装置，用于校准卡匣(1)内晶圆(2)的位置，其特征在于，包括：

支撑台(3)，所述支撑台(3)用于承托所述卡匣(1)；

检测组件(4)，所述检测组件(4)安装于所述支撑台(3)，所述检测组件(4)用于检测脱离预设位置的所述晶圆(2)；

调整组件(5)，所述调整组件(5)安装于所述支撑台(3)，所述调整组件(5)包括推动件，所述推动件能够将脱离所述预设位置的所述晶圆(2)推至所述预设位置；

升降组件(6)，所述升降组件(6)安装于所述支撑台(3)，所述升降组件(6)与所述调整组件(5)连接，所述升降组件(6)能够带动所述推动件降至所述支撑台(3)的支撑面之下。

2.根据权利要求1所述的晶圆校准装置，其特征在于，所述升降组件(6)包括第一导轨(61)、第一滑块(62)、第一驱动结构和升降板(64)，所述第一导轨(61)安装于所述支撑台(3)，所述第一滑块(62)固定于所述升降板(64)，所述第一导轨(61)与所述第一滑块(62)滑动连接，所述第一驱动结构的输出端与所述升降板(64)连接，所述第一驱动结构能够带动所述升降板(64)沿所述第一导轨(61)运动，所述调整组件(5)安装于所述升降板(64)。

3.根据权利要求2所述的晶圆校准装置，其特征在于，所述第一导轨(61)的高度小于所述支撑台(3)支撑面的高度。

4.根据权利要求2所述的晶圆校准装置，其特征在于，所述调整组件(5)还包括平移结构，所述平移结构安装于所述升降板(64)，所述推动件安装于所述平移结构，所述平移结构能够带动所述推动件水平移动。

5.根据权利要求4所述的晶圆校准装置，其特征在于，所述推动件包括至少两根推杆(57)，所述推杆(57)对称间隔安装于所述平移结构，所述推杆(57)的对称面经过所述晶圆(2)的圆心。

6.根据权利要求5所述的晶圆校准装置，其特征在于，所述调整组件(5)还包括平移板(51)，所述平移板(51)与所述平移结构连接，所述平移结构能够带动所述平移板(51)移动，所述推杆(57)安装于所述平移板(51)，所述平移板(51)能够带动所述推杆(57)移动。

7.根据权利要求6所述的晶圆校准装置，其特征在于，所述平移板(51)具有凸起(511)和凹槽(512)，所述凹槽(512)位于相邻两个所述凸起(511)之间，所述推杆(57)固定于所述凸起(511)，所述支撑台(3)具有缺口(338)和凸块(339)，所述凸块(339)位于相邻两个所述缺口(338)之间，所述凹槽(512)能够容纳所述凸块(339)，所述缺口(338)能够容纳所述凸起(511)。

8.根据权利要求6所述的晶圆校准装置，其特征在于，所述平移结构包括第二导轨(52)、第二滑块(53)和第二驱动结构，所述第二导轨(52)安装于所述升降板(64)，所述第二滑块(53)固定于所述平移板(51)，所述第二导轨(52)与所述第二滑块(53)滑动连接，所述第二驱动结构的输出端与所述平移板(51)连接，所述第二驱动结构能够带动所述平移板(51)沿所述第二导轨(52)运动。

9.根据权利要求8所述的晶圆校准装置，其特征在于，所述平移结构还包括第一连接件(55)和第二连接件(56)，所述第一连接件(55)设置于所述第二滑块(53)和所述平移板(51)之间，所述第一连接件(55)与所述第二滑块(53)固定连接，所述第一连接件(55)与所述平移板(51)固定连接，所述第二连接件(56)连接于所述平移板(51)底壁，所述第二驱动结构的输出端与所述第二连接件(56)的侧壁连接。

10.根据权利要求1-9任一项所述的晶圆校准装置，其特征在于，所述检测组件(4)包括支架和第一传感器(43)，所述第一传感器(43)安装于所述支架，所述支架固定于所述支撑台(3)，所述支架的高度大于所述卡匣(1)的高度，所述支架的宽度大于所述卡匣(1)的宽度。