CN220762253U - 一种管路排气装置 - Google Patents

Abstract

本说明书实施例提供一种管路排气装置，包括入口管路、出口管路、储液部和侧管路，入口管路上设置有第一气控阀，出口管路上设置有第二气控阀；其中，第一气控阀的第一气口与入口管路相连接，第一气控阀的第二气口与侧管路的第一端相连接，第一气控阀的第三气口与储液部的第一侧相连接，第二气控阀的第一气口与出口管路相连接，第二气控阀的第二气口与侧管路的第二端相连接，第二气控阀的第三气口与储液部的第二侧相连接。通过设置储液部和侧管路，通过第一气控阀和第二气控阀变换不同的气口连接，可以排除研磨液管路内因更换过滤器产生的气体，不需要冲洗研磨液管路，成本较低。

Description

一种管路排气装置

技术领域

本说明书涉及管路排气技术领域，具体涉及一种管路排气装置。

背景技术

Slurry(研磨液)是化学机械研磨过程中不可或缺的一部分，在抛光头、研磨垫、修整器、研磨液的配合下，通过化学与机械作用实现晶圆表面平坦化的效果。

目前在更换Filter Box(过滤箱)内的Filter(过滤器)时，不可避免地会在研磨液管道内产生气泡，目前排除管道内的气泡排除的方式，是通过冲洗研磨液管路来实现的，会产生较大浪费。

发明内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种管路排气装置，通过设置储液部和侧管路，通过第一气控阀和第二气控阀变换不同的气口连接，可以排除研磨液管路内因更换过滤器产生的气体，不需要冲洗研磨液管路，能够避免冲洗研磨液管路造成的浪费，成本较低。

本说明书实施例提供以下技术方案：一种管路排气装置，包括入口管路、出口管路、储液部和侧管路，所述入口管路上设置有第一气控阀，所述出口管路上设置有第二气控阀；

其中，所述第一气控阀的第一气口与所述入口管路相连接，所述第一气控阀的第二气口与所述侧管路的第一端相连接，所述第一气控阀的第三气口与所述储液部的第一侧相连接，所述第二气控阀的第一气口与所述出口管路相连接，所述第二气控阀的第二气口与所述侧管路的第二端相连接，所述第二气控阀的第三气口与所述储液部的第二侧相连接。

优选的，所述第一气控阀控制第一气口、第二气口和第三气口的开启和关闭；

和/或，所述第二气控阀控制第一气口、第二气口和第三气口的开启和关闭。

优选的，所述第一气控阀的第三气口通过第一连接管与所述储液部的第一侧相连接；

和/或，所述第二气控阀的第三气口通过第二连接管与所述储液部的第二侧相连接。

优选的，所述储液部上连接有排气管，所述排气管上设置有快速排气阀。

优选的，所述排气管设置于所述储液部远离地面的一侧。

优选的，所述储液部为储液罐，所述储液罐为球状、长方体状、圆台状中的一种。

优选的，所述储液部上设置有液位传感器，所述液位传感器对所述储液部内的液位进行检测。

优选的，所述侧管路为弧形状。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

通过设置储液部和侧管路，通过第一气控阀和第二气控阀变换不同的气口连接，可以排除研磨液管路内因更换过滤器产生的气体，不需要冲洗研磨液管路，能够避免冲洗研磨液管路造成的浪费，成本较低。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型提供的管路排气装置的结构示意图；

图2是本实用新型提供的管路排气装置的正常工作时的结构示意图；

图3是本实用新型提供的管路排气装置的研磨液体流入储液部内时的结构示意图；

图4是本实用新型提供的管路排气装置的气体从储液部内排出时的结构示意图。

图中，1、入口管路；2、出口管路；3、储液部；4、侧管路；5、第一气控阀；6、第二气控阀；7、排气管；8、快速排气阀；9、液位传感器；10、第一连接管；11、第二连接管。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

如图1所示，一种管路排气装置，用于研磨液的排气，包括入口管路1、出口管路2、储液部3和侧管路4，所述入口管路1上设置有第一气控阀5，所述出口管路2上设置有第二气控阀6，第一气控阀5和第二气控阀6均为三通气控阀；

其中，所述第一气控阀5的第一气口与所述入口管路1相连接，所述第一气控阀5的第二气口与所述侧管路4的第一端相连接，所述第一气控阀5的第三气口与所述储液部3的第一侧相连接，所述第二气控阀6的第一气口与所述出口管路2相连接，所述第二气控阀6的第二气口与所述侧管路4的第二端相连接，所述第二气控阀6的第三气口与所述储液部3的第二侧相连接。

通过设置储液部3和侧管路4，通过第一气控阀5和第二气控阀6变换不同的气口连接，可以排除研磨液管路内因更换过滤器产生的气体，不需要冲洗研磨液管路，能够避免冲洗研磨液管路造成的浪费，成本较低。

在一些实施方式中，所述第一气控阀5控制第一气口、第二气口和第三气口的开启和关闭，能够实现第一气口、第二气口和第三气口的开启和关闭，实现入口管路1、侧管路4和储液部3之间的任意连通；

所述第二气控阀6控制第一气口、第二气口和第三气口的开启和关闭，能够实现第一气口、第二气口和第三气口的开启和关闭，实现出口管路2、侧管路4和储液部3之间的任意连通。

如图1-图4所示，在一些实施方式中，所述第一气控阀5的第三气口通过第一连接管10与所述储液部3的第一侧相连接，通过第一连接管10将第一气控阀5的第三气口和储液部3，实现第一气控阀5的第三气口和储液部3之间的连通，保证研磨液体能够从入口管路1经由第一气控阀5和第一连接管10进入储液部3内；

所述第二气控阀6的第三气口通过第二连接管11与所述储液部3的第二侧相连接，通过第二连接管11将第二气控阀6的第三气口和储液部3，实现第二气控阀6的第三气口和储液部3之间的连通，保证研磨液体能够从储液部3经由第一连接管10和第一气控阀5进入出口管路2内。

如图1-图4所示，在一些实施方式中，所述储液部3上连接有排气管7，所述排气管7上设置有快速排气阀8，通过设置排气管7，研磨液体中的气体经由排气管7排出，在排气管7上设置快速排气阀8，通过快速排气阀8控制排气管7是否与外部相连通，可以避免外部空气进入储液部3内，同时便于储液部3内气体的排出。

如图1-图4所示，在一些实施方式中，所述排气管7设置于所述储液部3远离地面的一侧，研磨液体在储液部3中在重力的作用下必然处于靠近地面的一侧，通过将排气管7设置在远离地面的一侧，使得排气管7不会与研磨液体相接触，便于研磨液体中气体的排出。

如图1-图4所示，在一些实施方式中，所述储液部3为储液罐，所述储液罐为球状、长方体状、圆台状中的一种，通过设置储液罐暂存研磨液体，便于研磨液体中的气体排出。

需要说明的是，在本实施方式中，储液罐为球状，在其他实施方式中，储液罐也可以为长方体状、圆台状或者其它形状，可以根据实际情况进行选择。

如图1-图4所示，在一些实施方式中，所述储液部3上设置有液位传感器9，所述液位传感器9对所述储液部3内的液位进行检测，通过设置液位传感器9，液位传感器9可对储液部3内的液位进行检测，当液位传感器9检测到储液部3内的研磨液体排空后，快速排气阀8关闭，第二气控阀6的第三气口关闭，保证研磨液体不会进入储液部3内，同时储液部3的气体不会进入到管路内的研磨液体中。

需要说明的是，在本实施方式中，液位传感器9设置于储液部3靠近地面的一侧。

如图1-图4所示，在一些实施方式中，所述侧管路4为弧形状，通过将侧管路4设置成弧形状，便于对第一气控阀5的第二气口和第二气控阀6的第二气口之间的连接，同时便于研磨液在侧管路4内流动。

在其他实施方式中，侧管路4也可以为其它形状，只需要保证能够将第一气控阀5的第二气口和第二气控阀6的第二气口之间相连接即可。

请参阅图1-图4，下面将对排气装置的具体工作流程进行阐述：

首先，起初在未更换过滤器时，研磨液管路内无气泡，第一气控阀5打开连接入口管路1的第一气口及侧管路4的第二气口，第二气控阀6打开连接侧管路4的第二气口，此时研磨液从侧管路4流出，其工作状态如图2所示；

其次，在更换过滤器后，当管路内存在气泡，第一气控阀5打开连接入口管路1的第一气口、侧管路4的第二气口及储液罐的第三气口，第二气控阀6打开连接储液罐的第三气口及侧管路4的第二气口，快速排气阀8关闭，此时研磨液流入储液罐内并通过侧管路4在储液罐中循环，根据研磨液自身重力作用，管道内的气体被挤压到储液罐的上方，其工作状态如图3所示；

再次，当研磨液管道内的空气排到储液罐内后，第一气控阀5打开连接侧管路4的第二气口及入口管路1的第一气口，第二气控阀6打开连接侧管路4的第二气口、储液罐的第三气口及出口管路2的第一气口，快速排气阀8打开，此时储液罐内的研磨液会慢慢从出口管路2处流出，入口管路1处的研磨液会通过侧管路4直接流向出口管路2处，其工作状态如图4所示；

最后，当液位传感器9检测储液罐内的液体排空后，快速排气阀8关闭，第二气控阀6关闭连接储液罐的第三气口，出口管路2处的研磨液仅通过进口管路处提供，其工作状态如图2所示。

本说明书中的各个实施例均之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的方法实施例而言，由于其与系统是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种管路排气装置，其特征在于，包括入口管路、出口管路、储液部和侧管路，所述入口管路上设置有第一气控阀，所述出口管路上设置有第二气控阀；

其中，所述第一气控阀的第一气口与所述入口管路相连接，所述第一气控阀的第二气口与所述侧管路的第一端相连接，所述第一气控阀的第三气口与所述储液部的第一侧相连接，所述第二气控阀的第一气口与所述出口管路相连接，所述第二气控阀的第二气口与所述侧管路的第二端相连接，所述第二气控阀的第三气口与所述储液部的第二侧相连接。

2.根据权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述第一气控阀控制第一气口、第二气口和第三气口的开启和关闭；

和/或，所述第二气控阀控制第一气口、第二气口和第三气口的开启和关闭。

3.根据权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述第一气控阀的第三气口通过第一连接管与所述储液部的第一侧相连接；

和/或，所述第二气控阀的第三气口通过第二连接管与所述储液部的第二侧相连接。

4.根据权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述储液部上连接有排气管，所述排气管上设置有快速排气阀。

5.根据权利要求4所述的管路排气装置，其特征在于，所述排气管设置于所述储液部远离地面的一侧。

6.根据权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述储液部为储液罐，所述储液罐为球状、长方体状、圆台状中的一种。

7.根据权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述储液部上设置有液位传感器，所述液位传感器对所述储液部内的液位进行检测。

8.根据权利要求1所述的管路排气装置，其特征在于，所述侧管路为弧形状。