CN220665430U - 一种升降旋转加热样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种升降旋转加热样品台，属于加热样品台技术领域；升降旋转加热样品台固定在真空腔室上，升降旋转加热样品台包括加热炉组件，升降旋转加热样品台包括：密封法兰、支撑架、丝杠、升降板、升降轴、安装板、转轴、样品台、电机架、电机、第一齿轮和第二齿轮；通过转动丝杠，使丝杠带动升降板、升降轴及安装板上下移动，从而带动转轴及样品台上下移动，以调节样品台与密封法兰之间的距离，进而实现样品在真空及高温环境下升降移动；同时，使电机通过第一齿轮和第二齿轮带动转轴及样品台转动，从而带动安装在样品台内的样品在真空及高温环境下转动，进而实现对样品进行全方位镀膜，以提升对样品的镀膜效果。

Description

一种升降旋转加热样品台

技术领域

本实用新型属于加热样品台技术领域，具体涉及一种升降旋转加热样品台。

背景技术

在相关技术中，在对一些样品进行镀膜工艺时，需要将样品放置在真空及高温环境下；同时，为了提升对样品的镀膜效果，从而完成对样品进行全方位的镀膜，需要使样品能够在真空及高温环境下升降及转动，因此设计一款能够使样品能够在真空及高温环境升降及转动的样品台是十分必要的了。

实用新型内容

本实用新型提供一种升降旋转加热样品台，采用转动丝杠，使丝杠带动升降板、升降轴及安装板上下移动，从而带动转轴及样品台上下移动，以调节样品台与密封法兰之间的距离，进而实现样品在真空及高温环境下升降移动；同时，使电机通过第一齿轮和第二齿轮带动转轴及样品台转动，从而带动安装在样品台内的样品在真空及高温环境下转动，进而实现对样品进行全方位镀膜，以提升对样品的镀膜效果。其具体技术方案为：

一种升降旋转加热样品台，升降旋转加热样品台固定在真空腔室上，升降旋转加热样品台包括加热炉组件，升降旋转加热样品台包括：密封法兰、支撑架、丝杠、升降板、升降轴、安装板、转轴、样品台、电机架、电机、第一齿轮和第二齿轮；密封法兰固定在真空腔室上；支撑架固定在密封法兰上，且支撑架位于真空腔室的外侧；丝杠的外壁上设置有外螺纹，丝杠的一端与支撑架的顶部转动连接；升降板内设置有内螺纹，升降板的内螺纹套装在丝杠的外螺纹的外侧；升降轴的一端与升降板相连接，升降轴的另一端穿过密封法兰，且升降轴的另一端位于真空腔室内；安装板嵌入真空腔室内，安装板与升降轴的另一端相连接；转轴的一端与安装板转动连接；样品台与转轴的另一端相连接，且加热炉组件安装在样品台内；电机架与安装板相连接，且电机架位于转轴的一侧；电机设置有输出轴，电机固定在电机架内；第一齿轮套装在电机的输出轴的外侧；第二齿轮套装在转轴的外侧，且第二齿轮与第一齿轮相啮合；其中，外螺纹与内螺纹相适配。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的升降旋转加热样品台还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，升降旋转加热样品台还包括：光杠；两个光杠的一端与支撑架的顶部相连接，光杠的另一端与密封法兰相连接，且两个光杠穿过升降板；其中，两个光杠位于丝杠的两侧。

在上述技术方案中，升降旋转加热样品台还包括：手轮；手轮套装在丝杠的外侧，且手轮位于支撑架的上方。

在上述技术方案中，升降旋转加热样品台还包括：让位盲孔；让位盲孔设置在升降轴的一端，且至少部分丝杠嵌入让位盲孔内；其中，丝杠与升降轴之间有间隙。

在上述技术方案中，升降旋转加热样品台还包括：冷却水管；冷却水管嵌入电机架内，冷却水管绕设在电机的外侧；其中，冷却水管的两端穿过密封法兰，且冷却水管的两端位于真空腔室的外侧。

在上述技术方案中，升降旋转加热样品台还包括：连接杆和屏蔽板；至少两个连接杆的一端与密封法兰相连接；屏蔽板同时与至少两个连接杆的另一端相连接，且屏蔽板绕设在样品台的外侧。

在上述技术方案中，升降旋转加热样品台还包括：让位孔；让位孔设置在屏蔽板上，且样品台嵌入让位孔内；其中，让位孔与样品台之间有间隙。

在上述技术方案中，升降旋转加热样品台还包括：把手；把手呈U形，把手与密封法兰相连接，且把手位于真空腔室的外侧。

本实用新型的一种升降旋转加热样品台，与现有技术相比，有益效果为：

1.通过将加热炉组件和样品安装在样品台内，并使样品台放置于真空腔室内，以实现当启动加热炉组件时，使加热炉组件对样品进行加热，从而使样品处于真空及高温环境下。通过转动丝杠，使丝杠带动升降板、升降轴及安装板上下移动，从而带动转轴及样品台上下移动，以调节样品台与密封法兰之间的距离，进而实现样品在真空及高温环境下升降移动；同时，使电机通过第一齿轮和第二齿轮带动转轴及样品台转动，从而带动安装在样品台内的样品在真空及高温环境下转动，进而实现对样品进行全方位镀膜，以提升对样品的镀膜效果。

2.通过将两个光杠穿过升降板，并使两个光杠位于丝杠的两侧，以实现升降板沿着光杠移动，从而避免升降板在移动时发生偏移，以提升升降板移动的稳定性。

3.通过将手轮套装在丝杠的外侧，并使手轮位于支撑架的上方，以实现通过转动手轮，以带动丝杠转动，从而降低转动丝杠的难度，以提升产品的使用体验。

4.通过将让位盲孔设置在升降轴的一端，使至少部分丝杠嵌入让位盲孔内，并使丝杠与升降轴之间有间隙，以实现升降轴绕设在丝杠的外侧，并使丝杠能够在升降轴内移动，从而降低产品占用的空间，同时避免丝杠与升降轴发生干涉，以提升产品的使用体验。

5.通过将冷却水管嵌入电机架内，并使冷却水管绕设在电机的外侧，以实现当冷却液(水)注入冷却水管内时，冷却液(水)与电机发生热交换，从而实现对电机进行降温，避免电机因温度过高而发生损坏，以提升产品的质量。

6.通过将屏蔽板绕设在样品台的外侧，以实现通过屏蔽板对样品台进行隔热，从而减缓屏蔽板下方的热量进入屏蔽板上方，进而避免电机因温度过高而损坏。

7.通过将让位孔设置在屏蔽板上，将样品台嵌入让位孔内，并使让位孔与样品台之间有间隙，以实现当样品台相对屏蔽板移动时，样品台能够在让位孔内移动，从而避免样品台与屏蔽板发生干涉。

8.通过将呈U形的把手与密封法兰相连接，并使把手位于真空腔室的外侧，以实现工作人员能够在真空腔室的外侧，通过把手搬动密封法兰及整个产品，从而提升产品的使用体验。

附图说明

图1为本实用新型的一种升降旋转加热样品台的立体图；

图2为本实用新型的一种升降旋转加热样品台的剖视图；

其中，图1和图2中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10密封法兰，11支撑架，12丝杠，13升降板，14升降轴，15安装板，16转轴，17样品台，18电机架，19电机，20第一齿轮，21第二齿轮，22光杠，23手轮，24让位盲孔，25冷却水管，26连接杆，27屏蔽板，28让位孔，29把手。

具体实施方式

下面结合具体实施案例和附图1-2对本实用新型作进一步说明，但本实用新型并不局限于这些实施例。

一种升降旋转加热样品台，如图1和图2所示，升降旋转加热样品台固定在真空腔室上，升降旋转加热样品台包括加热炉组件，升降旋转加热样品台包括：密封法兰10、支撑架11、丝杠12、升降板13、升降轴14、安装板15、转轴16、样品台17、电机架18、电机19、第一齿轮20和第二齿轮21；密封法兰10固定在真空腔室上；支撑架11固定在密封法兰10上，且支撑架11位于真空腔室的外侧；丝杠12的外壁上设置有外螺纹，丝杠12的一端与支撑架11的顶部转动连接；升降板13内设置有内螺纹，升降板13的内螺纹套装在丝杠12的外螺纹的外侧；升降轴14的一端与升降板13相连接，升降轴14的另一端穿过密封法兰10，且升降轴14的另一端位于真空腔室内；安装板15嵌入真空腔室内，安装板15与升降轴14的另一端相连接；转轴16的一端与安装板15转动连接；样品台17与转轴16的另一端相连接，且加热炉组件安装在样品台17内；电机架18与安装板15相连接，且电机架18位于转轴16的一侧；电机19设置有输出轴，电机19固定在电机架18内；第一齿轮20套装在电机19的输出轴的外侧；第二齿轮21套装在转轴16的外侧，且第二齿轮21与第一齿轮20相啮合；其中，外螺纹与内螺纹相适配。

通过将密封法兰10固定在真空腔室上，将支撑架11固定在密封法兰10上，并将丝杠12的一端与支撑架11的顶部转动连接，以实现密封法兰10对支撑架11进行支撑，从而实现支撑架11对丝杠12进行支撑，进而实现丝杠12能够在支撑架11内转动。通过将升降板13的内螺纹套装在丝杠12的外螺纹的外侧，以实现升降板13与丝杠12螺纹连接，从而实现当转动丝杠12时，丝杠12带动升降板13上下移动；通过将升降轴14的一端与升降板13相连接，将安装板15嵌入真空腔室内，并将安装板15与升降轴14的另一端相连接，以实现当升降板13上下移动时，升降板13通过升降轴14带动安装板15上下移动。通过将转轴16的一端与安装板15转动连接，将样品台17与转轴16的另一端转动连接，并将加热炉组件安装在样品台17内，以实现安装板15通过转轴16对样品台17进行吊装，同时，还能实现样品台17和转轴16能够相对安装板15转动，从而实现加热炉组件能够对样品台17内的样品进行加热，以使样品处于高温环境下。通过将电机架18与安装板15相连接，并将电机19固定在电机架18内，以实现当安装板15上下移动时，安装板15通过电机架18带动电机19上下移动，从而实现电机19与转轴16同步移动。通过将第一齿轮20套装在电机19的输出轴的外侧，将第二齿轮21套装在转轴16的外侧，并将第二齿轮21与第一齿轮20相啮合，以实现电机19通过第一齿轮20和第二齿轮21带动转轴16转动，从而带动样品台17及安装在样品台17内样品转动。

在具体使用产品时，先将样品安装在样品台17内；然后，转动丝杠12，使丝杠12带动升降板13和升降轴14上下移动，从而带动安装板15、转轴16和样品台17上下移动，以调节样品台17与密封法兰10之间的距离；再后，启动加热炉组件，使加热炉组件对样品进行加热，从而使样品处于高温环境下；再后，启动电机19，使电机19通过第一齿轮20和第二齿轮21带动转轴16转动，从而带动样品台17和样品转动，以便于对样品进行镀膜。

采用上述结构，通过将加热炉组件和样品安装在样品台17内，以实现当启动加热炉组件时，使加热炉组件对样品进行加热，从而使样品处于高温环境下。通过转动丝杠12，使丝杠12带动升降板13、升降轴14及安装板15上下移动，从而带动转轴16及样品台17上下移动，以调节样品台17与密封法兰10之间的距离；同时，使电机19通过第一齿轮20和第二齿轮21带动转轴16及样品台17转动，从而带动安装在样品台17内的样品转动，进而实现对样品进行全方位镀膜，以提升对样品的镀膜效果。

具体地，加热炉连接电极安装在密封法兰10上，且加热炉连接电极与加热炉组件电连接；电机19接线电极安装在密封法兰10上，且电机19接线电极与电机19电连接。

具体地，直线轴承座固定在密封法兰10上，且直线轴承绕设在升降轴14的外侧。直线轴承套装在升降轴14的外侧，且直线轴承嵌入直线轴承座内。

具体地，焊接波纹管的一端与直线轴承座相连接，且焊接波纹管的另一端与升降板13相连接，以实现当升降板13上下移动时，焊接波纹管发生变形，同时保证升降板在运动过程中的密封性能。

在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，升降旋转加热样品台还包括：光杠22；两个光杠22的一端与支撑架11的顶部相连接，光杠22的另一端与密封法兰10相连接，且两个光杠22穿过升降板13；其中，两个光杠22位于丝杠12的两侧。

通过将两个光杠22的一端与支撑架11的顶部相连接，并将光杠22的另一端与密封法兰10相连接，以实现密封法兰10和支撑架11对光杠22进行支撑；通过将两个光杠22穿过升降板13，并使两个光杠22位于丝杠12的两侧，以实现升降板13沿着光杠22移动，从而避免升降板13在移动时发生偏移，以提升升降板13移动的稳定性。

在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，升降旋转加热样品台还包括：手轮23；手轮23套装在丝杠12的外侧，且手轮23位于支撑架11的上方。

通过将手轮23套装在丝杠12的外侧，并使手轮23位于支撑架11的上方，以实现通过转动手轮23，以带动丝杠12转动，从而降低转动丝杠12的难度，以提升产品的使用体验。

在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，升降旋转加热样品台还包括：让位盲孔24；让位盲孔24设置在升降轴14的一端，且至少部分丝杠12嵌入让位盲孔24内；其中，丝杠12与升降轴14之间有间隙。

通过将让位盲孔24设置在升降轴14的一端，使至少部分丝杠12嵌入让位盲孔24内，并使丝杠12与升降轴14之间有间隙，以实现升降轴14绕设在丝杠12的外侧，并使丝杠12能够在升降轴14内移动，从而降低产品占用的空间，同时避免丝杠12与升降轴14发生干涉，以提升产品的使用体验。

在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，升降旋转加热样品台还包括：冷却水管25；冷却水管25嵌入电机架18内，冷却水管25绕设在电机19的外侧；其中，冷却水管25的两端穿过密封法兰10，且冷却水管25的两端位于真空腔室的外侧。

通过将冷却水管25嵌入电机架18内，并使冷却水管25绕设在电机19的外侧，以实现当冷却液(水)注入冷却水管25内时，冷却液(水)与电机19发生热交换，从而实现对电机19进行降温，避免电机19因温度过高而发生损坏，以提升产品的质量。通过将冷却水管25的两端穿过密封法兰10，并使冷却水管25的两端位于真空腔室的外侧，以便于工作人员在真空腔室的外侧，将冷却液(水)注入冷却水管25内，并便于对冷却液(水)回流。

在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，升降旋转加热样品台还包括：连接杆26和屏蔽板27；至少两个连接杆26的一端与密封法兰10相连接；屏蔽板27同时与至少两个连接杆26的另一端相连接，且屏蔽板27绕设在样品台17的外侧。

通过将至少两个连接杆26的一端与密封法兰10相连接，并将屏蔽板27同时与至少两个连接杆26的另一端相连接，以实现密封法兰10通过多个连接杆26对屏蔽板27进行吊装。通过将屏蔽板27绕设在样品台17的外侧，以实现通过屏蔽板27对样品台17进行隔热，从而减缓屏蔽板27下方的热量进入屏蔽板27上方，进而避免电机19因温度过高而损坏。

具体地，屏蔽板27的材质为高温合金材料。

在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，升降旋转加热样品台还包括：让位孔28；让位孔28设置在屏蔽板27上，且样品台17嵌入让位孔28内；其中，让位孔28与样品台17之间有间隙。

通过将让位孔28设置在屏蔽板27上，将样品台17嵌入让位孔28内，并使让位孔28与样品台17之间有间隙，以实现当样品台17相对屏蔽板27移动时，样品台17能够在让位孔28内移动，从而避免样品台17与屏蔽板27发生干涉。

在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，升降旋转加热样品台还包括：把手29；把手29呈U形，把手29与密封法兰10相连接，且把手29位于真空腔室的外侧。

通过将呈U形的把手29与密封法兰10相连接，并使把手29位于真空腔室的外侧，以实现工作人员能够在真空腔室的外侧，通过把手29搬动密封法兰10及整个产品，从而提升产品的使用体验。

在本实用新型的描述中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本实用新型中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种升降旋转加热样品台，所述升降旋转加热样品台固定在真空腔室上，所述升降旋转加热样品台包括加热炉组件，其特征在于，所述升降旋转加热样品台包括：

密封法兰，所述密封法兰固定在所述真空腔室上；

支撑架，所述支撑架固定在所述密封法兰上，且所述支撑架位于所述真空腔室的外侧；

丝杠，所述丝杠的外壁上设置有外螺纹，所述丝杠的一端与所述支撑架的顶部转动连接；

升降板，所述升降板内设置有内螺纹，所述升降板的内螺纹套装在所述丝杠的外螺纹的外侧；

升降轴，所述升降轴的一端与所述升降板相连接，所述升降轴的另一端穿过所述密封法兰，且所述升降轴的另一端位于所述真空腔室内；

安装板，所述安装板嵌入所述真空腔室内，所述安装板与所述升降轴的另一端相连接；

转轴，所述转轴的一端与所述安装板转动连接；

样品台，所述样品台与所述转轴的另一端相连接，且所述加热炉组件安装在所述样品台内；

电机架，所述电机架与所述安装板相连接，且所述电机架位于所述转轴的一侧；

电机，所述电机设置有输出轴，所述电机固定在所述电机架内；

第一齿轮，所述第一齿轮套装在所述电机的输出轴的外侧；

第二齿轮，所述第二齿轮套装在所述转轴的外侧，且所述第二齿轮与所述第一齿轮相啮合；

其中，所述外螺纹与所述内螺纹相适配。

2.根据权利要求1所述的一种升降旋转加热样品台，其特征在于，所述升降旋转加热样品台还包括：

光杠，两个所述光杠的一端与所述支撑架的顶部相连接，所述光杠的另一端与所述密封法兰相连接，且两个所述光杠穿过所述升降板；

其中，两个所述光杠位于所述丝杠的两侧。

3.根据权利要求2所述的一种升降旋转加热样品台，其特征在于，所述升降旋转加热样品台还包括：

手轮，所述手轮套装在所述丝杠的外侧，且所述手轮位于所述支撑架的上方。

4.根据权利要求3所述的一种升降旋转加热样品台，其特征在于，所述升降旋转加热样品台还包括：

让位盲孔，所述让位盲孔设置在所述升降轴的一端，且至少部分所述丝杠嵌入所述让位盲孔内；

其中，所述丝杠与所述升降轴之间有间隙。

5.根据权利要求1所述的一种升降旋转加热样品台，其特征在于，所述升降旋转加热样品台还包括：

冷却水管，所述冷却水管嵌入所述电机架内，所述冷却水管绕设在所述电机的外侧；

其中，所述冷却水管的两端穿过所述密封法兰，且所述冷却水管的两端位于所述真空腔室的外侧。

6.根据权利要求5所述的一种升降旋转加热样品台，其特征在于，所述升降旋转加热样品台还包括：

连接杆，至少两个所述连接杆的一端与所述密封法兰相连接；

屏蔽板，所述屏蔽板同时与至少两个所述连接杆的另一端相连接，且所述屏蔽板绕设在所述样品台的外侧。

7.根据权利要求6所述的一种升降旋转加热样品台，其特征在于，所述升降旋转加热样品台还包括：

让位孔，所述让位孔设置在所述屏蔽板上，且所述样品台嵌入所述让位孔内；

其中，所述让位孔与所述样品台之间有间隙。

8.根据权利要求7所述的一种升降旋转加热样品台，其特征在于，所述升降旋转加热样品台还包括：

把手，所述把手呈U形，所述把手与所述密封法兰相连接，且所述把手位于所述真空腔室的外侧。