CN220609315U - 一种电子级高纯试剂生产装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种电子级高纯试剂生产装置，属于高纯试剂技术领域。该电子级高纯试剂生产装置，包括框架结构和清洁结构，所述框架结构包括罐体、移动组件和支撑组件，所述罐体设置于所述移动组件一侧，所述支撑组件设置于所述移动组件内，所述清洁结构包括滤布层、往复滑动组件、清洁刷和收集盒，所述滤布层设置于所述罐体内，所述往复滑动组件设置于所述罐体内，所述清洁刷与所述往复滑动组件连接，所述清洁刷与所述滤布层贴合，所述收集盒与所述罐体连通。在本申请中，电子级高纯试剂生产装置方便对滤布层进行清洁，避免堵塞影响过滤效率，省时高效。

Description

一种电子级高纯试剂生产装置

技术领域

本申请涉及高纯试剂领域，具体而言，涉及一种电子级高纯试剂生产装置。

背景技术

高纯试剂，又称工艺化学品或湿化学品，是大规模和超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料，主要用于生产过程中的清洗、光刻、蚀刻和去胶等，其纯度和洁净度对于集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。

现有的高纯试剂生产用高效提纯装置存在的缺陷是：1、不方便工作人员对本装置进行拆装，影响工作人员进行清理工作；2、不方便工作人员进行位置调节，影响工作人员进行使用。

对此中国专利申请号为CN201922369192.4，公开了一种高纯试剂生产用高效提纯装置，包括上盖、罐体和支撑组件，所述支撑组件的顶部固定设置有下盖，所述下盖的顶部通过螺栓活动安装有罐体，通过设置有一系列的结构使本装置在使用的过程中能够打开阀门，利用排料管将提纯后的试剂排出，接着拧松螺栓将本装置进行拆卸，方便工作人员进行定期清理工作，接着利用底座底部的镂空，方便工作人员利用外接设备对本装置进行位置调节。

在上述方案使用过程中还存在如下不足︰在使用时，通过滤布层对试剂进行过滤，方便提升提纯的质量，但是，长时间的过滤可能使得滤布表面堵塞，影响过滤效率，若每次使用完对滤布进行清洁，费时费力，从而降低了实用性。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本申请提供了一种电子级高纯试剂生产装置，旨在改善长时间的过滤可能使得滤布表面堵塞的问题。

本申请实施例提供了一种电子级高纯试剂生产装置，包括框架结构和清洁结构，所述框架结构包括罐体、移动组件和支撑组件，所述罐体设置于所述移动组件一侧，所述支撑组件设置于所述移动组件内，所述清洁结构包括滤布层、往复滑动组件、清洁刷和收集盒，所述滤布层设置于所述罐体内，所述往复滑动组件设置于所述罐体内，所述清洁刷与所述往复滑动组件连接，所述清洁刷与所述滤布层贴合，所述收集盒与所述罐体连通。

在一种具体的实施方案中，所述移动组件包括底板和万向轮，所述罐体设置于所述底板一侧，所述底板四个角处均设置有所述万向轮。

在上述实现过程中，通过底板和万向轮的设置，方便装置进行移动，无需借助外接设备。

在一种具体的实施方案中，所述支撑组件包括固定筒、把手、螺杆和支撑柱，所述固定筒设置于所述底板内，所述把手与所述螺杆连接，所述螺杆与所述固定筒螺纹连接，所述螺杆与所述支撑柱转动连接，所述支撑柱与所述固定筒内壁滑动连接。

在上述实现过程中，通过固定筒、把手、螺杆和支撑柱的设置，能够方便对本装置的位置进行固定，避免使用时发生偏移。

在一种具体的实施方案中，所述往复滑动组件包括伺服电机、滚珠丝杠副和丝杠螺母副，所述伺服电机安装于所述罐体一侧，所述滚珠丝杠副与所述伺服电机连接，所述滚珠丝杠副与所述罐体转动连接，所述丝杠螺母副与所述滚珠丝杠副连接，所述清洁刷与所述丝杠螺母副连接。

在上述实现过程中，通过伺服电机、滚珠丝杠副和丝杠螺母副的设置，能够方便带动清洁刷往复对滤布层表面进行清洁，提升了清洁的效果。

在一种具体的实施方案中，所述罐体内设置有滑杆，所述丝杠螺母副与所述滑杆滑动连接。

在上述实现过程中，通过丝杠螺母副与所述滑杆滑动连接，能够方便对丝杠螺母副的滑动进行限位，提升了稳定性。

在一种具体的实施方案中，所述罐体两侧均嵌装有轴承，所述滚珠丝杠副与轴承内圈过盈配合。

在上述实现过程中，通过滚珠丝杠副与轴承内圈过盈配合，能够方便减少滚珠丝杠副转动所产生的损耗。

在一种具体的实施方案中，所述收集盒底部设置为漏斗型，所述收集盒底部连通有排污管。

在上述实现过程中，通过收集盒底部连通有排污管，能够方便将收集的杂质排出。

在一种具体的实施方案中，所述罐体一侧设置有盖板，所述盖板通过螺栓与所述罐体连接。

在上述实现过程中，通过螺栓的设置，能够方便对内部零件进行检修更换。

与现有技术相比，本申请的有益效果：通过罐体、移动组件和支撑组件的设置，能够方便移动和支撑本装置，无需借助外接设备，通过滤布层、往复滑动组件、清洁刷和收集盒的设置，能够方便对滤布层进行清洁，避免堵塞影响过滤效率，省时高效。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本申请实施方式提供的一种电子级高纯试剂生产装置结构示意图；

图2为本申请实施方式提供的一种电子级高纯试剂生产装置侧视结构示意图；

图3为本申请实施方式提供的一种电子级高纯试剂生产装置剖面结构示意图；

图4为本申请实施方式提供的支撑组件剖面结构示意图。

图中：10-框架结构；110-罐体；120-移动组件；121-底板；122-万向轮；130-支撑组件；131-固定筒；132-把手；133-螺杆；134-支撑柱；140-滑杆；150-盖板；20-清洁结构；210-滤布层；220-往复滑动组件；221-伺服电机；222-滚珠丝杠副；223-丝杠螺母副；230-清洁刷；240-收集盒。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述。

为使本申请实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

实施例

请参阅图1，本申请提供一种电子级高纯试剂生产装置，包括框架结构10和清洁结构20。

具体的，框架结构10方便移动和支撑本装置，无需借助外接设备，清洁结构20方便对滤布层210进行清洁，避免堵塞影响过滤效率，省时高效。

请参阅图1、图2、图3和图4，所述框架结构10包括罐体110、移动组件120和支撑组件130，所述罐体110设置于所述移动组件120一侧，所述支撑组件130设置于所述移动组件120内。

在具体设置时，所述移动组件120包括底板121和万向轮122，所述罐体110设置于所述底板121一侧，所述底板121四个角处均设置有所述万向轮122，其中，通过底板121和万向轮122的设置，方便装置进行移动，无需借助外接设备。

在具体设置时，所述支撑组件130包括固定筒131、把手132、螺杆133和支撑柱134，所述固定筒131设置于所述底板121内，所述把手132与所述螺杆133连接，所述螺杆133与所述固定筒131螺纹连接，所述螺杆133与所述支撑柱134转动连接，所述支撑柱134与所述固定筒131内壁滑动连接，其中，通过固定筒131、把手132、螺杆133和支撑柱134的设置，能够方便对本装置的位置进行固定，避免使用时发生偏移。

在具体设置时，所述罐体110一侧设置有盖板150，所述盖板150通过螺栓与所述罐体110连接，其中，通过螺栓的设置，能够方便对内部零件进行检修更换。

请参阅图1、图2和图3，所述清洁结构20包括滤布层210、往复滑动组件220、清洁刷230和收集盒240，所述滤布层210设置于所述罐体110内，所述往复滑动组件220设置于所述罐体110内，所述清洁刷230与所述往复滑动组件220连接，所述清洁刷230与所述滤布层210贴合，所述收集盒240与所述罐体110连通。

在具体设置时，所述往复滑动组件220包括伺服电机221、滚珠丝杠副222和丝杠螺母副223，所述伺服电机221安装于所述罐体110一侧，所述滚珠丝杠副222与所述伺服电机221连接，所述滚珠丝杠副222与所述罐体110转动连接，所述丝杠螺母副223与所述滚珠丝杠副222连接，所述清洁刷230与所述丝杠螺母副223连接，其中，通过伺服电机221、滚珠丝杠副222和丝杠螺母副223的设置，能够方便带动清洁刷230往复对滤布层210表面进行清洁，提升了清洁的效果。

在具体设置时，所述罐体110内设置有滑杆140，所述丝杠螺母副223与所述滑杆140滑动连接，其中，通过丝杠螺母副223与所述滑杆140滑动连接，能够方便对丝杠螺母副223的滑动进行限位，提升了稳定性。

在具体设置时，所述罐体110两侧均嵌装有轴承，所述滚珠丝杠副222与轴承内圈过盈配合，其中，通过滚珠丝杠副222与轴承内圈过盈配合，能够方便减少滚珠丝杠副222转动所产生的损耗。

在具体设置时，所述收集盒240底部设置为漏斗型，所述收集盒240底部连通有排污管，其中，通过收集盒240底部连通有排污管，能够方便将收集的杂质排出。

该一种电子级高纯试剂生产装置的工作原理：在使用电子级高纯试剂生产装置时，通过万向轮122的设置，方便装置进行移动，无需借助外接设备，通过固定筒131、把手132、螺杆133和支撑柱134的设置，能够方便对本装置的位置进行固定，避免使用时发生偏移，通过开启伺服电机221带动滚珠丝杠副222转动，使得丝杠螺母副223往复运动，带动清洁刷230往复对滤布层210表面进行清洁，提升了清洁的效果，避免堵塞影响过滤效率，省时高效，清洁后的杂质进入收集盒240，通过排污管的设置，能够方便将收集的杂质排出。

需要说明的是，万向轮122、滤布层210、伺服电机221和清洁刷230具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定，具体选型计算方法采用本领域现有技术，故不再详细赘述。

伺服电机221的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的，在此不予详细说明。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种电子级高纯试剂生产装置，其特征在于，包括

框架结构(10)，所述框架结构(10)包括罐体(110)、移动组件(120)和支撑组件(130)，所述罐体(110)设置于所述移动组件(120)一侧，所述支撑组件(130)设置于所述移动组件(120)内；

清洁结构(20)，所述清洁结构(20)包括滤布层(210)、往复滑动组件(220)、清洁刷(230)和收集盒(240)，所述滤布层(210)设置于所述罐体(110)内，所述往复滑动组件(220)设置于所述罐体(110)内，所述清洁刷(230)与所述往复滑动组件(220)连接，所述清洁刷(230)与所述滤布层(210)贴合，所述收集盒(240)与所述罐体(110)连通。

2.根据权利要求1所述的一种电子级高纯试剂生产装置，其特征在于，所述移动组件(120)包括底板(121)和万向轮(122)，所述罐体(110)设置于所述底板(121)一侧，所述底板(121)四个角处均设置有所述万向轮(122)。

3.根据权利要求2所述的一种电子级高纯试剂生产装置，其特征在于，所述支撑组件(130)包括固定筒(131)、把手(132)、螺杆(133)和支撑柱(134)，所述固定筒(131)设置于所述底板(121)内，所述把手(132)与所述螺杆(133)连接，所述螺杆(133)与所述固定筒(131)螺纹连接，所述螺杆(133)与所述支撑柱(134)转动连接，所述支撑柱(134)与所述固定筒(131)内壁滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种电子级高纯试剂生产装置，其特征在于，所述往复滑动组件(220)包括伺服电机(221)、滚珠丝杠副(222)和丝杠螺母副(223)，所述伺服电机(221)安装于所述罐体(110)一侧，所述滚珠丝杠副(222)与所述伺服电机(221)连接，所述滚珠丝杠副(222)与所述罐体(110)转动连接，所述丝杠螺母副(223)与所述滚珠丝杠副(222)连接，所述清洁刷(230)与所述丝杠螺母副(223)连接。

5.根据权利要求4所述的一种电子级高纯试剂生产装置，其特征在于，所述罐体(110)内设置有滑杆(140)，所述丝杠螺母副(223)与所述滑杆(140)滑动连接。

6.根据权利要求4所述的一种电子级高纯试剂生产装置，其特征在于，所述罐体(110)两侧均嵌装有轴承，所述滚珠丝杠副(222)与轴承内圈过盈配合。

7.根据权利要求1所述的一种电子级高纯试剂生产装置，其特征在于，所述收集盒(240)底部设置为漏斗型，所述收集盒(240)底部连通有排污管。

8.根据权利要求1所述的一种电子级高纯试剂生产装置，其特征在于，所述罐体(110)一侧设置有盖板(150)，所述盖板(150)通过螺杆(133)与所述罐体(110)连接。