CN220568641U - 一种多色闪频取像检测系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种多色闪频取像检测系统，包括发光装置、取像装置和检测装置。所述发光装置采用脉动方式对待检测工件发射具有不同颜色的多种光线，其中，所述发光装置的瞬时发光工作功率高于额定功率；所述取像装置耦接于所述发光装置，并在所述发光装置发出光线时，根据光线的颜色取得所述待检测工件的多个待检测影像；所述检测装置耦接于所述取像装置，对待检测影像进行检测分析，以取得待检测工件的缺陷信息。因此，本实用新型能够对待检测工件进行多种检测项目，达到提高检测精度的功效。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种检测系统，尤其涉及一种多色闪频取像检测系统。
背景技术
现有的精密产业中，所制造出来的产品通常体积都非常的小或者结构非常复杂，为了能够准确检测产品上的缺陷，一般都会采用自动光学检测技术|(Automated OpticalInspection，AOI)进行产品的检测。
然而，现有的自动光学检测技术在对产品取像的过程中，其光源的亮度、强度以及颜色都是固定的，且光源呈恒亮状态，使得现有的自动光学检测技术只能对单一检测项目进行检测，导致现有的自动光学检测技术具有检测精度过低的问题。
实用新型内容
为解决上述问题，本实用新型公开一种多色闪频取像检测系统，其发光装置能够根据对应的检测项目发射多种颜色的光线，以使本实用新型能够利用多种颜色的光线对待检测工件进行全面性的取像，达到提高检测精度的目的。
为达到上述目的，本实用新型的一项实施例提供一种多色闪频取像检测系统，所述多色闪频取像检测系统包括：发光装置、取像装置和检测装置。所述发光装置采用脉动方式对待检测工件发射具有不同颜色的多种光线，其中，所述发光装置的瞬时发光工作功率高于额定功率；所述取像装置耦接于所述发光装置，并在所述发光装置发出所述光线时，根据所述光线的颜色获取所述待检测工件的多个待检测影像；所述检测装置耦接于所述取像装置，并可对所述待检测影像检测分析，以取得所述待检测工件的缺陷信息。
在本实用新型的另一实施例中，还包括控制装置，所述控制装置耦接于所述发光装置和所述取像装置，并可以控制所述发光装置的发光顺序和发光时间，并且当所述发光装置发射所述光线时，所述控制装置同时控制所述取像装置取得所述待检测影像。
在本实用新型的另一实施例中，所述光线为波长380nm至750nm的可见光。
在本实用新型的另一实施例中，所述待检测影像具有不同颜色的多种颜色信息，所述检测装置包括抽取单元和分析单元，所述抽取单元根据颜色信息抽取对应的所述待检测影像，并重新组成重组检测影像，所述分析单元接收并分析所述重组检测影像，以取得所述待检测工件的所述缺陷信息。
在本实用新型的另一实施例中，所述取像装置为线扫描相机。
另外，本实用新型还公开利用多色闪频取像检测系统的一种多色闪频取像检测方法，包括以下步骤：照射步骤、取像步骤和检测步骤。所述照射步骤包括，所述发光装置采用脉动方式对待检测工件发射具有不同颜色的多种光线，其中，所述发光装置的瞬时发光工作功率高于额定功率；所述取像步骤包括，当所述待检测工件受到所述光线照射时，所述取像装置根据所述光线的颜色取得所述待检测工件的多个待检测影像；所述检测步骤包括，通过检测装置检测分析所述待检测影像，以取得所述待检测工件的缺陷信息。
在本实用新型的另一实施例中，所述照射步骤还包括，所述控制装置控制所述发光装置的发光顺序和发光时间；所述取像步骤还包括，所述控制装置在控制所述发光装置发射所述光线时，同时控制取像装置取得所述待检测影像。
在本实用新型的另一实施例中，所述待检测影像具有不同颜色的多种颜色信息；所述检测步骤还包括，所述检测装置的所述抽取单元根据所述颜色信息抽取对应的所述待检测影像，并重新组成所述重组检测影像，所述检测装置的分析单元接收并分析所述重组检测影像，以取得所述待检测工件的缺陷信息。
因此，本实用新型的所述发光装置能够根据对应的检测项目发射多种颜色的光线，以使本实用新型能够通过多种颜色的光线对待检测工件进行全面性的取像，达到提高检测精度的效果。
此外，本实用新型能够采用脉动方式的发光模式以及控制所述发光装置处于超载状态(即所述发光装置的瞬时发光工作功率高于额定功率)，使得所述取像装置的取像时间能够有效的降低，并以此达到降低整体检测工作时间的效果。
附图说明
图1是本实用新型实施例中多色闪频取像检测系统的方块示意图。
图2是本实用新型实施例中多色闪频取像检测方法的方块流程示意图。
图3是本实用新型实施例中发光装置与取像装置的时序图。
附图标记：100，多色闪频取像检测系统；200，多色闪频取像检测方法；10，发光装置；20，取像装置；30，检测装置；31，抽取单元；32，分析单元；40，控制装置；S1，照射步骤；S2，取像步骤；S3，检测步骤。
具体实施方式
为便于说明本实用新型于上述实用新型内容中所表示的中心思想，这里以具体实施例表达。事先说明，实施例中各种不同物件是按适于列举说明的比例，而非按实际元件的比例予以绘制。
如图1至图3所示，是公开本实用新型实施例的多色闪频取像检测系统100，用以检测待检测工件，本实用新型包含发光装置10、取像装置20及检测装置30。其中，所述待检测工件为晶圆、电路板、TFT玻璃、CF玻璃等、CIS晶片等等。
所述发光装置10，采用脉动方式对所述待检测工件发射具有不同颜色的多种光线，所述发光装置10在发射所述光线时，其瞬时发光工作功率高于额定功率。其中，在本实用新型的实施例中，仅需一台所述发光装置10便能够发射多个具有不同颜色的光线，以此能够降低整体系统的建置成本。
在本实用新型实施例中，所述发光装置10的瞬时发光工作功率高于额定功率100％至300％(在其他实施例中，亦能够高达1000％甚至更高)，由于所述发光装置10的瞬时发光工作功率与所述取像装置20的取像时间呈反比关系，因此通过提高所述发光装置10的所述瞬时发光工作功率，能够降低所述取像装置20的所述取像时间，并达到降低整体检测工作时间的效果，例如，若所述发光装置10的瞬时发光工作功率高于额定功率300％，则所述取像装置20的取像时间便会是原本取像时间的三分之一；所述光线为波长380nm至750nm的可见光，其中，所述光线的波长能够依据使用者的需求进行选择，例如，在检测面板的MURA缺陷时，使用者能够使用多种不同波长(即不同颜色)的光线，对面板进行全面性的取像，以达到准确检测的目的。
所述取像装置20，耦接于所述发光装置10。在所述发光装置10发出所述光线时，所述取像装置20会根据所述光线的颜色取得所述待检测工件的多个待检测影像。其中，所述取像装置20为线扫描相机；所述待检测影像具有不同颜色的多种颜色信息，例如，若所述发光装置10发出红色光(即光线波长为620nm至750nm)时，所取得的所述待检测影像的所述颜色信息便为红色。另外，于本实用新型实施例中，当所述发光装置10每发射一次光线时，所述取像装置20便会进行一次取像动作，因此所述取像装置20每一次所取得的所述待检测影像并不会受到任何压缩，这使得所述待检测影像皆是完整、清晰的影像，以提升后续检测的准确度。
如图3所示，是发光装置与取像装置的时序图。所述取像装置20的曝光时间是大于所述发光装置10的光线照射时间的，以此可以避免在不同取像周期内，不同颜色的光相互混杂，产生检测准确度下降的情況。
所述检测装置30，耦接于所述取像装置20，对所述待检测影像进行检测分析，以取得所述待检测工件的缺陷信息。如图1所示，在本实用新型实施例中，所述检测装置30包括抽取单元31和分析单元32。所述抽取单元31根据所述颜色信息抽取对应的所述待检测影像，并重新组成重组检测影像；所述分析单元32接收并分析所述重组检测影像，以获得所述待检测工件的所述缺陷信息。
如图1所示，本实用新型的实施例中，还包括控制装置40，所述控制装置耦接于所述发光装置10和所述取像装置20。所述控制装置40控制所述发光装置10的发光顺序和发光时间，并且当所述发光装置10发射所述光线时，所述控制装置40控制所述取像装置20同时取得所述待检测影像。
其中，所述控制装置40能够根据所述待检测工件的种类以及欲对所述待检测工件进行的检测项目，控制照射所述待检测工件的所述光线的颜色(即波长)、所述光线的颜色顺序、所述发光装置10的发光时间及瞬时发光工作功率以及所述取像装置20的取像时间。
如图2所示，本实用新型还提供一种利用多色闪频取像检测系统100的多色闪频取像检测方法200，所述方法包括以下步骤：照射步骤S1、取像步骤S2和检测步骤S3。
所述照射步骤S1包括：发光装置10采用脉动方式对所述待检测工件发射具有不同颜色的所述光线，其中，所述发光装置10的瞬时发光工作功率高于额定功率。
所述照射步骤S1还包括：通过控制装置40控制发光装置10的发光顺序和发光时间，更进一步的，所述控制装置40能够根据所述待检测工件的种类以及欲对所述待检测工件进行的检测项目，控制对所述待检测工件照射的所述光线的颜色、所述光线的颜色顺序、所述发光装置10的发光时间以及瞬时发光工作功率。
取像步骤S2包括：当所述待检测工件受到所述光线照射时，所述取像装置20根据所述光线的颜色取得所述待检测工件的所述待检测影像。其中，在所述取像步骤S2中，是在所述发光装置10发射所述光线时，由所述控制装置40控制所述取像装置20，同时取得所述待检测影像。
检测步骤S3包括：通过所述检测装置30检测分析所述待检测影像，并取得所述待检测工件的所述缺陷信息。其中，在所述检测步骤S3中：所述检测装置30的抽取单元31根据所述颜色信息抽取对应的所述待检测影像，并重新组成所述重组检测影像，所述检测装置30的分析单元32接收并分析所述重组检测影像，以取得所述待检测工件的所述缺陷信息。
综上所述，本实用新型的所述发光装置10能够根据对应的检测项目发射多种颜色的光线，以使本实用新型能够通过多种颜色的光线对待检测工件进行全面性的取像，达到提高检测精度的功效。
再者，本实用新型能够采用脉动方式的发光模式以及控制发光装置10处于超载状态(即发光装置10之瞬时发光工作功率高于额定功率)，使得所述取像装置20的取像时间能够有效的降低，并以此达到降低整体检测工作时间的效果。
虽然本实用新型是以一个最佳实施例作说明，本领域技术人员能在不脱离本实用新型精神与范畴下作各种不同形式的改变。以上所举的实施例仅用以说明本实用新型而已，非用以限制本实用新型的范围。在不超过本实用新型的精神所做的种种修改或改变，均属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
Claims (5)
1.一种多色闪频取像检测系统，其特征在于，所述多色闪频取像检测系统包括：
发光装置，所述发光装置采用脉动方式对待检测工件发射具有不同颜色的多种光线，其中，所述发光装置的瞬时发光工作功率高于额定功率；
取像装置，所述取像装置耦接于所述发光装置，并在所述发光装置发出多种所述光线时，根据多种所述光线的颜色取得所述待检测工件的多个待检测影像；以及
检测装置，所述检测装置耦接于所述取像装置，对所述待检测影像进行检测分析，以取得所述待检测工件的缺陷信息。
2.根据权利要求1所述的多色闪频取像检测系统，其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置耦接于所述发光装置和所述取像装置，所述控制装置控制所述发光装置的发光顺序和发光时间，并且所述控制装置在控制所述发光装置发射多种所述光线时，同时控制所述取像装置取得所述待检测影像。
3.根据权利要求1所述的多色闪频取像检测系统，其特征在于，所述光线为波长380nm至750nm的可见光。
4.根据权利要求1所述的多色闪频取像检测系统，其特征在于，所述待检测影像具有不同颜色的多种颜色信息，所述检测装置包括抽取单元和分析单元，所述抽取单元根据所述颜色信息抽取对应的所述待检测影像，并重新组成重组检测影像，所述分析单元接收并分析所述重组检测影像，以获取所述待检测工件的所述缺陷信息。
5.根据权利要求1所述的多色闪频取像检测系统，其特征在于，所述取像装置为线扫描相机。
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