CN220509983U - 一种方便取放的硅片载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种方便取放的硅片载具，涉及硅片载具技术领域，为解决现有技术中目前使用的硅片载具大都采用吊运的方式进行取放，还需要专用的吊具，取放起来不够方便的问题。所述运载小车上设置有便捷式取放座，所述便捷式取放座的上方存放有硅片，所述便捷式取放座上设置有用于存放所述硅片的卡槽，所述便捷式取放座包括便于所述硅片滚动的斜坡，所述运载小车上转动连接有第一限位架，所述第一限位架上设置有用于限制所述硅片晃动的第一限位卡座，所述运载小车上固定连接有第二限位架，所述第二限位架上设置有用于限制所述硅片晃动的第二限位卡座。

Description

一种方便取放的硅片载具

技术领域

本实用新型涉及硅片载具技术领域，具体为一种方便取放的硅片载具。

背景技术

硅片生产出来时，一般为圆形结构需要利用载具进行搬运，并且在后续的工艺流程中也需要使用到载具；

例如申请公开号为CN104992917B，一种硅片载具，包括：载具主体，用于承放硅片，所述载具主体一侧留有开口，用于将硅片放入所述载具主体内部，至少一个固定单元，所述固定单元设置在所述载具主体的开口侧，包括，V形槽固定条，所述V形槽固定条用于卡住硅片位于开口侧的边缘端以固定硅片；

上述申请通过V形槽固定条的固定，使得硅片在抖动过程中不再发生自旋转，保证了硅片在腐蚀过程中的自旋转提高沟槽深度的均匀性和一致性，但是其取放的方式还是采用吊运的方式，还需要专用的吊具，取放起来不够方便，因此市场急需研制一种方便取放的硅片载具来帮助人们解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种方便取放的硅片载具，以解决上述背景技术中提出的目前使用的硅片载具大都采用吊运的方式进行取放，还需要专用的吊具，取放起来不够方便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方便取放的硅片载具，包括运载小车，所述运载小车上设置有便捷式取放座，所述便捷式取放座的上方存放有硅片，所述便捷式取放座上设置有用于存放所述硅片的卡槽，所述便捷式取放座包括便于所述硅片滚动的斜坡。

通过上述技术方案，利用运载小车对硅片进行运载，并且通过便捷式取放座对硅片进行承载，便捷式取放座上设置有卡槽，并将多个硅片进行独立存放，同时再通过斜坡的设计，在存放硅片时，利用滚动的方式将硅片滚到便捷式取放座上卡槽的内部，从而无需专门的吊运装置，并且硅片在生产制造时，边角料都会裁切掉，因此不会损伤的硅片需要使用的部分，从而不仅方便对硅片进行存取，同时结构简单，使用起来更加的可靠。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述运载小车上转动连接有第一限位架，所述第一限位架上设置有用于限制所述硅片晃动的第一限位卡座。

通过上述技术方案，在对硅片装载完毕后，利用第一限位架以及第一限位卡座对硅片进行夹持限位，使得硅片在运输的过程中不会偏移跑出来，从而使得此硅片载具在运输的过程中更加稳定，使用起来更加的安全可靠。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述运载小车上固定连接有第二限位架，所述第二限位架上设置有用于限制所述硅片晃动的第二限位卡座。

通过上述技术方案，第二限位架和第二限位卡座为固定不动的，设置在便捷式取放座的另一边，在装载硅片时，利用第二限位卡座对硅片起到进一步限位的作用，从而保证硅片保持竖直。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述第一限位卡座内设置有限位槽，所述第二限位卡座与第一限位卡座结构相同。

通过上述技术方案，通过限位槽对硅片进行夹持，从而实现对硅片的限位工作。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述运载小车与第一限位架之间连接有第一连接座，所述运载小车与第二限位架之间连接有第二连接座。

通过上述技术方案，第一连接座用于连接运载小车和第一限位架，使得第一限位架无法转动，第二连接座用于连接运载小车和第二限位架，使得第二限位架固定更加牢靠。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述运载小车的下方转动连接有万向轮，所述运载小车上安装有推杆，所述推杆上安装有手杆。

通过上述技术方案，通过万向轮、手杆和推杆来推动小车移动，手持手杆推动小车，从而实现对硅片的转运工作。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该实用新型利用运载小车对硅片进行运载，并且通过便捷式取放座对硅片进行承载，便捷式取放座上设置有卡槽，并将多个硅片进行独立存放，同时再通过斜坡的设计，在存放硅片时，利用滚动的方式将硅片滚到便捷式取放座上卡槽的内部，从而无需专门的吊运装置，并且硅片在生产制造时，边角料都会裁切掉，因此不会损伤的硅片需要使用的部分，从而不仅方便对硅片进行存取，同时结构简单，使用起来更加的可靠。

2.该实用新型在对硅片装载完毕后，利用第一限位架以及第一限位卡座对硅片进行夹持限位，使得硅片在运输的过程中不会偏移跑出来，从而使得此硅片载具在运输的过程中更加稳定，使用起来更加的安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型的便捷式取放座的整体示意图；

图2为本实用新型的一种方便取放的硅片载具的正视图；

图3为本实用新型的第一限位卡座的整体示意图。

图中：1、运载小车；2、便捷式取放座；3、第一限位架；4、第一限位卡座；5、第一连接座；6、第二限位架；7、第二限位卡座；8、第二连接座；9、硅片；10、推杆；11、手杆；12、万向轮；13、斜坡；14、卡槽；15、限位槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

请参阅图1和图2，本实用新型提供的一种实施例：一种方便取放的硅片载具，包括运载小车1，运载小车1上设置有便捷式取放座2，便捷式取放座2的上方存放有硅片9，便捷式取放座2上设置有用于存放硅片9的卡槽14，便捷式取放座2包括便于硅片9滚动的斜坡13，便捷式取放座2与运载小车1通过螺栓固定连接，卡槽14设置有若干个，斜坡13和卡槽14均与便捷式取放座2设置为一体结构。

请参阅图1，运载小车1上转动连接有第一限位架3，第一限位架3上设置有用于限制硅片9晃动的第一限位卡座4，第一限位卡座4与第一限位架3通过螺栓固定连接。

请参阅图1，运载小车1上固定连接有第二限位架6，第二限位架6上设置有用于限制硅片9晃动的第二限位卡座7，第二限位卡座7与第二限位架6通过螺栓固定连接。

请参阅图3，第一限位卡座4内设置有限位槽15，第二限位卡座7与第一限位卡座4结构相同，限位槽15与第一限位卡座4设置为一体结构，限位槽15设置有若干个。

请参阅图1，运载小车1与第一限位架3之间连接有第一连接座5，运载小车1与第二限位架6之间连接有第二连接座8，运载小车1和第一限位架3均通过螺栓与第一连接座5固定连接，运载小车1和第二限位架6均通过螺栓与第二连接座8固定连接。

请参阅图1，运载小车1的下方转动连接有万向轮12，运载小车1上安装有推杆10，推杆10上安装有手杆11，推杆10与运载小车1焊接连接，手杆11与推杆10焊接连接。

工作原理：使用时，将第一连接座5拆卸下来，然后旋转第一限位架3，将第一限位架3的端头旋转至地面，此时便可以通过滚动的方式将硅片9滚至运载小车1，通过斜坡13滚至便捷式取放座2上方的卡槽14，侧边通过第二限位卡座7的限位槽15卡住，从而完成对硅片9的装载，然后再将第一限位架3旋转至竖直状态，利用第一连接座5进行固定，从而可通过第一限位卡座4的限位槽15将硅片9的另一侧边卡住，实现对硅片9的限位工作，此时便可以通过手持手杆11推动运载小车1移动，对硅片9进行转运工作。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种方便取放的硅片载具，包括运载小车(1)，其特征在于：所述运载小车(1)上设置有便捷式取放座(2)，所述便捷式取放座(2)的上方存放有硅片(9)，所述便捷式取放座(2)上设置有用于存放所述硅片(9)的卡槽(14)，所述便捷式取放座(2)包括便于所述硅片(9)滚动的斜坡(13)。

2.根据权利要求1所述的一种方便取放的硅片载具，其特征在于：所述运载小车(1)上转动连接有第一限位架(3)，所述第一限位架(3)上设置有用于限制所述硅片(9)晃动的第一限位卡座(4)。

3.根据权利要求2所述的一种方便取放的硅片载具，其特征在于：所述运载小车(1)上固定连接有第二限位架(6)，所述第二限位架(6)上设置有用于限制所述硅片(9)晃动的第二限位卡座(7)。

4.根据权利要求3所述的一种方便取放的硅片载具，其特征在于：所述第一限位卡座(4)内设置有限位槽(15)，所述第二限位卡座(7)与第一限位卡座(4)结构相同。

5.根据权利要求3所述的一种方便取放的硅片载具，其特征在于：所述运载小车(1)与第一限位架(3)之间连接有第一连接座(5)，所述运载小车(1)与第二限位架(6)之间连接有第二连接座(8)。

6.根据权利要求1所述的一种方便取放的硅片载具，其特征在于：所述运载小车(1)的下方转动连接有万向轮(12)，所述运载小车(1)上安装有推杆(10)，所述推杆(10)上安装有手杆(11)。