CN220311081U - 一种探针清理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种探针清理装置，属于探针清洁技术领域，包括固定座、收束平台和驱动装置，固定座上固定有多束刷毛，每束刷毛包括多条软毛，软毛用于与探针接触以清理探针；收束平台滑动设置在固定座的上方且能够沿上下方向往复移动；收束平台设置有多个沿上下方向延伸的通孔，每个通孔均穿插有一束刷毛；收束平台用于通过沿上下方向移动使每一束刷毛中的多条软毛聚拢或分散；驱动装置与收束平台连接且用于驱动收束平台沿上下方向移动。本实用新型的探针清理装置，软毛的密集程度能够被改变，使得刷毛呈现不同的覆盖面积，从而满足不同清洁面积的各种探针的清理需求，具有较高的普遍适用性。

Description

一种探针清理装置

技术领域

本实用新型属于探针清洁技术领域，特别涉及一种探针清理装置。

背景技术

半导体的晶圆级电性测试中，经常会使用探针进行电性测试，由于测试时探针需要与晶圆直接接触，则容易导致探针头粘附上如化合物碎屑等杂物，杂物积聚在探针头上会干扰探针与芯片的电连接，从而导致测试结果出现偏差，甚至可能会导致芯片出现高阻抗、短路、漏电等质量问题，因此在探针使用一定次数后，需要对探针进行清洁，从而去除附着在探针头上的杂物。

现有技术中一般利用清针纸对探针进行清洁，然而由于不同的探针具有不同规格和形态的探头等，因此探头的清洁面积也有不同，例如探针探头较大，则需要使用面积较大的清针纸，反之同理，因此需要清理不同的探针往往需要不同的清针纸，显然清针纸的普遍适用性较低。

因此，现有技术有待改进和发展。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种探针清理装置，软毛的密集程度能够被改变，使得刷毛呈现不同的覆盖面积，从而满足不同清洁面积的各种探针的清理需求，具有较高的普遍适用性。

第一方面，本实用新型提供一种探针清理装置，包括：

固定座，所述固定座上固定有多束刷毛，每束刷毛包括多条软毛，所述软毛用于与探针接触以清理探针；

收束平台，所述收束平台滑动设置在所述固定座的上方且能够沿上下方向往复移动；所述收束平台设置有多个沿上下方向延伸的通孔，每个所述通孔均穿插有一束所述刷毛；所述收束平台用于通过沿上下方向移动使每一束所述刷毛中的多条所述软毛聚拢或分散；

驱动装置，所述驱动装置与所述收束平台连接且用于驱动所述收束平台沿上下方向移动。

本实用新型提供的探针清理装置，用户能够调节刷毛的覆盖面积，使其充分覆盖不同面积的探针探头，提高普遍适用性的同时，能够达到快速清洁效果。

进一步的，包括多个所述收束平台和多个所述驱动装置，每个所述收束平台均与对应的一个所述驱动装置连接。

多个收束平台将各个刷毛按区域进行划分，能够使各个区域的刷毛呈现不同的覆盖面积，有利于实现多种探头同时清理。

进一步的，还包括多个基座，所有所述基座均通过可拆卸的连接方式固定在所述固定座的顶部，每个所述基座均位于对应的一个所述收束平台的下方，每个所述基座上均固定插接有多束所述刷毛且每个所述基座所插接的所述刷毛的数量与对应的所述收束平台的通孔数量相同。

有利于用户根据实际需求在固定座上安装不同类型的刷毛，满足更多种探头的清理需求。

进一步的，所述基座通过磁吸的方式固定在所述固定座的顶部。

进一步的，所述通孔呈喇叭形且窄端朝上。

通孔的喇叭形弧面对刷毛起到导向作用，引导刷毛顺利穿过通孔，大大降低了装配收束平台的难度，简化了安装过程，提高了安装效率。

进一步的，所述通孔的窄端的轮廓边缘设置成圆角。

进一步的，所述多束刷毛呈阵列分布，且左右方向和前后方向的相邻两束刷毛的间距均为0.5mm，所述软毛的直径为60um，高度为5mm。

进一步的，所述软毛由PBT材料制作而成。

进一步的，所述基座由陶瓷材料或玻璃纤维材料制成。

进一步的，所述驱动装置为电机、气缸或液压缸。

由上可知，本实用新型的探针清理装置，通过设置能够沿上下方向往复移动的收束平台控制每束刷毛中多条软毛聚拢或分散，从而改变刷毛的覆盖面积，使其能够满足不同清洁面积的各种探针的清理，其普遍适用性较高，同时还保证有较高的清理效率。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型实施例了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种探针清理装置的结构示意图。

图2为本实用新型实施例提供的一种探针清理装置的局部爆炸图。

图3为本实用新型实施例中收束平台的局部剖视图。

图4为本实用新型实施例中单束刷毛的结构示意图。

标号说明：

100、固定座；200、刷毛；300、收束平台；310、通孔；400、驱动装置；500、基座。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

需要说明的是，下文所述的“上下方向”、“左右方向”和“前后方向”以附图1中标注的箭头作为参考。

参考附图1、附图2、附图3和附图4，本实用新型提供一种探针清理装置，包括：

固定座100，固定座100上固定有多束刷毛200，每束刷毛200包括多条软毛，软毛用于与探针接触以清理探针；

收束平台300，收束平台300滑动设置在固定座100的上方且能够沿上下方向往复移动；收束平台300设置有多个沿上下方向延伸的通孔310，每个通孔310均穿插有一束刷毛200；收束平台300用于通过沿上下方向移动使每一束刷毛200中的多条软毛聚拢或分散；

驱动装置400，驱动装置400与收束平台300连接且用于驱动收束平台300沿上下方向移动。

本实施例中，在实际应用时，驱动装置400控制收束平台300沿上下方向移动，当收束平台300向上移动时，软毛受到对应的通孔310的限位而逐渐聚拢，使得刷毛200的覆盖面积逐渐减小；当收束平台300向下移动时，通孔310对软毛的限位作用逐渐减弱，软毛逐渐分散，使得刷毛200的覆盖面积逐渐增大；以此适应不同规格和形态的探头，大大增加其普遍适用性；同时，刷毛200的覆盖面积越接近探头所需清洁的面积，则只需越少的清理次数就能够使刷毛200遍历整探头，大大缩短清理时长，提高清理效率。

在某些实施例中，参考附图1和附图2，探针清理装置包括多个收束平台300和多个驱动装置400，每个收束平台300均与对应的一个驱动装置400连接。

本实施例中，多个收束平台300将各个刷毛200按区域进行划分，通过驱动装置400分别控制各个收束平台300移动到不同的高度，进而使各个区域的刷毛200呈现不同的覆盖面积，有利于实现多种探头同时清理。

在某些实施例中，参考附图1和附图2，探针清理装置还包括多个基座500，所有基座500均通过可拆卸的连接方式固定在固定座100的顶部，每个基座500均位于对应的一个收束平台300的下方，每个基座500上均固定插接有多束刷毛200且每个基座500所插接的刷毛200的数量与对应的收束平台300的通孔310数量相同。

本实施例中，多个基座500将固定座100顶部按区域进行划分，且刷毛200固定在基座500上随基座500移动，有利于用户根据实际需求在固定座100上安装不同类型的刷毛200，满足更多种探头的清理需求。

同时，基座500以可拆卸的连接方式固定在固定座100上则便于用户更换刷毛200；其中，可拆卸的连接方式包括螺钉连接、卡扣连接、销连接、键连接等。

在某些优选实施例中，基座500通过磁吸的方式固定在固定座100的顶部。以磁吸方式连接基座500和固定座100，其固定效果好，不易脱离，且安装方便快捷。

在某些实施例中，参考附图3，通孔310呈喇叭形且窄端朝上。

装配收束平台300时，可以利用橡皮套环将每束刷毛200的所有软毛聚集成一体，然后再将收束平台300套接到各个刷毛200上，套接过程中用户只需要简单定位，确保各束刷毛200能够进入到通孔310的宽端，此时通孔310的喇叭形弧面对刷毛200起到导向作用，引导刷毛200顺利穿过通孔310，大大降低了装配收束平台300的难度，简化了安装过程，提高了安装效率。

在某些实施例中，参考附图3，通孔310的窄端的轮廓边缘设置成圆角。将轮廓边缘设置成圆角能够避免锐利的棱角刮伤或割断软毛，使探针清理装置具有更长的使用寿命。

在某些实施例中，多束刷毛200呈阵列分布，且左右方向和前后方向的相邻两束刷毛200的间距均为0.5mm，软毛的直径为60um，高度为5mm。在此规格下，能够满足大部分探针的清理需求。

在某些实施例中，软毛由PBT材料制作而成。PBT（聚对苯二甲酸丁二酯）材料制成的软毛柔韧性好且耐磨，具有较长的使用寿命。

在某些实施例中，基座500由陶瓷材料或玻璃纤维材料制成。陶瓷材料和玻璃纤维材料制成的基座500绝缘性好、耐热、耐腐蚀且机械强度高，具有较长的使用寿命。

在某些实施例中，驱动装置400为电机、气缸或液压缸。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“某些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种探针清理装置，其特征在于，包括：

固定座（100），所述固定座（100）上固定有多束刷毛（200），每束刷毛（200）包括多条软毛，所述软毛用于与探针接触以清理探针；

收束平台（300），所述收束平台（300）滑动设置在所述固定座（100）的上方且能够沿上下方向往复移动；所述收束平台（300）设置有多个沿上下方向延伸的通孔（310），每个所述通孔（310）均穿插有一束所述刷毛（200）；所述收束平台（300）用于通过沿上下方向移动使每一束所述刷毛（200）中的多条所述软毛聚拢或分散；

驱动装置（400），所述驱动装置（400）与所述收束平台（300）连接且用于驱动所述收束平台（300）沿上下方向移动。

2.根据权利要求1所述的探针清理装置，其特征在于，包括多个所述收束平台（300）和多个所述驱动装置（400），每个所述收束平台（300）均与对应的一个所述驱动装置（400）连接。

3.根据权利要求2所述的探针清理装置，其特征在于，还包括多个基座（500），所有所述基座（500）均通过可拆卸的连接方式固定在所述固定座（100）的顶部，每个所述基座（500）均位于对应的一个所述收束平台（300）的下方，每个所述基座（500）上均固定插接有多束所述刷毛（200）且每个所述基座（500）所插接的所述刷毛（200）的数量与对应的所述收束平台（300）的通孔（310）数量相同。

4.根据权利要求3所述的探针清理装置，其特征在于，所述基座（500）通过磁吸的方式固定在所述固定座（100）的顶部。

5.根据权利要求1所述的探针清理装置，其特征在于，所述通孔（310）呈喇叭形且窄端朝上。

6.根据权利要求5所述的探针清理装置，其特征在于，所述通孔（310）的窄端的轮廓边缘设置成圆角。

7.根据权利要求1所述的探针清理装置，其特征在于，所述多束刷毛（200）呈阵列分布，且左右方向和前后方向的相邻两束刷毛（200）的间距均为0.5mm，所述软毛的直径为60um，高度为5mm。

8.根据权利要求1所述的探针清理装置，其特征在于，所述软毛由PBT材料制作而成。

9.根据权利要求3所述的探针清理装置，其特征在于，所述基座（500）由陶瓷材料或玻璃纤维材料制成。

10.根据权利要求1所述的探针清理装置，其特征在于，所述驱动装置（400）为电机、气缸或液压缸。