CN220291303U - 一种新型组合式接口面板 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型组合式接口面板，包括第一接口面板组件、金属折弯面板和第二接口面板组件，所述第一接口面板组件包括接口面板，所述接口面板的一侧端面设置有多个真空接口和多个气路接口；所述金属折弯面板连接第一接口面板组件的一侧端面；所述第二接口面板组件包括多折型金属折弯面板，所述第二接口面板组件连接金属折弯面板的一侧端面，所述多折型金属折弯面板上设置有多个网络接口和USB接口，所述多折型金属折弯面板位于网络接口的一侧端面设置有主电源。本实用新型实现增加了接口的范围和数量，节省了测试人员不必要的接线时间，同时也增加了检修的稳定性和准确性，并且接口面板适配性和集成性更好。

Description

一种新型组合式接口面板

技术领域

本实用新型是关于领域，特别是关于一种新型组合式接口面板。

背景技术

半导体设备在使用时需要接入电源，网络以及多路真空和气压，来保证设备和工厂的实时通讯以及设备内部各个部件的运动和配合，但限于半导体工厂的特殊性质，气管和线路都是需要布线在设备放置的地板以下，所以与设备连接线路时需要对地板进行开孔且尺寸不宜过大，这就要求一台设备对应的地板开孔位置尽量唯一，在接线过程中耗费时间较长，并且不利于检修的准确性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型组合式接口面板，其能够实现增加了接口的范围和数量，节省了测试人员不必要的接线时间，同时也增加了检修的稳定性和准确性，并且接口面板适配性和集成性更好。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种新型组合式接口面板，包括第一接口面板组件、金属折弯面板和第二接口面板组件，所述第一接口面板组件包括接口面板，所述接口面板的一侧端面设置有多个真空接口和多个气路接口；所述金属折弯面板连接第一接口面板组件的一侧端面；所述第二接口面板组件包括多折型金属折弯面板，所述第二接口面板组件连接金属折弯面板的一侧端面，所述多折型金属折弯面板上设置有多个网络接口和USB接口，所述多折型金属折弯面板位于网络接口的一侧端面设置有主电源。

在一个或多个实施方式中，所述金属折弯面板和接口面板上均开设有多个第一螺纹孔，多个所述第一螺纹孔均螺纹连接有第三螺栓。

在一个或多个实施方式中，所述多折型金属折弯面板接触金属折弯面板的一侧端面开设有多个第二螺纹孔，所述金属折弯面板上开设有与多个第二螺纹孔相匹配的第三螺纹孔，所述第二螺纹孔和第三螺纹孔均螺纹连接有第二螺栓。

在一个或多个实施方式中，所述多折型金属折弯面板位于网络接口上连接有连接板，所述连接板上开设有第四螺纹孔，所述多折型金属折弯面板上开设有与第四螺纹孔相匹配的第五螺纹孔，所述第四螺纹孔和第五螺纹孔螺纹连接有第一螺栓，所述连接板上开设有凹槽，所述网络接口贯穿连接板上的凹槽。

在一个或多个实施方式中，所述多折型金属折弯面板的一对相对端面分别固定连接有第一插槽板和第二插槽板，所述第一插槽板和第二插槽板上均开设有多个插槽。

在一个或多个实施方式中，所述接口面板的一对相对端面均开设有第一限位槽，所述金属折弯面板的一侧端面开设有与第一限位槽相匹配的第三限位槽，所述多折型金属折弯面板的一侧端面开设有与第三限位槽相匹配的第四限位槽，所述第二接口面板组件远离网络接口的一侧端面固定连接有固定板，所述固定板上开设有与第四限位槽相匹配的第五限位槽。

在一个或多个实施方式中，多个所述气路接口均接入有气管，多个所述真空接口均接入有外管，所述气路接口接入气管外径尺寸均为4mm。

在一个或多个实施方式中，多个所述真空接口数量为5个，其中所述3个真空接口接入外管外径尺寸为4mm，另外2个真空接口接入外管外径尺寸为6mm。

在一个或多个实施方式中，多个所述气管均插接有堵头。

在一个或多个实施方式中，所述金属折弯面板固定连接在接口面板的一侧端面。

与现有技术相比，根据本实用新型的一种新型组合式接口面板，实现增加了接口的范围和数量，节省了测试人员不必要的接线时间，同时也增加了检修的稳定性和准确性，并且接口面板适配性和集成性更好。

附图说明

图1是根据本实用新型一实施方式一种新型组合式接口面板的结构示意图一。

图2是根据本实用新型一实施方式一种新型组合式接口面板的多折型金属折弯面板的结构示意图。

图3是根据本实用新型一实施方式一种新型组合式接口面板的结构示意图二。

主要附图标记说明：

1-第一接口面板组件，101-真空接口，102-气路接口，103-第一限位槽，104-第二限位槽，105-接口面板，2-金属折弯面板，201-第三限位槽，3-第二接口面板组件，301-第四限位槽，302-网络接口，303-USB接口，304-第一插槽板，305-第二插槽板，306-第一螺栓，307-连接板，308-多折型金属折弯面板，309-固定板，4-第二螺栓，5-第三螺栓。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本实用新型的保护范围并不受具体实施方式的限制。

除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。

如图1至图3所示，根据本实用新型一实施方式的一种新型组合式接口面板，包括第一接口面板组件1、金属折弯面板2和第二接口面板组件3，实现与半导体设备进行连接，并接入电源，网络以及多路真空和气压。

图1至图2所示，第一接口面板组件1包括接口面板105，接口面板105的一侧端面设置有多个真空接口101和多个气路接口102。多个真空接口101和多个气路接口102均根据机台所有功能和模块进行适配设计。

接口面板105的一侧端面开设有第二限位槽104，达到第一接口面板组件1固定在机台的固定支架上进行匹配，进行快速固定。

多个气路接口102均接入有气管，多个真空接口101均接入有外管。

气路接口102接入气管外径尺寸均为4mm，气路接口102的数量优选为2个。

多个真空接口101数量为5个，其中3个真空接口101接入外管外径尺寸为4mm，另外2个真空接口101接入外管外径尺寸为6mm。即多个真空接口101由2路气压接口接入外管外径尺寸为6mm和3路路气压接口接入外管外径尺寸为4mm组成。

进一步的，位于机台内部的气管全部保留且接入到出端，多个气管均插接有堵头。具体的，当不需要使用气管时，可使用堵头，堵住进端对应的接口，保护气管，使其不易受到外部空气，环境的污染。

金属折弯面板2形状为Z型，金属折弯面板2连接第一接口面板组件1的一侧端面。

金属折弯面板2和接口面板105紧密贴合的一侧端面上均开设有多个第一螺纹孔，多个第一螺纹孔均螺纹连接有第三螺栓5。第三螺栓5贯穿第一螺纹孔，实现将金属折弯面板2固定在第一接口面板组件1的一侧端面上。

其中，金属折弯面板2固定连接在接口面板105的一侧端面，金属折弯面板2也可以与第一接口面板组件1一体成型，也可以选择金属折弯面板2与第一接口面板组件1之间采用螺栓连接，可根据实际需求，选择连接方式。

优选的，第三螺栓5上螺纹连接有第一螺母，达到对金属折弯面板2和第一接口面板组件1连接的加强。

如图2所示，第二接口面板组件3包括多折型金属折弯面板308，第二接口面板组件3连接金属折弯面板2的一侧端面。多折型金属折弯面板308上设置有多个网络接口302和USB接口303，多折型金属折弯面板308位于网络接口302的一侧端面设置有主电源。

多折型金属折弯面板308接触金属折弯面板2的一侧端面开设有多个第二螺纹孔，金属折弯面板2上开设有与多个第二螺纹孔相匹配的第三螺纹孔。第二螺纹孔和第三螺纹孔均螺纹连接有第二螺栓4，第二螺栓4贯穿第二螺纹孔和第三螺纹孔。实现将第二接口面板组件3固定在金属折弯面板2的一侧端面上。

优选的，第二螺栓4上螺纹连接有第二螺母，达到对第二接口面板组件3和金属折弯面板2连接的加强。

如图2所示，多折型金属折弯面板308位于网络接口302上连接有连接板307，连接板307位于多折型金属折弯面板308的底部端面。

连接板307上开设有第四螺纹孔，多折型金属折弯面板308上开设有与第四螺纹孔相匹配的第五螺纹孔。第四螺纹孔和第五螺纹孔螺纹连接有第一螺栓306，实现对网络接口302的加强固定在多折型金属折弯面板308上。

其中网络接口302的数量优选为2个。

连接板307上开设有凹槽，网络接口302贯穿连接板307上的凹槽。

多折型金属折弯面板308的一对相对端面分别固定连接有第一插槽板304和第二插槽板305，第一插槽板304和第二插槽板305均为L型。第一插槽板304和第二插槽板305均凸出多折型金属折弯面板308的一侧端面，第一插槽板304和第二插槽板305上均开设有多个插槽。达到便于对线的固定，可将线插入插槽内进行固定。

接口面板105的一对相对端面均开设有第一限位槽103，金属折弯面板2的一侧端面开设有与第一限位槽103相匹配的第三限位槽201。多折型金属折弯面板308的一侧端面开设有与第三限位槽201相匹配的第四限位槽301。

第二接口面板组件3远离网络接口302的一侧端面固定连接有固定板309，固定板309上开设有与第四限位槽301相匹配的第五限位槽。实现通过一对第一限位槽103、第三限位槽201、第四限位槽301和第五限位槽。将第一接口面板组件1、金属折弯面板2和第二接口面板组件3与机台的固定支架连接。

使用时，如图1所示，将第一接口面板组件1、金属折弯面板2和第二接口面板组件3与与机台的固定支架贴合。然后将一对第一限位槽103与机台的支架的侧面连接，再将第四限位槽301、第三限位槽201和第五限位槽与机台支架的正面连接，并使用螺栓将其固定在机台的固定支架上；

再根据需求将第一接口面板组件1上的多个真空接口101和气路接口102分别与气管和外管连接，通过网络接口302连网络。并通过USB接口303连接数据端，实现快速接线，便于检修，提高运行的稳定性，可满足多种现场应用需求和设备对应的地板开孔位置唯一性的要求。

前述对本实用新型的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的。这些描述并非想将本实用新型限定为所公开的精确形式，并且很显然，根据上述教导，可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本实用新型的特定原理及其实际应用，从而使得本领域的技术人员能够实现并利用本实用新型的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变。本实用新型的范围意在由权利要求书及其等同形式所限定。

Claims (10)

1.一种新型组合式接口面板，其特征在于，包括：

第一接口面板组件，包括接口面板，所述接口面板的一侧端面设置有多个真空接口和多个气路接口；

金属折弯面板，连接第一接口面板组件的一侧端面；

第二接口面板组件，包括多折型金属折弯面板，所述第二接口面板组件连接金属折弯面板的一侧端面，所述多折型金属折弯面板上设置有多个网络接口和USB接口，所述多折型金属折弯面板位于网络接口的一侧端面设置有主电源。

2.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述金属折弯面板和接口面板上均开设有多个第一螺纹孔，多个所述第一螺纹孔均螺纹连接有第三螺栓。

3.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述多折型金属折弯面板接触金属折弯面板的一侧端面开设有多个第二螺纹孔，所述金属折弯面板上开设有与多个第二螺纹孔相匹配的第三螺纹孔，所述第二螺纹孔和第三螺纹孔均螺纹连接有第二螺栓。

4.如权利要求3所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述多折型金属折弯面板位于网络接口上连接有连接板，所述连接板上开设有第四螺纹孔，所述多折型金属折弯面板上开设有与第四螺纹孔相匹配的第五螺纹孔，所述第四螺纹孔和第五螺纹孔螺纹连接有第一螺栓，所述连接板上开设有凹槽，所述网络接口贯穿连接板上的凹槽。

5.如权利要求1或4所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述多折型金属折弯面板的一对相对端面分别固定连接有第一插槽板和第二插槽板，所述第一插槽板和第二插槽板上均开设有多个插槽。

6.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述接口面板的一对相对端面均开设有第一限位槽，所述金属折弯面板的一侧端面开设有与第一限位槽相匹配的第三限位槽，所述多折型金属折弯面板的一侧端面开设有与第三限位槽相匹配的第四限位槽，所述第二接口面板组件远离网络接口的一侧端面固定连接有固定板，所述固定板上开设有与第四限位槽相匹配的第五限位槽。

7.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，多个所述气路接口均接入有气管，多个所述真空接口均接入有外管，所述气路接口接入气管外径尺寸均为4mm。

8.如权利要求7所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，多个所述真空接口数量为5个，其中所述3个真空接口接入外管外径尺寸为4mm，另外2个真空接口接入外管外径尺寸为6mm。

9.如权利要求7所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，多个所述气管均插接有堵头。

10.如权利要求1所述的一种新型组合式接口面板，其特征在于，所述金属折弯面板固定连接在接口面板的一侧端面。