CN220284217U - 一种mpcvd设备监控录像装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种MPCVD设备监控录像装置，属于微波等离子体化学气相沉积技术领域。本实用新型包括通过安装支架安装在观察窗上方的摄像头，安装支架包括旋转座，旋转座与观察窗转动连接，旋转座上方设置用于安装摄像头的安装座，安装座一侧与旋转座转动连接，安装座与旋转座之间设置驱动安装座绕与旋转座连接处转动的调节组件，旋转座一侧设置驱动旋转座转动的驱动机构，本实用新型保障了作业人员的安全，实现了实时监控观察，便于保存监控图像进行对比分析，提高了作业效率，并且装置结构简单，使用简便。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种MPCVD设备监控录像装置，属于微波等离子体化学气相沉积技术领域。
背景技术
微波等离子体化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition)简称MPCVD，是一种将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应室，在微波的激励下，使反应室中的气体分子电离产生等离子体，在衬底上沉积得到金刚石膜。
在制备过程中，需要定时观察谐振腔中等离子火焰的工作情况并判断异常，目前同行业使用目视的方法观察记录谐振腔中等离子火焰的工作情况并判断异常，现有的目视观察的方式存在以下缺陷：
1、目视观察红外线对眼睛有辐射伤害；
2、目视观察不能连续几十个小时甚至上百个小时一直盯着看，不能时时监控；
3、目视观察不能把观察到的图形呈现本质图形；
4、目视观察不能形成图表，不能分析图形色度，不能拿出图形色度做对比。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种MPCVD设备监控录像装置，用于解决现有技术中现有的MPCVD设备中缺少能够对谐振腔中等离子火焰进行实时监控观察的设备的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种MPCVD设备监控录像装置，包括通过安装支架安装在观察窗上方的摄像头，所述安装支架包括旋转座，所述旋转座与所述观察窗转动连接，所述旋转座上方设置用于安装摄像头的安装座，所述安装座一侧与所述旋转座转动连接，所述安装座与旋转座之间设置驱动所述安装座绕与旋转座连接处转动的调节组件，所述旋转座一侧设置驱动所述旋转座转动的驱动机构。
于本实用新型的一实施例中，所述旋转座一侧设置连接座，所述安装座一侧设置连杆，所述连杆末端与所述连接座通过转轴相连接。
于本实用新型的一实施例中，所述调节组件采用微型气缸，所述微型气缸设置在所述连杆与所述旋转座之间。
通过采用这种技术方案：进行调节时，首先调节组件启动，调节组件采用微型气缸，通过微型气缸的伸缩带动连杆绕与连接座连接的转轴处转动。
于本实用新型的一实施例中，所述驱动机构包括设置在观察窗一侧的支架，所述支架上设置电机，所述旋转座外侧边缘设置传动齿并且啮合设置有驱动齿轮，所述驱动齿轮上方连接所述电机。
通过采用这种技术方案：电机通过输出轴驱动驱动齿轮旋转，驱动齿与旋转座侧面的传动齿相啮合从而驱动旋转座旋转，通过旋转座带动整个安装支架旋转。
于本实用新型的一实施例中，所述观察窗边缘向上延伸有环形凸起，所述旋转座底面对应设置环形滑槽，所述观察窗和旋转座通过环形凸起和环形滑槽相配合转动连接，连接处设置轴承。
通过采用这种技术方案：观察窗和旋转座通过环形凸起和环形滑槽相配合转动连接，连接处设置轴承，提高观察窗和旋转座之间的连接强度，防止转动过程中位置偏移，同时减小观察窗和旋转座之间的摩擦力，提高转动效率。
如上所述，本实用新型的一种MPCVD设备监控录像装置，具有以下有益效果：
本实用新型中摄像头通过安装支架安装在观察窗上，安装支架上设置调节组件和驱动机构，通过调节组件和驱动机构可以实现对摄像头任意角度的调节，能够根据需要对反应腔内部进行多角度的观察，利用摄像头代替目视观察，保障了作业人员的安全，实现了实时监控观察，便于保存监控图像进行对比分析，提高了作业效率，并且装置结构简单，使用简便。
附图说明
图1显示为本实用新型实施例中一种MPCVD设备监控录像装置的整体结构示意图。
图2显示为本实用新型实施例中一种MPCVD设备监控录像装置的安装支架结构示意图。
其中，1、安装支架；2、摄像头；3、驱动机构；4、支架；5、电机；6、驱动齿轮；7、旋转座；8、安装座；9、连杆；10、连接座；11、转轴；12、调节组件；13、观察窗。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
请参阅图1和图2，本实用新型提供一种MPCVD设备监控录像装置，包括通过安装支架1安装在观察窗13上方的摄像头2，安装支架1包括旋转座7，旋转座7与观察窗13转动连接，观察窗13边缘向上延伸有环形凸起，旋转座7底面对应设置环形滑槽，观察窗13和旋转座7通过环形凸起和环形滑槽相配合转动连接，连接处设置轴承，旋转座7上方设置用于安装摄像头2的安装座8，安装座8一侧与旋转座7转动连接，旋转座7一侧设置连接座10，安装座8一侧设置连杆9，连杆9末端与连接座10通过转轴11相连接，安装座8与旋转座7之间设置驱动安装座8绕与旋转座7连接处转动的调节组件12，调节组件12采用微型气缸，微型气缸设置在连杆9与旋转座7之间，旋转座7一侧设置驱动旋转座7转动的驱动机构3，驱动机构3包括设置在观察窗13一侧的支架4，支架4上设置电机5，旋转座7外侧边缘设置传动齿并且啮合设置有驱动齿轮6，驱动齿轮6上方连接电机5。
一种MPCVD设备监控录像装置的工作原理是：在正常工作的过程中，摄像头2与安装支架1上的安装座8固定连接，安装支架1通过旋转座7转动安装在观察窗13上，随着钻石的生长，摄像头2需要调节角度，进行调节时，首先调节组件12启动，调节组件12采用微型气缸，通过微型气缸的伸缩带动连杆9绕与连接座10连接的转轴11处转动，从而调节安装座8的角度，使得摄像头2呈一定角度拍摄观察窗13内部，同时电机5启动，电机5通过输出轴驱动驱动齿轮6旋转，驱动齿6与旋转座7侧面的传动齿相啮合从而驱动旋转座7旋转，通过旋转座7带动整个安装支架1旋转，配合安装座8调节摄像头2的角度从而能够通过摄像头2的运动对钻石进行全方位的监控拍摄，并且操作人员可以根据需要调节摄像机的角度，以更好地观察钻石的生长状况。
综上所述，本实用新型中摄像头通过安装支架安装在观察窗上，安装支架上设置调节组件和驱动机构，通过调节组件和驱动机构可以实现对摄像头任意角度的调节，能够根据需要对反应腔内部进行多角度的观察，利用摄像头代替目视观察，保障了作业人员的安全，实现了实时监控观察，便于保存监控图像进行对比分析，提高了作业效率，并且装置结构简单，使用简便。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (5)
1.一种MPCVD设备监控录像装置，包括通过安装支架(1)安装在观察窗(13)上方的摄像头(2)，其特征在于，所述安装支架(1)包括旋转座(7)，所述旋转座(7)与所述观察窗(13)转动连接，所述旋转座(7)上方设置用于安装摄像头(2)的安装座(8)，所述安装座(8)一侧与所述旋转座(7)转动连接，所述安装座(8)与旋转座(7)之间设置驱动所述安装座(8)绕与旋转座(7)连接处转动的调节组件(12)，所述旋转座(7)一侧设置驱动所述旋转座(7)转动的驱动机构(3)。
2.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备监控录像装置，其特征在于：所述旋转座(7)一侧设置连接座(10)，所述安装座(8)一侧设置连杆(9)，所述连杆(9)末端与所述连接座(10)通过转轴(11)相连接。
3.根据权利要求2所述的一种MPCVD设备监控录像装置，其特征在于：所述调节组件(12)采用微型气缸，所述微型气缸设置在所述连杆(9)与所述旋转座(7)之间。
4.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备监控录像装置，其特征在于：所述驱动机构(3)包括设置在观察窗(13)一侧的支架(4)，所述支架(4)上设置电机(5)，所述旋转座(7)外侧边缘设置传动齿并且啮合设置有驱动齿轮(6)，所述驱动齿轮(6)上方连接所述电机(5)。
5.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备监控录像装置，其特征在于：所述观察窗(13)边缘向上延伸有环形凸起，所述旋转座(7)底面对应设置环形滑槽，所述观察窗(13)和旋转座(7)通过环形凸起和环形滑槽相配合转动连接，连接处设置轴承。
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