CN220099271U

CN220099271U - 磷源装置

Info

Publication number: CN220099271U
Application number: CN202321324818.XU
Authority: CN
Inventors: 孙林
Original assignee: Tongwei Solar Jintang Co Ltd
Current assignee: Tongwei Solar Jintang Co Ltd
Priority date: 2023-05-29
Filing date: 2023-05-29
Publication date: 2023-11-28
Anticipated expiration: 2033-05-29

Abstract

本实用新型公开了磷源装置，包括：源瓶本体；内置源瓶，内置源瓶设置在容纳腔室内，内置源瓶的底部止抵于源瓶本体的底壁；设置在内置源瓶中的第一进气管；出气管；隔档件，隔档件设置在容纳腔室的除内置源瓶外的区域，隔档件的内侧止抵且固定于内置源瓶的外侧壁，隔档件的外侧止抵且固定于源瓶本体的内侧壁；进液口，进液口设置在内置源瓶的侧壁上，进液口低于隔档件；第二进气管，第二进气管设置在隔档件与源瓶本体底壁之间的源瓶本体侧壁上。本实用新型实现了在扩散反应过程中N₂经过POCl₃液的路径偏差保持在较小的范围内，从而保持N₂携带的POCl₃量基本不变，扩散的方块电阻均匀性得到极大的改善，从而提高了太阳电池的电性能。

Description

磷源装置

技术领域

本实用新型涉及太阳电池技术领域，具体而言，本实用新型涉及一种磷源装置。

背景技术

在太阳电池的发展过程中，从铝背场电池到PERC电池，再到目前的SE+PERC电池、TOP-con电池甚至异质结电池，扩散一直作为核心工序存在，扩散形成PN结，扩散方块电阻的均匀性直接决定了太阳电池的效率状况。随着技术的发展，扩散的方块电阻也逐步提升，从开始的常压扩散50-60Ω/□，到目前的低压扩散175±5Ω/□，方块电阻越高，方块电阻波动对太阳电池效率的影响也越明显。

目前PERC电池扩散工序的方块电阻控制到175±5Ω/□，采用低压扩散使得片内的均匀性得到了有效控制，但是舟与舟之间的方块电阻均匀性还是差强人意，主要的原因来源于磷源的周期性更换，每当更换磷源后，扩散的方块电阻就会明显偏低。在提前调整的状况下方块电阻会出现低于170Ω/□的状况，甚至有的时候出现低于160Ω/□的状况，这样的方块电阻会严重影响电池片的效率。在即将更换磷源时，扩散的方块电阻又会整体升高，特别是磷源高度在5mm-10mm时，方块电阻上升明显，需要相关的工艺人员不停的进行工艺调试。

具体来说，目前的缺点主要有两个方面，第一，随着磷源的使用和更换过程，扩散后硅片的方块电阻呈现出很大的变化，需要相关的工艺人员每天进行跟踪调试，耗时耗力，不利于批量化的生产。第二，工艺人员的调试主要为修改扩散推结的温度、扩散的气体流量等，这些调整虽然在一定程度上改善了方块电阻一致性，但是扩散的结深及浓度还是存在差异，事实上方块电阻还是一直处于波动状态，最终还是会对电池片效率产生影响。分析主要原因为通入携带气体N₂的位置为固定位置，而POCl₃液位在磷源充足时和即将用尽时存在很大差异，导致N₂经过POCl₃液的路径差异明显，相同的N₂状况下，经过POCl₃液的路径越长，携带的POCl₃越多。参考附图1，源瓶中磷源充足时，POCl₃液位处于高液位水平，N₂经过POCl₃液的路径长，N₂从源瓶底部出发携带磷源的量相对较大，所进入扩散炉管的磷便多，因此方块电阻会偏小。参考附图2，在磷源即将用尽时，POCl₃液位处于低液位水平，N₂经过POCl₃液的路径短，N₂从源瓶底部携带磷源的量相对较小，所进入扩散炉管的磷便少，因此方块电阻会偏大。因此，磷源充足时的扩散方块电阻会偏小，磷源即将用尽时的扩散方块电阻会偏大，这样的变化在实际生产中可采用调整工艺温度或者气体流量的方式来弥补，但是始终治标不治本。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的目的在于提出一种磷源装置。本实用新型实现了在整个扩散反应过程中N₂经过POCl₃液的路径偏差保持在较小的范围内，从而保持N₂携带的POCl₃量基本不变，扩散的方块电阻均匀性得到极大的改善，从而提高了太阳电池的电性能。

为了实现上述目的，本实用新型提出了一种磷源装置。根据本实用新型的实施例，所述磷源装置包括：

源瓶本体，所述源瓶本体包括顶壁、侧壁和底壁，所述顶壁、所述侧壁和所述底壁围合形成封闭的容纳腔室，所述容纳腔室用于储存磷源；

内置源瓶，所述内置源瓶设置在所述容纳腔室内，所述内置源瓶的底部止抵于所述源瓶本体的底壁，所述内置源瓶的顶部与所述容纳腔室相通，且所述内置源瓶的顶部低于所述源瓶本体的顶壁；

第一进气管，所述第一进气管设置在所述内置源瓶中；

出气管；

隔档件，所述隔档件设置在所述容纳腔室的除所述内置源瓶外的区域，所述隔档件的内侧止抵且固定于所述内置源瓶的外侧壁，所述隔档件的外侧止抵且固定于所述源瓶本体的内侧壁；

进液口，所述进液口设置在所述内置源瓶的侧壁上，在第一方向上，所述进液口低于所述隔档件，所述第一方向为所述源瓶本体的高度方向；

第二进气管，所述第二进气管设置在所述隔档件与所述源瓶本体底壁之间的所述源瓶本体侧壁上。

根据本实用新型上述实施例的磷源装置，通过在源瓶本体内设置较小体积的内置源瓶、固定的隔档件、进液口和通入惰性气体的第二进气管，可向隔档件下方的容纳腔室内通入惰性气体，将隔档件下方区域的POCl₃液通过进液口挤压到内置源瓶内，确保在整个扩散反应过程中N₂经过POCl₃液的路径偏差保持在较小的范围内，从而保持N₂携带的POCl₃量基本不变，扩散的方块电阻均匀性得到极大的改善，PN结的稳定性得到极大的改善，从而提高了太阳电池的电性能。

另外，根据本实用新型上述实施例的磷源装置还可以具有如下附加的技术特征：

在本实用新型的一些实施例中，所述磷源装置还包括：称重单元，所述称重单元设置在所述源瓶本体的下方。

在本实用新型的一些实施例中，所述磷源装置还包括：PLC控制系统，所述PLC控制系统与所述第二进气管阀门相连，且所述PLC控制系统与所述称重单元相连。

在本实用新型的一些实施例中，沿第二方向，所述内置源瓶的尺寸为所述源瓶本体尺寸的15％-27％，所述第二方向为所述源瓶本体的径向方向、长度方向或宽度方向。

在本实用新型的一些实施例中，沿所述第一方向，所述内置源瓶的尺寸为所述源瓶本体尺寸的60％-80％。

在本实用新型的一些实施例中，所述隔档件与所述内置源瓶的顶部相齐平；和/或，所述进液口设置在所述内置源瓶底部的侧壁上。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一进气管沿所述第一方向贯穿所述源瓶本体的顶壁；和/或，所述出气管沿所述第一方向贯穿所述源瓶本体的顶壁。

在本实用新型的一些实施例中，所述第二进气管沿第二方向贯穿所述源瓶本体侧壁；和/或，所述进液口沿第二方向贯穿所述内置源瓶的侧壁。

在本实用新型的一些实施例中，所述隔档件的材质为玻璃；和/或，所述内置源瓶的材质为玻璃；和/或，所述源瓶本体的材质为玻璃。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是现有技术中磷源充足时的磷源装置的示意图；

图2是现有技术中磷源即将用尽时的磷源装置的示意图；

图3是根据本实用新型实施例的磷源装置的结构图。

附图标记：

1-源瓶本体，2-第一进气管，3-出气管，4-内置源瓶，5-隔档件，6-容纳腔室，7-第二进气管，8-进液口。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本实用新型提出了一种磷源装置，参考附图3，磷源装置包括：源瓶本体1，源瓶本体1包括顶壁、侧壁和底壁，顶壁、侧壁和底壁围合形成封闭的容纳腔室6，容纳腔室6用于储存磷源；内置源瓶4，内置源瓶4设置在容纳腔室6内，内置源瓶4的底部止抵于源瓶本体1的底壁，内置源瓶4的顶部与容纳腔室6相通，且内置源瓶4的顶部低于源瓶本体1的顶壁；第一进气管2，第一进气管2设置在内置源瓶4中；出气管3；隔档件5，隔档件5设置在容纳腔室6的除内置源瓶4外的区域，隔档件5的内侧止抵且固定于内置源瓶4的外侧壁，隔档件5的外侧止抵且固定于源瓶本体1的内侧壁；进液口8，进液口8设置在内置源瓶4的侧壁上，在第一方向(即Y方向)上，进液口8低于隔档件5，第一方向(即Y方向)为源瓶本体1的高度方向；第二进气管7，第二进气管7设置在隔档件5与源瓶本体1底壁之间的源瓶本体1侧壁上。由此，本实用新型通过在源瓶本体1内设置较小体积的内置源瓶4、固定的隔档件5、进液口8和通入惰性气体的第二进气管7，可向隔档件5下方的容纳腔室6内通入惰性气体，将隔档件5下方区域的POCl₃液通过进液口8挤压到内置源瓶4内，确保在整个扩散反应过程中N₂经过POCl₃液的路径偏差保持在较小的范围内，从而保持N₂携带的POCl₃量基本不变，扩散的方块电阻均匀性得到极大的改善，PN结的稳定性得到极大的改善，从而提高了太阳电池的电性能。

下面对本实用新型提出的磷源装置能够实现上述有益效果的原理进行详细说明：

现有技术中，通入携带气体N₂的位置为固定位置，而POCl₃液位在磷源充足时和即将用尽时存在很大差异，导致N₂经过POCl₃液的路径差异明显，相同的N₂状况下，经过POCl₃液的路径越长，携带的POCl₃越多。具体来说，源瓶中的磷源充足时，参考附图1，POCl₃液位处于高液位水平，N₂经过POCl₃液的路径长，N₂从源瓶底部出发携带磷源的量相对较大，所进入扩散炉管的磷便多，因此方块电阻会偏小。而在磷源即将用尽时，参考附图2，POCl₃液位处于低液位水平，N₂经过POCl₃液的路径短，N₂从源瓶底部携带磷源的量相对较小，所进入扩散炉管的磷便少，因此方块电阻会偏大。因此，磷源充足时的扩散方块电阻会偏小，磷源即将用尽时的扩散方块电阻会偏大，从而导致扩散方块电阻的均匀性较差。

为了解决上述问题，本实用新型在源瓶本体1的容纳腔室6内设置较小体积的内置源瓶4，将通入氮气的第一进气管2设置在该内置源瓶4内，在内置源瓶4的侧壁上设置连通内置源瓶4和源瓶本体1的底部空间的进液口8，同时在除内置源瓶4外的区域设置隔档件5，隔档件5的内侧止抵且固定于内置源瓶4的外侧壁，隔档件5的外侧止抵且固定于源瓶本体1的内侧壁，且在源瓶本体1的底部侧壁上设置能够通入惰性气体的第二进气管7。正常生产时，源瓶本体1内装有液态的磷源(例如三氯氧磷)，设定流量氮气会从内置源瓶4中的第一进气管2进气，氮气携带三氯氧磷蒸汽后从出气管3进入炉管进行扩散反应。在磷源装置刚上到设备上使用时，隔档件5的下方区域以及内置源瓶4内均充满POCl₃液，此时N₂经过POCl₃液的路径为第一进气管2的出气口到内置源瓶4顶部的距离。随着扩散反应的进行，当内置源瓶4内的磷源下降预设高度(例如内置源瓶4内的磷源高度降低了1-2mm)时，整个源瓶内的磷源减少预设质量(例如整个源瓶内的磷源减少4g)，打开第二进气管7的阀门向隔档件5下方的容纳腔室6内通入惰性气体，惰性气体的密度小于POCl₃液的密度，惰性气体上浮到隔档件5下方区域占据空间，将隔档件5下方区域的POCl₃液通过进液口8挤压到内置源瓶4内，从而保持内置源瓶4的液位高度重新达到内置源瓶4的顶部，确保在整个扩散反应过程中N₂经过POCl₃液的路径偏差保持在较小的范围内(例如≤3mm范围内)，进而保持N₂携带的POCl₃量基本不变，扩散的方块电阻均匀性得到极大的改善，PN结的稳定性得到极大的改善，从而提高了太阳电池的电性能。

本实用新型采用惰性气体填充的方式缩小磷源空间，在隔档件5下方区域填充惰性气体，补充磷源消耗后的空间，将磷源通过进液口8挤压到内置源瓶4内，保持磷源在较小空间(即内置源瓶4)内的磷源液位基本恒高不变。填充物为气体类，例如惰性气体N₂、Ar等。最终使除内置源瓶4外的容纳腔室6内的磷液几乎都能进入内置源瓶4中。当磷源重新灌装时，可通过第一进气管2、第二进气管7或出气管3灌入磷源。可以理解的是，内置源瓶4在源瓶本体1内位置固定不变。

在本实用新型的实施例中，源瓶本体1和内置源瓶4的形状并不受特别限制，例如可以为圆柱形、正方体或长方体；当源瓶本体1为圆柱形时，第二方向(即X方向)为源瓶本体1的径向方向；当源瓶本体1为正方体或长方体时，第二方向(即X方向)为源瓶本体1的长度方向或宽度方向。

根据本实用新型的一些具体实施例，磷源装置还包括：称重单元(例如电子称)，称重单元设置在源瓶本体1的下方，例如将源瓶本体1放置在电子称的平台上，可时刻监控磷源的质量变化，通过称量源瓶本体1整体的质量变化来换算内置源瓶4内的磷源下降高度(POCl₃液的密度1.645g/cm³)，当整个源瓶内的磷源减少预设质量(例如整个源瓶内的磷源减少4g)时，打开第二进气管7的阀门向隔档件5下方的容纳腔室6内通入惰性气体，从而将隔档件5下方区域的POCl₃液通过进液口8挤压到内置源瓶4内，保持内置源瓶4的液位高度重新达到内置源瓶4的顶部。

根据本实用新型的又一些具体实施例，磷源装置还包括：PLC控制系统，PLC控制系统与第二进气管阀门相连，且PLC控制系统与称重单元相连。称重单元将监控到的磷源的质量变化传输至PLC控制系统，当整个源瓶内的磷源减少预设质量时，PLC控制系统控制第二进气管阀门打开，向隔档件5下方的容纳腔室6内通入惰性气体，从而将隔档件5下方区域的POCl₃液通过进液口8挤压到内置源瓶4内；当内置源瓶4的液位高度重新达到内置源瓶4的顶部时，PLC控制系统控制第二进气管阀门关闭，停止进气。通过PLC控制系统，可实现内置源瓶4的液位高度的自动化控制。

作为一个具体示例，第二进气管阀门为单向阀门，避免进入到隔档件5与源瓶本体1底壁之间的容纳腔室6内的惰性气体或POCl₃液反向流动。

根据本实用新型的又一些具体实施例，参考附图3，沿第二方向，内置源瓶4的尺寸为源瓶本体1尺寸的15％-27％；和/或，沿第一方向，内置源瓶4的尺寸为源瓶本体1尺寸的60％-80％。通过将内置源瓶4的尺寸限定在上述范围内，内置源瓶4的容积远小于源瓶本体1的容积，磷源更容易在较小空间的内置源瓶4内保持等高，且使源瓶中的磷源使用完后的剩余量很少，磷源剩余返回厂商的比例没有增加，从而在不增加生产成本的前提下，确保在整个扩散反应过程中N₂经过POCl₃液的路径偏差保持在较小的范围内(例如≤3mm范围内)，从而保持N₂携带的POCl₃量基本不变，扩散的方块电阻均匀性得到极大的改善。

作为一个具体示例，源瓶本体1和内置源瓶4均为圆柱形，源瓶本体1的高度为150mm，源瓶内径为188mm，内置源瓶4的高度为108mm，内置源瓶4的内径为40mm。在磷源装置中的磷源充足时，液位高度和内置源瓶4的高度持平，当整个源瓶内的磷源质量减少4g时，触发PLC控制系统，PLC控制系统控制第二进气管7上的阀门打开，通过第二进气管7通入磷源消耗量体积的惰性气体。每次需要填充惰性气体的体积大约为2.5mL。按照目前的扩散用量速度，磷源减少4g的时间大约为30min，也就是每30min进行一次上述操作。

作为一些具体示例，参考附图3，第一进气管2沿第一方向贯穿源瓶本体1的顶壁；和/或，出气管3沿第一方向贯穿源瓶本体1的顶壁；和/或，沿第一方向，第一进气管2的底部与源瓶本体1底壁之间的距离为2mm-4mm。

作为一些具体示例，参考附图3，第二进气管7沿第二方向贯穿源瓶本体1侧壁；和/或，进液口8沿第二方向贯穿内置源瓶4的侧壁。

作为一些具体示例，参考附图3，隔档件5与内置源瓶4的顶部相齐平；和/或，进液口8设置在内置源瓶4底部的侧壁上。

在本实用新型的实施例中，隔档件5、内置源瓶4和源瓶本体1的材质均不受特别限制，作为一些具体示例，隔档件5的材质为玻璃；和/或，内置源瓶4的材质为玻璃；和/或，源瓶本体1的材质为玻璃。上述材料均不会与磷源反应，避免了磷源污染。

下面详细描述本实用新型的实施例，需要说明的是下面描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。另外，如果没有明确说明，在下面的实施例中所采用的工艺方法均为本领域的常规方法。

实施例1

本实施例提供一种磷源装置，参考附图3，包括：源瓶本体1，源瓶本体1包括顶壁、侧壁和底壁，顶壁、侧壁和底壁围合形成封闭的容纳腔室6，容纳腔室6用于储存磷源；内置源瓶4，内置源瓶4设置在容纳腔室6内，内置源瓶4的底部止抵于源瓶本体1的底壁，内置源瓶4的顶部与容纳腔室6相通，且内置源瓶4的顶部低于源瓶本体1的顶壁；第一进气管2，第一进气管2设置在内置源瓶4中；出气管3，出气管3沿第一方向贯穿源瓶本体1的顶壁；隔档件5，隔档件5设置在容纳腔室6的除内置源瓶4外的区域，隔档件5的内侧止抵且固定于内置源瓶4的外侧壁，隔档件5的外侧止抵且固定于源瓶本体1的内侧壁，隔档件5与内置源瓶4的顶部相齐平；进液口8，进液口8设置在内置源瓶4底部的侧壁上；第二进气管7，第二进气管7设置在隔档件5与源瓶本体1底壁之间的源瓶本体1侧壁上。将源瓶本体1放置在电子称的平台上，时刻监控磷源的质量变化。磷源装置还包括：PLC控制系统，PLC控制系统与第二进气管7的阀门相连，且PLC控制系统与称重单元相连。

其中，源瓶本体1和内置源瓶4均为圆柱形，源瓶本体1的高度为150mm，源瓶内径为188mm，内置源瓶4的高度为108mm，内置源瓶4的内径为40mm。在磷源装置中的磷源充足时，液位高度是和内置源瓶4的高度持平的，隔档件5下方的液位与内置源瓶4的液位是持平的。当磷源质量减少4g时，触发PLC控制系统，PLC控制系统控制第二进气管7上的阀门打开，向隔档件5下方的容纳腔室6内通入惰性气体氮气，从而将隔档件5下方区域的POCl₃液通过进液口8挤压到内置源瓶4内，从而保持内置源瓶4的液位高度重新达到内置源瓶4的顶部。

采用M10硅片P型硅片(182*182mm)，150μm厚度硅片进行验证。其中，扩散工艺采用本实施例提供的磷源装置，采用本领域的常规技术最终制备得到电池片。

对比例1

本对比例提供一种磷源装置，参考附图1，包括：源瓶本体1，源瓶本体1包括顶壁、侧壁和底壁，顶壁、侧壁和底壁围合形成封闭的容纳腔室，容纳腔室用于储存磷源(POCl₃液)；第一进气管2，第一进气管2穿过源瓶本体1的顶壁；出气管3，设置在源瓶本体1的顶壁上。其中，源瓶的内径为133mm，源瓶的高度150mm，磷源的初始高度约108mm。

采用M10硅片P型硅片(182*182mm)，150μm厚度硅片进行验证，采用本领域的常规技术最终制备得到电池片。

其他内容均与实施例1相同。

分别采用四探针测试实施例1以及对比例1扩散工艺后的硅片方阻，每个实施例以及对比例分别测试4个单片，每个单片测试5个点，计算每个实施例以及对比例的硅片方阻的标准差，计算结果如表1所示。

表1

	标准差
		实施例1	3.112
对比例1	9.515

从表1中可以看出，实施例1的硅片方阻的标准差明显低于对比例1，即实施例1的方块电阻的均匀性改善明显，PN结的稳定性得到极大的改善。

分别测试实施例1以及对比例1制备的电池片的Eta、Uoc、Isc和FF，测试结果如表2所示。

表2

	Eta(％)	Uoc(V)	Isc(A)	FF(％)
					实施例1	24.18	0.7435	10.492	84.96
对比例1	24.13	0.7432	10.485	84.89

从表2中可以看出，与对比例1相比，实施例1电池片的效率提升了0.05％，效率提升明显，Uoc提升了0.3mV，Isc提升了7mA，FF提升了0.07％。

Claims

1.一种磷源装置，其特征在于，包括：

第一进气管，所述第一进气管设置在所述内置源瓶中；

出气管；

2.根据权利要求1所述的磷源装置，其特征在于，还包括：称重单元，所述称重单元设置在所述源瓶本体的下方。

3.根据权利要求2所述的磷源装置，其特征在于，还包括：PLC控制系统，所述PLC控制系统与所述第二进气管阀门相连，且所述PLC控制系统与所述称重单元相连。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的磷源装置，其特征在于，沿第二方向，所述内置源瓶的尺寸为所述源瓶本体尺寸的15％-27％，所述第二方向为所述源瓶本体的径向方向、长度方向或宽度方向。

5.根据权利要求4所述的磷源装置，其特征在于，沿所述第一方向，所述内置源瓶的尺寸为所述源瓶本体尺寸的60％-80％。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的磷源装置，其特征在于，所述隔档件与所述内置源瓶的顶部相齐平；

和/或，所述进液口设置在所述内置源瓶底部的侧壁上。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的磷源装置，其特征在于，所述第一进气管沿所述第一方向贯穿所述源瓶本体的顶壁；

和/或，所述出气管沿所述第一方向贯穿所述源瓶本体的顶壁。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的磷源装置，其特征在于，所述第二进气管沿第二方向贯穿所述源瓶本体侧壁。

9.根据权利要求1-3中任一项所述的磷源装置，其特征在于，所述进液口沿第二方向贯穿所述内置源瓶的侧壁。

10.根据权利要求1-3中任一项所述的磷源装置，其特征在于，所述隔档件的材质为玻璃；

和/或，所述内置源瓶的材质为玻璃；

和/或，所述源瓶本体的材质为玻璃。