CN220057115U - 用于铸锭炉的导流筒装置和具有其的铸锭炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于铸锭炉的导流筒装置和具有其的铸锭炉，铸锭炉包括隔热件，隔热件内设有护板和盖板，盖板上设有注气孔，导流筒装置包括：输气套管，输气套管穿设于隔热件上；活动套管，活动套管穿设于输气套管内且沿输气套管的轴向方向可移动，活动套管的远离盖板的一端的外周壁上设有限位凸起，限位凸起位于输气套管的远离盖板的一侧，且适于与输气套管的远离盖板的轴向端面止抵；套管螺母，套管螺母设于隔热件的远离盖板的一侧；注气管。根据本实用新型的用于铸锭炉的导流筒装置和具有其的铸锭炉，能够避免活动套管与输气套管卡死或粘连，保障活动套管沿输气套管的轴向方向可移动。

Description

用于铸锭炉的导流筒装置和具有其的铸锭炉

技术领域

本实用新型涉及铸锭炉领域，尤其是涉及一种用于铸锭炉的导流筒装置和具有其的铸锭炉。

背景技术

铸锭炉是硅料加工的重要设备之一，在使用铸锭炉加工硅料时会通过导流筒装置向铸锭炉里导入氩气，活动套管沿输气套管的轴向方向可移动。现有技术中，因输气套管与活动套管的配合处位于隔热件中间位置，温度高，输气套管与活动套管之间的缝隙处积聚的氧化物易受热硬化，一段时间后导流筒装置易失效；并且，在二次加料时，将碎片、沫子通过导流筒加入到坩埚内，碎片和沫子料含有一定的粉料，粉料容易进入活动套管和输气套管之间的缝隙内，高温硅料受热熔化，易导致活动套管和输气套管浸硅粘连，导流筒装置失效的概率更大。

例如，中国专利(申请号CN115613133A)公开了一种铸锭炉二次加料导流结构及铸锭炉系统，该铸锭炉二次加料导流结构包括输气套管和活动套管，活动套管的一端伸至输气套管内且与输气套管沿轴向可活动，活动套管上端内壁设有倾斜导向面，硅料从上端落下会自然滑落，防止活动套管和输气套管浸硅导致粘连。但是，该铸锭炉二次加料导流结构的输气套管与活动套管的配合处位于隔热件中间位置，温度高，硅与二氧化硅在高温下发生反应产生的氧化物进入输气套管与活动套管之间的缝隙后易受热硬化，使活动套管无法沿轴向移动，影响导流结构的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种用于铸锭炉的导流筒装置，所述用于铸锭炉的导流筒装置能够避免活动套管与输气套管卡死或粘连，保障活动套管沿输气套管的轴向方向可移动。

本实用新型还提出一种铸锭炉，所述铸锭炉包括上述的用于铸锭炉的导流筒装置。

根据本实用新型实施例的用于铸锭炉的导流筒装置，所述铸锭炉包括隔热件，所述隔热件内设有护板和盖板，所述护板为环形，所述盖板盖设于所述护板的上端敞开口处，所述盖板上设有注气孔，所述导流筒装置包括：输气套管，所述输气套管穿设于所述隔热件上，所述输气套管长度方向的两端均超出所述隔热件；活动套管，所述活动套管穿设于所述输气套管内且沿所述输气套管的轴向方向可移动，所述活动套管长度方向的两端均超出所述输气套管，所述活动套管的远离所述盖板的一端的外周壁上设有限位凸起，所述限位凸起位于所述输气套管的远离所述盖板的一侧，且适于与所述输气套管的远离所述盖板的轴向端面止抵，所述活动套管的朝向所述盖板的一端与所述注气孔连通；套管螺母，所述套管螺母设于所述隔热件的远离所述盖板的一侧，所述输气套管的远离所述盖板的一端与所述套管螺母连接，所述活动套管的一端伸入所述套管螺母内；注气管，所述注气管的一端与所述套管螺母的背离所述隔热件的一端连接。

根据本实用新型实施例的用于铸锭炉的导流筒装置，通过在活动套管的远离盖板的一端的外周壁上设有限位凸起，限位凸起与输气套管的远离盖板的轴向端面止抵，将活动套管与输气套管改为在隔热件的远离盖板的一侧配合，温度较低，不会将进入活动套管与输气套管之间的间隙内的粉末状氧化物硬化，使得进入间隙内的氧化物容易清理，避免出现活动套管与输气套管卡死无法移动的问题；并且，在二次加料时，隔热件的远离盖板的一侧的温度低于硅料的熔点，避免了硅料落入间隙处熔化再凝固将活动套管与输气套管粘连，保障了活动套管沿输气套管的轴向方向可移动，从而提高了导流筒装置的可靠性和稳定性，延长了导流筒装置的使用寿命。

另外，根据本实用新型的用于铸锭炉的导流筒装置，还可以具有如下附加的技术特征：

在一些实施例中，所述限位凸起沿所述活动套管的周向方向延伸为环形。

在一些实施例中，所述活动套管的内壁包括导向斜面，所述导向斜面位于所述活动套管的远离所述盖板的一端，在所述活动套管的远离所述盖板的一侧至所述活动套管的靠近所述盖板的一侧的方向上，所述导向斜面朝向所述活动套管的轴线方向倾斜。

在一些实施例中，所述输气套管的靠近所述盖板的一端的外周壁上具有止挡凸起，所述止挡凸起位于所述隔热件的靠近所述盖板的一侧且所述止挡凸起与所述隔热件的靠近所述盖板的一侧的表面止抵。

在一些实施例中，所述套管螺母的一端与所述隔热件的远离所述盖板的表面止抵。

在一些实施例中，所述输气套管与所述套管螺母螺纹连接。

在一些实施例中，所述注气管与所述套管螺母螺纹连接。

在一些实施例中，所述注气管的一端伸入所述套管螺母内，所述套管螺母的内周壁上设有定位凸台，所述定位凸台沿所述套管螺母的周向方向延伸，所述定位凸台位于所述注气管的靠近所述隔热件的一侧，所述注气管的一端适于与所述定位凸台的背离所述隔热件的一侧止抵。

在一些实施例中，所述活动套管外套设有固定螺母，所述固定螺母位于所述输气套管的朝向所述盖板的一侧，所述固定螺母与所述活动套管的远离所述注气管的一端间隔开，所述活动套管的远离所述注气管的一端伸入所述注气孔内，所述固定螺母适于与所述盖板的朝向所述隔热件的表面止抵。

根据本实用新型实施例的铸锭炉包括：隔热件，所述隔热件内设有护板和盖板，所述护板为环形，所述盖板盖设于所述护板的上端敞开口处；坩埚，所述坩埚设于所述护板内侧；上述的用于铸锭炉的导流筒装置，所述输气套管穿设于所述隔热件上，所述输气套管长度方向的两端均超出所述隔热件。

根据本实用新型实施例的铸锭炉，通过设有上述的用于铸锭炉的导流筒装置，通过在活动套管的远离盖板的一端的外周壁上设有限位凸起，限位凸起与输气套管的远离盖板的轴向端面止抵，将活动套管与输气套管改为在隔热件的远离盖板的一侧配合，温度较低，不会将进入活动套管与输气套管之间的间隙内的粉末状氧化物硬化，使得进入间隙内的氧化物容易清理，避免出现活动套管与输气套管卡死无法移动的问题；并且，在二次加料时，隔热件的远离盖板的一侧的温度低于硅料的熔点，避免了硅料落入间隙处熔化再凝固将活动套管与输气套管粘连，保障了活动套管沿输气套管的轴向方向可移动，从而提高了导流筒装置的可靠性和稳定性，延长了导流筒装置的使用寿命。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的用于铸锭炉的导流筒装置的剖视示意图；

图2是根据本实用新型的铸锭炉的结构示意图。

附图标记：

100、铸锭炉；

10、导流筒装置；

1、输气套管；11、止挡凸起；

2、活动套管；21、限位凸起；22、导向斜面；

3、套管螺母；31、定位凸台；

4、注气管；

5、固定螺母；

20、隔热件； 201、保温毡； 202、隔热笼；

30、盖板； 301、注气孔；

40、护板；

50、炉体；

60、加热件。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的用于铸锭炉100的导流筒装置10。

如图1和附图2所示，铸锭炉100包括隔热件20，隔热件20内设有护板40和盖板30，护板40为环形，盖板30盖设于护板40的上端敞开口处，盖板30上设有注气孔301。在一个具体示例中，护板40包括四个子护板，子护板为长方体，四个子护板沿护板40的周向方向排布形成为环形。

根据本实用新型实施例的用于铸锭炉100的导流筒装置10包括：输气套管1、活动套管2、套管螺母3和注气管4。

具体地，参考附图1所示，输气套管1穿设于隔热件20上，输气套管1长度方向(参考附图1所示的a方向)的两端均超出隔热件20，活动套管2穿设于输气套管1内且沿输气套管1的轴向方向(参考附图1所示的a方向)可移动，活动套管2长度方向(参考附图1所示的a方向)的两端均超出输气套管1，活动套管2的远离盖板30的一端的外周壁上设有限位凸起21，限位凸起21位于输气套管1的远离盖板30的一侧，且适于与输气套管1的远离盖板30的轴向端面止抵，活动套管2的朝向盖板30的一端与注气孔301连通。

在现有技术中，活动套管与输气套管在隔热件的中间位置配合，温度较高，输气套管与活动套管之间的缝隙处积聚的氧化物易受热硬化，一段时间后导流筒装置易失效；并且，在二次加料时，将碎片、沫子通过导流筒装置加入到坩埚内，碎片和沫子料含有一定的粉料，粉料容易进入活动套管和输气套管内，高温硅料受热熔化，易导致活动套管和输气套管浸硅粘连，导流筒装置失效的概率更大。

可以理解的是，通过在活动套管2的远离盖板30的一端的外周壁上设有限位凸起21，限位凸起21与输气套管1的远离盖板30的轴向端面止抵，将活动套管2与输气套管1改为在隔热件20的远离盖板30的一侧配合，温度较低，不会将进入活动套管2与输气套管1之间的间隙内的粉末状氧化物硬化，使得进入间隙内的氧化物容易清理，避免出现活动套管2与输气套管1卡死无法移动的问题；并且，在二次加料时，隔热件20的远离盖板30的一侧的温度低于硅料的熔点，避免了硅料落入间隙处熔化再凝固将活动套管2与输气套管1粘连，保障了活动套管2沿输气套管1的轴向方向可移动，从而提高了导流筒装置10的可靠性和稳定性，延长了导流筒装置10的使用寿命。

进一步地，参考附图1所示，套管螺母3设于隔热件20的远离盖板30的一侧，输气套管1的远离盖板30的一端与套管螺母3连接，活动套管2的一端伸入套管螺母3内，注气管4的一端与套管螺母3的背离隔热件20的一端连接，套管螺母3可以起到固定注气管4的作用，将注气管4与活动套管2和输气套管1连通，从而使气体从注气管4经套管螺母3进入活动套管2，最终流向注气孔301。

根据本实用新型实施例的用于铸锭炉100的导流筒装置10，通过在活动套管2的远离盖板30的一端的外周壁上设有限位凸起21，限位凸起21与输气套管1的远离盖板30的轴向端面止抵，将活动套管2与输气套管1改为在隔热件20的远离盖板30的一侧配合，温度较低，不会将进入活动套管2与输气套管1之间的间隙内的粉末状氧化物硬化，使得进入间隙内的氧化物容易清理，避免出现活动套管2与输气套管1卡死无法移动的问题；并且，在二次加料时，隔热件20的远离盖板30的一侧的温度低于硅料的熔点，避免了硅料落入间隙处熔化再凝固将活动套管2与输气套管1粘连，保障了活动套管2沿输气套管1的轴向方向可移动，从而提高了导流筒装置10的可靠性和稳定性，延长了导流筒装置10的使用寿命。

在本实用新型的一些实施例中，参考附图1所示，限位凸起21沿活动套管2的周向方向延伸为环形，能够增大限位凸起21与输气套管1的远离盖板30的轴向端面的接触面积，提高限位凸起21与输气套管1的远离盖板30的轴向端面止抵的可靠性。

在本实用新型的一些实施例中，参考附图1所示，活动套管2的内壁包括导向斜面22，导向斜面22位于活动套管2的远离盖板30的一端，在活动套管2的远离盖板30的一侧至活动套管2的靠近盖板30的一侧的方向上，导向斜面22朝向活动套管2的轴线方向倾斜，可以理解的是，在二次加料时，硅料从注气管4落入活动套管2内，导向斜面22的设置可以起到导向作用，便于硅料进入活动套管2，避免大量硅料积聚在活动套管2的轴向端面上，并且能够在一定程度上降低硅料进入活动套管2与输气套管1之间的间隙处的可能性，从而保障活动套管2沿输气套管1的轴向方向可移动，提高导流筒装置10的可靠性和稳定性，延长导流筒装置10的使用寿命。

在本实用新型的一些实施例中，参考附图1所示，输气套管1的靠近盖板30的一端的外周壁上具有止挡凸起11，止挡凸起11位于隔热件20的靠近盖板30的一侧且止挡凸起11与隔热件20的靠近盖板30的一侧的表面止抵，可以提高输气套管1的稳定性，保障输气套管1与隔热件20固定的可靠性。

在本实用新型的一些实施例中，参考附图1所示，套管螺母3的一端与隔热件20的远离盖板30的表面止抵，可以避免导流筒装置10朝向铸锭炉100内侧移动，保障导流筒装置10的可靠性与稳定性。

在本实用新型的一些实施例中，参考附图1所示，输气套管1与套管螺母3螺纹连接，可以保障输气套管1与套管螺母3连接的可靠性，提高输气套管1与套管螺母3之间的密封性，防止铸锭炉100内的杂质气体通过输气套管1与套管螺母3之间的缝隙进入导流筒装置10内部，从而避免污染硅料。

在本实用新型的一些实施例中，参考附图1所示，注气管4与套管螺母3螺纹连接，可以保障注气管4与套管螺母3连接的可靠性。并且，在现有技术中，注气管直接搭接在套管螺母上，注气管与套管螺母之间存在一定缝隙，热场氛围内的杂质气体会通过虹吸效应，被带入到导流筒装置内部，污染硅料，当导流筒装置用来提纯硅料，直拉单晶时，易出现铸出的大锭硼偏高的问题，不能满足直拉单晶的需求。而通过注气管4与套管螺母3螺接连接，能够增加导流筒装置10的气密性，防止热场氛围内的杂质气体被带入到导流筒装置10内部污染硅料，从而能够降低铸锭炉100提纯硅料硼含量，满足直拉单晶的需求。

在本实用新型的一些实施例中，参考附图1所示，注气管4的一端伸入套管螺母3内，套管螺母3的内周壁上设有定位凸台31，定位凸台31沿套管螺母3的周向方向延伸，定位凸台31位于注气管4的靠近隔热件20的一侧，注气管4的一端适于与定位凸台31的背离隔热件20的一侧止抵，定位凸台31的设置可以避免注气管4朝向靠近隔热件20的方向移动，进一步提高注气管4与套管螺母3配合的可靠性，保障导流筒装置10的稳定性。

在本实用新型的一些实施例中，参考附图1所示，活动套管2外套设有固定螺母5，固定螺母5位于输气套管1的朝向盖板30的一侧，固定螺母5与活动套管2的远离注气管4的一端间隔开，活动套管2的远离注气管4的一端伸入注气孔301内，固定螺母5适于与盖板30的朝向隔热件20的表面止抵。

可以理解的是，在未合炉时，限位凸起21与输气套管1的远离盖板30的轴向端面止抵；在合炉后，固定螺母5与盖板30的朝向隔热件20的表面止抵，带动活动套管2朝向靠近注气管4的方向运动，保障固定螺母5和盖板30的朝向彼此的一侧紧密贴合，防止气体弥散到盖板30外，且避免热场氛围内含有大量杂质的气体通过固定螺母5与盖板30的缝隙进入到盖板30和护板40形成的小环境内污染硅料，从而能够满足直拉单晶的需求。

需要说明的是，被污染的硅料如果是用来提纯硅料，用于直拉单晶，易导致铸出的大锭硼、碳含量偏高，不能满足直拉单晶的需求，如果是用来生产多晶硅片，产出的硅片氧和碳含量偏高。

本实用新型还提出一种具有上述实施例的用于铸锭炉100的导流筒装置10的铸锭炉100。

如图2所示，根据本实用新型实施例的铸锭炉100包括隔热件20、坩埚和上述的用于铸锭炉100的导流筒装置10。

具体地，参考附图2所示，铸锭炉100还包括炉体50和设置在炉体50内的加热件60，加热件60包括四个第一子加热件和一个第二子加热件，四个第一子加热件沿护板40的周向方向排布形成为环形，第二子加热件设于坩埚的靠近盖板30的一侧，加热件60的设计使得炉体50内的热能可以均匀地辐射到铸锭区域，能够提供全方位的热能覆盖，确保硅料在加热过程中获得均匀的温度分布，形成正向温度梯度，提高铸锭的结晶质量和均匀性。

进一步地，参考附图2所示，隔热件20设于炉体50内，可以减少热量损失，较好地保持铸锭炉100的温度稳定性，隔热件20包括保温毡201和用于固定保温毡201的隔热笼202，保温毡201可以起到保温和隔热的作用，隔绝了隔热件20内外的热交换，提高了生产效率。进一步地，参考附图2所示，护板40和盖板30均设于隔热件20内，护板40为环形，盖板30盖设于护板40的上端敞开口处，坩埚设于护板40内侧，加热件60设于护板40内侧且位于坩埚外侧，坩埚用于盛放硅料。更进一步地，参考附图1所示，输气套管1穿设于隔热件20上，输气套管1长度方向的两端均超出隔热件20。

可以理解的是，首先将硅料置于坩埚内，在铸锭炉100装配完成后，通过加热件60对坩埚进行加热，在将坩埚内部的硅料熔化后，进入定向凝固阶段，并从坩埚远离导流筒装置10的一侧对坩埚进行散热，从而保证长晶从坩埚底部向上生长。

根据本实用新型实施例的铸锭炉100，通过设有上述的用于铸锭炉100的导流筒装置10，通过在活动套管2的远离盖板30的一端的外周壁上设有限位凸起21，限位凸起21与输气套管1的远离盖板30的轴向端面止抵，将活动套管2与输气套管1改为在隔热件20的远离盖板30的一侧配合，温度较低，不会将进入活动套管2与输气套管1之间的间隙内的粉末状氧化物硬化，使得进入间隙内的氧化物容易清理，避免出现活动套管2与输气套管1卡死无法移动的问题；并且，在二次加料时，隔热件20的远离盖板30的一侧的温度低于硅料的熔点，避免了硅料落入间隙处熔化再凝固将活动套管2与输气套管1粘连，保障了活动套管2沿输气套管1的轴向方向可移动，从而提高了导流筒装置10的可靠性和稳定性，延长了导流筒装置10的使用寿命。

根据本实用新型实施例的用于铸锭炉100的导流筒装置10及铸锭炉100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种用于铸锭炉的导流筒装置，其特征在于，所述铸锭炉包括隔热件，所述隔热件内设有护板和盖板，所述护板为环形，所述盖板盖设于所述护板的上端敞开口处，所述盖板上设有注气孔，所述导流筒装置包括：

输气套管，所述输气套管穿设于所述隔热件上，所述输气套管长度方向的两端均超出所述隔热件；

活动套管，所述活动套管穿设于所述输气套管内且沿所述输气套管的轴向方向可移动，所述活动套管长度方向的两端均超出所述输气套管，所述活动套管的远离所述盖板的一端的外周壁上设有限位凸起，所述限位凸起位于所述输气套管的远离所述盖板的一侧，且适于与所述输气套管的远离所述盖板的轴向端面止抵，所述活动套管的朝向所述盖板的一端与所述注气孔连通；

套管螺母，所述套管螺母设于所述隔热件的远离所述盖板的一侧，所述输气套管的远离所述盖板的一端与所述套管螺母连接，所述活动套管的一端伸入所述套管螺母内；

注气管，所述注气管的一端与所述套管螺母的背离所述隔热件的一端连接。

2.根据权利要求1所述的用于铸锭炉的导流筒装置，其特征在于，所述限位凸起沿所述活动套管的周向方向延伸为环形。

3.根据权利要求1所述的用于铸锭炉的导流筒装置，其特征在于，所述活动套管的内壁包括导向斜面，所述导向斜面位于所述活动套管的远离所述盖板的一端，在所述活动套管的远离所述盖板的一侧至所述活动套管的靠近所述盖板的一侧的方向上，所述导向斜面朝向所述活动套管的轴线方向倾斜。

4.根据权利要求1所述的用于铸锭炉的导流筒装置，其特征在于，所述输气套管的靠近所述盖板的一端的外周壁上具有止挡凸起，所述止挡凸起位于所述隔热件的靠近所述盖板的一侧且所述止挡凸起与所述隔热件的靠近所述盖板的一侧的表面止抵。

5.根据权利要求1所述的用于铸锭炉的导流筒装置，其特征在于，所述套管螺母的一端与所述隔热件的远离所述盖板的表面止抵。

6.根据权利要求1所述的用于铸锭炉的导流筒装置，其特征在于，所述输气套管与所述套管螺母螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的用于铸锭炉的导流筒装置，其特征在于，所述注气管与所述套管螺母螺纹连接。

8.根据权利要求1所述的用于铸锭炉的导流筒装置，其特征在于，所述注气管的一端伸入所述套管螺母内，所述套管螺母的内周壁上设有定位凸台，所述定位凸台沿所述套管螺母的周向方向延伸，所述定位凸台位于所述注气管的靠近所述隔热件的一侧，所述注气管的一端适于与所述定位凸台的背离所述隔热件的一侧止抵。

9.根据权利要求1所述的用于铸锭炉的导流筒装置，其特征在于，所述活动套管外套设有固定螺母，所述固定螺母位于所述输气套管的朝向所述盖板的一侧，所述固定螺母与所述活动套管的远离所述注气管的一端间隔开，所述活动套管的远离所述注气管的一端伸入所述注气孔内，所述固定螺母适于与所述盖板的朝向所述隔热件的表面止抵。

10.一种铸锭炉，其特征在于，包括：

隔热件，所述隔热件内设有护板和盖板，所述护板为环形，所述盖板盖设于所述护板的上端敞开口处；

坩埚，所述坩埚设于所述护板内侧；

根据权利要求1-9中任一项所述的用于铸锭炉的导流筒装置，所述输气套管穿设于所述隔热件上，所述输气套管长度方向的两端均超出所述隔热件。