CN219991780U - 一种保温装置和单晶炉用热场 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种保温装置和单晶炉用热场，所述保温装置包括：保温罩和盖板，所述保温罩包括与所述盖板相对的顶板，所述盖板设置于所述保温罩的顶部；其中，所述盖板上设置有第一导气孔，所述顶板上设置有第二导气孔；所述顶板和所述盖板固定连接；所述第一导气孔和所述第二导气孔连通，且所述第一导气孔和所述第二导气孔错位设置。可以增长气流路径，避免热辐射直排，降低热量损失的速度，提高保温性以及熔料效率，降低引晶及等径过程中的功耗，节约生产用电，降低成本。

Description

一种保温装置和单晶炉用热场

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，特别是涉及一种保温装置和单晶炉用热场。

背景技术

单晶硅是一种重要的晶体材料，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，光伏发电就是利用半导体的光生伏特效应将太阳能直接转变为电能的一项技术。单晶炉是直拉法生产单晶的主要设备，是一种在惰性气体(氩气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

单晶炉的耗电情况与炉内热场的保温性有关，热场又称温度场，主要作用是熔化硅料，使单晶在一定的温度下生长。热场底部的保温结构主要用于维持炉底的保温性，减少热量损失。

目前热场底部的保温结构通常采用直排气方式，气流在经过底部保温结构的竖直排气孔后直接排出，使得热量损失较快，热场底部的保温性差，进而导致熔料效率低，引晶及等径过程整体功率高，造成生产用电浪费、成本高。

实用新型内容

鉴于上述问题，提出了本实用新型实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种保温装置和单晶炉用热场。

为了解决上述问题，第一方面，本实用新型实施例公开了一种保温装置，包括：保温罩和盖板，所述保温罩包括与所述盖板相对的顶板，所述盖板设置于所述保温罩的顶部；其中，

所述盖板上设置有第一导气孔，所述顶板上设置有第二导气孔；

所述顶板和所述盖板固定连接；

所述第一导气孔和所述第二导气孔连通，且所述第一导气孔和所述第二导气孔错位设置。

可选地，所述顶板朝向所述盖板的一侧设置有凹槽，所述顶板和所述盖板围合形成空腔；

所述第一导气孔和所述第二导气孔均与所述空腔连通。

可选地，所述顶板包括第一层板和第二层板，所述第一层板上设置有第一开孔，所述第二层板上设置有第二开孔；

所述第一层板设置于所述第二层板和所述盖板之间，所述第一开孔与所述第二层板围合形成所述凹槽；

所述第一开孔的至少部分与所述第二开孔相对，所述第一开孔的至少部分与所述第二开孔组合形成所述第二导气孔，所述第一开孔的至少部分与所述第一导气孔相对。

可选地，所述第一开孔靠近所述第二开孔的一端包括第一过渡区，所述第二开孔靠近所述第一开孔的一端包括第二过渡区；

沿所述盖板至所述顶板的方向，所述第一过渡区的开口逐渐减小，所述第二过渡区的开口逐渐减小。

可选地，所述保温装置还包括导气管道；

所述导气管道设置于所述顶板和所述盖板之间，所述导气管道的一端与所述第一导气孔连通，所述导气管道的另一端与所述第二导气孔连通。

可选地，所述盖板上设置有第一通孔，所述顶板上设置有第二通孔；

所述第一通孔与所述第一导气孔间隔设置，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，所述第一通孔和所述第二通孔均用于穿设托杆。

可选地，所述保温装置还包括保护环；

所述保护环嵌设于所述第一通孔内，且所述保护环的至少部分凸出于所述盖板远离所述顶板的一侧。

可选地，所述盖板和所述顶板均为圆形板；

所述第一通孔设置于所述盖板的中心位置，所述第二通孔设置于所述顶板的中心位置。

可选地，所述盖板上设置有多个第一电极孔，所述顶板上设置有多个第二电极孔；

多个所述第一电极孔环绕所述第一通孔设置；

所述第一电极孔和所述第二电极孔一一相对设置；

相对设置的一组所述第一电极孔和所述第二电极孔用于穿过同一个电极。

可选地，所述顶板在与所述盖板相对的一侧设置有第一扣合部，所述盖板在与所述顶板相对的一侧设置有第二扣合部；

所述第一扣合部和所述第二扣合部对应设置且扣合连接。

可选地，所述第一扣合部为限位凸起，对应的所述第二扣合部为限位槽；

或，所述第一扣合部为限位槽，对应的所述第二扣合部为限位凸起；

其中，所述限位凸起嵌设于所述限位槽内。

可选地，所述保温罩还包括环形板；

所述环形板固定连接于所述顶板远离所述盖板的一侧；

所述环形板和所述顶板围合形成容纳槽，所述容纳槽用于容纳压板毡。

可选地，所述第一导气孔的开口小于所述第二导气孔的开口。

第二方面，本实用新型实施例还公开了一种单晶炉用热场，包括单晶炉和上述保温装置；

所述保温装置设置于所述单晶炉的底部，用于阻挡热辐射直射至所述单晶炉的底壁。

本实用新型实施例包括以下优点：

在本实用新型实施例中，所述盖板上设置有第一导气孔，所述顶板上设置有第二导气孔，所述第一导气孔和所述第二导气孔连通，且所述第一导气孔和所述第二导气孔错位设置。由于所述盖板设置于所述保温罩的顶部，这样，将所述保温装置应用在单晶炉内时，气流可以经过所述第一导气孔进入，然后从所述第二导气孔导出，增长了气流路径；同时，气体流动的过程中可以带走热量，使得热量辐射的路径与气流路径相同，还可以阻挡热量通过第一导气孔直接辐射至第二导气孔，避免了热辐射通过所述保温装置直排，可以降低热量损失的速度，提高保温性以及熔料效率，降低引晶及等径过程中的功耗，节约生产用电，降低成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例中的一种保温装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中的一种保温罩的结构示意图；

图3是本实用新型实施例中的一种盖板的结构示意图；

图4是本实用新型实施例中的一种保温罩在剖面结构示意图。

附图标记说明：

1-盖板，11-第一导气孔，12-第一通孔，13-第一电极孔，14-第二扣合部，2-保温罩，21-顶板，211-第二导气孔，213-第二通孔，214-第二电极孔，215-第一扣合部，22-环形板，231-第一开孔，2311-第一过渡区，232-第二开孔，2321-第二过渡区，24-容纳槽，3-空腔，4-保护环。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型实施例的核心构思之一在于公开一种保温装置。如图1所示，所述保温装置具体可以包括：保温罩2和盖板1，保温罩2可以包括与盖板1相对的顶板21，盖板1设置于保温罩2的顶部；其中，盖板1上设置有第一导气孔11，顶板21上设置有第二导气孔211；顶板21和盖板1固定连接；第一导气孔11和第二导气孔211连通，且第一导气孔11和第二导气孔211错位设置。

在本实用新型实施例中，盖板1上设置有第一导气孔11，顶板21上设置有第二导气孔211，第一导气孔11和第二导气孔211连通，且第一导气孔11和第二导气孔211错位设置。由于盖板1设置于保温罩2的顶部，这样，将保温装置应用在单晶炉内时，气流可以经过第一导气孔11进入，然后从第二导气孔211导出，可以增长气流路径；同时，气体流动的过程中可以带走热量，使得热量辐射的路径与气流路径相同，还可以阻挡热量通过第一导气孔11直接辐射至第二导气孔211，避免了热辐射通过所述保温装置直排，可以降低热量损失的速度，提高热场底部的保温性以及熔料效率，降低引晶及等径过程中的功耗，节约生产用电，降低成本。

本实用新型实施例中所述的保温装置可以应用于单晶炉热场中，用于增强热场中的保温效果，提高单晶的生长效率。

具体地，所述保温装置可以包括保温罩2和盖板1，保温罩2包括顶板21；盖板1可以设置于保温罩2的顶部，盖板1可以与顶板21相对并与顶板21固定连接。

可选地，顶板21朝向盖板1的一侧设置有凹槽，顶板21和保温罩2固定连接可以围合形成空腔3；第一导气孔11和第二导气孔211均与空腔3连通，使得气流可以通过第一导气孔11进入空腔3，再从空腔3排出第二导气孔211，由于第一导气孔11和第二导气孔211错位设置，这样，气流从第一导气孔11进入空腔3内，再从第二导气孔211排出空腔3，使得气流路径较长。

具体地，在将所述保温装置安装在单晶炉的底部时，可以避免气流直排至单晶炉的底部，可以减少热量损失，减少功耗。

具体地，凹槽的至少部分可以与第一导气孔11相对，凹槽的至少部分可以与第二导气孔211相对，凹槽至盖板1的投影面积可以分别大于第一导气孔11的开口和第二导气孔211的开口。可选地，凹槽至盖板1的投影面积可以大于第一导气孔11的开口和第二导气孔211的开口之和。

具体地，凹槽朝向盖板1的投影形状可以是矩形、圆形、椭圆形、梯形中的至少一种，第一导气孔11可以为方形孔、圆形孔、椭圆形孔和梯形孔中的至少一种，第二导气孔211可以为方形孔、圆形孔、椭圆形孔和梯形孔中的至少一种，第一导气孔11和第二导气孔211的形状可以相同或者不同，具体可根据实际需求进行设置，本实用新型实施例对此不作具体限定。

可选地，第一导气孔11的开口可以大于、小于或者等于第二导气孔211的开口。由于第一导气孔11、空腔3和第二导气孔211可以组合形成气流通道，在第一导气孔11的开口小于第二导气孔211的开口时，所述气流通道可以对气流起到较好的导流作用。

具体地，盖板1可以为矩形板或者圆形板等，顶板21可以为矩形板或者圆形板等，盖板1和顶板21的形状可以相同或者不同，具体可根据实际需求进行设置，本实用新型实施例对此不作具体限定。

可选地，第一导气孔11、空腔3和第二导气孔211一一对应设置，对应设置的一组第一导气孔11、空腔3和第二导气孔211组合形成一个气流通道；气流通道的数量可以为一个、两个、三个或者四个等，本实用新型实施例对此不作具体限定。如图1所示，两个气流通道对称设置于盖板1的相对两侧，其他情况可以参考设置。

具体地，在第一导气孔11的数量为至少两个的情况下，相比较于现有技术，本实用新型实施例中的相邻两个第一导气孔11之间的孔心距缩小，第一导气孔11的开口缩小，以便于增加气流的路径。

可选地，保温装置还可以包括导气管道；导气管道可以设置于顶板21和盖板1之间，导气管道的一端可以与第一导气孔11连通，导气管道的另一端可以与第二导气孔211连通。

在本实用新型实施例中，导气管道的一端与第一导气孔11连通，另一端与第二导气孔211连通，便于形成路径较长的气流通道。

可选地，顶板21可以包括第一层板和第二层板，第一层板上可以设置有第一开孔231，第二层板上可以设置有第二开孔232；第一层板可以设置于第二层板和盖板1之间，第一开孔231与第二层板围合形成凹槽；第一开孔231的至少部分可以与第二开孔232相对，第一开孔231的至少部分可以与第二开孔232组合形成第二导气孔211，第一开孔231的至少部分可以与第一导气孔11相对。

在本实用新型实施例中，在第一层板上设置第一开孔231，在第二层板上设置第二开孔232，第一开孔231的至少部分与第二开孔232相对，第一开孔231的至少部分与第二开孔232组合形成第二导气孔211，可以实现在顶板21上设置阶梯孔，由于第一层板设置于盖板1和第二层板之间，便于顶板21和盖板1围合形成空腔3。第一开孔231的至少部分与第一导气孔11相对，便于气流从第一导气孔11导入空腔3。

具体地，第一层板和第二层板可以一体成型，或者，第一层板和第二层板也可以通过粘接或者螺栓连接等方式拼接而成，具体可根据实际需求进行设置，本实用新型实施例对此不作具体限定。

可选地，如图2和图4所示，第一开孔231靠近第二开孔232的一端可以包括第一过渡区2311，第二开孔232靠近第一开孔231的一端可以包括第二过渡区2321；沿盖板1至顶板21的方向，第一过渡区2311的开口可以逐渐减小，第二过渡区2321的开口可以逐渐减小。

在本实用新型实施例中，沿盖板1至顶板21的方向，第一过渡区2311的开口逐渐减小，由于第一过渡区2311设置于第一开孔231靠近第二开孔232的一端，使得第一过渡区2311可以起到较好的导流效果，便于将空腔3内的气流排向第二导气孔211，提高气体流动的通畅性。沿盖板1至顶板21的方向，第二过渡区2321的开口逐渐减小，由于第二过渡区2321设置于第二开孔232靠近第一开孔231的一端，使得第二过渡区2321可以起到较好的导流效果，便于将空腔3内的气流排向第二导气孔211，进一步提高气体流动的通畅性。

具体地，可以通过在第一开孔231靠近第二开孔232的一端做倒圆角处理，得到第一过渡区2311，使得第一过渡区2311可以弧形段。可以通过在第二开孔232靠近第一开孔231的一端做倒圆角处理，得到第二过渡区2321，使得第二过渡区2321可以为弧形段。

可选地，盖板1上可以设置有第一通孔12，顶板21上可以设置有第二通孔213；第一通孔12与第一导气孔11间隔设置，第一通孔12可以与第二通孔213相对设置，第一通孔12和第二通孔213均用于穿设托杆。

在本实用新型实施例中，第一通孔12和第二通孔213相对，便于穿设托杆，可以避免所述保温装置对坩埚和埚帮的安装造成干扰。

具体地，第一通孔12和第二通孔213均用于穿设托杆，第一通孔12和托杆可以过渡配合，第二通孔213和托杆可以过渡配合。第一通孔12和第二通孔213的形状可以相同或者不同，第一通孔12的开口尺寸和第二通孔213的开口尺寸可以相同或者不同，第一通孔12可以是方形孔或者圆形孔，第二通孔213可以是方形孔或者圆形孔等，具体可以根据实际需求进行设置，本实用新型实施例对此不作具体限定。

具体地，所述保温装置可以设置于坩埚和埚帮的下方，托杆可以用于支撑坩埚和埚帮，在第一通孔12和第二通孔213的作用下，可以实现托杆的一端固定在单晶炉的炉底，另一端支撑坩埚和埚帮。

可选地，保温装置还可以包括保护环4；保护环4可以嵌设于第一通孔12内，且保护环4的至少部分可以凸出于盖板1远离顶板21的一侧。

在本实用新型实施例中，保护环4嵌设于第一通孔12内，且至少部分凸出于盖板1远离顶板21的一侧，可以避免硅液从盖板1的上表面横向流动至第一通孔12内，减少硅液烫伤托杆的风险，进而实现漏硅防护。而且，保护环4和盖板1的组合结构还可以替代护底压板。

具体地，保护环4的内壁可以围合形成穿设孔，所述穿设孔可以为方形孔或者圆形孔，所述穿设孔可以与托杆过渡配合，以使所述穿设孔可以穿过托杆。

具体地，保护环4的外壁围合形成的形状可以与第一通孔12适配，以便于保护环4可以与第一通孔12过盈配合，以提高保护环4与第一通孔12紧密配合的可靠性和稳定性。

或者，保护环4的外壁和第一通孔12的孔壁之间可以通过密封胶粘接连接，具体可以根据实际需求进行设置，本实用新型实施例对此不作具体限定。

可选地，盖板1和顶板21均可以为圆形板；第一通孔12可以设置于盖板1的中心位置，第二通孔213可以设置于顶板21的中心位置。

在本实用新型实施例中，盖板1和顶板21均为圆形板，第一通孔12设置于盖板1的中心位置，第二通孔213设置于顶板21的中心位置，可以提高所述保温装置的结构稳定性和可靠性。

可选地，盖板1上可以设置有多个第一电极孔13，顶板21上可以设置有多个第二电极孔214；多个第一电极孔13可以环绕第一通孔12设置；第一电极孔13和第二电极孔214一一相对设置；相对设置的一组第一电极孔13和第二电极孔214用于穿过同一个电极。

在本实用新型实施例中，在盖板1上设置第一电极孔13，在顶板21上设置第二电极孔214，第一电极孔13和第二电极孔214相对，便于电极穿过连接加热器。

具体地，第一电极孔13和第二电极孔214一一对应设置，具体可以根据电极设置的数量进行设置，如图3，示出了第一电极孔13为四个情况，其他情况可以参考设置，本实用新型实施例对此不作具体限定。

具体地，相邻两个第一电极孔13之间的孔心距可以根据单晶炉底部的铜电极之间的距离进行设计，相邻两个第二电极孔214之间的孔心距可以根据单晶炉底部的铜电极之间的距离进行设计，本实用新型实施例对此不作具体限定。

可选地，顶板21在与盖板1相对的一侧可以设置有第一扣合部215，盖板1在与顶板21相对的一侧设置有第二扣合部14；第一扣合部215和第二扣合部14对应设置且扣合连接。

在本实用新型实施例中，第一扣合部215和第二扣合部14对应设置且扣合连接，可以提高所述保温装置的结构稳定性。

可选地，第一扣合部215可以为限位凸起，对应的第二扣合部14可以为限位槽；或，第一扣合部215可以为限位槽，对应的第二扣合部14为限位凸起；其中，所述限位凸起嵌设于所述限位槽内。

在本实用新型实施例中，限位凸起嵌设于所述限位槽，可以提高第一扣合部215和第二扣合部14之间紧密配合的可靠性。

可选地，保温罩2还可以包括环形板22；环形板22可以固定连接于顶板21远离盖板1的一侧；环形板22和顶板21围合形成容纳槽24，所述容纳槽24可以用于容纳压板毡。

在本实用新型实施例中，环形板22固定连接于顶板21远离盖板1的一侧，且可以与顶板21围合形成容纳槽24，便于使用所述保温罩2将压板毡包裹在内，以提升热场的保温性，减小侧向气流对压板毡的冲刷，进而保护压板毡。

具体地，环形板22和顶板21为一体成型结构，或者环形板22和顶板21之间也可以通过粘接或者螺栓连接等方式拼接而成，具体可根据实际需求进行设置，本实用新型实施例对此不作具体限定。

在本实用新型实施例中，保温罩2和盖板1的材质均可以采用碳碳复合材料、固态毡或者等静压石墨等。本实用新型实施例中所述保温装置可以放置在单晶炉内的固态底毡上。使得热场底部的气流可以从第一导气孔11进入空腔3，然后从第二导气孔211排出，再流向单晶炉的底部，可以增长气流路径，避免热辐射直射至单晶炉的炉底板，降低功耗。

本实用新型实施例中所述的保温装置至少包括以下优点；

在本实用新型实施例中，所述盖板上设置有第一导气孔，所述顶板上设置有第二导气孔，所述第一导气孔和所述第二导气孔连通，且所述第一导气孔和所述第二导气孔错位设置。由于所述盖板设置于所述保温罩的顶部，这样，将所述保温装置应用在单晶炉内时，气流可以经过所述第一导气孔进入，然后从所述第二导气孔导出，增长了气流路径；同时，气体流动的过程中可以带走热量，使得热量辐射的路径与气流路径相同，还可以阻挡热量通过第一导气孔直接辐射至第二导气孔，避免了热辐射通过所述保温装置直排，可以降低热量损失的速度，提高单晶炉内的保温性以及熔料效率，降低引晶及等径过程中的功耗，节约生产用电，降低成本。

第二方面，本实用新型实施例还公开了一种单晶炉用热场，具体可以包括单晶炉和上述保温装置；保温装置可以设置于单晶炉的底部，用于阻挡热辐射直射至单晶炉的底壁。

在本实用新型实施例中，所述保温装置设置于单晶炉的底部，所述保温装置设置有气流通道，可以增长气流路径，避免气流通过所述保温装置后直排直单晶炉的底壁，可以减少热量散失的速度，进而减少功耗。

具体地，所述单晶炉用热场用于为单晶硅棒的生长提供一种热场环境。

具体地，所述单晶炉用热场还可以包括加热器、托杆、坩埚和埚帮；所述埚帮可以套设于所述坩埚外；所述保温装置可以设置于埚帮和单晶炉的底壁之间；所述保温装置可以穿过所述托杆，以使托杆的一端与单晶炉的底部固定，另一端用于支撑坩埚和埚帮；所述保温装置还可以穿过电极，以使电极与加热器电连接。

本实用新型实施例中所述的单晶炉用热场至少包括以下优点：

在本实用新型实施例中，所述盖板上设置有第一导气孔，所述顶板上设置有第二导气孔，所述第一导气孔和所述第二导气孔连通，且所述第一导气孔和所述第二导气孔错位设置。由于所述盖板设置于所述保温罩的顶部，这样，将所述保温装置应用在单晶炉内时，气流可以经过所述第一导气孔进入，然后从所述第二导气孔导出，增长了气流路径；同时，气体流动的过程中可以带走热量，使得热量辐射的路径与气流路径相同，还可以阻挡热量通过第一导气孔直接辐射至第二导气孔，避免了热辐射通过所述保温装置直排，可以降低热量损失的速度，提高单晶炉内的保温性以及熔料效率，降低引晶及等径过程中的功耗，节约生产用电，降低成本。

尽管已描述了本实用新型实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上对本实用新型所提供的一种保温装置和单晶炉用热场，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (14)

1.一种保温装置，其特征在于，包括：保温罩和盖板，所述保温罩包括与所述盖板相对的顶板，所述盖板设置于所述保温罩的顶部；其中，

所述盖板上设置有第一导气孔，所述顶板上设置有第二导气孔；

所述顶板和所述盖板固定连接；

所述第一导气孔和所述第二导气孔连通，且所述第一导气孔和所述第二导气孔错位设置。

2.根据权利要求1所述的保温装置，其特征在于，所述顶板朝向所述盖板的一侧设置有凹槽，所述顶板和所述盖板围合形成空腔；

所述第一导气孔和所述第二导气孔均与所述空腔连通。

3.根据权利要求2所述的保温装置，其特征在于，所述顶板包括第一层板和第二层板，所述第一层板上设置有第一开孔，所述第二层板上设置有第二开孔；

所述第一层板设置于所述第二层板和所述盖板之间，所述第一开孔与所述第二层板围合形成所述凹槽；

所述第一开孔的至少部分与所述第二开孔相对，所述第一开孔的至少部分与所述第二开孔组合形成所述第二导气孔，所述第一开孔的至少部分与所述第一导气孔相对。

4.根据权利要求3所述的保温装置，其特征在于，所述第一开孔靠近所述第二开孔的一端包括第一过渡区，所述第二开孔靠近所述第一开孔的一端包括第二过渡区；

沿所述盖板至所述顶板的方向，所述第一过渡区的开口逐渐减小，所述第二过渡区的开口逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的保温装置，其特征在于，所述保温装置还包括导气管道；

所述导气管道设置于所述顶板和所述盖板之间，所述导气管道的一端与所述第一导气孔连通，所述导气管道的另一端与所述第二导气孔连通。

6.根据权利要求1所述的保温装置，其特征在于，所述盖板上设置有第一通孔，所述顶板上设置有第二通孔；

所述第一通孔与所述第一导气孔间隔设置，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，所述第一通孔和所述第二通孔均用于穿设托杆。

7.根据权利要求6所述的保温装置，其特征在于，所述保温装置还包括保护环；

所述保护环嵌设于所述第一通孔内，且所述保护环的至少部分凸出于所述盖板远离所述顶板的一侧。

8.根据权利要求6所述的保温装置，其特征在于，所述盖板和所述顶板均为圆形板；

所述第一通孔设置于所述盖板的中心位置，所述第二通孔设置于所述顶板的中心位置。

9.根据权利要求6所述的保温装置，其特征在于，所述盖板上设置有多个第一电极孔，所述顶板上设置有多个第二电极孔；

多个所述第一电极孔环绕所述第一通孔设置；

所述第一电极孔和所述第二电极孔一一相对设置；

相对设置的一组所述第一电极孔和所述第二电极孔用于穿过同一个电极。

10.根据权利要求1所述的保温装置，其特征在于，所述顶板在与所述盖板相对的一侧设置有第一扣合部，所述盖板在与所述顶板相对的一侧设置有第二扣合部；

所述第一扣合部和所述第二扣合部对应设置且扣合连接。

11.根据权利要求10所述的保温装置，其特征在于，所述第一扣合部为限位凸起，对应的所述第二扣合部为限位槽；

或，所述第一扣合部为限位槽，对应的所述第二扣合部为限位凸起；

其中，所述限位凸起嵌设于所述限位槽内。

12.根据权利要求1所述的保温装置，其特征在于，所述保温罩还包括环形板；

所述环形板固定连接于所述顶板远离所述盖板的一侧；

所述环形板和所述顶板围合形成容纳槽，所述容纳槽用于容纳压板毡。

13.根据权利要求1所述的保温装置，其特征在于，所述第一导气孔的开口小于所述第二导气孔的开口。

14.一种单晶炉用热场，其特征在于，包括单晶炉和权利要求1-13任一项所述的保温装置；

所述保温装置设置于所述单晶炉的底部，用于阻挡热辐射直射至所述单晶炉的底壁。