CN219979529U - 一种离子风扇安装固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了晶圆倒片领域内的一种离子风扇安装固定装置，包括水平设置的工作台，工作台下侧设置有若干竖直的支腿，所述工作台呈矩形，工作台的后侧设置有后围栏，工作台的左右两侧均设置有侧围栏，所述后围栏上连接有安装支架，所述安装支架包括竖直的固定板，固定板上连接有高度位置可调的竖直升降板，所述升降板的上部转动连接有支撑板，所述支撑板的左右两侧均设有弧形调节板，所述调节板上沿弧线方向依次开设有若干连接孔，紧固螺钉穿过对应连接孔并与升降板侧面相螺纹连接。本实用新型解决作业时可能发生碰撞离子风扇，以及无法消除静电的风险。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆倒片领域，特别涉及一种离子风扇安装固定装置。
背景技术
离子风扇是用于消除晶圆倒片时静电的设备，晶圆倒片是指：将芯片生产线上的晶圆通过制程需要进行分批、合并、翻转后进行下一道程序。现有技术中：晶圆倒片器通常放置在工作桌上，人员将片盒放置于倒片器上作业，工作桌上的离子风扇位于倒片器后方，其存在弊端：1、将离子风扇放置在桌子上面，作业时存在碰撞风险；2、若人员不小心将离子风扇位置移动，则会起不到消除静电的作用。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种离子风扇安装固定装置，解决作业时可能发生碰撞直接放在工作台上离子风扇的安全隐患，以及人员不小心碰到离子风扇移动位置无法消除静电的风险。
本实用新型的目的是这样实现的：一种离子风扇安装固定装置，包括水平设置的工作台，工作台下侧设置有若干竖直的支腿，所述工作台呈矩形，工作台的后侧设置有后围栏，工作台的左右两侧均设置有侧围栏，所述后围栏上连接有安装支架，所述安装支架包括竖直的固定板，固定板上连接有高度位置可调的竖直升降板，所述升降板的上部转动连接有支撑板，所述支撑板的左右两侧均设有弧形调节板，所述调节板上沿弧线方向依次开设有若干连接孔，紧固螺钉穿过对应连接孔并与升降板侧面相螺纹连接。
本实用新型工作时，将晶圆倒片器放置在工作台上进行倒片，通过在工作台后围栏上设置安装支架，来定位安装离子风扇，离子风扇安装在工作台后侧，在工作台上进行晶圆倒片作业时不会发生碰撞离子风扇的风险， 也不会不小心将离子风扇位置移动。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：升降板的高度位置可调，以调整离子风扇的高度，支撑板的转动角度可调，可改变离子风扇吹风的角度，以确保对晶圆消除静电的作用效果更好。
为了保护工作台上产品，所述后围栏与工作台的长度相等，后围栏包括平行的上横杆和下横杆，上横杆和下横杆之间竖直设有若干连接杆。后围栏用于安装离子风扇，侧围栏的围挡部分长度小于工作台的宽度，侧围栏的长度设计便于人员操作。
为了固定安装固定板，所述固定板位于后围栏后侧，固定板与各连接杆相错开设置，固定板上设置有至少一对上下对应的连接件，连接件的截面呈L形，上下两个连接件分别经安装螺钉安装在上横杆和下横杆上。根据晶圆倒片器的位置，可松开安装螺钉调整安装螺钉的位置。
为了调整升降板的高度位置，所述升降板上开设有两条左右对应的竖直腰型槽，螺栓穿过对应腰型槽、固定板设置，螺栓端部设有压紧固定板的螺母。
为了调整离子风扇的角度位置，所述支撑板通过两个左右对称分布的合页与升降板相铰接，支撑板上安装有离子风扇，离子风扇通过紧固件与支撑板相固定。
附图说明
图1为本实用新型的工作台的俯视图。
图2为本实用新型的工作台的主视图。
图3为本实用新型的工作台的侧视图。
图4为本实用新型安装在工作台上时的沿宽度方向的剖视图。
图5为图4 的局部放大图。
图6为升降板、支撑板的俯视图。
图7为升降板的主视图。
其中，1工作台，2支腿，3后围栏，3a上横杆，3b下横杆，3c连接杆，4侧围栏，5安装支架，5a固定板，5b升降板，5c支撑板，6调节板，7连接孔，8紧固螺钉， 9连接件，10安装螺钉，11腰型槽，12螺栓，12a螺母，13合页，14离子风扇。
实施方式
如图1-7所示，为一种离子风扇安装固定装置，包括水平设置的工作台1，工作台1下侧设置有若干竖直的支腿2，工作台1呈矩形，工作台1的后侧设置有后围栏3，工作台1的左右两侧均设置有侧围栏4，后围栏3上连接有安装支架5，安装支架5包括竖直的固定板5a，固定板5a上连接有高度位置可调的竖直升降板5b，升降板5b的上部转动连接有支撑板5c，支撑板5c的左右两侧均设有弧形调节板6，调节板6上沿弧线方向依次开设有若干连接孔7，紧固螺钉8穿过对应连接孔7并与升降板5b侧面相螺纹连接。
为了保护工作台1上产品，后围栏3与工作台1的长度相等，后围栏3包括平行的上横杆3a和下横杆3b，上横杆3a和下横杆3b之间竖直设有若干连接杆3c。后围栏3用于安装离子风扇14，侧围栏4的围挡部分长度小于工作台1的宽度，侧围栏4的长度设计便于人员操作。为了固定安装固定板5a，固定板5a位于后围栏3后侧，固定板5a与各连接杆3c相错开设置，固定板5a上设置有至少一对上下对应的连接件9，连接件9的截面呈L形，上下两个连接件9分别经安装螺钉10安装在上横杆3a和下横杆3b上。根据晶圆倒片器的位置，可松开安装螺钉10调整安装螺钉10的位置。
为了调整升降板5b的高度位置，升降板5b上开设有两条左右对应的竖直腰型槽11，螺栓12穿过对应腰型槽11、固定板5a设置，螺栓12端部设有压紧固定板5a的螺母12a。为了调整离子风扇14的角度位置，支撑板5c通过两个左右对称分布的合页13与升降板5b相铰接，支撑板5c上安装有离子风扇14，离子风扇14通过紧固件与支撑板5c相固定。
本实用新型工作时，将晶圆倒片器放置在工作台1上进行倒片，通过在工作台1后围栏3上设置安装支架5，来定位安装离子风扇14，离子风扇14安装在工作台1后侧，在工作台1上进行晶圆倒片作业时不会发生碰撞离子风扇14的风险， 也不会不小心将离子风扇14位置移动。本实用新型的升降板5b的高度位置可调，以调整离子风扇14的高度，支撑板5c的转动角度可调，可改变离子风扇14吹风的角度，以确保对晶圆消除静电的作用效果更好。
本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。
Claims (5)
1.一种离子风扇安装固定装置，包括水平设置的工作台，工作台下侧设置有若干竖直的支腿，其特征在于，所述工作台呈矩形，工作台的后侧设置有后围栏，工作台的左右两侧均设置有侧围栏，所述后围栏上连接有安装支架，所述安装支架包括竖直的固定板，固定板上连接有高度位置可调的竖直升降板，所述升降板的上部转动连接有支撑板，所述支撑板的左右两侧均设有弧形调节板，所述调节板上沿弧线方向依次开设有若干连接孔，紧固螺钉穿过对应连接孔并与升降板侧面相螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种离子风扇安装固定装置，其特征在于，所述后围栏与工作台的长度相等，后围栏包括平行的上横杆和下横杆，上横杆和下横杆之间竖直设有若干连接杆。
3.根据权利要求2所述的一种离子风扇安装固定装置，其特征在于，所述固定板位于后围栏后侧，固定板与各连接杆相错开设置，固定板上设置有至少一对上下对应的连接件，连接件的截面呈L形，上下两个连接件分别经安装螺钉安装在上横杆和下横杆上。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种离子风扇安装固定装置，其特征在于，所述升降板上开设有两条左右对应的竖直腰型槽，螺栓穿过对应腰型槽、固定板设置，螺栓端部设有压紧固定板的螺母。
5.根据权利要求1-3任一项所述的一种离子风扇安装固定装置，其特征在于，所述支撑板通过两个左右对称分布的合页与升降板相铰接，支撑板上安装有离子风扇，离子风扇通过紧固件与支撑板相固定。
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