CN219972545U - 一种单晶炉腔体排气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶炉腔体排气装置，涉及单晶炉领域，包括炉体，所述炉体的顶侧装配有炉道；所述炉体的底侧开设有位于其与炉盘之间的侧槽，所述炉体内侧的底侧边缘装配有弧座，所述弧座上开设有十五组间距相同的排气孔，所述炉体的外侧装配有罩座，且罩座的外壁上开设有两组位置相对的散气槽；该单晶炉腔体排气装置，通过炉体底侧各组件的设置，能够通过弧座上各组排气孔的设置来增加排放量，同时排出的热气会暂存在罩座与炉体底侧的暂存槽中，由内散热片、罩座及外散热片对其进行散热，保证散热效果，同时气体会沿着两组散气槽被排放至相应管体中，进而达到高效排气的效果，解决现有装置难以根据需求进行高效排气的散热的问题。

Description

一种单晶炉腔体排气装置

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种单晶炉腔体排气装置。

背景技术

单晶炉主要是工作在惰性气体环境中，采用石墨加热器将多晶材料融化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉常设置有排气装置，目前现有大多设备在进行使用时，由于排气口内部易进入灰尘，易导致排气口堵塞的情况，使其设备无法正常进行排气，降低了设备整体的防护性，对此需进行改进。

经检索，专利申请号为CN202122707559.6的申请书中，公开了一种单晶炉腔体排气装置，包括炉体和以及设置在炉体表面的排气管，所述排气管的表面设置有防护装置，所述防护装置包括固定环，所述固定环套在排气管的外部，并与排气管固定连接，所述固定环活动连接有盖子，所述固定环上连接有用于限制盖子翻转的限位部件。上述组件通过设置相应防护机构来避免灰尘进入炉体中，但是仍旧为单一排孔排气，排气效率较低，同时为设置相应散热组件，所输出气体的温度较高。

因此，我们提出了一种单晶炉腔体排气装置。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种单晶炉腔体排气装置，解决现有装置难以根据需求进行高效排气的散热的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种单晶炉腔体排气装置，包括炉体，所述炉体的顶侧装配有炉道，所述炉体的底侧设置有炉盘，且炉体的内侧装配有相应拉晶组件，所述拉晶组件包括加热器；

所述炉体的底侧开设有位于其与炉盘之间的侧槽，所述炉体内侧的底侧边缘装配有弧座，所述弧座上开设有十五组间距相同的排气孔，所述炉体的外侧装配有罩座，且罩座的外壁上开设有两组位置相对的散气槽。

优选的，所述弧座为弧状内圈板，且弧座与炉体底侧之间设置有相应暂存槽。

优选的，所述罩座中开设有呈环状的暂存槽，且罩座整体由散热导体材料制作而成。

优选的，所述罩座的外壁上固定安装有呈环板状的外散热片，且罩座的内壁上装配有也呈环板状的内散热片。

优选的，所述罩座的顶侧与底侧均装配有安装板，所述安装板上开设有相应螺孔，且罩座通过两组安装板上的螺孔螺纹套装在侧槽的外侧。

优选的，所述散气槽与矩状连接器和输出管相连通。

优选的，所述内散热片及外散热片上开设有相应孔径。

本实用新型提供了一种单晶炉腔体排气装置。具备以下有益效果：

该单晶炉腔体排气装置，通过炉体底侧各组件的设置，能够通过弧座上各组排气孔的设置来增加排放量，同时排出的热气会暂存在罩座与炉体底侧的暂存槽中，由内散热片、罩座及外散热片对其进行散热，保证散热效果，同时气体会沿着两组散气槽被排放至相应管体中，进而达到高效排气的效果，解决现有装置难以根据需求进行高效排气的散热的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型炉体的结构示意图；

图3为本实用新型炉体内侧的结构示意图；

图4为本实用新型炉体底侧的结构示意图；

图5为本实用新型散热片的结构示意图；

图6为本实用新型罩座的结构示意图。

图中：1、炉体；2、炉道；3、罩座；4、外散热片；5、炉盘；6、弧座；7、排气孔；8、侧槽；9、散气槽；10、内散热片；11、安装板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种单晶炉腔体排气装置，包括炉体1，炉体1的顶侧装配有炉道2，炉体1的底侧设置有炉盘5，且炉体1的内侧装配有相应拉晶组件，所述拉晶组件包括加热器；

炉体1的底侧开设有位于其与炉盘5之间的侧槽8，炉体1内侧的底侧边缘装配有弧座6，弧座6上开设有十五组间距相同的排气孔7，炉体1的外侧装配有罩座3，且罩座3的外壁上开设有两组位置相对的散气槽9；

其中，在本实施例中，需要补充说明的是，该单晶炉腔体排气装置，通过炉体1底侧各组件的设置，能够通过弧座6上各组排气孔7的设置来增加排放量，同时排出的热气会暂存在罩座3与炉体1底侧的暂存槽中，由内散热片10、罩座3及外散热片4对其进行散热，保证散热效果，同时气体会沿着两组散气槽9被排放至相应管体中，进而达到高效排气的效果，解决现有装置难以根据需求进行高效排气的散热的问题。

在本实施例中，需要补充说明的是，弧座6为弧状内圈板，且弧座6与炉体1底侧之间设置有相应暂存槽。

在本实施例中，需要补充说明的是，罩座3中开设有呈环状的暂存槽，且罩座3整体由散热导体材料制作而成。

在本实施例中，需要补充说明的是，罩座3的外壁上固定安装有呈环板状的外散热片4，且罩座3的内壁上装配有也呈环板状的内散热片10。

在本实施例中，需要补充说明的是，罩座3的顶侧与底侧均装配有安装板11，安装板11上开设有相应螺孔，且罩座3通过两组安装板11上的螺孔螺纹套装在侧槽8的外侧。

在本实施例中，需要补充说明的是，散气槽9与矩状连接器和输出管相连通。

在本实施例中，需要补充说明的是，内散热片10及外散热片4上开设有相应孔径。

本实用新型的工作原理及使用流程：当需要该装置工作时，底侧工作组件所排出的气体沿着多组排气孔7进入暂存槽中，保证排气效率，同时热气与内散热片10接触，由罩座3和外散热片4进行高效散热，并最后由散气槽9进行高效排气，保证排气与散热效果。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (7)

1.一种单晶炉腔体排气装置，包括炉体(1)，所述炉体(1)的顶侧装配有炉道(2)，所述炉体(1)的底侧设置有炉盘(5)，且炉体(1)的内侧装配有相应拉晶组件，所述拉晶组件包括加热器；

其特征在于：所述炉体(1)的底侧开设有位于其与炉盘(5)之间的侧槽(8)，所述炉体(1)内侧的底侧边缘装配有弧座(6)，所述弧座(6)上开设有十五组间距相同的排气孔(7)，所述炉体(1)的外侧装配有罩座(3)，且罩座(3)的外壁上开设有两组位置相对的散气槽(9)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉腔体排气装置，其特征在于：所述弧座(6)为弧状内圈板，且弧座(6)与炉体(1)底侧之间设置有相应暂存槽。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉腔体排气装置，其特征在于：所述罩座(3)中开设有呈环状的暂存槽，且罩座(3)整体由散热导体材料制作而成。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉腔体排气装置，其特征在于：所述罩座(3)的外壁上固定安装有呈环板状的外散热片(4)，且罩座(3)的内壁上装配有也呈环板状的内散热片(10)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉腔体排气装置，其特征在于：所述罩座(3)的顶侧与底侧均装配有安装板(11)，所述安装板(11)上开设有相应螺孔，且罩座(3)通过两组安装板(11)上的螺孔螺纹套装在侧槽(8)的外侧。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉腔体排气装置，其特征在于：所述散气槽(9)与矩状连接器和输出管相连通。

7.根据权利要求4所述的一种单晶炉腔体排气装置，其特征在于：所述内散热片(10)及外散热片(4)上开设有相应孔径。