CN219936995U - 一种晶圆解胶机 - Google Patents
一种晶圆解胶机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219936995U CN219936995U CN202223110039.8U CN202223110039U CN219936995U CN 219936995 U CN219936995 U CN 219936995U CN 202223110039 U CN202223110039 U CN 202223110039U CN 219936995 U CN219936995 U CN 219936995U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- fixed partition
- partition plate
- frame
- movable tray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 56
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 41
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 27
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种晶圆解胶机，包括：机架，其内部安装有固定隔板，固定隔板的上方和下方均安装有可调式照射机构，两个可调式照射机构呈对称设置；承托机构，其设置于固定隔板的一侧；平移机构，其安装于固定隔板的边侧，用于对承托机构的平移运动提供动力。本实用新型利用可调式照射机构和承托机构相配合的设置方式，通过平移机构的带动下，使得晶圆可以进行直线运动，改进现有晶圆解胶中晶圆固定解胶为移动解胶，使晶圆表面受到紫外线照射时接受的能量均匀，然后通过紫外线灯的对称设置，使得两个紫外线灯可以对晶圆的两个面都可以进行同步照射，能够使晶圆上下面接受紫外线均匀照射，实用性更高。
Description
技术领域
本实用新型涉及解胶机领域，特别涉及一种晶圆解胶机。
背景技术
现有的晶圆解胶设备一般有两个部分，紫外线灯，氮气充填装置。紫外线灯产生一种紫外光使晶圆表面的黏性胶水分解，氮气充填装置使紫外光分解黏性胶水时更稳定。
但现有晶圆解胶设备因晶圆是固定照射，所以晶圆表面受到紫外线照射时的能量分布不均匀，解胶效果不稳定，另外在生产中会遇到晶圆两面都有黏胶的情况，现有的单面晶圆解胶设备就无法进行双面照射处理。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆解胶机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆解胶机，包括：
机架，其内部安装有固定隔板，所述固定隔板的上方和下方均安装有可调式照射机构，两个所述可调式照射机构呈对称设置；
承托机构，其设置于固定隔板的一侧；
平移机构，其安装于固定隔板的边侧，用于对承托机构的平移运动提供动力。
优选的，所述固定隔板的顶端固定安装有承载架，所述承载架与可调式照射机构的位置相对应，所述固定隔板的中部开设有通槽。
优选的，所述固定隔板的一侧设置有防护罩，所述防护罩与承托机构连接。
优选的，所述可调式照射机构包括丝杆直线模组和紫外线灯，所述丝杆直线模组与固定隔板固定安装，所述紫外线灯与丝杆直线模组的输出端传动连接，两个所述紫外线灯呈对称设置。
优选的，所述承托机构包括固定架、移动式托盘、连接件和滑块，所述固定架固定安装于固定隔板的顶端，所述移动式托盘滑动设置于固定架的内部，所述连接件固定连接于移动式托盘的正面，所述连接件与固定架滑动穿插连接，所述滑块固定连接于移动式托盘的底端，所述滑块的内侧滑动设置有滑轨，所述滑轨固定安装于固定隔板的顶端。
优选的，所述平移机构包括伺服电机、同步轮和同步带，所述伺服电机固定安装于固定隔板底部的一侧，两个所述同步轮转动连接于固定隔板的边侧，所述同步带设置于两个同步轮之间，所述同步带与连接件连接。
优选的，所述机架的一侧设置有升降式密封机构，所述升降式密封机构与防护罩的位置相对应，所述升降式密封机构包括气缸和门板，所述气缸固定安装于机架上，所述门板与机架滑动连接，所述门板的顶部与气缸的输出端传动连接。
本实用新型的技术效果和优点：
(1)本实用新型利用可调式照射机构和承托机构相配合的设置方式，通过平移机构的带动下，使得晶圆可以进行直线运动，改进现有晶圆解胶中晶圆固定解胶为移动解胶，使晶圆表面受到紫外线照射时接受的能量均匀，然后通过紫外线灯的对称设置，使得两个紫外线灯可以对晶圆的两个面都可以进行同步照射，能够使晶圆上下面接受紫外线均匀照射，实用性更高；
(2)本实用新型利用气缸和门板相配合的设置方式，通过气缸的伸缩移动，便于对门板的竖直运动进行控制，使得门板的升降运动，便于对防护罩内腔的打开和关闭，实现门板的自动打开，便于对晶圆的放置。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图。
图2为本实用新型防护罩处结构示意图。
图3为本实用新型可调式照射机构处结构示意图。
图4为本实用新型承载架处结构示意图。
图5为本实用新型移动式托盘处结构示意图。
图6为本实用新型升降式密封机构处结构示意图。
图中：1、机架；11、升降式密封机构；111、气缸；112、门板；2、固定隔板；21、承载架；22、防护罩；3、可调式照射机构；31、丝杆直线模组；32、紫外线灯；4、承托机构；41、固定架；42、移动式托盘；43、连接件；44、滑块；5、平移机构；51、伺服电机；52、同步轮；53、同步带。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-6所示的一种晶圆解胶机，包括：
机架1，其内部安装有固定隔板2，固定隔板2的上方和下方均安装有可调式照射机构3，固定隔板2的顶端固定安装有承载架21，承载架21与可调式照射机构3的位置相对应，固定隔板2的中部开设有通槽，固定隔板2的一侧设置有防护罩22，防护罩22与承托机构4连接，通过承载架21便于对上方的紫外线灯32进行限位承载，通过防护罩22便于对晶圆放置时的防护；
两个可调式照射机构3呈对称设置，可调式照射机构3包括丝杆直线模组31和紫外线灯32，丝杆直线模组31与固定隔板2固定安装，紫外线灯32与丝杆直线模组31的输出端传动连接，两个紫外线灯32呈对称设置，通过丝杆直线模组31便于对紫外线灯32的竖直高度进行调节，从而便可调节紫外线灯32与移动式托盘42之间的距离，以便对照射距离进行调节，通过紫外线灯32便于对晶圆的照射解胶；
承托机构4，其设置于固定隔板2的一侧，承托机构4包括固定架41、移动式托盘42、连接件43和滑块44，固定架41固定安装于固定隔板2的顶端，移动式托盘42滑动设置于固定架41的内部，连接件43固定连接于移动式托盘42的正面，连接件43与固定架41滑动穿插连接，滑块44固定连接于移动式托盘42的底端，滑块44的内侧滑动设置有滑轨，滑轨固定安装于固定隔板2的顶端，通过固定架41便于对移动式托盘42的一端进行防护，通过移动式托盘42便于对晶圆的承载，使得移动式托盘42可以带动晶圆进行移动解胶，通过滑轨便于对滑块44的直线运动进行限位，使得移动式托盘42的直线运动更加稳定，通过连接件43连接于同步带53与移动式托盘42之间，便于对同步带53的运行可以带动移动式托盘42的直线运动；
平移机构5，其安装于固定隔板2的边侧，用于对承托机构4的平移运动提供动力，平移机构5包括伺服电机51、同步轮52和同步带53，伺服电机51固定安装于固定隔板2底部的一侧，两个同步轮52转动连接于固定隔板2的边侧，同步带53设置于两个同步轮52之间，同步带53与连接件43连接，伺服电机51的输出端与其中一个同步轮52传动连接，以便为同步带53的运转提供动力，通过两个同步轮52带动同步带53的运行，以便同步带53可以带动连接件43的直线运动；
机架1的一侧设置有升降式密封机构11，升降式密封机构11与防护罩22的位置相对应，升降式密封机构11包括气缸111和门板112，气缸111固定安装于机架1上，门板112与机架1滑动连接，门板112的顶部与气缸111的输出端传动连接，通过气缸111的伸缩移动，便于对门板112的竖直运动进行控制，使得门板112的升降运动，便于对防护罩22内腔的打开和关闭，实现门板112的自动打开，便于对晶圆的放置。
本实用新型工作原理：
在使用中，首先通过气缸111的运行，使得气缸111的伸缩运动，可以带动门板112的升降运动，使得门板112下移打开，然后工作人员便可将晶圆放置于固定架41内部的移动式托盘42内侧，通过移动式托盘42对晶圆进行承载后，然后通过伺服电机51的运行，带动其中一个同步轮52的转动，然后配合两个同步轮52的转动，使得同步带53运行，然后再同步带53的带动下，便可使得移动式托盘42在滑块44的限位下，进行直线运动，直至移动式托盘42带动晶圆运动至通槽的位置相对应，通过平移机构5的带动下，使得晶圆可以进行直线运动，改进现有晶圆解胶中晶圆固定解胶为移动解胶，使晶圆表面受到紫外线照射时接受的能量均匀，然后通过紫外线灯32的对称设置，使得两个紫外线灯32可以对晶圆的两个面都可以进行同步照射，能够使晶圆上下面接受紫外线均匀照射。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种晶圆解胶机，其特征在于，包括：
机架(1)，其内部安装有固定隔板(2)，所述固定隔板(2)的上方和下方均安装有可调式照射机构(3)，两个所述可调式照射机构(3)呈对称设置；
承托机构(4)，其设置于固定隔板(2)的一侧；
平移机构(5)，其安装于固定隔板(2)的边侧，用于对承托机构(4)的平移运动提供动力。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶机，其特征在于，所述固定隔板(2)的顶端固定安装有承载架(21)，所述承载架(21)与可调式照射机构(3)的位置相对应，所述固定隔板(2)的中部开设有通槽。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶机，其特征在于，所述固定隔板(2)的一侧设置有防护罩(22)，所述防护罩(22)与承托机构(4)连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶机，其特征在于，所述可调式照射机构(3)包括丝杆直线模组(31)和紫外线灯(32)，所述丝杆直线模组(31)与固定隔板(2)固定安装，所述紫外线灯(32)与丝杆直线模组(31)的输出端传动连接，两个所述紫外线灯(32)呈对称设置。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶机，其特征在于，所述承托机构(4)包括固定架(41)、移动式托盘(42)、连接件(43)和滑块(44)，所述固定架(41)固定安装于固定隔板(2)的顶端，所述移动式托盘(42)滑动设置于固定架(41)的内部，所述连接件(43)固定连接于移动式托盘(42)的正面，所述连接件(43)与固定架(41)滑动穿插连接，所述滑块(44)固定连接于移动式托盘(42)的底端，所述滑块(44)的内侧滑动设置有滑轨，所述滑轨固定安装于固定隔板(2)的顶端。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶机，其特征在于，所述平移机构(5)包括伺服电机(51)、同步轮(52)和同步带(53)，所述伺服电机(51)固定安装于固定隔板(2)底部的一侧，两个所述同步轮(52)转动连接于固定隔板(2)的边侧，所述同步带(53)设置于两个同步轮(52)之间，所述同步带(53)与连接件(43)连接。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶机，其特征在于，所述机架(1)的一侧设置有升降式密封机构(11)，所述升降式密封机构(11)与防护罩(22)的位置相对应，所述升降式密封机构(11)包括气缸(111)和门板(112)，所述气缸(111)固定安装于机架(1)上，所述门板(112)与机架(1)滑动连接，所述门板(112)的顶部与气缸(111)的输出端传动连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223110039.8U CN219936995U (zh) | 2022-11-23 | 2022-11-23 | 一种晶圆解胶机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223110039.8U CN219936995U (zh) | 2022-11-23 | 2022-11-23 | 一种晶圆解胶机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219936995U true CN219936995U (zh) | 2023-10-31 |
Family
ID=88495933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202223110039.8U Active CN219936995U (zh) | 2022-11-23 | 2022-11-23 | 一种晶圆解胶机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219936995U (zh) |
-
2022
- 2022-11-23 CN CN202223110039.8U patent/CN219936995U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN219936995U (zh) | 一种晶圆解胶机 | |
| CN110744934A (zh) | 一种用于工业生产的智能盖章设备 | |
| CN214054077U (zh) | 一种柔性太阳能电池板加工用精雕装置 | |
| CN211930011U (zh) | 一种方便维修的箱式变电站用支撑装置 | |
| CN107895910A (zh) | 一种电力检修架 | |
| CN210669046U (zh) | 一种电力施工场地用临时电力柜 | |
| CN208774276U (zh) | 一种可调节发光面积和发光亮度的印刷机led uv固化装置 | |
| CN220711379U (zh) | 一种便于检修用滩涂光伏电站用支架 | |
| CN221277189U (zh) | 一种房屋建筑施工平台 | |
| CN213457645U (zh) | 一种用于曝光机照度自动调节装置 | |
| CN216752300U (zh) | 翻转式数控机床控制柜 | |
| CN217009930U (zh) | 一种自移式防渗配电柜 | |
| CN220849049U (zh) | 一种电力电线杆架设装置 | |
| CN217106341U (zh) | 一种便于升降的生态景观台 | |
| CN214160367U (zh) | 一种节能型led固化机 | |
| CN219677814U (zh) | 一种电气柜的防潮结构 | |
| CN215368603U (zh) | 一种建筑电气施工安装设备 | |
| CN221296064U (zh) | 一种输电线路安全用输电维护装置 | |
| CN218472597U (zh) | 电气工程用辅助安装支架 | |
| CN221157507U (zh) | 一种uv光稳定固化装置 | |
| CN220618026U (zh) | 一种智能电梯检修用限位装置 | |
| CN220582256U (zh) | 一种日照模拟装置 | |
| CN218334845U (zh) | 一种带有升降结构的高压配电柜 | |
| CN219105533U (zh) | 一种门禁设备 | |
| CN219695932U (zh) | 一种模型展示调节机构及抽水蓄能电站模型展示装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |