CN219879560U - 一种led干法刻蚀机排气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种LED干法刻蚀机排气装置，包括工作台、加热除湿机构、过滤机构和净化机构；加热除湿机构包括长形盒、加热组件和送气组件，长形盒上设有第一进气口，气体经第一进气口和送气组件输送至过滤机构；过滤机构的一端与长形盒连接，其另一端与净化机构连接；净化机构包括净化盒体、净化组件和排气组件，净化盒体通过净化组件隔出至少两个独立空间，净化盒体上设有第二进气口，第二进气口和排气组件分别与不同独立空间连通。通过本申请，不仅实现了对气体的过滤和净化，以保证气体无害后排至外界大气中，避免对空气造成污染，还能够对装置进行加热除湿，改善该装置中各箱体内部容易发霉的问题，提高了装置的实用性。

Description

一种LED干法刻蚀机排气装置

技术领域

本实用新型涉及LED制备技术领域，特别涉及一种LED干法刻蚀机排气装置。

背景技术

干法刻蚀是用等离子体化学活性较强的性质进行薄膜刻蚀的技术，干法刻蚀分为三种：物理性刻蚀、化学性刻蚀、物理化学性刻蚀，在进行干法刻蚀的过程中，通常需要根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的，因此需要用上排气装置进行排气。

目前，现有的排气装置是由排气管、催化净化器、消声器、尾管等组成，进而一般在对刻蚀机排气装置使用时，大多数都是简单地将气体过滤然后进行排出，缺乏对气体均匀的排出和净化处理，容易将空气进行污染，不利于正常使用，并且气体中含有大量的湿气，长时间在箱体内部，容易导致箱体内部发霉，且降低了箱体的实用性。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的是提供一种LED干法刻蚀机排气装置，以解决现有技术中的不足。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种LED干法刻蚀机排气装置，包括工作台、设于所述工作台上且贯通设置的加热除湿机构、过滤机构和净化机构；

所述加热除湿机构包括长形盒、设于所述长形盒内的加热组件和送气组件，所述长形盒上设有第一进气口，所述第一进气口用于将气体通入所述长形盒内，所述长形盒内的气体经所述送气组件输送至所述过滤机构；

所述过滤机构的一端与所述长形盒连接，其另一端与所述净化机构连接，所述过滤机构用于对所述气体进行过滤；

所述净化机构包括净化盒体、设于所述净化盒体内的净化组件和排气组件，所述净化盒体通过所述净化组件隔出至少两个独立空间，所述净化盒体上设有第二进气口，所述第二进气口和所述排气组件分别与不同所述独立空间连通，以使过滤后的气体经所述净化组件净化后通过所述排气组件排出。

本实用新型的有益效果是：通过第一进气口流入气体，利用送气组件将气体输送至过滤机构，以使气体依次经过过滤机构和净化组件，实现对气体的过滤和净化，以保证气体无害后通过排气组件排至外界大气中，避免对空气造成污染，同时利用加热组件提供热量，通过送气组件和排气组件的配合使用，还能够将热量依次经过长形盒、过滤机构和净化盒体，以进行加热除湿，改善该装置中各箱体内部容易发霉的问题，延长箱体使用寿命，提高箱体实用性。

优选的，所述长形盒上连接有进气管道，所述进气管道通过所述第一进气口与所述长形盒的腔体连通。

优选的，所述加热组件包括加热带、设于所述加热带上的加热丝和加热板，所述加热带的一端经多次折弯延伸成型，所述加热丝和所述加热板用于提供热量，所述加热板与所述加热丝互不干涉。

优选的，所述送气组件包括电动伸缩杆和推板，所述电动伸缩杆的一端与所述推板连接，所述推板通过滑动结构与所述长形盒的内壁滑动连接，所述电动伸缩杆用于推动所述推板朝向或远离所述过滤机构移动。

优选的，所述滑动结构包括开设于所述长形盒内壁的滑槽和滑动连接于所述滑槽内的滑块，所述滑块与所述推板连接。

优选的，所述过滤机构包括Z形软管和设于所述Z形软管上的复合滤网，所述长形盒的腔体通过所述Z形软管与所述净化盒体中的其一所述独立空间连通，所述复合滤网用于对流经所述Z形软管中的气体进行过滤。

优选的，所述Z形软管上设有电动阀，所述气体依次通过所述复合滤网、所述电动阀和所述第二进气口后流向所述独立空间内。

优选的，所述净化组件包括触媒滤网，所述触媒滤网与所述净化盒体的内壁可拆卸连接。

优选的，所述排气组件包括伺服电机、传动结构和多个风叶，所述伺服电机与所述净化盒体的底部连接，所述伺服电机通过所述传动结构与多个所述风叶连接，所述伺服电机用于带动多个所述风叶进行同步转动。

优选的，所述工作台上设有四个万向轮，四个所述万向轮分别位于所述工作台的底面的四个拐角处。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的LED干法刻蚀机排气装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的加热除湿机构的爆炸示意图；

图3为本实用新型实施例提供的过滤机构和净化机构的爆炸示意图。

主要元件符号说明：

1、工作台；2、控制器；3、U形支撑板；4、进气管道；6、推杆；7、长形盒；8、Z形软管；9、万向轮；10、滑槽；11、加热带；12、加热丝；13、电动伸缩杆；14、滑块；15、推板；16、加热板；17、电动阀；18、伺服电机；19、皮带轮；21、风叶；22、净化盒体；23、圆形孔洞；24、复合滤网；25、传送带；26、触媒滤网。

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图3，为本实用新型实施例中的LED干法刻蚀排气装置，包括工作台1、加热除湿机构、过滤机构和净化机构。

其中：加热除湿机构、过滤机构和净化机构皆位于工作台1上，加热除湿机构包括长形盒7、设于长形盒7内的加热组件和送气组件，长形盒7上设有第一进气口，第一进气口与长形盒7的腔体连通，可以理解的，长形盒7上连接有进气管道4，进气管道4通过第一进气口与长形盒7的腔体连通，待处理气体依次经过进气管道4和第一进气口输送至长形盒7体内，然后利用送气组件将代处理器推送至过滤机构中，可以理解的，加热组件用于提供热量，热量也可以随着送气组件输送至过滤机构和净化机构中，具体为，当需要对LED干法刻蚀排气装置进行除湿处理时，通过加热组件提供热量，利用送气组件将热量输送至过滤机构和净化机构中，以实现加热除湿效果。

过滤机构的一端与长形盒7连接，其另一端与净化结构连接，过滤机构用于对来自长形盒7内的待处理气体进行过滤，具体为，过滤机构包括Z形软管8和设于Z形软管8内部的复合滤网24，Z形软管8的两端分别与长形盒7和净化机构连通，待处理气体流入Z形软管8后，需经过复合滤网24的过滤作用后，再流入净化机构内；

净化机构包括净化盒体22、设于净化盒体22内的净化组件和排气组件，净化盒体22通过U形支撑板3与工作台1连接，净化盒体22通过净化组件隔出至少两个独立空间，净化盒体22的顶部设有第二进气口，第二进气口和排气组件分别与不同独立空间连通，Z形软管8通过第二进气口与净化盒体22连通，以通过第二进气口通入经过滤机构过滤后的气体，然后在排气组件的作用下，该过滤后的气体会经过净化组件后再排至外界大气中，以利用净化组件对气体进行净化，保证待处理气体无害后排至外界大气中，避免对空气造成污染。

在本实施例中，加热组件包括加热带11、设于加热带11上的加热丝12和加热板16，加热带11的一端经多次折弯延伸成型，加热丝12和加热板16用于提供热量，加热板16和加热丝12互不干涉，可以理解的，加热带11经多次折弯延伸会形成多个框体空间，加热板16和加热丝12则分别安装在不同框体空间内。需要说明的是，该加热带11设置有两条，两条加热带11分别位于长形盒7的相对两侧。

在本实施例中，送气组件包括电动伸缩杆13和推板15，电动伸缩杆13安装于长形盒7上，电动伸缩杆13的一端伸入长形盒7内，且与推板15连接，推板15位于长形盒7的内部，推板15通过滑动结构与长形盒7的内壁滑动连接，可以理解的，在滑动结构的限制下，电动伸缩杆13用于推动推板15朝向或远离过滤机构移动，其中，推板15和长形盒7的内壁会形成容纳空间，当推板15处于初始位置时，第一进气口会与容纳空间贯通，待处理气体通过第一进气口通入容纳空间内后，电动伸缩杆13带动推板15朝向过滤机构移动，以推动待处理气体朝向过滤机构流动。

需要说明的是，滑动机构包括开设于长形盒7内壁的滑槽10和滑动连接于滑槽10内的滑块14，滑块14与推动连接，从而实现在滑动机构的作用下推板15平稳移动，可以理解的，该加热组件位于送气组件的下方，即推板15位于加热带11的上方。

在本实施例中，Z形软管8上设有电动阀17，来自容纳空间内的待处理气体依次经过复合滤网24和电动阀17流入净化盒体22内，该电动阀17用于控制Z形软管8的流通与否，当电动阀17开启时，待处理气体才能通入净化盒体22内，反之，当电动阀17关闭时，待处理气体无法流入净化盒体22内。

在本实施例中，净化组件包括一个触媒滤网26，该触媒滤网26将净化组件隔出两个独立空间，可以理解的，该触媒滤网26为现有结构，且该触媒滤网26能够用于对气体进行净化，为了便于更换触媒滤网26，将触媒滤网26与净化盒体22的内壁可拆卸连接，具体为，将净化盒体22设计为两个分体结构，在其中一个分体结构上设计有卡槽，触媒滤网26卡卡接在卡槽内，然后利用螺栓结构将两个分体结构连接，以形成带有触媒滤网26的净化盒体22，且也便于对触媒滤网26进行更换。

在本实施例中，排气组件包括伺服电机18、传动结构和多个风叶21，伺服电机18与净化盒体22的底部连接，且伺服电机18通过传统结构与多个风叶21连接，以带动多个风叶21进行同步转动，从而实现将净化盒体22内的气体排出至外界大气中，可以理解的，在净化盒体22上开设有多个圆形孔洞23，各风叶21分别位于于不同圆形孔洞23内。

需要说明的是，该传动结构包括传送带25、多个转轴和皮带轮19，各转轴上皆套设有一皮带轮19，各皮带轮19皆与传送带25摩擦接触，且各转轴的一端与风叶21的中心位置连接，其中一个转轴与伺服电机18连接，其余转轴通过安装架与净化盒体22转动连接，以此实现风叶21的安装，同时也能利用一个伺服电机18带动所有风叶21进行转动，不仅能够节省资源，同时还能避免产生大量热能在净化盒体22的内部。具体为，伺服电机18带动相应的转轴以及转轴上的皮带轮19进行转动，从而带动传送带25转动，传动带与其他转轴上的皮带轮19传动，从而带动多个风叶21同步转动。

在本实施例中，工作台1上设有四个万向轮9，四个万向轮9分别位于工作台1的底部的四个拐角处，除此之外，工作台1的侧壁上固定连接有推杆6，以便于配合万向轮9推动装置进行移动。

在本实施例中，工作台1上固定连接有控制器2，电动伸缩杆13、伺服电机18和电动阀17皆与控制器2电性连接，以利用控制器2控制电动伸缩杆13伺服电机18和电动阀17的启闭。

在具体实施时，通过第一进气口流入气体，利用送气组件将气体输送至过滤机构，以使气体依次经过过滤机构和净化组件，实现对气体的过滤和净化，以保证气体无害后通过排气组件排至外界大气中，避免对空气造成污染，同时利用加热组件提供热量，通过送气组件和排气组件的配合使用，还能够将热量依次经过长形盒7、过滤机构和净化盒体22，以进行加热除湿，改善该装置中各箱体内部容易发霉的问题，延长箱体使用寿命，提高箱体实用性。

需要说明的是，上述的实施过程只是为了说明本申请的可实施性，但这并不代表本申请的LED干法刻蚀机排气装置只有上述唯一一种实施流程，相反的，只要能够将本申请的LED干法刻蚀机排气装置实施起来，都可以被纳入本申请的可行实施方案。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，包括工作台、设于所述工作台上且贯通设置的加热除湿机构、过滤机构和净化机构；

所述加热除湿机构包括长形盒、设于所述长形盒内的加热组件和送气组件，所述长形盒上设有第一进气口，所述第一进气口用于将气体通入所述长形盒内，所述长形盒内的气体经所述送气组件输送至所述过滤机构；

所述过滤机构的一端与所述长形盒连接，其另一端与所述净化机构连接，所述过滤机构用于对所述气体进行过滤；

所述净化机构包括净化盒体、设于所述净化盒体内的净化组件和排气组件，所述净化盒体通过所述净化组件隔出至少两个独立空间，所述净化盒体上设有第二进气口，所述第二进气口和所述排气组件分别与不同所述独立空间连通，以使过滤后的气体经所述净化组件净化后通过所述排气组件排出。

2.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述长形盒上连接有进气管道，所述进气管道通过所述第一进气口与所述长形盒的腔体连通。

3.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述加热组件包括加热带、设于所述加热带上的加热丝和加热板，所述加热带的一端经多次折弯延伸成型，所述加热丝和所述加热板用于提供热量，所述加热板与所述加热丝互不干涉。

4.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述送气组件包括电动伸缩杆和推板，所述电动伸缩杆的一端与所述推板连接，所述推板通过滑动结构与所述长形盒的内壁滑动连接，所述电动伸缩杆用于推动所述推板朝向或远离所述过滤机构移动。

5.根据权利要求4所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述滑动结构包括开设于所述长形盒内壁的滑槽和滑动连接于所述滑槽内的滑块，所述滑块与所述推板连接。

6.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述过滤机构包括Z形软管和设于所述Z形软管上的复合滤网，所述长形盒的腔体通过所述Z形软管与所述净化盒体中的其一所述独立空间连通，所述复合滤网用于对流经所述Z形软管中的气体进行过滤。

7.根据权利要求6所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述Z形软管上设有电动阀，所述气体依次通过所述复合滤网、所述电动阀和所述第二进气口后流向所述独立空间内。

8.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述净化组件包括触媒滤网，所述触媒滤网与所述净化盒体的内壁可拆卸连接。

9.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述排气组件包括伺服电机、传动结构和多个风叶，所述伺服电机与所述净化盒体的底部连接，所述伺服电机通过所述传动结构与多个所述风叶连接，所述伺服电机用于带动多个所述风叶进行同步转动。

10.根据权利要求1所述的LED干法刻蚀机排气装置，其特征在于，所述工作台上设有四个万向轮，四个所述万向轮分别位于所述工作台的底面的四个拐角处。