CN219800803U - 一种晶圆片转移设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及转移设备技术领域，尤其涉及一种晶圆片转移设备。所述晶圆片转移设备包括底框和放置组件；所述放置组件设置在底框内，所述放置组件包括第一放置框和第二放置框，所述第一放置框和第二放置框均设有若干个并相互交错分布，且若干所述第一放置框的外部与同一握杆外壁连接。本实用新型提供的晶圆片转移设备，通过放置组件的设置，可使若干晶圆片形成上下交错分布状态，继而可扩大相邻两晶圆片之间的间距，使工作人员后期手指可顺利放置在晶圆片两侧对晶圆片进行拿捏，使后期对晶圆片的拿取更加方便。

Description

一种晶圆片转移设备

技术领域

本实用新型涉及转移设备技术领域，尤其涉及一种晶圆片转移设备。

背景技术

硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。在晶圆封装测试的过程中，经常需要对晶圆进行转移，在转移时通常会将若干个晶圆片放置于晶圆盒内进行转移。

现有晶圆片的放置盒，一般都是通过在内部开设若干均匀分布的放置槽，对晶圆片进行放置，而后期在将若干晶圆片依次放置在放置槽内部后，相邻两晶圆片之间的间距较小，在需要对晶圆片进行拿取时，两晶圆片之间较小的间距，则会对工作人员的手指进行阻碍，不能使工作人员顺利将手指放置在晶圆片外部对晶圆片进行拿捏，进而增加了后期工作人员拿取晶圆片的难度。

因此，有必要提供一种新的晶圆片转移设备解决上述技术问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆片转移设备。

本实用新型提供的晶圆片转移设备包括：

底框和放置组件；

所述放置组件设置在底框内，所述放置组件包括第一放置框和第二放置框，所述第一放置框和第二放置框均设有若干个并相互交错分布，且若干所述第一放置框的外部与同一握杆外壁连接。

优选的，所述底框的顶部设有活动连接的顶盖，所述顶盖内部与第一放置框和第二放置框相对部位均设有挤压环，且所述顶盖顶部的两侧均设有把手。

优选的，所述底框的内部开设有若干安装槽，所述底框一侧与第一放置框外壁相抵部位均开设有通槽，所述安装槽的内壁与第一放置框的底部滑动连接，且所述安装槽的内壁与第二放置框的外壁固定连接。

优选的，所述底框外壁靠近通槽的一侧开设有连接孔，所述底框顶部的两侧均设有凸杆，且所述凸杆的外壁与顶盖的内壁滑动连接。

优选的，若干所述第一放置框靠近握杆的一侧均设有固定连接的连接条，若干所述连接条的端部均与握杆的外壁固定连接，所述连接条的外壁与通槽的内壁相抵并滑动连接，且所述底框外壁靠近握杆的一侧设有连接架。

优选的，所述连接架的内部插设有连接螺栓，且所述连接螺栓的端部延伸至对应连接孔的内壁并与其螺纹连接。

优选的，所述连接架内部的上方和下方均设有固定连接的磁条，每个所述连接条的顶部和底部均设有固定连接的磁片，所述磁片与对应磁条的外壁相抵且磁性相反并相互吸附。

与相关技术相比较，本实用新型提供的晶圆片转移设备具有如下有益效果：

1、本实用新型通过放置组件的设置，可使若干晶圆片形成上下交错分布状态，继而可扩大相邻两晶圆片之间的间距，使工作人员后期手指可顺利放置在晶圆片两侧对晶圆片进行拿捏，使后期对晶圆片的拿取更加方便。

2、本实用新型通过在底框上设置顶盖，当顶盖内部的挤压环与晶圆片的顶部相抵后可对晶圆片进行限位，使晶圆片的放置更加稳定，可避免后期在转移过程中晶圆片出现随意晃动。

附图说明

图1为本实用新型提供的晶圆片转移设备的一种较佳实施例的结构示意图；

图2为图1所示放置组件的结构示意图；

图3为图2所示A部分放大的结构示意图；

图4为图1所示顶盖的结构示意图；

图5为图1所示底框的结构示意图。

图中标号：1、底框；11、安装槽；12、通槽；13、连接孔；14、凸杆；2、顶盖；21、挤压环；22、把手；3、放置组件；31、第一放置框；32、第二放置框；33、连接架；331、磁条；34、握杆；341、连接条；342、磁片；4、连接螺栓。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。

请参阅图1至图5，本实用新型实施例提供的一种晶圆片转移设备，所述晶圆片转移设备包括：底框1和放置组件3。

在本实用新型的实施例中，请参阅图1、图2和图3，所述放置组件3设置在底框1内，所述放置组件3包括第一放置框31和第二放置框32，所述第一放置框31和第二放置框32均设有若干个并相互交错分布，且若干所述第一放置框31的外部与同一握杆34外壁连接，若干所述第一放置框31靠近握杆34的一侧均设有固定连接的连接条341，若干所述连接条341的端部均与握杆34的外壁固定连接，所述连接条341的外壁与通槽12的内壁相抵并滑动连接，且所述底框1外壁靠近握杆34的一侧设有连接架33，所述连接架33的内部插设有连接螺栓4，且所述连接螺栓4的端部延伸至对应连接孔13的内壁并与其螺纹连接，所述连接架33内部的上方和下方均设有固定连接的磁条331，每个所述连接条341的顶部和底部均设有固定连接的磁片342，所述磁片342与对应磁条331的外壁相抵且磁性相反并相互吸附。

需要说明的是：通过第一放置框31和第二放置框32的交错分布，当工作人员将握杆34向上提起，使握杆34通过连接片带动若干第一放置框31向上移动后，若干第一放置框31内部的晶圆片即可与若干第二放置框32内部的晶圆片，形成上下交错分布状态；

进而可扩大第一放置框31和第二放置框32中，相邻两晶圆片之间的间距，使工作人员后期手指可顺利放置在晶圆片两侧对晶圆片进行拿捏，使后期对晶圆片的拿取更加方便；

且通过磁片342的设置，当上方磁片342与连接架33中上方的磁条331相抵并相互吸附后，通过磁片342与磁条331之间的吸力，即可使第一放置框31稳定的位于底框1内部进行悬空，将晶圆片顶起，而下方磁片342与下方磁条331相吸附后，即可使第二放置框32和第二放置框32内部晶圆片的顶部处于同一水平位置，方便后期顶盖2中挤压条对晶圆片进行限位。

在本实用新型的实施例中，请参阅图1和图4，所述底框1的顶部设有活动连接的顶盖2，所述顶盖2内部与第一放置框31和第二放置框32相对部位均设有挤压环21，且所述顶盖2顶部的两侧均设有把手22。

需要说明的是：通过在顶盖2上设置把手22，可方便工作人员后期对顶盖2的拿取，同时由于顶盖2内部的挤压条为橡胶材质，后期当工作人员通过把手22将顶盖2卡在底框1上方，使挤压条与第一放置框31和第二放置框32内部的晶圆片相抵后，即可对晶圆片进行限位，可使晶圆片的放置更加稳定，可避免后期在转移过程中晶圆片出现随意晃动，造成晶圆片出现摩擦损坏的现象。

在本实用新型的实施例中，请参阅图1、图2和图5，所述底框1的内部开设有若干安装槽11，所述底框1一侧与第一放置框31外壁相抵部位均开设有通槽12，所述安装槽11的内壁与第一放置框31的底部滑动连接，且所述安装槽11的内壁与第二放置框32的外壁固定连接，所述底框1外壁靠近通槽12的一侧开设有连接孔13，所述底框1顶部的两侧均设有凸杆14，且所述凸杆14的外壁与顶盖2的内壁滑动连接。

需要说明的是：通过安装槽11的开设，可使放置组件3中的第一放置框31和第二放置框32均设置在底框1的内部，并使若干放置框均匀交错分布，且将第二放置框32与安装槽11固定连接，后期当工作人员通过握杆34将若干第一放置框31向上提起时，可使第一放置框31和第二放置框32的位置可顺利进行上下交错；

且通过通槽12的开设，当工作人员对握杆34进行控制时，连接条341即可顺利地穿过通槽12带动第一放置框31进行上下滑动；

而通过连接孔13的开设，当连接螺栓4穿过连接架33与连接孔13进行连接后，即可顺利地将连接架33固定安装在底框1的外壁上，后期当连接架33内部的磁条331与磁片342相吸附后，使连接架33可稳定的通过磁片342、连接条341对第一放置框31进行支撑；

同时通过凸杆14与顶盖2的设置，凸杆14后期即可对顶盖2与底框1的连接进行定位，使顶盖2内部的挤压条可顺利地与第一放置框31和第二放置框32内部的晶圆片相抵。

本实用新型提供的晶圆片转移设备的工作原理如下：

后期在使用本晶圆片转移设备时，人员首先可将顶盖2从底框1上取下，然后逐一将晶圆片放置在第一放置框31和第二放置框32的内部，然后可将顶盖2卡在底框1上方，并在凸杆14的外壁上拧入限位螺母，对顶盖2进行限位，此时顶盖2内部若干挤压环21的内壁即可顺利地与每一晶圆片的顶部相抵，完成对晶圆片进行限位，使晶圆片的放置更加稳定，可避免后期在转移过程中晶圆片出现随意晃动的现象；

当通过本装置将晶圆片转移至所需位置后，工作人员即可顶盖2取下，然后握持住握杆34，将握杆34向上提起滑动，此时滑动的握杆34即可顺利通过连接条341带动与其连接的第一放置框31向上移动，直至连接条341顶部的磁片342与上方磁条331相抵并相互吸附后，即可顺利地将第一放置框31内部的晶圆片向上顶起；

进而可使第一放置框31和第二放置框32内部的晶圆片进行上下交错分布，即可扩大上方或下方相邻两晶圆片之间的间距，使工作人员后期可更加方便地将手指放置在晶圆片外部对晶圆片进行拿取。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所做的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种晶圆片转移设备，其特征在于，包括：

底框(1)和放置组件(3)；

所述放置组件(3)设置在底框(1)内，所述放置组件(3)包括第一放置框(31)和第二放置框(32)，所述第一放置框(31)和第二放置框(32)均设有若干个并相互交错分布，且若干所述第一放置框(31)的外部与同一握杆(34)外壁连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆片转移设备，其特征在于，所述底框(1)的顶部设有活动连接的顶盖(2)，所述顶盖(2)内部与第一放置框(31)和第二放置框(32)相对部位均设有挤压环(21)，且所述顶盖(2)顶部的两侧均设有把手(22)。

3.根据权利要求2所述的晶圆片转移设备，其特征在于，所述底框(1)的内部开设有若干安装槽(11)，所述底框(1)一侧与第一放置框(31)外壁相抵部位均开设有通槽(12)，所述安装槽(11)的内壁与第一放置框(31)的底部滑动连接，且所述安装槽(11)的内壁与第二放置框(32)的外壁固定连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆片转移设备，其特征在于，所述底框(1)外壁靠近通槽(12)的一侧开设有连接孔(13)，所述底框(1)顶部的两侧均设有凸杆(14)，且所述凸杆(14)的外壁与顶盖(2)的内壁滑动连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆片转移设备，其特征在于，若干所述第一放置框(31)靠近握杆(34)的一侧均设有固定连接的连接条(341)，若干所述连接条(341)的端部均与握杆(34)的外壁固定连接，所述连接条(341)的外壁与通槽(12)的内壁相抵并滑动连接，且所述底框(1)外壁靠近握杆(34)的一侧设有连接架(33)。

6.根据权利要求5所述的晶圆片转移设备，其特征在于，所述连接架(33)的内部插设有连接螺栓(4)，且所述连接螺栓(4)的端部延伸至对应连接孔(13)的内壁并与其螺纹连接。

7.根据权利要求5所述的晶圆片转移设备，其特征在于，所述连接架(33)内部的上方和下方均设有固定连接的磁条(331)，每个所述连接条(341)的顶部和底部均设有固定连接的磁片(342)，所述磁片(342)与对应磁条(331)的外壁相抵且磁性相反并相互吸附。