CN219778867U - 一种晶圆存储盒的防坠落装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体设备技术领域，且公开了一种晶圆存储盒的防坠落装置，包括承载平台和防护件；所述承载平台上具有承载面，所述防护件设置于所述承载平台上，所述防护件上具有防护面，所述防护面和所述承载面相对设置。在本实用新型提供的一种晶圆存储盒的防坠落装置中，具有如下优点：通过承载平台、防护件和安装支架的配合设置，当机械手臂因特殊故障发生急停时，晶圆存储盒会受到惯性发生倾斜，晶圆存储盒会被防护件的防护面限位，以限制晶圆存储盒侧翻坠落，从而使得晶圆存储盒保持在承载区内，使其得到固定保护，从而避免晶圆存储盒的坠落，减少晶圆存储盒的意外损坏率，为晶圆存储盒提供有效保护。

Description

一种晶圆存储盒的防坠落装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种晶圆存储盒的防坠落装置。

背景技术

晶圆存储盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆存储盒来搬运和储存晶圆，因此晶圆存储盒在运输过程中应尽量减少碰撞和晃动，保持内部晶圆的稳定。

现有的新松晶圆存储盒存储柜的机械手臂在移动过程中，缺乏限位保护装置，当机械手臂发生特殊故障出现急停时，运行中的承载台受到惯性的影响，使得晶圆存储盒具有一定的倾斜动作，导致晶圆存储盒的一侧上升倾斜，从而导致晶圆存储盒的一侧脱离支撑脚的限位固定，进而脱离承载台的表面，非常容易出现因惯性导致其倾斜坠落，与地面发生碰撞，影响晶圆存储盒的保护功能，损坏内部晶圆。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆存储盒的防坠落装置，解决了机械手臂急停时晶圆存储盒的倾斜坠落技术问题。

为实现以上目的，本实用新型提出了一种晶圆存储盒的防坠落装置，包括承载平台和防护件；

所述承载平台上具有承载面，

所述防护件设置于所述承载平台上，所述防护件上具有防护面，所述防护面和所述承载面相对设置，且所述防护面和所述承载面之间具有用于放置晶圆存储盒的承载空间。

可选地，所述承载面和所述防护面平行。

可选地，所述防护件为圆盘状，所述防护件的中轴线垂直于所述承载面。

可选地，所述晶圆存储盒的防坠落装置还包括安装支架，所述安装支架连接于所述承载平台和所述防护件之间。

可选地，所述安装支架包括立式支架以及固定架，所述立式支架与所述防护件连接，所述固定架连接于所述立式支架与所述承载平台之间。

可选地，所述立式支架沿第一方向连接于所述承载平台的一侧，所述固定架设置有两个，且两个所述固定架沿第二方向分别连接于所述承载平台的两侧，所述第二方向垂直于所述第一方向。

可选地，所述立式支架包括第一支架和第二支架，所示第一支架与所述承载平台连接，所述第二支架连接于所述第一支架和所述防护件之间。

可选地，所述第二支架包括直立部和水平部，所述直立部沿第三方向延伸，所述第三方向垂直于所述承载面，所述水平部与所述直立部沿所述第三方向远离所述承载面的一端连接，所述水平部沿垂直于所述第三方向延伸，所述防护件与所述水平部连接。

可选地，所述承载平台的表面设有至少三个固定脚，所述固定脚用于限位晶圆存储盒。

可选地，所述固定架呈三角框架结构；和/或；所述承载平台为长方体结构；和/或，所述第一支架开设有凹槽；和或；所述水平部远离所述直立部的一端呈圆弧面，所述圆弧面的中轴线垂直于所述承载面，所述防护件与所述圆弧面连接。

在本实用新型中，将所述承载平台、防护件和安装支架组装后，把所述晶圆存储盒水平放置在所述承载区的表面，晶圆存储盒和承载区的水平方向保持平行，当机械手臂因特殊故障发生急停时，晶圆存储盒会受到惯性发生倾斜，晶圆存储盒会被防护件的防护面限位，以限制晶圆存储盒侧翻坠落，从而使得晶圆存储盒保持在承载区内，使其得到固定保护，从而避免晶圆存储盒的坠落，减少晶圆存储盒的意外损坏率，为晶圆存储盒提供有效保护。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型晶圆存储盒的防坠落装置的结构示意图；

图2为本实用新型晶圆存储盒的防坠落装置防护件的结构示意图；

图3为本实用新型晶圆存储盒的防坠落装置的爆炸结构示意图；

图4为本实用新型晶圆存储盒的防坠落装置的使用状态图。

图中：1-承载平台，101-承载面，2-防护件，201-防护面，3-固定架，4-第一支架，5-第二支架，501-直立部，502-水平部，6-固定脚，7-晶圆存储盒，a-第一方向，b-第二方向，c-第三方向。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型中，“外径”和“内径”对于圆形结构而言，对应的是直径尺寸，对于非圆形结构而言，内径指的是其内接圆的直径，外径指的是其外接圆的直径；“轴向”对于圆柱形杆状结构而言，对应的是其中轴线所在的方向，对于非圆柱的通道时，则轴向对应的是杆状结构的长度方向；

在本实用新型中，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“垂直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

本实用新型中，“近端”和“远端”是从使用产品的操作者角度来看相对于彼此的元件或动作的相对方位、相对位置、方向，尽管“近端”和“远端”并非是限制性的，本实施例中，“近端”和“远端”是对应部件中沿安装支架的高度方向对应的两端。

请参考图1至图4所示，本实施例中提供了一种晶圆存储盒的防坠落装置，包括承载平台1和防护件2，所述承载平台1上具有承载面101，所述承载面101为承载平台1的上表面，所述承载面101用于承载晶圆存储盒7，所述承载面101与所述晶圆存储盒7的底部平行，因此所述承载面101承载所述晶圆存储盒7时，在不受外力的影响下，所述晶圆存储盒7在承载面101的表面保持重心稳定，晶圆存储盒7不会滑动、倾斜和掉落出承载平台1。所述防护件2设置于所述承载平台1上，所述防护件2上具有防护面201，所述防护面201为防护件2的下表面，所述防护面201用于限位拦截发生倾斜的晶圆存储盒7，所述防护面201和所述承载面101相对设置，且所述防护面201和所述承载面101之间具有用于放置晶圆存储盒7的承载空间，所述承载面101和所述防护面201平行，因此所述防护面201与所述晶圆存储盒7的顶部平行。所述晶圆存储盒7承载于所述承载区101时，所述晶圆存储盒7和所述防护面201之间具有设定距离，此处对设定距离不做限定，其可以依据使用工况的需求适应性的调整，设定距离应小于晶圆存储盒7因急停发生倾斜后的位置变化的距离。设定距离的设置，便于晶圆存储盒7在承载平台1的日常摆放拿取，并机械手臂发生特殊故障急停后；晶圆存储盒7受到惯性发生上升或一侧倾斜时；所述晶圆存储盒7的上升倾斜一侧会被防护面201限位，防护面201能够限位和拦截晶圆存储盒7受到惯性的上升倾斜一侧，防止晶圆存储盒7发生过量位移，避免晶圆存储盒7侧翻掉落出承载平台1，利于对晶圆存储盒7的保护。

本实施例中，所述承载平台1为长方体结构，用于支撑长方体状的晶圆存储盒7。在其他可替代的实施例中，承载平台1可以为圆柱体等其他结构，具体结构可以适配于晶圆存储盒7的结构设置。

进一步的，所述防护件2为圆盘状，防护件2的中轴线垂直于所述承载面101，可以在发生急停后对晶圆存储盒7的顶部限位和阻挡，同时圆盘状的防护件2，其具有光滑的外轮廓，可防止晶圆存储盒6进行在取放过程中被划伤。

在其他可替代的实施中，防护件2的外形包括但不限于圆盘状，例如长方体，再例如半球体等可以对晶圆存储盒6进行限位和阻挡的外形均可。本实施例中对所述防护件2的材质不做限定，可以为金属材质，具有良好的耐磨性，提高使用寿命；或者，可以为橡胶材质，具有良好的柔韧性，在发生倾斜时柔软的防护面201可以缓冲撞击力，更好的保护晶圆存储盒7，减少晶圆存储盒7的震动；再或者，防护件2可以为气囊，具有充气膨胀性，在晶圆存储盒7运输时直接充气贴合在其表面，更好的减少晶圆存储盒7倾斜时的晃动，保护晶圆存储盒7内部的晶圆。

将所述晶圆存储盒7放置在所述承载区101的表面，所述防护件2位于所述晶圆存储盒7的上方，当机械手臂因特殊故障发生急停时，晶圆存储盒7会受到惯性从而发生倾斜，晶圆存储盒7的倾斜面会撞到防护面201后回弹，从而使得晶圆存储盒7保持在承载区101内，使其得到固定保护，从而避免晶圆存储盒7的坠落，减少晶圆存储盒7的意外损坏率，为晶圆存储盒7提供有效保护。

请参考图1所示，所述晶圆存储盒的防坠落装置还包括安装支架，所述安装支架连接于所述承载平台1和所述防护件2之间，所述承载平台1连接于所述安装支架的下端，所述防护件2连接于所述安装支架的上端；

所述安装支架包括立式支架以及固定架3，所述立式支架与所述防护件2连接；所述固定架3连接于所述立式支架与所述承载平台1之间，所述立式支架沿第一方向a连接于所述承载平台1的一侧，第一方向a为沿承载面101靠近安装支架的边，向承载面101远离安装支架的边延伸的方向，所述固定架3设置有两个，且两个所述固定架3沿第二方向b分别连接于所述承载平台1的两侧，所述第二方向b为沿承载面101的一边，垂直于所述第一方向a。所述固定架3可以使得立式支架和所述承载平台1之间稳定连接，所述固定架3呈三角框架结构，利用三角稳定原理，所述固定架3具有较强的承载力，当发生急停时，所述晶圆存储盒7会由于惯性，对所述承载平台1施加超过常态承载的压力，所述固定架3由于三角框架结构，使得所述固定架3不会由于承载力的加大导致发生形变。本实施例中，所述固定架3的侧沿具有翻边，翻边与立式支架连接；所述承载平台1的上沿具有边沿，所述三角框架的直角边抵在边沿底部，用以固定架3与承载平台1的连接。

在其他可替代的实施例中，所述固定架3的外形包括但不限于三角框架结构，例如长方体，再例如加强筋等可以使立式支架和所述承载平台1之间稳定连接的外形均可。

所述立式支架包括第一支架4和第二支架5，所示第一支架4与所述承载平台1连接，所述第一支架4的外形为梯形体和长方体的组合，所述梯形体的下底和所述长方体的上顶连接，所述第二支架5连接于所述第一支架4和所述防护件2之间，所述第二支架5连接于所述第一支架4的所述梯形体区域，所述固定架3连接于所述第一支架4的所述长方体区域，所述第二支架5包括直立部501和水平部502，所述直立部501沿第三方向c延伸，所述第三方向c垂直于所述承载面1，所述直立部501为第二支架5与第一支架4连接的部分，可以使得其上方的防护件2与承载平台1之间保持相对位置关系不变，所述第一支架4和常规起重机轨道适配，可以在起重机轨道内依靠机械手臂带动承载平台1上下移动，所述水平部502与所述直立部501沿所述第三方向c远离所述承载面101的一端连接，所述水平部502沿垂直于所述第三方向c延伸，所述防护件2与所述水平部502连接，保持所述防护件2的稳定，使得防护件2可以限位拦截发生位移的晶圆存储盒7。

在其他可替代的实施例中，所述水平部远离所述直立部的一端呈圆弧面，所述圆弧面的中轴线垂直于所述承载面补充水平部502的圆弧结构，所述圆弧面与所述防护件2的圆盘状边缘的弧度相同，所述圆弧面可以使得水平部502与所述防护件2更好的贴合连接。

所述固定架3和第一支架4的连接方式可以是通过所述第一支架4的长方体区域沿第二方向b的两端的表面设置有卡槽或通孔，所述固定架3侧沿的翻边卡设于所述卡槽或通孔中；或者，所述固定架3通过胶剂连接或焊接方式安装于所述第一支架4的长方体区域；或者，所述固定架3侧沿的翻边设置有一螺钉，所述第一支架4的长方体区域沿第二方向b的两端的表面设置有螺纹孔，所述螺钉穿过所述固定架3上沿的翻边固定于所述螺纹孔中。所述固定架3和承载平台1的连接方式均可通过上述固定架3和第一支架4的连接方式固定；所述第一支架4和水平部502的连接方式均可通过上述固定架3和第一支架4的连接方式固定；所述水平部502和防护件2的连接方式均可通过上述固定架3和第一支架4的连接方式固定，在此不做过多叙述。

值得注意的是，所述水平部502和防护件2的连接也可以是通过合页活动连接，其连接处通过合页和双面弹簧设有活动范围，在其活动范围内晶圆存储盒7的倾斜不会坠落，活动范围的设置可以缓解晶圆存储盒7发生倾斜时的冲击力，降低晶圆存储盒7和防护件2的撞击力，保护晶圆存储盒7，由于晶圆存储盒7内部存储晶圆，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，耐撞性较差，因此应减少发生急停时晶圆存储盒7的撞击震动。

进一步，请参考图2所示，所述直立部501和水平部502均为长方体结构，具有连接作用，包括但不限于，任意可以连接的结构均可；所述直立部501的高度具有设定高度，此处对设定高度不做限定，其可以依据使用工况的需求适应性的调整，所述设定高度内可以容纳晶圆存储盒7，同时使得防护件2对晶圆存储盒7的倾斜具有限定保护作用。

在其他可替代的实施例中，为了承载平台1适配不同高度型号的晶圆存储盒7，可以将直立部501设置为沿第三方向c可伸缩的两段式结构，两段之间通过丝杆连接，可以通过丝杆调节直立部501的整体长度，便于承载平台1适配不同宽度型号的晶圆存储盒7，提高实用性；再或者，直立部501可以替换为现有的伸缩杆，通过伸缩杆控制防护件2的高度位置，晶圆存储盒7放置在承载平台1后，控制伸缩杆降低高度，使得防护件2持续贴合晶圆存储盒7，更好的减少发生急停时晶圆存储盒7的晃动，保护晶圆存储盒7内部的晶圆。

在本实施例中，所述承载面101的表面设有三个固定脚6，所述固定脚6的轴线与所述第三方向c平行，且所述轴线与所述第一方向a垂直，所述晶圆存储盒7的底部相应位置设有卡槽，所述晶圆存储盒7设置于所述固定脚6的顶部时，所述固定脚6卡设于所述卡槽内，所述固定脚6用于支撑并限位固定晶圆存储盒7，所述固定脚6为圆柱体，三个所述固定脚6呈三角形设置，所述晶圆存储盒7承载于所述承载面101时，所述若干个固定脚6分布在所述晶圆存储盒7的底部，所述晶圆存储盒7的重心和所述三角形的内接圆的中心一致，使得晶圆存储盒7在所述固定脚6的表面更加稳定，固定脚6可以在承载平台1正常上下前后移动时，固定脚6保持对晶圆存储盒7的持续限位固定。

在其他可替代的实施例中，固定脚6可以设置四个或更多个，其具体数量可以基于实际使用需求适应性的调整。

综上所述，在本实用新型提供的一种晶圆存储盒的防坠落装置中，具有如下优点：通过承载平台1、防护件2和安装支架的配合设置，当机械手臂因特殊故障发生急停时，晶圆存储盒7会受到惯性发生倾斜，晶圆存储盒7的倾斜面会撞到防护面201后回弹，从而使得晶圆存储盒7保持在承载区101内，使其得到固定保护，从而避免晶圆存储盒7的坠落，减少晶圆存储盒7的意外损坏率，为晶圆存储盒7提供有效保护。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆存储盒的防坠落装置，其特征在于：包括承载平台和防护件；

所述承载平台上具有承载面，

所述防护件设置于所述承载平台上，所述防护件上具有防护面，所述防护面和所述承载面相对设置，且所述防护面和所述承载面之间具有用于放置晶圆存储盒的承载空间。

2.根据权利要求1所述的晶圆存储盒的防坠落装置，其特征在于：所述承载面和所述防护面平行。

3.根据权利要求1所述的晶圆存储盒的防坠落装置，其特征在于：所述防护件为圆盘状，所述防护件的中轴线垂直于所述承载面。

4.根据权利要求1所述的晶圆存储盒的防坠落装置，其特征在于：所述晶圆存储盒的防坠落装置还包括安装支架，所述安装支架连接于所述承载平台和所述防护件之间。

5.根据权利要求4所述的晶圆存储盒的防坠落装置，其特征在于：所述安装支架包括立式支架以及固定架，所述立式支架与所述防护件连接，所述固定架连接于所述立式支架与所述承载平台之间。

6.根据权利要求5所述的晶圆存储盒的防坠落装置，其特征在于：所述立式支架沿第一方向连接于所述承载平台的一侧，所述固定架设置有两个，且两个所述固定架沿第二方向分别连接于所述承载平台的两侧，所述第二方向垂直于所述第一方向。

7.根据权利要求6所述的晶圆存储盒的防坠落装置，其特征在于：所述立式支架包括第一支架和第二支架，所示第一支架与所述承载平台连接，所述第二支架连接于所述第一支架和所述防护件之间。

8.根据权利要求7所述的晶圆存储盒的防坠落装置，其特征在于：所述第二支架包括直立部和水平部，所述直立部沿第三方向延伸，所述第三方向垂直于所述承载面，所述水平部与所述直立部沿所述第三方向远离所述承载面的一端连接，所述水平部沿垂直于所述第三方向延伸，所述防护件与所述水平部连接。

9.根据权利要求1所述晶圆存储盒的防坠落装置，其特征在于：所述承载平台的表面设有至少三个固定脚，所述固定脚用于支撑并限位晶圆存储盒。

10.根据权利要求8所述晶圆存储盒的防坠落装置，其特征在于：所述固定架呈三角框架结构；和/或；所述承载平台为长方体结构；和或；所述水平部远离所述直立部的一端呈圆弧面，所述圆弧面的中轴线垂直于所述承载面，所述防护件与所述圆弧面连接。