CN219689938U - 一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，包括单晶炉体，单晶炉体顶侧设置有副室炉，所述副室炉与延长炉之间固定连接有下法兰，延长炉顶侧固定连接有上法兰，所述副室炉顶侧设置有伸缩组件；所述伸缩组件还包括延长炉外壁设置的螺纹杆，螺纹杆的两端均设置有固定座，其中一端所述固定座顶侧固定连接有电机，螺纹杆外壁螺纹连接有丝杠滑台，丝杠滑台内侧固定连接有电磁铁，伸缩组件包括副室炉顶侧固定连接的延长炉，延长炉顶侧伸缩连接有伸缩炉，所述伸缩炉下端为喇叭形结构，伸缩炉两侧固定连接有滑块，伸缩炉顶侧设置有提升机构。本装置可以对单晶炉体的高度进行调节，从而满足生产不同长度的单晶硅棒，增加产量，提高生产效率。
Description
技术领域：
本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉。
背景技术：
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉主要用于单晶硅棒的生产，而现有的单晶炉高度有限，现有公开方案中201220608693.9、一种单晶炉的副室延伸段，提供的单晶炉的副室延伸段，因为其能够使的单晶炉生产出长度更长的单晶硅棒，这样就可以使单次生产的装料量更大，显著提升单晶炉的产量，进而降低生产成本。但是该技术方案仍存在不足，该单晶炉不能进行调节，同时单晶炉存在距离屋顶的距离较长的问题，浪费了大量的空间，单晶炉固定高度导致无法满足对于较长单晶硅棒生产的需求，因此需要进行改进。
实用新型内容：
本实用新型的目的在于提供一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，以解决上述背景技术提出的单晶炉的高度无法调节的问题。
本实用新型由如下技术方案实施：一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，包括单晶炉体，单晶炉体顶侧设置有副室炉，所述副室炉顶侧设置有伸缩组件；
伸缩组件包括副室炉顶侧固定连接的延长炉，延长炉顶侧伸缩连接有伸缩炉，伸缩炉顶侧设置有提升机构。
优选的，所述副室炉与延长炉之间固定连接有下法兰，延长炉顶侧固定连接有上法兰。
优选的，所述伸缩组件还包括延长炉外壁设置的螺纹杆，螺纹杆的两端均设置有固定座，其中一端所述固定座顶侧固定连接有电机，螺纹杆外壁螺纹连接有丝杠滑台，丝杠滑台内侧固定连接有电磁铁。
优选的，所述伸缩炉下端为喇叭形结构，伸缩炉两侧固定连接有滑块。
优选的，所述延长炉内壁设置有连接环，连接环内壁开设有滑槽，所述滑槽内壁固定连接有倒齿，倒齿关于连接环内壁呈纵向等间距分布，所述滑槽两端开设有凹槽，所述凹槽内部插设有滑块。
优选的，所述滑块一侧转动连接有限位板，限位板为倾斜结构，限位板一端与倒齿接触，限位板与滑块通过转轴连接，所述转轴上套设有扭力弹簧。
优选的，所述伸缩炉外壁固定连接有密封条，密封条位于上法兰内壁，密封条位于连接环顶侧。
本实用新型的优点：
(1)、本装置可以对单晶炉体的高度进行调节，从而满足生产不同长度的单晶硅棒，增加产量，提高生产效率。
(2)、本装置通过在单晶炉体顶侧的副室炉顶部设置延长炉，延长炉内部设置自动伸缩的伸缩炉，从而通过调节伸缩炉的长度实现对单晶炉体整体高度的调节，满足生产不同长度的单晶硅棒的需求，增加产量，提高生产效率。
(3)、本装置通过在延长炉内部设置连接环与伸缩炉外壁的滑块连接，从而可以在伸缩炉移动的过程中可以保持稳定。
附图说明：
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉结构示意图；
图2为本实用新型一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉的图1中A处放大图；
图3为本实用新型一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉的延长炉俯剖图；
图4为本实用新型一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉的图3中B处放大图。
图中：1、单晶炉体；2、提升机构；3、伸缩组件；31、伸缩炉；32、螺纹杆；33、延长炉；34、倒齿；35、限位板；36、滑块；37、连接环；38、电机；39、固定座；310、丝杠滑台；311、扭力弹簧；312、电磁铁；313、密封条；4、上法兰；5、下法兰；6、副室炉。
具体实施方式：
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，包括单晶炉体1，单晶炉体1顶侧设置有副室炉6，副室炉6与延长炉33之间固定连接有下法兰5，延长炉33顶侧固定连接有上法兰4；此结构通过设置上法兰4和下法兰5可以保证延长炉33与副室炉6和伸缩炉31之间连接的密封性；副室炉6顶侧设置有伸缩组件3；伸缩组件3还包括延长炉33外壁设置的螺纹杆32，延长炉33与螺纹杆32不接触，螺纹杆32的两端均设置有固定座39螺纹杆32与固定座39转动连接，其中一端固定座39顶侧固定连接有电机38，顶侧的固定座39通过螺栓与电机38外壁固定连接，螺纹杆32外壁螺纹连接有丝杠滑台310，丝杠滑台310内侧固定连接有电磁铁312；此结构通过电机38可以驱动螺纹杆32转动，螺纹杆32在转动的过程中可以带动丝杠滑台310进行纵向运动，从而使丝杠滑台310带动电磁铁312同步运动；
伸缩组件3包括副室炉6顶侧固定连接的延长炉33，延长炉33内壁设置有连接环37，延长炉33与连接环37一体连接，连接环37内壁开设有滑槽，滑槽内壁固定连接有倒齿34，倒齿34关于连接环37内壁呈纵向等间距分布，滑槽两端开设有凹槽，凹槽内部插设有滑块36；此结构滑块36与连接环37滑动连接从而可以使伸缩炉31在滑动过程中更加稳定。
副室炉6与延长炉33为一体连接，延长炉33顶侧伸缩连接有伸缩炉31，伸缩炉31下端为喇叭形结构，伸缩炉31两侧固定连接有滑块36，滑块36内嵌有铁块，铁块与电磁铁312磁性吸附连接；此结构在电磁铁312移动时可以通过磁性同步带动滑块36和伸缩炉31进行移动，从而实现伸缩炉31的升降。
在一实施例中，滑块36一侧转动连接有限位板35，滑块36左侧转动连接有限位板35，限位板35为倾斜结构，限位板35一端与倒齿34接触，限位板35下端支撑在倒齿34上，限位板35与滑块36通过转轴连接，转轴上套设有扭力弹簧311；此结构在扭力弹簧311的作用下可以使限位板35始终支撑在倒齿34上，使滑块36只能向上移动，不能向下转动，如需要使滑块36向下移动可以通过延长炉33上的检修门，手动转动限位板35上的转轴，使限位板35远离倒齿34，这时即可将伸缩炉31收入到延长炉33内部。
在一实施例中，伸缩炉31外壁固定连接有密封条313，密封条313位于上法兰4内壁，密封条313位于连接环37顶侧；此结构通过设置密封条313可以有效避免伸缩炉31与上法兰4和延长炉33之间的缝隙进水；伸缩炉31顶侧设置有提升机构2；本装置通过提升机构2可以实现单晶炉体1内部单晶硅棒从单晶炉体1至伸缩炉31内部的拉直加工。
工作原理：在使用该可伸缩式单晶硅棒生产副炉时，首先如需要对副室炉6的长度进行调节，则可以启动电机38，使电机38驱动螺纹杆32转动，螺纹杆32在转动的过程中带动丝杠滑台310和电磁铁312从下至上移动，而电磁铁312在移动的过程中通过磁力影响带动滑块36以及伸缩炉31从延长炉33的内部慢慢伸出，伸缩炉31在移动的过程中滑块36上的限位板35向右侧转动，从而使滑块36顺利在连接环37内部滑动，当伸缩炉31升至合适高度后停止，则限位板35在扭力弹簧311的作用下支撑在倒齿34的间距中不会下降高度，如需要将伸缩炉31复位，则需要将延长炉33的检修门打开，手动转动限位板35，使限位板35远离倒齿34后，通过丝杠滑台310的从上至下移动带动伸缩炉31回到延长炉33内部。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，包括单晶炉体(1)，单晶炉体(1)顶侧设置有副室炉(6)，其特征在于：所述副室炉(6)顶侧设置有伸缩组件(3)；
伸缩组件(3)包括副室炉(6)顶侧固定连接的延长炉(33)，延长炉(33)顶侧伸缩连接有伸缩炉(31)，伸缩炉(31)顶侧设置有提升机构(2)。
2.根据权利要求1所述的一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，其特征在于：所述副室炉(6)与延长炉(33)之间固定连接有下法兰(5)，延长炉(33)顶侧固定连接有上法兰(4)。
3.根据权利要求1所述的一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，其特征在于：所述伸缩组件(3)还包括延长炉(33)外壁设置的螺纹杆(32)，螺纹杆(32)的两端均设置有固定座(39)，其中一端所述固定座(39)顶侧固定连接有电机(38)，螺纹杆(32)外壁螺纹连接有丝杠滑台(310)，丝杠滑台(310)内侧固定连接有电磁铁(312)。
4.根据权利要求1所述的一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，其特征在于：所述伸缩炉(31)下端为喇叭形结构，伸缩炉(31)两侧固定连接有滑块(36)。
5.根据权利要求1所述的一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，其特征在于：所述延长炉(33)内壁设置有连接环(37)，连接环(37)内壁开设有滑槽，所述滑槽内壁固定连接有倒齿(34)，倒齿(34)关于连接环(37)内壁呈纵向等间距分布，所述滑槽两端开设有凹槽，所述凹槽内部插设有滑块(36)。
6.根据权利要求4所述的一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，其特征在于：所述滑块(36)一侧转动连接有限位板(35)，限位板(35)为倾斜结构，限位板(35)一端与倒齿(34)接触，限位板(35)与滑块(36)通过转轴连接，所述转轴上套设有扭力弹簧(311)。
7.根据权利要求1所述的一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，其特征在于：所述伸缩炉(31)外壁固定连接有密封条(313)，密封条(313)位于上法兰(4)内壁，密封条(313)位于连接环(37)顶侧。
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