CN219658660U - 一种石英窗保温装置、等离子体反应设备及半导体加工机台 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种石英窗保温装置、等离子体反应设备及半导体加工机台，所述石英窗保温装置包括缸体和石英窗，所述缸体从上至下包括第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体被所述石英窗分隔，所述第一腔体对应的缸体壁上设有通风孔，所述通风孔内对应设有热风扇，所述热风扇用于向所述第一腔体中输送热气。本实用新型能够及时加热石英窗，控制石英窗的温度，减少设备预热时间，提升产品良品率。

Description

一种石英窗保温装置、等离子体反应设备及半导体加工机台

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种石英窗保温装置、等离子体反应设备及半导体加工机台。

背景技术

变压器耦合等离子体石英窗(英文名称TCPwindow)是半导体加工机台中的重要部件，其温度对产品良品率有着直接影响。当半导体加工机台出现宕机情况或者暂停使用后，变压器耦合等离子体石英窗温度会降低，导致半导体加工机台恢复启动后需要对其进行较长时间的预热才能继续生产，这样便造成了时间的浪费。针对此类问题，目前业内缺乏一种简便高效的解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石英窗保温装置、等离子体反应设备及半导体加工机台，以实现及时加热石英窗，控制石英窗的温度，减少设备预热时间，提升产品良品率。

为实现上述目的，本实用新型提供一种石英窗保温装置，包括缸体和石英窗，所述缸体从上至下包括第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体被所述石英窗分隔，所述第一腔体对应的缸体壁上设有通风孔，所述通风孔内对应设有热风扇，所述热风扇用于向所述第一腔体中输送热气。

可选的，所述第一腔体对应的缸体壁上设有多个所述通风孔，每一个所述通风孔对应设有所述热风扇。

可选的，多个所述通风孔沿所述缸体的周向均匀设置。

可选的，所述第一腔体中设有温度传感器，所述温度传感器用于检测所述第一腔体中的温度和\或所述石英窗的温度。

可选的，所述温度传感器与一报警装置通信连接，所述报警装置被配置为根据所述温度传感器检测到的温度，发出提示信息。

可选的，所述温度传感器与所述热风扇均与一控制器通信连接，所述控制器被配置为根据所述温度传感器检测到的温度，控制所述热风扇的功率和\或开关。

可选的，所述热风扇在所述通风孔处与所述缸体之间为可拆卸式连接。

可选的，所述缸体从上至下包括可拆卸式连接的第一子缸体和第二子缸体，所述第一子缸体内设有所述第一腔体，所述第二子缸体内设有所述第二腔体。

本实用新型还提供一种等离子体反应设备，包括上述任一项所述的石英窗保温装置。

本实用新型还提供一种半导体加工机台，包括上述任一项所述的等离子体反应设备。

本实用新型提供的石英窗保温装置、等离子体反应设备及半导体加工机台具有如下有益效果：

本实用新型提供的石英窗保温装置，包括缸体和石英窗，所述缸体从上至下包括第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体被所述石英窗分隔，所述第一腔体对应的缸体壁上设有通风孔，所述通风孔内对应设有热风扇，所述热风扇用于向所述第一腔体中输送热气。在使用本实用新型时，开启所述热风扇，所述热风扇会输送热气进入所述第一腔体，从而实现及时加热石英窗，控制石英窗的温度，减少设备预热时间，提升产品良品率。

由于本实用新型提供的等离子体反应设备包括上文所述的石英窗保温装置，因此本实用新型提供的等离子体反应设备能够实现及时加热石英窗，控制石英窗的温度，减少设备预热时间，提升产品良品率。

由于本实用新型提供的半导体加工机台包括上文所述的石英窗保温装置，因此本实用新型提供的半导体加工机台能够实现及时加热石英窗，控制石英窗的温度，减少设备预热时间，提升产品良品率。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的石英窗保温装置的剖视图；

图2为本实用新型一实施例提供的石英窗保温装置的方框结构示意图；

其中，附图标记如下：

1-缸体；11-第一腔体；12-第二腔体；

2-石英窗；

3-热风扇；

100-温度传感器；200-报警装置；300-控制器。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

应当明白，当元件或层被称为"在…上"、"连接到"其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、连接其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为"直接在…上"、"直接连接到"其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本实用新型教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。空间关系术语例如“在……之下”、“在下面”、“下面的”、“在……之上”、“在上面”、“上面的”等，在这里可为了方便描述而被使用从而描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语意图还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，然后，描述为“在……之下”、“在下面”、“下面的”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。器件可以另外地取向(旋转90度或其它取向)并且在此使用的空间描述语相应地被解释。在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本实用新型的限制。在此使用时，单数形式的"一"、"一个"和"所述/该"也意图包括复数形式，除非上下文清楚地指出另外的方式。还应明白术语“包括”用于确定可以特征、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语"和/或"包括相关所列项目的任何及所有组合。

本实用新型的目的在于提供一种石英窗保温装置、等离子体反应设备及半导体加工机台，以实现及时加热石英窗，控制石英窗的温度，减少设备预热时间，提升产品良品率。

为实现上述目的，本实用新型提供一种石英窗保温装置，请参考图1，图1为本实用新型一实施例提供的石英窗保温装置的剖视图。如图1所示，所述石英窗保温装置包括缸体1和石英窗2，所述缸体1从上至下包括第一腔体11和第二腔体12，所述第一腔体11和所述第二腔体12被所述石英窗2分隔，所述第一腔体11对应的缸体壁上设有通风孔，所述通风孔内设有热风扇3，所述热风扇3用于向所述第一腔体11中输送热气。在使用本实用新型时，开启所述热风扇3，所述热风扇3会输送热气进入所述第一腔体11，从而实现及时加热石英窗2，控制石英窗2的温度，减少设备预热时间，提升产品良品率。需要说明的是，当本实用新型提供的石英窗保温装置应用于等离子体反应设备时，所述第二腔体12可用于设置等离子体反应设备的相关线路与部件。所述第一腔体11在提供热气流动空间的同时也可以对所述石英窗2起到保护作用，有效防止等离子体外溢。

应理解，本实用新型中所述通风孔的位置和数量可以根据需求灵活设置，在一种示范性的实施例中，所述通风孔有多个，每一个所述通风孔内对应设有所述热风扇3。进一步的，多个所述通风孔沿所述缸体的周向均匀设置。具体的，请参考图1，可以是两个所述通风孔，每个所述通风孔内对应设置一个所述热风扇3。如此设置，可以使热气的流动更加均匀，更简便地实现对所述石英窗2的均匀加热。

请参考图2，图2为本实用新型一实施例提供的石英窗保温装置的方框结构示意图。如图2所示，优选的，所述第一腔体11中可设有温度传感器100，所述温度传感器100用于检测所述第一腔体11中的温度和\或所述石英窗2的温度。如此设置可以实现对所述石英窗保温装置温度的实时监测，方便操作人员控制所述石英窗保温装置。应理解，所述温度传感器100可以是气温计等实体模块，在此不再赘述。

进一步的，所述温度传感器100可与一报警装置200通信连接，所述报警装置200被配置为根据所述温度传感器100检测到的温度，发出提示信息。如此设置，可以实现及时提醒操作人员使用本实用新型进行对石英窗的及时加热。在一个示范性的实施例中，可在所述第一腔体温度下降至40摄氏度以下时进行提示。

请继续参考图2，进一步的，所述温度传感器100、所述报警装置200和所述热风扇3均与一控制器300相连，所述控制器300被配置为根据所述温度传感器100所检测到的温度，控制所述热风扇3的功率和\或开关，具体的，可以是在所述第一腔体11的温度低于第一预设温度时开启所述热风扇3，在所述第一腔体11的温度高于第二预设温度时关闭所述热风扇3。如此设置，本实用新型实现了石英窗保温装置的自动控制及自我调节。应理解，也可以配合操作人员的手动控制，在此不做赘述。

优选的，所述热风扇3在所述通风孔处与所述缸体1可拆卸式连接。基于同样的构思，也可以进行如下设置：所述缸体1从上至下包括可拆卸式连接的第一子缸体和第二子缸体，所述第一子缸体内设有所述第一腔体11，所述第二子缸体内设有所述第二腔体12。如此设置，可以实现所述石英窗保温装置的可拆卸组装，方便对所述石英窗2的检修与更换。

本实用新型还提供一种等离子体反应设备，包括上述任一所述的石英窗保温装置。由于本实用新型提供的等离子体反应设备包括上文所述的石英窗保温装置，因此本实用新型提供的等离子体反应设备能够实现及时加热石英窗，控制石英窗的温度，减少设备预热时间，提升产品良品率。

本实用新型还提供一种半导体加工机台，包括上述任一所述的等离子体反应设备。由于本实用新型提供的半导体加工机台包括上文所述的石英窗保温装置，因此本实用新型提供的半导体加工机台能够实现及时加热石英窗，控制石英窗的温度，减少设备预热时间，提升产品良品率。

需要说明的是，本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的系统而言，由于与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

还需要说明的是，虽然本实用新型已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本实用新型。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围。

还应当理解的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。

此外还应该认识到，此处描述的术语仅仅用来描述特定实施例，而不是用来限制本实用新型的范围。必须注意的是，此处的以及所附权利要求中使用的单数形式“一个”和“一种”包括复数基准，除非上下文明确表示相反意思。例如，对“一个步骤”或“一个装置”的引述意味着对一个或多个步骤或装置的引述，并且可能包括次级步骤以及次级装置。应该以最广义的含义来理解使用的所有连词。以及，词语“或”应该被理解为具有逻辑“或”的定义，而不是逻辑“异或”的定义，除非上下文明确表示相反意思。此外，本实用新型实施例的实现可包括手动、自动或组合地执行所选任务。

Claims (10)

1.一种石英窗保温装置，其特征在于，包括缸体和石英窗，所述缸体从上至下包括第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体被所述石英窗分隔，所述第一腔体对应的缸体壁上设有通风孔，所述通风孔内对应设有热风扇，所述热风扇用于向所述第一腔体中输送热气。

2.如权利要求1所述的石英窗保温装置，其特征在于，所述第一腔体对应的缸体壁上设有多个所述通风孔，每一个所述通风孔内均对应设有一个所述热风扇。

3.如权利要求2所述的石英窗保温装置，其特征在于，多个所述通风孔沿所述缸体的周向均匀设置。

4.如权利要求1所述的石英窗保温装置，其特征在于，所述第一腔体中设有温度传感器，所述温度传感器用于检测所述第一腔体中的温度和\或所述石英窗的温度。

5.如权利要求4所述的石英窗保温装置，其特征在于，所述温度传感器与一报警装置通信连接，所述报警装置被配置为根据所述温度传感器检测到的温度，发出提示信息。

6.如权利要求4所述的石英窗保温装置，其特征在于，所述温度传感器和所述热风扇均与一控制器相连，所述控制器被配置为根据所述温度传感器检测到的温度，控制所述热风扇的功率和\或开关。

7.如权利要求1所述的石英窗保温装置，其特征在于，所述热风扇在所述通风孔处与所述缸体可拆卸式连接。

8.如权利要求1所述的石英窗保温装置，其特征在于，所述缸体从上至下包括可拆卸式连接的第一子缸体和第二子缸体，所述第一子缸体内设有所述第一腔体，所述第二子缸体内设有所述第二腔体。

9.一种等离子体反应设备，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一所述的石英窗保温装置。

10.一种半导体加工机台，其特征在于，包括如权利要求9所述的等离子体反应设备。