CN219653121U - 一种真空室用高温cvd加热线圈组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空室用高温CVD加热线圈组件，属于CVD技术领域，该真空室用高温CVD加热线圈组件包括组装壳；以及多组可拆卸加热机构，每组可拆卸加热机构均由放置槽、多个对接块，多个加热丝、多个插接孔、两个插接螺栓、连接板和两个螺母组成，在单组加热丝损坏需要进行更换时，可以将两个插接螺栓从两个插接孔内进行抽出，而后便可以将两个对接块进行滑动并将其之间固定连接的加热丝进行更换，而后重新连接至放置槽内，通过这样的设计使得单个加热丝损坏时，也可以进行更换，进而提高本装置的维修和更换的便捷性，进而减小本装置的使用成本。

Description

一种真空室用高温CVD加热线圈组件

技术领域

本实用新型属于CVD技术领域，具体涉及一种真空室用高温CVD加热线圈组件。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。

授权公开号“CN212505061U”记载了“本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件，包括外框，所述外框的外侧固定安装有拼装吊装块，所述外框的底部分别固定安装有支脚与底部托板，所述外框的内部固定安装有耐火材料，所述耐火材料的内部嵌装有电阻丝，该用于CVD涂层设备加热罩内的加热丝组件，通过用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内，代替一个整体的形式，因而可分别独立控制多个加热丝组件，也可差异化控制各加热丝组件的温度，因采用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内，每个加热丝组件体积和重量相对于一个整体的加热丝组件而言，体积要小，重量又轻，方便安装和维护。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利”。

上述专利可以通过多个加热丝的组装，以及多个加热丝之间的独立控制，来达到加热丝的准确控温和提高其加热效果，但上述专利中的加热丝固定连接于耐火材料内，而耐火材料固定连接于外框内，这就以为着加热丝无法拆卸，而上述专利中加热丝设有多个，如个别加热丝损坏，就无法对其进行更换，且单个加热丝损坏时会极大地影响整体加热装置的加热效果，就必须对加热装置整体进行更换，不仅浪费加热丝，而增加了加热装置的使用成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空室用高温CVD加热线圈组件，旨在解决现有技术中加热丝固定连接于耐火材料内，而耐火材料固定连接于外框内，这就以为着加热丝无法拆卸，而上述专利中加热丝设有多个，如个别加热丝损坏，就无法对其进行更换，且单个加热丝损坏时会极大地影响整体加热装置的加热效果，就必须对加热装置整体进行更换，不仅浪费加热丝，而增加了加热装置的使用成本的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空室用高温CVD加热线圈组件，包括：

组装壳；以及

多组可拆卸加热机构，每组所述可拆卸加热机构均由放置槽、多个对接块，多个加热丝、多个插接孔、两个插接螺栓、连接板和两个螺母组成，所述放置槽开设于组装壳的上端，多个所述对接块均滑动设于放置槽内，多个所述加热丝固定连接于多个对接块的相靠近端，两个所述插接孔开设于多个对接块的上端和组装壳的下端，所述连接板设于放置槽内，两个所述插接螺栓均固定连接于连接板的下端，且两个插接螺栓分别插接于两个插接孔内，两个所述螺母分别螺纹连接于两个插接螺栓的圆周表面。

作为本实用新型一种优选的方案，两个所述插接螺栓的圆周表面套设有上垫片，所述上垫片位于放置槽内。

作为本实用新型一种优选的方案，所述组装壳的圆周内壁开设有多个补热槽，多个所述补热槽内均固定连接有发热杆。

作为本实用新型一种优选的方案，两个所述插接螺栓的圆周表面套设有下垫片，所述下垫片位于两个螺母的上端。

作为本实用新型一种优选的方案，多个所述对接块的一端均固定连接有温度监测器，所述温度监测器和外部终端信号连接。

作为本实用新型一种优选的方案，所述组装壳的圆周表面固定连接有多个连接螺板，多个所述连接螺板内螺纹连接有连接螺栓。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本方案中，在单组加热丝损坏需要进行更换时，可以将两个插接螺栓从两个插接孔内进行抽出，而后便可以将两个对接块进行滑动并将其之间固定连接的加热丝进行更换，而后重新连接至放置槽内，通过这样的设计使得单个加热丝损坏时，也可以进行更换，进而提高本装置的维修和更换的便捷性，进而减小本装置的使用成本。

2、本方案中，通过补热槽内固定连接的发热杆，可以对本装置整体的加热效果进行加强，提高本装置的加热效率和效果，而通过上垫片可以防止多个对接块脱离放置槽，进而提高本装置的稳定性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型中的主视立体图；

图2为本实用新型中的主剖立体图；

图3为本实用新型中的仰视立体图。

图中：1、组装壳；2、连接螺板；3、连接螺栓；4、补热槽；5、发热杆；6、放置槽；7、连接板；8、插接螺栓；9、对接块；10、加热丝；11、温度监测器；12、插接孔；13、下垫片；14、螺母；15、上垫片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：

一种真空室用高温CVD加热线圈组件，包括：

组装壳1；以及

多组可拆卸加热机构，每组可拆卸加热机构均由放置槽6、多个对接块9，多个加热丝10、多个插接孔12、两个插接螺栓8、连接板7和两个螺母14组成，放置槽6开设于组装壳1的上端，多个对接块9均滑动设于放置槽6内，多个加热丝10固定连接于多个对接块9的相靠近端，两个插接孔12开设于多个对接块9的上端和组装壳1的下端，连接板7设于放置槽6内，两个插接螺栓8均固定连接于连接板7的下端，且两个插接螺栓8分别插接于两个插接孔12内，两个螺母14分别螺纹连接于两个插接螺栓8的圆周表面。

在本实用新型的具体实施例中，如单个加热丝10损坏需要将其进行更换时，可以将多个螺母14转动使其脱离插接螺栓8的圆周表面，而后拉动连接板7使其一端固定连接的插接螺栓8可以从插接孔12内被抽出，这时便可以将多个对接块9从放置槽6内进行拿取，进而对其中两个对接块9，以及两个对接块9之间固定连接的加热丝10进行更换，而后重新放置于放置槽6内，而后反向操作上述步骤，便可以将多个对接块9和加热丝10安装于组装壳1内，通过上述步骤，可以对单个损坏的加热丝10进行更换，减少加热丝10的维护成本。

具体的请参阅图2，两个插接螺栓8的圆周表面套设有上垫片15，上垫片15位于放置槽6内，组装壳1的圆周内壁开设有多个补热槽4，多个补热槽4内均固定连接有发热杆5。

本实施例中：通过上垫片15可以将多个对接块9进行压制，防止放置槽6内的部件脱出，进而提高本装置的安装稳定性，通过多个补热槽4内固定连接的发热杆5可以加强本装置的加热效率和效果。

具体的请参阅图2，两个插接螺栓8的圆周表面套设有下垫片13，下垫片13位于两个螺母14的上端，多个对接块9的一端均固定连接有温度监测器11，温度监测器11和外部终端信号连接，组装壳1的圆周表面固定连接有多个连接螺板2，多个连接螺板2内螺纹连接有连接螺栓3。

本实施例中：通过下垫片13可以进一步的提高插接螺栓8的连接稳定性和紧密性，通过多个温度监测器11可以对每组的加热丝10进行温度监测，并通过外部终端进行监测，方便后续对异常的加热丝10进行更换，通过多个连接螺板2和连接螺栓3可以将组装壳1连接安装至真空室内，需要说明的是：数据终端可以为电脑主机等，且温度监测器11如何与数据终端连接，其工作原理为本技术领域人员的公知和常识，在此不作过多赘述。

本实用新型的工作原理及使用流程：如单个加热丝10损坏需要更换时，可以将多个螺母14转，而后拉动插接螺栓8并从插接孔12内抽出，这时便可以将多个对接块9从放置槽6内进行拿取，进而对加热丝10进行更换，而后重新放置于放置槽6内，而后反向操作上述步骤，便可以将多个对接块9和加热丝10安装于组装壳1内。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种真空室用高温CVD加热线圈组件，其特征在于，包括：

组装壳(1)；以及

多组可拆卸加热机构，每组所述可拆卸加热机构均由放置槽(6)、多个对接块(9)，多个加热丝(10)、多个插接孔(12)、两个插接螺栓(8)、连接板(7)和两个螺母(14)组成，所述放置槽(6)开设于组装壳(1)的上端，多个所述对接块(9)均滑动设于放置槽(6)内，多个所述加热丝(10)固定连接于多个对接块(9)的相靠近端，两个所述插接孔(12)开设于多个对接块(9)的上端和组装壳(1)的下端，所述连接板(7)设于放置槽(6)内，两个所述插接螺栓(8)均固定连接于连接板(7)的下端，且两个插接螺栓(8)分别插接于两个插接孔(12)内，两个所述螺母(14)分别螺纹连接于两个插接螺栓(8)的圆周表面。

2.根据权利要求1所述的一种真空室用高温CVD加热线圈组件，其特征在于，两个所述插接螺栓(8)的圆周表面套设有上垫片(15)，所述上垫片(15)位于放置槽(6)内。

3.根据权利要求2所述的一种真空室用高温CVD加热线圈组件，其特征在于，所述组装壳(1)的圆周内壁开设有多个补热槽(4)，多个所述补热槽(4)内均固定连接有发热杆(5)。

4.根据权利要求3所述的一种真空室用高温CVD加热线圈组件，其特征在于，两个所述插接螺栓(8)的圆周表面套设有下垫片(13)，所述下垫片(13)位于两个螺母(14)的上端。

5.根据权利要求4所述的一种真空室用高温CVD加热线圈组件，其特征在于，多个所述对接块(9)的一端均固定连接有温度监测器(11)，所述温度监测器(11)和外部终端信号连接。

6.根据权利要求5所述的一种真空室用高温CVD加热线圈组件，其特征在于，所述组装壳(1)的圆周表面固定连接有多个连接螺板(2)，多个所述连接螺板(2)内螺纹连接有连接螺栓(3)。