CN219608810U - 二维异质结材料界面缺陷检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及检测装置领域，公开了二维异质结材料界面缺陷检测装置，包括检测台和除尘机构，所述检测台顶部固定设置有保护罩、PC显示器和载物台，所述载物台顶部放置有载玻片，所述载玻片上放置有二维异质结材料，所述保护罩顶部设置有透射电子显微镜，所述除尘机构设置在保护罩上，所述除尘机构包括吸尘风机和遮挡板，所述保护罩侧面开设有取放口和移动槽，所述移动槽内滑动接触有移动板，所述遮挡板固定安装于移动板侧面，所述移动板顶部和移动槽顶部内壁上均开设有安装槽，所述安装槽内固定设置有导电片。本实用新型具有以下优点和效果：能够方便在对二维异质结材料检测时对其进行防尘保护，提高后续检测结果准确性。

Description

二维异质结材料界面缺陷检测装置

技术领域

本实用新型涉及检测装置技术领域，特别涉及二维异质结材料界面缺陷检测装置。

背景技术

基于二维半导体材料制备的光电器件，比表面积大，材料制备和器件加工过程中，往往伴随着各种缺陷的产生，缺陷的出现决定了器件的性能。但针对二维材料界面缺陷的检测，还缺少有力检测手段。目前检测二维材料表面缺陷的主要方法包括光谱法和显微成像法。成像手段包括透射电子显微(TEM)。

专利号为201210518692.X公布了一种具有近场光学扫描功能的透射电子显微镜，包括透射电子显微镜本体，透射显微镜本体上插装有样品杆，该样品杆的一端安装有用于加载样品的样品夹具，样品杆中空设置，杆身内设置有伸向样品的定位装置，定位装置上安装有采集和引入近场光信号的光纤探针，通过控制定位装置使光纤探针靠近或贴靠在样品上，光纤探针与激发光光源和/或光信号分析仪器光纤连接，实现近场光信号的双向传输。

二维异质结材料界面缺陷可以通过对比文件中的透射电子显微镜进行检测，但是该电子显微镜对待检测物未进行有效保护，从而会导致灰尘落在载玻片上影响拍摄画质，从而会影响后续对二维异质结材料界面缺陷的检测，降低检测结果的准确性，因此，需要设计一种能够方便在对二维异质结材料检测时对其进行防尘保护，提高后续检测结果准确性的二维异质结材料界面缺陷检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供二维异质结材料界面缺陷检测装置，具有能够方便在对二维异质结材料检测时对其进行防尘保护，提高后续检测结果准确性的效果。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：包括检测台和除尘机构，所述检测台顶部固定设置有保护罩、PC显示器和载物台，所述载物台顶部放置有载玻片，所述载玻片上放置有二维异质结材料，所述保护罩顶部设置有透射电子显微镜，所述除尘机构设置在保护罩上。

本实用新型的进一步设置为：所述除尘机构包括吸尘风机和遮挡板，所述保护罩侧面开设有取放口和移动槽，所述移动槽内滑动接触有移动板，所述遮挡板固定安装于移动板侧面，所述移动板顶部和移动槽顶部内壁上均开设有安装槽，所述安装槽内固定设置有导电片，所述吸尘风机固定安装于保护罩顶部，所述吸尘风机上连接有进气口和出气口，所述遮挡板侧面螺纹连接有锁紧螺杆，所述保护罩侧面开设有锁紧螺槽，所述锁紧螺槽与锁紧螺杆配合使用。

本实用新型的进一步设置为：所述PC显示器与透射电子显微镜电性连接。

本实用新型的进一步设置为：所述移动槽内固定设置有立撑，移动板滑动套设于立撑的外侧。

本实用新型的进一步设置为：所述遮挡板覆盖取放口。

通过采用上述技术方案，对取放口进行遮挡。

本实用新型的进一步设置为：两个导电片与吸尘风机依次串联并构成回路。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过设置的除尘机构，拉动锁紧螺杆，可以使得遮挡板上移，取放口露出，然后转动锁紧螺杆，使得锁紧螺杆旋入锁紧螺槽内，对遮挡板进行限位，此时两个导电片相接触，吸尘风机启动，可以在取放口露出时进行吸尘处理，保证保护罩内部的洁净度，能够方便在对二维异质结材料检测时对其进行防尘保护，提高后续检测结果准确性；

2、本实用新型通过设置的除尘机构，在二维异质结材料放置完成后，转动锁紧螺杆，使得锁紧螺杆旋出锁紧螺槽，然后慢慢放下锁紧螺杆，遮挡板由于自身重力下移将取放口进行遮挡，此时吸尘风机也停止运行。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提出的二维异质结材料界面缺陷检测装置的结构示意图。

图2是图1中的A部分结构示意图。

图3是本实用新型提出的二维异质结材料界面缺陷检测装置中保护罩部分的结构示意图。

图中，1、检测台；2、保护罩；3、透射电子显微镜；4、PC显示器；5、载物台；6、载玻片；7、二维异质结材料；8、取放口；9、立撑；10、移动板；11、遮挡板；12、导电片；13、吸尘风机；14、进气口；15、出气口；16、锁紧螺杆；17、锁紧螺槽。

具体实施方式

下面将结合具体实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参见图1、图2和图3，本实用新型提供二维异质结材料界面缺陷检测装置，包括检测台1和除尘机构，检测台1顶部固定设置有保护罩2、PC显示器4和载物台5，载物台5顶部放置有载玻片6，载玻片6上放置有二维异质结材料7，保护罩2顶部设置有透射电子显微镜3，透射电子显微镜3对二维异质结材料7进行拍摄，然后通过PC显示器4对二维异质结材料7界面缺陷进行检测，除尘机构设置在保护罩2上。

根据图1、图2和图3所示，除尘机构包括吸尘风机13和遮挡板11，保护罩2侧面开设有取放口8和移动槽，移动槽内滑动接触有移动板10，遮挡板11固定安装于移动板10侧面，移动板10顶部和移动槽顶部内壁上均开设有安装槽，安装槽内固定设置有导电片12，吸尘风机13固定安装于保护罩2顶部，两个导电片12与吸尘风机13依次串联并构成回路，在两个导电片12相接触时，吸尘风机13能够启动，吸尘风机13上连接有进气口14和出气口15，出气口15与外界集尘布袋相连接，集尘布袋为现有技术，在此不做赘述，遮挡板11侧面螺纹连接有锁紧螺杆16，保护罩2侧面开设有锁紧螺槽17，锁紧螺槽17与锁紧螺杆16配合使用，在取放二维异质结材料7时，拉动锁紧螺杆16，使得遮挡板11带动移动板10上移，直至两个导电片12相接触，此时吸尘风机13启动，然后转动锁紧螺杆16，使得锁紧螺杆16旋入锁紧螺槽17内，对遮挡板11进行限位处理，此过程中吸尘风机13始终工作，保证保护罩2内空气的洁净度，有效进行防尘处理，能够方便在对二维异质结材料7检测时对其进行防尘保护，提高后续检测结果准确性。

根据图1所示，PC显示器4与透射电子显微镜3电性连接，可以对二维异质结材料7界面缺陷进行检测。

移动槽内固定设置有立撑9，移动板10滑动套设于立撑9的外侧，提高移动板10在移动槽内移动时的稳定性，遮挡板11覆盖取放口8。

以上对本实用新型所提供的二维异质结材料界面缺陷检测装置进行了详细介绍。本文中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (6)

1.二维异质结材料界面缺陷检测装置，其特征在于，包括检测台(1)和除尘机构，所述检测台(1)顶部固定设置有保护罩(2)、PC显示器(4)和载物台(5)，所述载物台(5)顶部放置有载玻片(6)，所述载玻片(6)上放置有二维异质结材料(7)，所述保护罩(2)顶部设置有透射电子显微镜(3)，所述除尘机构设置在保护罩(2)上。

2.根据权利要求1所述的二维异质结材料界面缺陷检测装置，其特征在于，所述除尘机构包括吸尘风机(13)和遮挡板(11)，所述保护罩(2)侧面开设有取放口(8)和移动槽，所述移动槽内滑动接触有移动板(10)，所述遮挡板(11)固定安装于移动板(10)侧面，所述移动板(10)顶部和移动槽顶部内壁上均开设有安装槽，所述安装槽内固定设置有导电片(12)，所述吸尘风机(13)固定安装于保护罩(2)顶部，所述吸尘风机(13)上连接有进气口(14)和出气口(15)，所述遮挡板(11)侧面螺纹连接有锁紧螺杆(16)，所述保护罩(2)侧面开设有锁紧螺槽(17)，所述锁紧螺槽(17)与锁紧螺杆(16)配合使用。

3.根据权利要求1所述的二维异质结材料界面缺陷检测装置，其特征在于，所述PC显示器(4)与透射电子显微镜(3)电性连接。

4.根据权利要求2所述的二维异质结材料界面缺陷检测装置，其特征在于，所述移动槽内固定设置有立撑(9)，移动板(10)滑动套设于立撑(9)的外侧。

5.根据权利要求2所述的二维异质结材料界面缺陷检测装置，其特征在于，所述遮挡板(11)覆盖取放口(8)。

6.根据权利要求1所述的二维异质结材料界面缺陷检测装置，其特征在于，两个导电片(12)与吸尘风机(13)依次串联并构成回路。