CN219590559U - 真空光纤引入装置和真空设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型的实施例提供了一种真空光纤引入装置和真空设备，涉及真空连接器技术领域。光纤引入装置包括第一安装体、第二安装体和透光件，第一安装体设置有至少一个用于插接光纤的第一穿线孔，第二安装体设置有插接光纤的第二穿线孔。第一安装体可拆卸地设置于第二安装体，且第一穿线孔与第二穿线孔对应。透光件对应设置于第一穿线孔或第二穿线孔或第一安装体与第二安装体之间，可使第一穿线孔与第二穿线孔之间对应密封，且可让插接在第一穿线孔的光纤和插在第二穿线孔的光纤通过透光件相互连通。通过透光件既可以实现真空密封的隔断也可实现光纤之间的连通，从而可以降低成本，并且相对于反射或对射的方式相比，光信号的衰减更少。

Description

真空光纤引入装置和真空设备

技术领域

本实用新型涉及真空连接器技术领域，具体而言，涉及一种真空光纤引入装置和真空设备。

背景技术

光纤传感器具有稳定性好、反应速度快、抗电磁干扰性强、短路保护、电极反接保护及非接触性传导等特点，有着广泛的应用前景。

在真空系统的应用中，例如镀膜、沉积等设备，我们经常会用到光纤传感器等信号装置。光信号需要从大气环境导入至真空环境或由真空环境导出至大气环境中。目前常用的方法为真空观察窗口，即光直接穿过透光介质再利用反射或对射原理获取相关信号，这种方式通常存在很大的不确定性，且信号损耗也很大。还有一种比较常用的结构是利用光纤耦合接头结合玻璃、陶瓷或者塑料等材料来传导光信号，并达到真空环境要求的密封效果，但此类产品生产工艺复杂，造价高。

实用新型内容

本实用新型的目的包括，例如，提供了一种真空光纤引入装置和真空设备，其能够降低真空光纤引入装置的成本的同时，并且能够降低光信号的损耗。

本实用新型的实施例可以这样实现：

第一方面，本实用新型提供一种真空光纤引入装置，用于光纤之间的真空连接，包括第一安装体、第二安装体和透光件，所述第一安装体设置有至少一个用于插接所述光纤的第一穿线孔，所述第二安装体设置有插接所述光纤的第二穿线孔；

所述第一安装体可拆卸地设置于所述第二安装体，且所述第一穿线孔与所述第二穿线孔对应；

所述透光件对应设置于所述第一穿线孔或所述第二穿线孔或所述第一安装体与所述第二安装体之间，可使所述第一穿线孔与所述第二穿线孔之间对应密封，且可让插接在所述第一穿线孔的所述光纤和插在所述第二穿线孔的所述光纤通过所述透光件相互连通。

在可选的实施方式中，所述真空光纤引入装置还包括第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈和所述第二密封圈分别设置于所述透光件相对的两侧，且所述第一密封圈与所述透光件和所述第一安装体抵接，所述第二密封圈与所述透光件和所述第二安装体抵接。

在可选的实施方式中，所述第一安装体靠近所述第二安装体的一侧设置有限位槽，所述限位槽与所述第一穿线孔一一对应，所述第一密封圈和所述透光件安装于所述限位槽内，且所述第一密封圈与所述限位槽的底壁和所述透光件抵接。

在可选的实施方式中，所述第一安装体包括上盖板、底座和第一导套；

所述上盖板和所述第一导套可拆地连接，所述第一导套设置于所述上盖板与所述底座之间，所述第一穿线孔设置于所述第一导套，所述第一导套可对插入第一穿线孔的所述光纤进行固定。

在可选的实施方式中，所述第一导套包括相互连接的第一段和第二段，所述第二段的直径大于所述第一段的直径，所述第一穿线孔贯穿所述第一段和所述第二段；

所述上盖板上设置有与所述第一段直径匹配的第一通孔，且所述上盖板靠近所述底座的一侧设置有与所述第二段直径匹配的第一槽孔，所述第一通孔和所述第一槽孔连通；

所述第一段装配于所述第一通孔内，所述第二段装配于所述第一槽孔内，且所述第二段的远离所述第一段的一端与所述底座抵接，所述第二段靠近所述第一段的一端与所述第一槽孔的底壁抵接；

所述底座上设置有与所述第一穿线孔对应的所述第二通孔，所述光纤可经过所述第一穿线孔延伸至所述第二通孔内。

在可选的实施方式中，所述第一安装体还包括第三密封圈；

所述第三密封圈设置于所述第一导套和所述底座之间，以使所述第一导套于所述底座密封。

在可选的实施方式中，所述第二安装体包括下盖板和第二导套；

所述第二导套包括相互连接的第三段和第四段，且所述第四段的直径大于所述第三段的直径，所述第二穿线贯穿所述第二导套；

所述下盖板与所述底座可拆卸地连接；

所述下盖板上设置第三通孔，且所述下盖板靠近所述底座的一端设置有与所述第四段匹配的第二槽孔，所述第二槽孔与所述第三通孔连通；

所述第三段装配于所述第三通孔，所述第四段装配于所述第二槽孔，且所述第二密封圈与所述第四段远离所述第三段的一端和所述透光件抵接，所述第四段靠近所述第三段的一端与所述第二槽孔的底壁抵接。

在可选的实施方式中，所述第一安装体还包括第一紧固螺钉，所述第一段上沿所述第一段的高度方向设置有第一开口，所述上盖板的侧壁沿径向设置有与所述第一通孔连通的第一螺纹孔，所述第一紧固螺钉装配于所述第一螺纹孔内，转动所述第一紧固螺钉可使所述第一段沿所述第一开口形变，从而可将穿设于所述第一穿线孔的所述光纤与所述第一导套固定。

在可选的实施方式中，所述第二安装体还包括第二紧固螺钉，所述第三段上沿所述第三段的高度方向设置有第二开口，所述下盖板的侧壁沿径向设置有与所述第三通孔连通的第二螺纹孔，所述第二紧固螺钉装配于所述第二螺纹孔内，转动所述第二紧固螺钉可使所述第三段沿所述第二开口形变，从而可将穿设于所述第二穿线孔的所述光纤与所述第二导套固定。

在可选的实施方式中，所述第一导套和/或所述第二导套和/或所述下盖板上设置有细长槽，所述细长槽用于所述真空光纤引入装置排空气。

在可选的实施方式中，所述真空光纤引入装置还包括卡箍、内用密封圈和法兰接头，所述第一安装体或第二安装体上设置有与所述卡箍匹配的法兰盘，所述内用密封圈设置与所述法兰盘；

所述法兰接头用于安装在真空设备上；

所述卡箍可通过所述法兰盘将所述真空光纤引入装置安装于所述法兰接头。

第二方面，本实用新型提供一种真空设备，包括前述实施方式中任一项所述的真空光纤引入装置。

本实用新型实施例的提供的真空光纤引入装置和真空设备的有益效果包括，例如：

本实施例通过在上第一安装体设置有至少一个用于插接所述光纤的第一穿线孔，第二安装体设置插接光纤的第二穿线孔，并将第一安装体可拆卸地设置于所述第二安装体，且让第一穿线孔与第二穿线孔对应。将透光件对应设置于第一穿线孔或第二穿线孔或第一安装体与第二安装体之间，可使第一穿线孔与第二穿线孔之间对应密封，且可让插接在所述第一穿线孔的光纤和插在第二穿线孔的光纤通过所述透光件相互连通。从而通过透光件既可以实现真空密封的隔断也可实现光纤之间的连通，从而可以降低成本，并且相对于反射或对射的方式相比，光信号的衰减更少。其次，本申请还可实现多对光纤的连通，从而可以节约成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的真空光纤引入装置的剖视示意图；

图2为本实用新型实施例提供的真空光纤引入装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的真空光纤引入装置的卡箍打开状态下的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的真空光纤引入装置的第一导套结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的真空光纤引入装置的第二导套结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的真空光纤引入装置的下盖板结构示意图。

图标：100-真空光纤引入装置；110-第一安装体；111-第一穿线孔；113-限位槽；115-上盖板；117-底座；119-第一导套；121-第一段；123-第二段；125-第一通孔；127-第一槽孔；129-第二通孔；131-第三密封圈；133-第三槽孔；135-第三密封圈槽；137-第一紧固螺钉；138-第一开口；139-第一螺纹孔；141-第一密封圈槽；143-细长槽；145-法兰盘；150-第二安装体；151-第二穿线孔；153-下盖板；155-第二导套；157-第三段；159-第四段；161-第三通孔；163-第二槽孔；165-第二开口；167-第二紧固螺钉；169-第二螺纹孔；191-透光件；192-第一密封圈；193-第二密封圈；194-卡箍；195-内用密封圈；196-法兰接头；200-光纤。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例中的特征可以相互结合。

请参考图1，本实施例提供了一种真空设备，该真空设备可以是用于给工件镀膜的真空镀膜设备，也可是用于原子层或化学沉积的真空设备。该真空设备具有至少一个用于工件表面处理的真空腔，真空腔内设置有运动机构以及检测运动机构运动状态和真空腔内参数的光纤传感器和用于将光纤传感器的光信号传出真空腔的光纤200和真空光纤引入装置100，该真空光纤引入装置100可以在保证真空腔密封的情况下将光信号引入至真空腔外。

请参照图1-图6，在本实施例中，真空光纤引入装置100包括第一安装体110、第二安装体150和透光件191，第一安装体110设置有至少一个用于插接光纤200的第一穿线孔111，第二安装体150设置有插接光纤200的第二穿线孔151。第一安装体110可拆卸地设置于第二安装体150，且第一穿线孔111与第二穿线孔151对应。透光件191对应设置于第一穿线孔111或第二穿线孔151或第一安装体110与第二安装体150之间，可使第一穿线孔111与第二穿线孔151之间对应密封，且可让插接在第一穿线孔111的光纤200和插在第二穿线孔151的光纤200通过透光件191相互连通。

本实施例通过在上第一安装体110设置有至少一个用于插接光纤200的第一穿线孔111，第二安装体150设置插接光纤200的第二穿线孔151，并将第一安装体110可拆卸地设置于第二安装体150，且让第一穿线孔111与第二穿线孔151对应。将透光件191对应设置于第一穿线孔111或第二穿线孔151或第一安装体110与第二安装体150之间，可使第一穿线孔111与第二穿线孔151之间对应密封，且可让插接在第一穿线孔111的光纤200和插在第二穿线孔151的光纤200通过透光件191相互连通。通过透光件191既可以实现真空密封的隔断也可实现光纤200之间的连通，从而可以降低成本，并且相对于反射或对射的方式相比，光信号的衰减更少。

在使用时，可将一根光纤200的端部由第一穿线孔111穿入，并与透光件191的一侧抵接，再将另一个光纤200的端部由第二穿线孔151穿入，并与透光件191的另一侧抵接，从而通过透光件191实现将两段光纤200连通。

在本实施例中，第一穿线孔111和第二穿线孔151的数量均为四个，其均匀分部在第一安装体110和第二安装体150上。当然，在本申请的另外一些实施例中，第一穿线孔111和第二穿线孔151的数量也可均为一个或者多个，例如两个、三个、五个或者更多。其数量可根据使用的数量设置。

在本实施例中，透光件191为透明石英玻璃，由于石英玻璃是一种二氧化硅单一组分的特种工业技术玻璃。这种玻璃硬度大可达莫氏七级，具有耐高温、膨胀系数低、耐热震性、化学稳定性和电绝缘性能良好，并能透过紫外线和红外线。

请参照图1-图6，在本实施例中，真空光纤引入装置100还包括第一密封圈192和第二密封圈193，第一密封圈192和第二密封圈193分别设置于透光件191相对的两侧，且第一密封圈192与透光件191和第一安装体110抵接，第二密封圈193与透光件191和第二安装体150抵接。

本实施例通过抵接的方式可以让透光件191的安装更加方便和牢固。通过第一密封圈192和第二密封圈193对透光件191的两侧进行密封这样可以保证真空环境，并且成本较低，对工件的加工精度和材料的要求更低，更方便控制成本。

在本申请的另外一些实施例中，透光件191也可通过粘接、卡接等安装方式装配在第一穿线孔111或者第二穿线孔151。

在本实施例中，第一安装体110靠近第二安装体150的一侧设置有限位槽113，限位槽113与第一穿线孔111一一对应，第一密封圈192和透光件191安装于限位槽113内，且第一密封圈192与限位槽113的底壁和透光件191抵接。

本实施例通过设置限位槽113，可以对透光件191的侧壁进行限制，从而避免透光件191移动导致第一穿线孔111和第二穿线孔151连通，从而影响密封和真空，并且能够让透光件191的安装更加稳定。

请参照图1-图6，在本实施例中，第一安装体110包括上盖板115、底座117和第一导套119。上盖板115和第一导套119可拆地连接，第一导套119设置于上盖板115与底座117之间，第一穿线孔111设置于第一导套119，第一导套119可对插入第一穿线孔111的光纤200进行固定。

本实施例设置第一导套119可以方便的实现光纤200的穿设和对插接在第一穿线孔111的光纤200进行固定。并且第一导套119通过上盖板115和底座117的卡接安装，从而可以对导套进行限位，使得真空光纤引入装置100的装配更加方便。

在本实施例中，第一导套119包括相互连接的第一段121和第二段123，第二段123的直径大于第一段121的直径，第一穿线孔111贯穿第一段121和第二段123。上盖板115上设置有与第一段121直径匹配的第一通孔125，且上盖板115靠近底座117的一侧设置有与第二段123直径匹配的第一槽孔127，第一通孔125和第一槽孔127连通。第一段121装配于第一通孔125内，第二段123装配于第一槽孔127内，且第二段123的远离第一段121的一端与底座117抵接，第二段123靠近第一段121的一端与第一槽孔127的底壁抵接。底座117上设置有与第一穿线孔111对应的第二通孔129，光纤200可经过第一穿线孔111延伸至第二通孔129内。第一段121位于内周边和外周壁的端部均设置有倒角，该倒角可方便光纤200的插入，第一段121向第一通孔125内插入。第一导套119通过面面抵接从而可以让安装定位更加精准，可以让两根光纤200的对中度更好。

当然，在本申请的另外一些实施例中，上盖板115、底座117和第一导套119可以一体成型。

请参照图1-图6，在本实施例中，第一安装体110还包括第三密封圈131；第三密封圈131设置于第一导套119和底座117之间，以使第一导套119于底座117密封。

本实施例通过设置第三密封圈131，这样实现第一导套119和底座117之间的密封，进一部增强密封性。也可以避免外部光线对结合处的影响。

在本实施例中，底座117的顶壁设置与第一槽孔127对应的第三槽孔133，第三槽孔133与第二通孔129连通。第二段123部分装置在第一槽孔127内，部分装配在第三槽孔133内。这样设置从而可以利用第二段123实现底座117和上盖板115之间的定位，无需设置定位柱等定位结构。

在本实施例中，第三槽孔133的底壁设置有第三密封圈槽135，第三密封圈131部分安装在第三密封圈槽135内。这样设置可以避免密封圈在安装过程中移位，影响光纤200的插入。

请参照图1-图6，在本实施例中，底座117和上盖板115通过螺钉固定，由于已经通过第二段123的面抵接对上盖板115和底座117之间进行了定位。因此，在不设置定位结构的情况下螺钉或螺栓等紧固件也使底座117和上盖板115的位置装配精准。并且通过调整紧固件还可以控制第三密封圈131的压缩量。

一般情况下，在第一导套119的数量为多个的情况下，上盖板115和底座117可采用中心一颗螺钉固定，多个第一导套119可实现定位。

在本实施例中，第二安装体150包括下盖板153和第二导套155。第二导套155包括相互连接的第三段157和第四段159，且第四段159的直径大于第三段157的直径，第二穿线孔151贯穿第二导套155；下盖板153与底座117可拆卸地连接；下盖板153上设置第三通孔161，且下盖板153靠近底座117的一端设置有与第四段159匹配的第二槽孔163，第二槽孔163与第三通孔161连通；第三段157装配于第三通孔161，第四段159装配于第二槽孔163，且第二密封圈193与第四段159远离第三段157的一端和透光件191抵接，第四段159靠近第三段157的一端与第二槽孔163的底壁抵接。第三段157端部的内周面和外周面的端部设置有倒角，倒角可以让光纤200更好的插接在第二穿线孔151内，也可让第四段159方便的插接在第三通孔161内。其次，通过第二导套155与下盖板153的面面配合可以提高光纤200的安装精度。

在本实施例中，透光件191设置在底座117与下盖板153之间，限位槽113设置在底座117的底面，且与第三段157的直径相同。限位槽113的底壁设置有第一密封圈槽141，第一密封圈192安装在第一密封圈槽141内，透光件191的直径略小于限位槽113的直径，透光件191的顶部与第一密封圈192抵接。即第一密封圈192设置在限位槽113的底壁与透光件191顶面之间，以做密封。透光件191的直径略小这样可以避免透光件191因热胀冷缩而损坏。第三段157部分容置在第二槽孔163内，另一部分容置在限位槽113内，且第二密封圈193设置在第二导套155的顶面与透光件191底面之间。

请参照图1-图6，在本实施例中，第一安装体110还包括第一紧固螺钉137，第一段121上沿第一段121的高度方向设置有第一开口138，上盖板115的侧壁沿径向设置有与第一通孔125连通的第一螺纹孔139，第一紧固螺钉137装配于第一螺纹孔139内，转动第一紧固螺钉137可使第一段121沿第一开口138形变，从而可将穿设于第一穿线孔111的光纤200与第一导套119固定。第二安装体150还包括第二紧固螺钉167，第三段157上沿第三段157的高度方向设置有第二开口165，下盖板153的侧壁沿径向设置有与第三通孔161连通的第二螺纹孔169，第二紧固螺钉167装配于第二螺纹孔169内，转动第二紧固螺钉167可使第三段157沿第二开口165形变，从而可将穿设于第二穿线孔151的光纤200与第二导套155固定。本实施例通过设置第一开口138和第二开口165可以方便的实现对穿设的光纤200进行固定。

在本实施例中，第一导套119和第二导套155由PTFE材质制成。下盖板153和底座117通过紧固件连接。旋转紧固件可调整第一密封圈192和第二密封圈193的形变量。

在本实施例中，第一段121和第三段157侧壁和端面均设置有连通的细长槽143，该细长槽143可以在真空腔抽真空时排出透光件191与第二导套155之间的空气或者第一导套119、上盖板115和底座117之间残留的空气。此外，上盖板115的底面和下盖板153的顶面还设置有用于抽真空细长槽143，一般与设置在上盖板115的和下盖板153的孔或槽连通，并且延伸至其侧壁，从而可以在真空腔抽真空的过程中，也可对真空光纤引入装置100内空气进行抽离。

请参照图1-图6，在本实施例中，真空光纤引入装置100还包括卡箍194、内用密封圈195和法兰接头196，第一安装体110或第二安装体150上设置有与卡箍194匹配的法兰盘145，内用密封圈195设置与法兰盘145。法兰接头196安装在真空设备上，且与真空腔连通。卡箍194可通过法兰盘145将真空光纤引入装置100安装于法兰接头196。

在本实施例中，法兰接头196一般通过焊接的放置焊接在真空腔，法兰接头196上有KF法兰接口，法兰盘145采用与KF法兰接口匹配的KF法兰盘145，卡箍194采用KF卡箍194。其型号可根据引入光纤200的数量确定。

采用卡箍194和内用密封圈195的安装方式可以方便真空光纤引入装置100的安装，并且方便后期的维修。

综上，本实用新型实施例提供的真空光纤引入装置100和真空设备的工作原理和有益效果包括：

本实施例通过在上第一安装体110设置有至少一个用于插接光纤200的第一穿线孔111，第二安装体150设置插接光纤200的第二穿线孔151，并将第一安装体110可拆卸地设置于第二安装体150，且让第一穿线孔111与第二穿线孔151对应。将透光件191对应设置于第一穿线孔111或第二穿线孔151或第一安装体110与第二安装体150之间，可使第一穿线孔111与第二穿线孔151之间对应密封，且可让插接在第一穿线孔111的光纤200和插在第二穿线孔151的光纤200通过透光件191相互连通。从而通过透光件191既可以实现真空密封的隔断也可实现光纤200之间的连通，从而可以降低成本，并且相对于反射或对射的方式相比，光信号的衰减更少。

以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (12)

1.一种真空光纤引入装置(100)，用于光纤(200)之间的真空连接，其特征在于，包括第一安装体(110)、第二安装体(150)和透光件(191)，所述第一安装体(110)设置有至少一个用于插接所述光纤(200)的第一穿线孔(111)，所述第二安装体(150)设置有插接所述光纤(200)的第二穿线孔(151)；

所述第一安装体(110)可拆卸地设置于所述第二安装体(150)，且所述第一穿线孔(111)与所述第二穿线孔(151)对应；

所述透光件(191)对应设置于所述第一穿线孔(111)；或，

所述透光件(191)对应设置于所述第二穿线孔(151)；或，

所述透光件(191)对应设置于所述第一安装体(110)与所述第二安装体(150)之间；

所述透光件(191)可使所述第一穿线孔(111)与所述第二穿线孔(151)之间对应密封，且可让插接在所述第一穿线孔(111)的所述光纤(200)和插在所述第二穿线孔(151)的所述光纤(200)通过所述透光件(191)相互连通。

2.根据权利要求1所述的真空光纤引入装置(100)，其特征在于，所述真空光纤引入装置(100)还包括第一密封圈(192)和第二密封圈(193)，所述第一密封圈(192)和所述第二密封圈(193)分别设置于所述透光件(191)相对的两侧，且所述第一密封圈(192)与所述透光件(191)和所述第一安装体(110)抵接，所述第二密封圈(193)与所述透光件(191)和所述第二安装体(150)抵接。

3.根据权利要求2所述的真空光纤引入装置(100)，其特征在于，所述第一安装体(110)靠近所述第二安装体(150)的一侧设置有限位槽(113)，所述限位槽(113)与所述第一穿线孔(111)一一对应，所述第一密封圈(192)和所述透光件(191)安装于所述限位槽(113)内，且所述第一密封圈(192)与所述限位槽(113)的底壁和所述透光件(191)抵接。

4.根据权利要求2或3所述的真空光纤引入装置(100)，其特征在于，所述第一安装体(110)包括上盖板(115)、底座(117)和第一导套(119)；

所述上盖板(115)和所述第一导套(119)可拆地连接，所述第一导套(119)设置于所述上盖板(115)与所述底座(117)之间，所述第一穿线孔(111)设置于所述第一导套(119)，所述第一导套(119)可对插入第一穿线孔(111)的所述光纤(200)进行固定。

5.根据权利要求4所述的真空光纤引入装置(100)，其特征在于，所述第一导套(119)包括相互连接的第一段(121)和第二段(123)，所述第二段(123)的直径大于所述第一段(121)的直径，所述第一穿线孔(111)贯穿所述第一段(121)和所述第二段(123)；

所述上盖板(115)上设置有与所述第一段(121)直径匹配的第一通孔(125)，且所述上盖板(115)靠近所述底座(117)的一侧设置有与所述第二段(123)直径匹配的第一槽孔(127)，所述第一通孔(125)和所述第一槽孔(127)连通；

所述第一段(121)装配于所述第一通孔(125)内，所述第二段(123)装配于所述第一槽孔(127)内，且所述第二段(123)的远离所述第一段(121)的一端与所述底座(117)抵接，所述第二段(123)靠近所述第一段(121)的一端与所述第一槽孔(127)的底壁抵接；

所述底座(117)上设置有与所述第一穿线孔(111)对应的第二通孔(129)，所述光纤(200)可经过所述第一穿线孔(111)延伸至所述第二通孔(129)内。

6.根据权利要求4所述的真空光纤引入装置(100)，其特征在于，所述第一安装体(110)还包括第三密封圈(131)；

所述第三密封圈(131)设置于所述第一导套(119)和所述底座(117)之间，以使所述第一导套(119)于所述底座(117)密封。

7.根据权利要求4所述的真空光纤引入装置(100)，其特征在于，所述第二安装体(150)包括下盖板(153)和第二导套(155)；

所述第二导套(155)包括相互连接的第三段(157)和第四段(159)，且所述第四段(159)的直径大于所述第三段(157)的直径，所述第二穿线贯穿所述第二导套(155)；

所述下盖板(153)与所述底座(117)可拆卸地连接；

所述下盖板(153)上设置第三通孔(161)，且所述下盖板(153)靠近所述底座(117)的一端设置有与所述第四段(159)匹配的第二槽孔(163)，所述第二槽孔(163)与所述第三通孔(161)连通；

所述第三段(157)装配于所述第三通孔(161)，所述第四段(159)装配于所述第二槽孔(163)，且所述第二密封圈(193)与所述第四段(159)远离所述第三段(157)的一端和所述透光件(191)抵接，所述第四段(159)靠近所述第三段(157)的一端与所述第二槽孔(163)的底壁抵接。

8.根据权利要求5所述的真空光纤引入装置(100)，其特征在于，所述第一安装体(110)还包括第一紧固螺钉(137)，所述第一段(121)上沿所述第一段(121)的高度方向设置有第一开口(138)，所述上盖板(115)的侧壁沿径向设置有与所述第一通孔(125)连通的第一螺纹孔(139)，所述第一紧固螺钉(137)装配于所述第一螺纹孔(139)内，转动所述第一紧固螺钉(137)可使所述第一段(121)沿所述第一开口(138)形变，从而可将穿设于所述第一穿线孔(111)的所述光纤(200)与所述第一导套(119)固定。

9.根据权利要求7所述的真空光纤引入装置(100)，其特征在于，所述第二安装体(150)还包括第二紧固螺钉(167)，所述第三段(157)上沿所述第三段(157)的高度方向设置有第二开口(165)，所述下盖板(153)的侧壁沿径向设置有与所述第三通孔(161)连通的第二螺纹孔(169)，所述第二紧固螺钉(167)装配于所述第二螺纹孔(169)内，转动所述第二紧固螺钉(167)可使所述第三段(157)沿所述第二开口(165)形变，从而可将穿设于所述第二穿线孔(151)的所述光纤(200)与所述第二导套(155)固定。

10.根据权利要求7所述的真空光纤引入装置(100)，其特征在于，所述第一导套(119)和/或所述第二导套(155)和/或所述下盖板(153)上设置有细长槽(143)，所述细长槽(143)用于所述真空光纤引入装置(100)排空气。

11.根据权利要求1所述的真空光纤引入装置(100)，其特征在于，所述真空光纤引入装置(100)还包括卡箍(194)、内用密封圈(195)和法兰接头(196)，所述第一安装体(110)或第二安装体(150)上设置有与所述卡箍(194)匹配的法兰盘(145)，所述内用密封圈(195)设置于所述法兰盘(145)；

所述法兰接头(196)用于安装在真空设备上；

所述卡箍(194)可通过所述法兰盘(145)将所述真空光纤引入装置(100)安装于所述法兰接头(196)。

12.一种真空设备，其特征在于，包括权利要求1-11中任一项所述的真空光纤引入装置(100)。