CN219587740U - 隔膜压缩机的隔膜头及隔膜压缩机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种隔膜压缩机的隔膜头及隔膜压缩机，包括气侧隔膜头和隔膜头外套，隔膜头外套紧套在气侧隔膜头上，在隔膜头外套上设置凹陷部，凹陷部位于朝向气侧隔膜头的一侧，并且凹陷部与气侧隔膜头形成冷却通道，隔膜头外套上设置有与冷却通道连通的第一进液通道和第一出液通道，使得冷却液能够通过冷却通道，实现对气侧隔膜头的冷却，避免气侧隔膜头发生氢脆问题。其中，本申请在隔膜头外套与气侧隔膜头之间设置的冷却通道，不需要在气侧隔膜头设置通孔，保证了气侧隔膜头的受力强度。

Description

隔膜压缩机的隔膜头及隔膜压缩机

技术领域

本实用新型涉及隔膜压缩机领域，主要涉及一种隔膜压缩机的隔膜头及隔膜压缩机。

背景技术

在加氢站中，氢气在隔膜压缩机的入口处的压力为5MPa，需要增压到45MPa，该增压工作由隔膜压缩机执行，在对氢气进行增压的过程中，会导致氢气的温度从入口的20℃升到370℃以上。

隔膜头是隔膜压缩机的主要零部件之一，吸气、压缩、排气均在此部件中完成。隔膜头通常采用的设计制造材料为锻造的316L，氢在常温常压下不会对钢产生明显的腐蚀，但当温度超过300℃和压力高于30MPa时，会产生氢脆这种腐蚀缺陷，尤其是在高温条件下。而隔膜压缩机的排气压力为45MPa是加氢站需要的压力，为了避免氢脆现象，保证设备安全运行，有必要对隔膜头温度进行降温。

现有的隔膜头冷却方式是在气侧隔膜头内部钻孔而形成水循环通路，这种方法破坏了隔膜头的完整性，从而降低了隔膜头的强度。特别是在高温、高压下，隔膜头内部的水循环通路导致隔膜头的强度影响更加明显。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种隔膜压缩机的隔膜头及隔膜压缩机，以使得能够在不降低隔膜头的强度的情况下对隔膜头实现降温。

为了达到上述目的，本实用新型采取了以下技术方案：

一种隔膜压缩机的隔膜头，包括气侧隔膜头和隔膜头外套，所述隔膜头外套紧套在所述气侧隔膜头上；所述隔膜头外套朝向所述气侧隔膜头的一侧设有凹陷部，所述凹陷部与所述气侧隔膜头之间形成冷却通道，所述隔膜头外套上设置有与所述冷却通道连通的第一进液通道和第一出液通道。

在本申请的一些技术方案中，所述隔膜压缩机的隔膜头还包括膜片组和油侧隔膜头，所述油侧隔膜头的一端嵌套在所述气侧隔膜头的第一端上，且所述气侧隔膜头的第一端的端面与所述油侧隔膜头之间形成有空腔，所述膜片组紧密连接在所述气侧隔膜头的第一端的端面与所述油侧隔膜头之间，并且将所述空腔分隔为气腔和油腔，所述气腔设置在所述膜片组朝向所述气侧隔膜头的一侧，所述油腔设置在所述膜片组朝向所述油侧隔膜头的一侧；所述油侧隔膜头上设有第二进液通道和第二出液通道，所述油腔内设置有冷却管道，所述冷却管道一端与所述第二进液通道连接，另一端与所述第二出液通道连接。

在本申请的一些技术方案中，所述隔膜压缩机的隔膜头还包括配油盘，所述配油盘设置在所述油腔内，并将所述油腔分成第一油腔和第二油腔，所述第一油腔位于所述膜片组与所述配油盘之间，所述第二油腔位于所述油侧隔膜头与所述配油盘之间，所述配油盘上设置有连通所述第一油腔和所述第二油腔的若干个过油孔；所述冷却管道设置在所述第二油腔内。

在本申请的一些技术方案中，所述冷却管道呈螺旋状。

在本申请的一些技术方案中，所述隔膜头外套设置有中心孔，所述气侧隔膜头的一端置于所述中心孔内，所述冷却通道设置在所述隔膜头外套的内壁与所述气侧隔膜头的周向外表面之间。

在本申请的一些技术方案中，所述气侧隔膜头沿轴向分成第一轴段和第二轴段，所述第一轴段的直径小于所述第二轴段的直径，并且所述第二轴段位于所述第一轴段靠近所述油侧隔膜头的一侧；所述隔膜头外套沿轴向依次分成第三轴段、第四轴段以及第五轴段，所述第三轴段的内径小于所述第五轴段的内径，所述第四轴段的内径小于所述第五轴段的内径且大于所述第三轴段的内径；所述第三轴段和所述第四轴段均设置在所述第一轴段的周向外侧，所述第三轴段与所述第一轴段密封连接，所述第五轴段设置在所述第二轴段的周向外侧，并与所述第二轴段密封连接，所述第四轴段的内径大于所述第一轴段的直径以形成所述凹陷部；所述第四轴段与所述第一轴段之间形成所述冷却通道。

在本申请的一些技术方案中，所述第一轴段与所述第三轴段之间、所述第五轴段与所述第二轴段之间均设有密封环。

在本申请的一些技术方案中，所述气侧隔膜头在所述第一轴段和所述第二轴段上沿周向设置有凹槽，所述凹槽内安装所述密封环。

在本申请的一些技术方案中，所述第一进液通道和所述第一出液通道的横截面面积均小于所述冷却通道的横截面面积；及/或所述第一进液通道和所述第一出液通道沿所述隔膜头外套的径向设置。

一种隔膜压缩机，包括所述的隔膜头。

有益效果：本申请的隔膜头包括气侧隔膜头和隔膜头外套，隔膜头外套紧套在气侧隔膜头上，在隔膜头外套上设置凹陷部，凹陷部位于朝向气侧隔膜头的一侧，并且凹陷部与气侧隔膜头形成冷却通道，隔膜头外套上设置有与冷却通道连通的第一进液通道和第一出液通道，使得冷却液能够通过冷却通道，实现对气侧隔膜头的冷却，避免气侧隔膜头发生氢脆问题。其中，本申请在隔膜头外套与气侧隔膜头之间设置的冷却通道，不需要在气侧隔膜头设置通孔，保证了气侧隔膜头的受力强度。

附图说明

图1是本申请的一实施例中的隔膜压缩机的隔膜头的主视示意图。

图2是图1的左视示意图。

图3是图1中的隔膜头外套的主视示意图。

图4是图1中的气侧隔膜头的主视示意图。

主要元件符号说明：1、隔膜头外套；11、凹陷部；12、第一进液通道；13、第一出液通道；14、中心孔；15、第三轴段；16、第四轴段；17、第五轴段；18、第一法向平面；2、气侧隔膜头；21、第一轴段；22、第二轴段；23、凹槽；24、进气通道；25、出气通道；26、气腔；27、第二法向平面；3、膜片组；4、配油盘；41、过油孔；5、油侧隔膜头；51、油腔；511、第一油腔；512、第二油腔；52、第二进液通道；53、第二出液通道；54、液压油通道；6、冷却管道；7、密封环；8、冷却通道。

具体实施方式

本实用新型提供一种隔膜压缩机的隔膜头及隔膜压缩机，为使本实用新型的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

隔膜压缩机包括隔膜头以及驱动结构，隔膜头用于对氢气进行吸气、压缩以及排气，驱动结构用于驱动隔膜头内的液压油运动，以使得隔膜头实现对氢气的吸气、压缩以及排气。

参阅图1，一种隔膜压缩机的隔膜头，包括隔膜头外套1、气侧隔膜头2、膜片组3以及油侧隔膜头5，隔膜头外套1与油侧隔膜头5固定连接，并且将气侧隔膜头2和膜片组3固定在隔膜头外套1与油侧隔膜头5之间。其中，膜片组3的周向边沿固定在气侧隔膜头2与油侧隔膜头5之间，并且膜片组3的中部与气侧隔膜头2之间形成有气腔26，膜片组3的中部与油侧隔膜头5之间形成有油腔51。

详细的，隔膜头外套1紧套在气侧隔膜头2上，油侧隔膜头5的一端嵌套在气侧隔膜头2的第一端上，隔膜头外套1与油侧隔膜头5之间在气侧隔膜头2的周向外侧固定。气侧隔膜头2的第一端的端面与油侧隔膜头5之间形成有空腔，膜片组3紧密连接在气侧隔膜头2的第一端的端面与油侧隔膜头5之间，并且将空腔分隔为气腔26和油腔51，气腔26设置在膜片组3朝向气侧隔膜头2的一侧，油腔51设置在膜片组3朝向油侧隔膜头5的一侧。

油侧隔膜头5上设有用于液压油流通的液压油通道54，液压油通道54与油腔51连通。气侧隔膜头2上设有进气通道24和出气通道25，进气通道24和出气通道25均与气腔26连通，而且进气通道24和出气通道25上均设有控制阀(图中未示出)。

其中，膜片组3的周向边沿固定在气侧隔膜头2与油侧隔膜头5之间，隔膜压缩机的驱动结构(图中未示出)推动液压油通道54以及油腔51内的液压油往复运动，进而推动膜片组3的中部一张一翕地运动。膜片组3运动时，气腔26的体积存在大小变化，当气腔26的体积开始变大时，出气通道25上的控制阀关闭，进气通道24上的控制阀打开，以使得氢气能够从进气通道24进入到气腔26内。当气腔26的体积开始变小时，进气通道24上的控制阀关闭，出气通道25上的控制阀打开，以使得气腔26内的氢气能够从出气通道25排出，实现对氢气增压。在液压油往复运动下，实现对氢气的持续增压。氢气在压力升高的过程中，温度也会升高，同时液压油的温度在工作中也会升高。

其中，控制阀可以为单向阀，即进气通道24上的单向阀限制氢气只能从进气通道24进入气腔26内，出气通道25上的单向阀限制气腔26内氢气只能从出气通道25排出入。在其他实施例中，控制阀可以为截止阀，并根据膜片组3的运动周期(即隔膜压缩机的驱动结构中的电机的转动角度)控制截止阀的开闭。

隔膜压缩机的驱动结构包括电机、曲轴、连杆、十字头以及活塞，活塞可活动地设置在液压油通道54上，并将液压油密封在液压油通道54以及油腔51内。十字头固定在活塞背离配油盘4的一侧，电机固定在油侧隔膜头5外侧，电机的输出端与曲轴连接，连杆的一端与曲轴转动连接，另一端与十字头铰接。因此，电机转动时，带动曲轴转动，进而在连杆的带动下，十字头和活塞沿着液压油通道54的轴向往复运动，从而推动液压油运动。

参阅图1、图2和图3，本申请的隔膜头外套1朝向气侧隔膜头2的一侧设有凹陷部11，凹陷部11与气侧隔膜头2之间形成冷却通道8，隔膜头外套1上设置有与冷却通道8的连通的第一进液通道12和第一出液通道13。

其中，隔膜头外套1与气侧隔膜头2固定在一起后，存在相互抵接的面，凹陷部11设置在朝向气侧隔膜头2的一侧上，因此凹陷部11气侧隔膜头2的外表面共同形成冷却通道8。即隔膜头外套1与气侧隔膜头2相互配合后，形成该冷却通道8，因此不需要在气侧隔膜头2上钻孔，保证了气侧隔膜头2的受力强度，降低了生产成本。

冷却通道8通过第一进液通道12和第一出液通道13连接外部的冷却液散热设备并形成第一循环回路，以使得外部的冷却液从第一进液通道12进入冷却通道8内，冷却液的温度低于气侧隔膜头2的温度，因此冷却液能够吸收气侧隔膜头2上的热量并从第一出液通道13带至冷却液散热设备上进行散热，如此循环，实现对气侧隔膜头2的冷却。

其中，气侧隔膜头2作为与氢气接触的部件，即是容易产生氢脆问题的部件，本申请在隔膜头外套1与气侧隔膜头2之间设置冷却通道8，通过冷却通道8内流通的冷却液实现降温，避免发生氢脆现象。而且，本申请中的冷却通道8由隔膜头外套1上的凹陷部11以及气侧隔膜头2的外表面共同形成，因此冷却液直接与气侧隔膜头2接触，提高对气侧隔膜头2的冷却效果。

参阅图1和图2，在油侧隔膜头5上设有第二进液通道52和第二出液通道53，油腔51内设置有冷却管道6，冷却管道6的一端与第二进液通道52连接，另一端与第二出液通道53连接，以使得第二进液通道52、冷却管道6以及第二出液通道53形成依次连通的通道。第二进液通道52和第二出液通道53连接外部的冷却液散热设备并形成第二循环回路，以使得外部的冷却液从第二进液通道52进入冷却管道6内，而且与油腔51内部的液压油换热后，从第二出液通道53回到冷却液散热设备进行散热，如此循环，实现对液压油的降温，避免隔膜压缩机的温度升高。其中，液压油的温度升高时，会导致液压油的粘稠度变小，影响液压油的增压效果，通过第二进液通道52、第二出液通道53以及冷却管道6实现换热，避免液压油因温度升高而导致粘稠度变小。

上述中，在油侧隔膜头5上增设第二进液通道52和第二出液通道53，几乎不改变油侧隔膜头5的结构，因此不会导致油侧隔膜头5的受力强度降低。

其中，第一循环回路和第二循环回路可以为独立工作的单独回路。第一循环回路和第二循环回路也可以为共同工作的并联回路，也就是说，第一进液通道12、第一出液通道13以及冷却通道8所形成的支路与第二进液通道52、第二出液通道53以及冷却管道6所形成的支路连接在同一冷却液散热设备上，实现两个支路并联。

冷却管道6呈螺旋状，增加冷却管道6与液压油之间的接触面积，提高了换热效果。如图2所示的实施例中，冷却管道6在同一平面上并形成盘状，使得沿冷却液移动方向的面积最大，提高冷却管道6与冷却液之间的换热效果。在其他实施例中，冷却管道6还可以卷成环状、波浪状或者网状。

如图1所示的实施例中，第二进液通道52和第二出液通道53设置在油腔51背离配油盘4的一侧，并且与液压油通道54具有距离，以使得第二进液通道52和第二出液通道53不是位于油侧隔膜头5的边沿。

隔膜压缩机的隔膜头还包括配油盘4，配油盘4设置在油腔51内，并将油腔51分成第一油腔511和第二油腔512，第一油腔511位于膜片组3与配油盘4之间，第二油腔512位于油侧隔膜头5与配油盘4之间，配油盘4上设置有连通第一油腔511和第二油腔512的若干个过油孔41；冷却管道6设置在第二油腔512内。

如图1所示，配油盘4的周向边沿固定在膜片组3与油侧隔膜头5之间，配油盘4中部分布有多个过油孔41，以使得第二油腔512以及液压油通道54内的液压油能够均匀地分配到第一油腔511内的各个位置，提高膜片组3的运动效果。

在本申请的一实施例中，隔膜头外套1与油侧隔膜头5通过螺栓固定连接，使得气侧隔膜头2、膜片组3以及配油盘4依次地夹紧在隔膜头外套1与油侧隔膜头5之间。其中，膜片组3和配油盘4被夹持的位置位于周向边沿，因此不影响膜片组3中部的运动以及液压油从配油盘4中部的过油孔41经过。

参阅图3，隔膜头外套1设置有中心孔14，气侧隔膜头2一端置于中心孔14内，冷却通道8设置在隔膜头外套1的内壁与气侧隔膜头2的周向外表面之间。

其中，气侧隔膜头2上的进气通道24和出气通道25均沿着气侧隔膜头2的轴向设置，因此，冷却通道8设置在隔膜头外套1的内壁与气侧隔膜头2的周向外表面之间，以使得冷却通道8能够对气侧隔膜头2在周向上进行冷却，使得气侧隔膜头2各处的温度均匀。

参阅图4，在本申请的一实施例中，气侧隔膜头2沿轴向分成第一轴段21和第二轴段22，第一轴段21的直径小于第二轴段22的直径，并且第二轴段22位于第一轴段21靠近油侧隔膜头5的一侧。

参阅图3，隔膜头外套1沿轴向依次分成第三轴段15、第四轴段16以及第五轴段17，第五轴段17位于靠近油侧隔膜头5的一侧。第三轴段15的内径小于第五轴段17的内径，第四轴段16的内径小于第五轴段17的内径且大于第三轴段15的内径。

参阅图1、图3和图4，第三轴段15和第四轴段16均设置在第一轴段21的周向外侧，第三轴段15与第一轴段21密封连接，第五轴段17设置在第二轴段22的周向外侧，并与第二轴段22密封连接，第四轴段16的内径大于第一轴段21的直径，因此，第四轴段16的周向内壁面与第一轴段21的周向外壁面之间具有距离，以使得第四轴段16与第一轴段21之间形成冷却通道8。也就是说，隔膜头外套1在第四轴段16的位置形成凹陷部11，凹陷部11与第一轴段21的周向外表面构建形成冷却通道8。

上述中，第四轴段16的内径小于第五轴段17的内径，以使得第四轴段16与第五轴段17之间的分界面形成第一法向平面18，在图3所示的实施例中，第一法向平面18与隔膜头外套1的中心孔轴线垂直。同理，第一轴段21的直径小于第二轴段22的直径，第一轴段21与第二轴段22之间的分界面形成第二法向平面27，在图4所示的实施例中，第二法向平面27与气侧隔膜头2的轴线垂直。隔膜头外套1与气侧隔膜头2配合后，第一法向平面18与第二法向平面27相互抵接，实现隔膜头外套1将气侧隔膜头2压紧在油侧隔膜头5上。

如图1所示的实施例中，第四轴段16的内径小于第五轴段17的内径且大于第三轴段15的内径，使得凹陷部11成为台阶状。在其他实施例中，凹陷部11可以为设置在中心孔14内壁面上的凹槽23。

如图1所示的实施例中，凹陷部11设置在中心孔14的圆周表面，即凹陷部11成环形。在其他实施例中，凹陷部11可以为圆弧段、螺旋段等。

第一轴段21与第三轴段15之间、第五轴段17与第二轴段22之间均设有密封环7，使得流经冷却通道8内部的冷却液不能够从隔膜头外套1的轴向两端端部流出，保证冷却通道8的密封性。也就是说，第一轴段21与第三轴段15之间、第五轴段17与第二轴段22之间均可以为过渡配合或者间隙配合，然后通过密封环7使得第一轴段21与第三轴段15之间、第五轴段17与第二轴段22之间密封。

详细的，气侧隔膜头2在第一轴段21和第二轴段22上沿周向设置有凹槽23，凹槽23内安装密封环7。在将气侧隔膜头2安装在隔膜头外套1上之前，先将密封环7套在气侧隔膜头2上的凹槽23处，使得将气侧隔膜头2安装在隔膜头外套1时，密封环7不会沿着气侧隔膜头2的轴向移动。冷却通道8内通入冷却液后，由于冷却液需要流动，因此其具有一定的压力，凹槽23的设置，也可以避免密封环7在冷却液的压力下沿气侧隔膜头2的轴向滑动而影响密封效果。

第一进液通道12和第一出液通道13的横截面面积均小于冷却通道8的横截面面积，使得冷却液在冷却通道8内部的流动速度较慢，冷却液与气侧隔膜头2充分换热。

由于凹陷部11设于隔膜头外套1的中心孔14内壁的轴向中部，因此，将第一进液通道12和第一出液通道13沿隔膜头外套1的径向设置，即使得第一进液通道12和第一出液通道13位于隔膜头外套1的轴向中部，保证隔膜头外套1的受力强度。

其中，第一进液通道12和第一出液通道13可以设置在隔膜头外套1的直径上。第一进液通道12和第一出液通道13也可以成夹角设置，即沿隔膜头外套1的径向设置第一进液通道12和第一出液通道13的轴线不重合，如图2所示的第一进液通道12和第一出液通道13。

参阅图1和图2，隔膜头外套1与油侧隔膜头5之间通过螺栓固定，因此，在隔膜头外套1上设有用于穿过螺栓的多个通孔，多个通孔周向分布在隔膜头外套1上。第一进液通道12设置在相邻的两个通孔之间，使得第一进液通道12不与螺栓发生干涉，也保证隔膜头外套1在通孔处的受力强度。同样的，第一出液通道13设置在相邻的两个通孔之间，使得第一出液通道13不与螺栓发生干涉，也保证隔膜头外套1在通孔处的受力强度。

可以理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，而所有这些改变或替换都应属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种隔膜压缩机的隔膜头，其特征在于，包括气侧隔膜头和隔膜头外套，所述隔膜头外套紧套在所述气侧隔膜头上；

所述隔膜头外套朝向所述气侧隔膜头的一侧设有凹陷部，所述凹陷部与所述气侧隔膜头之间形成冷却通道，所述隔膜头外套上设置有与所述冷却通道连通的第一进液通道和第一出液通道。

2.根据权利要求1所述的隔膜压缩机的隔膜头，其特征在于，还包括膜片组和油侧隔膜头，所述油侧隔膜头的一端嵌套在所述气侧隔膜头的第一端上，且所述气侧隔膜头的第一端的端面与所述油侧隔膜头之间形成有空腔，所述膜片组紧密连接在所述气侧隔膜头的第一端的端面与所述油侧隔膜头之间，并且将所述空腔分隔为气腔和油腔，所述气腔设置在所述膜片组朝向所述气侧隔膜头的一侧，所述油腔设置在所述膜片组朝向所述油侧隔膜头的一侧；

所述油侧隔膜头上设有第二进液通道和第二出液通道，所述油腔内设置有冷却管道，所述冷却管道一端与所述第二进液通道连接，另一端与所述第二出液通道连接。

3.根据权利要求2所述的隔膜压缩机的隔膜头，其特征在于，还包括配油盘，所述配油盘设置在所述油腔内，并将所述油腔分成第一油腔和第二油腔，所述第一油腔位于所述膜片组与所述配油盘之间，所述第二油腔位于所述油侧隔膜头与所述配油盘之间，所述配油盘上设置有连通所述第一油腔和所述第二油腔的若干个过油孔；所述冷却管道设置在所述第二油腔内。

4.根据权利要求2或3所述的隔膜压缩机的隔膜头，其特征在于，所述冷却管道呈螺旋状。

5.根据权利要求2所述的隔膜压缩机的隔膜头，其特征在于，所述隔膜头外套设置有中心孔，所述气侧隔膜头的一端置于所述中心孔内，所述冷却通道设置在所述隔膜头外套的内壁与所述气侧隔膜头的周向外表面之间。

6.根据权利要求5所述的隔膜压缩机的隔膜头，其特征在于，

所述气侧隔膜头沿轴向分成第一轴段和第二轴段，所述第一轴段的直径小于所述第二轴段的直径，并且所述第二轴段位于所述第一轴段靠近所述油侧隔膜头的一侧；

所述隔膜头外套沿轴向依次分成第三轴段、第四轴段以及第五轴段，所述第三轴段的内径小于所述第五轴段的内径，所述第四轴段的内径小于所述第五轴段的内径且大于所述第三轴段的内径；

所述第三轴段和所述第四轴段均设置在所述第一轴段的周向外侧，所述第三轴段与所述第一轴段密封连接，所述第五轴段设置在所述第二轴段的周向外侧，并与所述第二轴段密封连接，所述第四轴段的内径大于所述第一轴段的直径以形成所述凹陷部；所述第四轴段与所述第一轴段之间形成所述冷却通道。

7.根据权利要求6所述的隔膜压缩机的隔膜头，其特征在于，所述第一轴段与所述第三轴段之间、所述第五轴段与所述第二轴段之间均设有密封环。

8.根据权利要求7所述的隔膜压缩机的隔膜头，其特征在于，所述气侧隔膜头在所述第一轴段和所述第二轴段上沿周向设置有凹槽，所述凹槽内安装所述密封环。

9.根据权利要求1所述的隔膜压缩机的隔膜头，其特征在于，所述第一进液通道和所述第一出液通道的横截面面积均小于所述冷却通道的横截面面积；及/或

所述第一进液通道和所述第一出液通道沿所述隔膜头外套的径向设置。

10.一种隔膜压缩机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的隔膜头。