CN219457636U - 用于锗探测器真空封装的抽气封装件 - Google Patents

Abstract

提供一种用于锗探测器真空封装的抽气封装件，其包括抽气管、套筒、螺杆以及封头。抽气管用于与外部的抽气装置连接。套筒与抽气管相交并密封连接在一起，套筒具有通道与抽气管的内腔连通，套筒用于可拆卸地密封固定在锗探测器的外壳的抽气孔周围。螺杆沿套筒的轴向密封穿入套筒内，螺杆具有沿螺杆的轴向的相反的第一端和第二端，第一端位于套筒的通道内且设有外螺纹，第二端位于套筒外，第二端用于接受外力以使螺杆能够轴向往复运动。封头设有螺纹孔用于与螺杆的第一端的外螺纹螺接以能够被螺杆带动以在外部的抽气装置对锗探测器的外壳的内部进行抽真空之后封头塞入并密封锗探测器的外壳的抽气孔以及在封头塞入并密封抽气孔之后能够与螺杆脱离。

Description

用于锗探测器真空封装的抽气封装件

技术领域

本公开涉及半导体封装领域，更具体地涉及一种用于锗探测器真空封装的抽气封装件。

背景技术

高纯锗半导体探测器常用于放射性检测等领域，测试环境较为严格，其所用到的高纯锗晶体需要封装于真空室中且在低温环境(77K温度下)工作，因此需要对高纯锗进行真空隔热封装处理，避免密封锗晶体真空室的真空度下降而引起高纯锗半导体探测器的真空故障。

于2014年7月2日公布的中国实用新型专利申请授权公告号CN203686187U公开了一种用于真空接口为薄壁外置型锗探测器的接口阀门，接口阀门包括中空壳体，通过设置在中空壳体的拉杆与设在锗探测器的真空室的真空接口内的真空密封塞螺纹连接，驱动拉杆使得真空密封塞拉出和插入真空接口，从而实现打开、关闭锗探测器的真空室。设计的O型圈放置于O型圈固定槽，旋紧固定螺栓，可使拉杆在来回拉动的过程中不泄露真空。真空密封塞预先安装于真空接口中，真空接口设置于锗探测器的真空室的壁的孔上，而接口阀门为密封装置，难以从外部观察与判断接口阀门内的拉杆是否与真空密封塞对准及螺接插入适当，进而影响外部的抽气装置与锗探测器的真空室的连通。此外，真空密封塞在整个真空维护和热净化处理时将经历真空密封塞预先插入真空室的壁的孔上的真空接口中、被拉杆拔出真空接口、再被拉杆推入真空接口，而操作繁琐。

实用新型内容

鉴于背景技术中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种用于锗探测器真空封装的抽气封装件，其能改善背景技术中的接口阀门与真空密封塞不易对准及插入的问题。

本公开的另一目的在于提供一种用于锗探测器真空封装的抽气封装件，其能改善背景技术中的接口阀门与真空密封塞操作繁琐的问题。

由此，提供一种用于锗探测器真空封装的抽气封装件，抽气封装件包括抽气管、套筒、螺杆以及封头。抽气管具有沿抽气管的轴向贯通抽气管的内腔，抽气管用于与外部的抽气装置连接。套筒与抽气管相交并密封连接在一起，套筒具有沿套筒的轴向延伸的通道，通道与抽气管的内腔连通，套筒用于可拆卸地密封固定在锗探测器的外壳的抽气孔周围以使锗探测器的外壳的抽气孔、套筒的通道、抽气管的内腔连通来供外部的抽气装置对锗探测器的外壳的内部进行抽真空。螺杆沿套筒的轴向密封穿入套筒内，螺杆具有沿螺杆的轴向的相反的第一端和第二端，第一端位于套筒的通道内且设有外螺纹，第二端位于套筒外，第二端用于接受外力以使螺杆能够相对套筒沿套筒的轴向往复运动。封头设有螺纹孔，封头的螺纹孔用于与螺杆的第一端的外螺纹螺接以能够被螺杆带动以在外部的抽气装置对锗探测器的外壳的内部进行抽真空之后封头塞入并密封锗探测器的外壳的抽气孔以及在封头塞入并密封锗探测器的外壳的抽气孔之后能够与螺杆脱离。

本公开的有益效果如下：在本公开的抽气封装件中，由于在对锗探测器的外壳内抽真空之前封头的螺纹孔与螺杆的第一端的外螺纹螺接，解决背景技术中接口阀门与真空密封塞不易对准及插入的问题，改善外部的抽气装置与锗探测器的真空室的连通。

在本公开的抽气封装件中，由于在对锗探测器的外壳内抽真空之前封头的螺纹孔与螺杆的第一端的外螺纹螺接，封头不是像背景技术那样预先安装锗探测器的外壳的抽气孔上、进而省略了背景技术中的真空密封塞预先插入真空室的壁的孔上的真空接口的操作，故能改善背景技术中的接口阀门与真空密封塞操作繁琐的问题。

附图说明

图1是根据本公开的用于锗探测器真空封装的抽气封装件与锗探测器的一组装图。

图2是根据本公开的用于锗探测器真空封装的抽气封装件与锗探测器的一分解图。

图3是图1的用于锗探测器真空封装的抽气封装件的一局部剖视图。

图4是根据本公开的用于锗探测器真空封装的抽气封装件的一立体图。

图5是根据本公开的用于锗探测器真空封装的抽气封装件的一剖视图。

其中，附图标记说明如下：

1000抽气封装件 141螺纹孔

11抽气管 15可拆卸限位机构

111内腔 151卡合件

112法兰 151a通孔

12套筒 16螺钉

121通道 17内螺纹轴套

122端壁 171螺接孔

122a螺孔 18A第一密封圈

13螺杆 18B第二密封圈

131第一端 19连接板

131a外螺纹 19a过孔

132第二端 19b穿孔

132a握把 20螺丝

S螺纹 2000锗探测器

133限位凹部 21外壳

134外螺纹段 211抽气孔

14封头 212螺丝用孔

具体实施方式

附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。

参照图1至图5，根据本公开抽气封装件1000包括抽气管11、套筒12、螺杆13以及封头14。抽气管11具有沿抽气管11的轴向贯通抽气管11的内腔111，抽气管11用于与外部的抽气装置(未示出)连接。套筒12与抽气管11相交并密封连接在一起，套筒12具有沿套筒12的轴向延伸的通道121，通道121与抽气管11的内腔111连通，套筒12用于可拆卸地密封固定在锗探测器2000的外壳21的抽气孔211周围以使锗探测器2000的外壳21的抽气孔211、套筒12的通道121、抽气管11的内腔111连通来供外部的抽气装置对锗探测器2000的外壳21的内部进行抽真空。螺杆13沿套筒12的轴向密封穿入套筒12内，螺杆13具有沿螺杆13的轴向的相反的第一端131和第二端132，第一端131位于套筒12的通道121内且设有外螺纹131a，第二端132位于套筒12外，第二端132用于接受外力以使螺杆13能够相对套筒12沿套筒12的轴向往复运动。封头14设有螺纹孔141，封头14的螺纹孔141用于与螺杆13的第一端131的外螺纹131a螺接以能够被螺杆13带动以在外部的抽气装置对锗探测器2000的外壳21的内部进行抽真空之后封头14塞入并密封锗探测器2000的外壳21的抽气孔211以及在封头14塞入并密封锗探测器2000的外壳21的抽气孔211之后能够与螺杆13脱离。

在操作时，在对锗探测器2000的外壳21内抽真空之前封头14的螺纹孔141与螺杆13的第一端131的外螺纹131a螺接；在对套筒12可拆卸地密封固定在锗探测器2000的外壳21的抽气孔211周围且外部的抽气装置经由连通的锗探测器2000的外壳21的抽气孔211、套筒12的通道121、抽气管11的内腔111对锗探测器2000的外壳21内抽真空之后，封头14经由螺杆13的带动塞入锗探测器2000的外壳21的抽气孔211中将抽气孔211密封；在封头14将抽气孔211密封之后，螺杆13的第一端131拧出封头14的螺纹孔141而使封头14保留在锗探测器2000的外壳21的抽气孔211、进而套筒12连同抽气管11以及螺杆13能够从锗探测器2000的外壳21的抽气孔211周围拆下。

在本公开的抽气封装件1000中，由于在对锗探测器2000的外壳21内抽真空之前封头14的螺纹孔141与螺杆13的第一端131的外螺纹131a螺接，解决背景技术中接口阀门与真空密封塞不易对准及插入的问题，改善外部的抽气装置与锗探测器的真空室的连通。

在本公开的抽气封装件1000中，由于在对锗探测器2000的外壳21内抽真空之前封头14的螺纹孔141与螺杆13的第一端131的外螺纹131a螺接，封头14不是像背景技术那样预先安装锗探测器2000的外壳21的抽气孔211上、进而省略了背景技术中的真空密封塞预先插入真空室的壁的孔上的真空接口的操作，故能改善背景技术中的接口阀门与真空密封塞操作繁琐的问题。

抽气管11为钢管。抽气管11与外部的抽气装置连接的一端设有法兰112。法兰112可为CF35内焊标准法兰。法兰112可根据抽气装置的接口进行型号更换，以满足需求。

螺杆13为钢制。参照图3，螺杆13的第二端132设有握把132a，握把132a外周面上设有螺纹S，方便人工握持和驱动螺杆13运动。螺纹S可为滚花螺纹。握把132a为黄铜握把。

封头14可为活塞轴套。

参照图3至图5，在一实施例中，套筒12还具有端壁122。抽气封装件1000还包括可拆卸限位机构15，可拆卸限位机构15设置于套筒12的螺杆13穿出套筒12的端壁122外。

螺杆13还具有限位凹部133，限位凹部133位于第一端131和第二端132之间，限位凹部133用于：在对锗探测器2000的外壳21内抽真空之前，限位凹部133与可拆卸限位机构15配合，以将螺杆13沿套筒12的轴向限位成与螺杆13的第一端131螺接的封头14避开抽气管11的内腔111；在对锗探测器2000的外壳21内抽真空之后，可拆卸限位机构15配合被拆下，限位凹部133与可拆卸限位机构15的配合解除，以使螺杆13能够相对套筒12运动来带动封头14塞入并密封锗探测器2000的外壳21的抽气孔211以及之后螺杆13能够与封头14脱离螺接套筒12。

进一步地，在一示例中，如图4所示，可拆卸限位机构15包括两卡合件151，两卡合件151彼此相对地设于套筒12的端壁122并能够相对彼此运动地卡合于螺杆13的限位凹部133。卡合件151与限位凹部133配合，能进一步限制螺杆13的运动，同时也起到支撑螺杆13，以及密封螺杆13与锗探测器2000的外壳21之间的间隙。卡合件151为钢制。更进一步地，参照图4，各卡合件151具有通孔151a。套筒12的端壁122设有螺孔122a。抽气封装件1000还包括螺钉16，螺钉16用于穿过各卡合件151的通孔151a、拧入套筒12的端壁122的螺孔122a内以将各卡合件151固定在套筒12的端壁122上以及用于从螺孔122a中拧出以使各卡合件151从套筒12的端壁122上拆下。卡合件151用螺钉16限位，同时也方便人工进行拆装卡合件151。

参照图4，各卡合件151的通孔151a为腰孔，两卡合件151的腰孔的长度方向彼此相对。

参照图4，各卡合件151呈L形，各卡合件151的通孔151a位于L型的水平部分。各卡合件151也可以为其他任何适宜的形状。

参照图3和图5，抽气封装件1000还包括内螺纹轴套17，内螺纹轴套17密封固定套筒12的通道121内，内螺纹轴套17具有贯通内螺纹轴套17的螺接孔171。螺杆13还具有外螺纹段134，外螺纹段134位于第一端131和第二端132之间且处于通道121内，外螺纹段134用于穿过内螺纹轴套17并与内螺纹轴套17的螺接孔171螺接套筒12。

在螺杆13往复运动的过程中，外螺纹段134起到限制内螺纹轴套17与螺杆13相对位移的作用，避免螺纹轴套17松脱或者超出预定行程范围而使得真空泄露。根据螺杆13的行程或者运动范围，来通过调整内螺纹轴套17在螺杆13上的位置，使得内螺纹轴套17能密封螺杆13与套筒12之间的间隙，防止真空泄露，同时内螺纹轴套17增加螺杆13与套筒12之间摩擦力，使得螺杆13限制在预定范围内能够平稳地往复运动，增加螺杆13和套筒12的使用寿命。内螺纹轴套17可为铜轴套。

内螺纹轴套17为多个，沿通道121间隔排列并靠近套筒12的端壁122。参照图3，本公开的内螺纹轴套17为2个，也可以为1个或者超过2个，根据实际使用需求而定。当内螺纹轴套17为多个时，螺杆13的外螺纹段134也可以为多段，并且每段的外螺纹的规格不同，以适配不同规格的内螺纹轴套17。

参照图3，抽气封装件1000还包括第一密封圈18A，第一密封圈18A套设在封头14的外周，第一密封圈18A用于在对锗探测器2000的外壳21内抽真空之后与封头14一起塞入并密封锗探测器2000的外壳21的抽气孔211。第一密封圈18A通过密封封头14与抽气孔211之间的缝隙，降低真空泄露的风险。第一密封圈18A可为异型非标密封氟橡胶圈。

参照图3，抽气封装件1000还包括第二密封圈18B，第二密封圈18B套设在内螺纹轴套17的外周并且与套筒12的通道121的壁121A相抵靠以将通道121密封。第二密封圈18B能密封内螺纹轴套17与套筒12之间的间隙，防止真空泄露，此外第二密封圈18B增加内螺纹轴套17与套筒12之间摩擦力，使得螺杆13能够平稳地往复运动，增加螺杆13、内螺纹轴套17和套筒12的使用寿命。第二密封圈18B可为异型非标密封氟橡胶圈。

参照图2，抽气封装件1000还包括连接板19和多个螺丝20。

连接板19设置在套筒12的与端壁122相反的一端，连接板19具有过孔19a(参照图5)和多个穿孔19b，过孔19a连通通道121，各穿孔19b供对应的螺丝20穿入并拧入锗探测器2000的外壳21的螺丝用孔212内。连接板19、螺丝20、连接板19的穿孔19b与锗探测器2000的外壳21的螺丝用孔212实现前述的套筒12可拆卸地密封固定在锗探测器2000的外壳21的抽气孔211周围。当然套筒12可以采用诸如粘接、扣接、插接等方式实现可拆卸连接。

连接板19、抽气管11以及套筒12是一体成型的单件，增加抽气封装件1000整体结构的稳定性。

参照图1和图2，抽气封装件1000的具体操作过程如下：

1、在对锗探测器2000的外壳21内抽真空之前封头14的螺纹孔141与螺杆13的第一端131的外螺纹131a螺接；在对套筒12可拆卸地密封固定在锗探测器2000的外壳21的抽气孔211周围；将各穿孔19b供对应的螺丝20穿入并拧入锗探测器2000的外壳21的螺丝用孔212内；；拧紧螺丝20；

2、两卡合件151彼此相对地设于套筒12的端壁122并能够相对彼此运动地卡合于螺杆13的限位凹部133，螺钉16(参照图4和图5)拧入套筒12的端壁122的螺孔122a内以将各卡合件151固定在套筒12的端壁122上；

3、法兰112连接外部的抽气装置进行抽真空操作；

4、抽真空完成后，按住握把132a，驱动螺杆13使得第一密封圈18A与封头14一起塞入并密封锗探测器2000的外壳21的抽气孔211；轻轻反旋握把132a，将封头14和螺杆13分离；

5、拆卸螺丝20，使得抽气封装件1000的套筒12与锗探测器2000的外壳21分离。

采用上面详细的说明描述多个示范性实施例，但本文不意欲限制到明确公开的组合。因此，除非另有说明，本文所公开的各种特征可以组合在一起而形成出于简明目的而未示出的多个另外组合。

Claims (10)

1.一种用于锗探测器真空封装的抽气封装件，其特征在于，

抽气封装件(1000)包括抽气管(11)、套筒(12)、螺杆(13)以及封头(14)，

抽气管(11)具有沿抽气管(11)的轴向贯通抽气管(11)的内腔(111)，抽气管(11)用于与外部的抽气装置连接；

套筒(12)与抽气管(11)相交并密封连接在一起，套筒(12)具有沿套筒(12)的轴向延伸的通道(121)，通道(121)与抽气管(11)的内腔(111)连通，套筒(12)用于可拆卸地密封固定在锗探测器(2000)的外壳(21)的抽气孔(211)周围以使锗探测器(2000)的外壳(21)的抽气孔(211)、套筒(12)的通道(121)、抽气管(11)的内腔(111)连通来供外部的抽气装置对锗探测器(2000)的外壳(21)的内部进行抽真空；

螺杆(13)沿套筒(12)的轴向密封穿入套筒(12)内，螺杆(13)具有沿螺杆(13)的轴向的相反的第一端(131)和第二端(132)，第一端(131)位于套筒(12)的通道(121)内且设有外螺纹(131a)，第二端(132)位于套筒(12)外，第二端(132)用于接受外力以使螺杆(13)能够相对套筒(12)沿套筒(12)的轴向往复运动；

封头(14)设有螺纹孔(141)，封头(14)的螺纹孔(141)用于与螺杆(13)的第一端(131)的外螺纹(131a)螺接以能够被螺杆(13)带动以在外部的抽气装置对锗探测器(2000)的外壳(21)的内部进行抽真空之后封头(14)塞入并密封锗探测器(2000)的外壳(21)的抽气孔(211)以及在封头(14)塞入并密封锗探测器(2000)的外壳(21)的抽气孔(211)之后能够与螺杆(13)脱离。

2.根据权利要求1所述的抽气封装件，其特征在于，

套筒(12)还具有端壁(122)；

抽气封装件(1000)还包括可拆卸限位机构(15)，可拆卸限位机构(15)设置于套筒(12)的螺杆(13)穿出套筒(12)的端壁(122)外；

螺杆(13)还具有限位凹部(133)，限位凹部(133)位于第一端(131)和第二端(132)之间，限位凹部(133)用于：在对锗探测器(2000)的外壳(21)内抽真空之前，限位凹部(133)与可拆卸限位机构(15)配合，以将螺杆(13)沿套筒(12)的轴向限位成与螺杆(13)的第一端(131)螺接的封头(14)避开抽气管(11)的内腔(111)；在对锗探测器(2000)的外壳(21)内抽真空之后，可拆卸限位机构(15)配合被拆下，限位凹部(133)与可拆卸限位机构(15)的配合解除，以使螺杆(13)能够相对套筒(12)运动来带动封头(14)塞入并密封锗探测器(2000)的外壳(21)的抽气孔(211)以及之后螺杆(13)能够与封头(14)脱离螺接套筒(12)套筒(12)。

3.根据权利要求2所述的抽气封装件，其特征在于，

可拆卸限位机构(15)包括两卡合件(151)，两卡合件(151)彼此相对地设于套筒(12)的端壁(122)并能够相对彼此运动地卡合于螺杆(13)的限位凹部(133)。

4.根据权利要求3所述的抽气封装件，其特征在于，

各卡合件(151)具有通孔(151a)，

套筒(12)的端壁(122)设有螺孔(122a)，

抽气封装件(1000)还包括螺钉(16)，螺钉(16)用于穿过各卡合件(151)的通孔(151a)、拧入套筒(12)的端壁(122)的螺孔(122a)内以将各卡合件(151)固定在套筒(12)的端壁(122)上以及用于从螺孔(122a)中拧出以使各卡合件(151)从套筒(12)的端壁(122)上拆下；

各卡合件(151)的通孔(151a)为腰孔，两卡合件(151)的腰孔的长度方向彼此相对；各卡合件(151)呈L形，各卡合件(151)的通孔(151a)位于L型的水平部分。

5.根据权利要求1所述的抽气封装件，其特征在于，

抽气封装件(1000)还包括内螺纹轴套(17)，内螺纹轴套(17)密封固定套筒(12)的通道(121)内，内螺纹轴套(17)具有贯通内螺纹轴套(17)的螺接孔(171)；

螺杆(13)还具有外螺纹段(134)，外螺纹段(134)位于第一端(131)和第二端(132)之间且处于通道(121)内，外螺纹段(134)用于穿过内螺纹轴套(17)并与内螺纹轴套(17)的螺接孔(171)螺接套筒(12)。

6.根据权利要求5所述的抽气封装件，其特征在于，

内螺纹轴套(17)为多个，沿通道(121)间隔排列并靠近套筒(12)的端壁(122)。

7.根据权利要求1所述的抽气封装件，其特征在于，

抽气封装件(1000)还包括第一密封圈(18A)，第一密封圈(18A)套设在封头(14)的外周，第一密封圈(18A)用于在对锗探测器(2000)的外壳(21)内抽真空之后与封头(14)一起塞入并密封锗探测器(2000)的外壳(21)的抽气孔(211)。

8.根据权利要求5所述的抽气封装件，其特征在于，

抽气封装件(1000)还包括第二密封圈(18B)，第二密封圈(18B)套设在内螺纹轴套(17)的外周并且与套筒(12)的通道(121)的壁(121A)相抵靠以将通道(121)密封。

9.根据权利要求1所述的抽气封装件，其特征在于，

抽气封装件(1000)还包括连接板(19)和多个螺丝(20)；

连接板(19)设置在套筒(12)的与端壁(122)相反的一端，连接板(19)具有过孔(19a)和多个穿孔(19b)，过孔(19a)连通通道(121)，各穿孔(19b)供对应的螺丝(20)穿入并拧入锗探测器(2000)的外壳(21)的螺丝用孔(212)内。

10.根据权利要求1所述的抽气封装件，其特征在于，

连接板(19)、抽气管(11)以及套筒(12)是一体成型的单件。