CN219456450U - 一种三维磁场探针台的拆卸式探臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种三维磁场探针台的拆卸式探臂，包括固定底板，所述固定底板顶部内壁两端两侧均安装有夹持板，两个所述夹持板之间安装有安装座，所述安装座一端外壁两侧均开设有两个安装孔，同侧的两个所述安装孔外侧设有固定臂，所述固定臂一端顶部设有固定板，所述固定板顶部设有压板，所述压板与固定板相对一侧设有安装杆。本实用新型通过夹持板可以对安装座进行安装和固定，紧固螺栓贯穿固定底板可以对夹持板进行加固，第一连接螺栓、第二连接螺栓和固定螺栓使得探臂的各零部件可以紧密的连接在一起，当零部件出现损坏时，工作人员可以便捷的对其进行检修和更换，可以提高探臂的使用寿命，可以减少探臂生产的成本。

Description

一种三维磁场探针台的拆卸式探臂

技术领域

本实用新型涉及三维磁场探针台技术领域，具体涉及一种三维磁场探针台的拆卸式探臂。

背景技术

三维磁场探针台能提供一维、二维、三维的磁场探针台，采用无磁材料制成，一维、二维、三维三对亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间一维、二维、三维磁场。线圈可采用风冷(磁场较小)也可采用水冷结构(磁场较大)，并且配备有线圈过热保护装置。通过软件或者电源控制面板上按键控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。广泛应用于半导体工业、MEMS、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。三维探针台和高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成。

现有技术存在以下不足：1、现有的探臂在使用过程中，工作人员无法便捷的将其安装到探针台的顶部，当探臂出现损坏时，工作人员无法便捷的对探臂进行检修和更换，进而使得磁场探针台无法稳定的进行后续的使用，会缩短磁场探针台的使用寿命；

2、现有的探臂在使用过程中，工作人员无法便捷的对探臂的各零部件进行组装和拆卸，进而当其中的零部件出现损坏时，工作人员无法单独对损坏的零部件进行更换，而需要对整个探臂进行更换，进而会增加探臂的生产成本，同时也会影响探臂的使用寿命。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种三维磁场探针台的拆卸式探臂，通过夹持板在牵引弹簧的弹力作用下可以对安装座进行安装和固定，紧固螺栓贯穿固定底板可以对夹持板进行加固，使得固定底板与安装座之间的连接更加的稳固，通过第一连接螺栓、第二连接螺栓和固定螺栓使得探臂的各零部件可以紧密的连接在一起，使得工作人员可以便捷的对探臂进行组装和拆卸，同时当其中的零部件出现损坏时，工作人员可以便捷的对零部件进行检修和更换，可以提高探臂的使用寿命，同时可以减少探臂生产的成本，以解决技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种三维磁场探针台的拆卸式探臂，包括固定底板，所述固定底板的顶部开设有安装槽，所述安装槽内壁两端的两侧均固定安装有牵引弹簧，同端的两个所述牵引弹簧远离安装槽内壁的一端固定安装有夹持板，所述固定底板内壁与夹持板之间设置有紧固螺栓，两个所述夹持板之间活动安装有安装座，所述安装座的一端外壁两侧均开设有两个安装孔，同侧的两个所述安装孔的外侧设置有固定臂，所述固定臂与同侧的两个安装孔之间设置有第一连接螺栓，所述固定臂远离安装座的一端顶部设置有固定板，所述固定板顶部设置有压板，所述压板与固定板的内壁均开设有多个连接孔，相对的两个连接孔之间设置有固定螺栓且通过固定螺栓固定连接，所述压板与固定板相对的一侧设置有安装杆，所述固定底板的顶部两端内壁均开设有两个固定孔，四个所述固定孔的内壁均螺纹安装有安装螺栓。

优选的，所述固定底板内壁两端分别与两个紧固螺栓螺纹连接，两个所述紧固螺栓远离固定底板的一端分别与两个夹持板的外侧抵触连接。

优选的，所述固定臂靠近安装座的一端两侧分别与两个第一连接螺栓螺纹连接，两个所述第一连接螺栓远离固定臂的一端分别与相邻的安装孔内壁螺纹连接。

优选的，所述安装座靠近固定臂的一端开设有两个固定槽，两个所述固定槽分别设置于同侧的两个安装孔之间的空隙处。

优选的，所述固定臂靠近安装座的一端固定安装有固定销，所述固定销与相邻的固定槽内壁活动连接。

优选的，所述固定臂远离安装座的一端内壁与固定板内壁之间设置有第二连接螺栓且通过第二连接螺栓固定连接，所述固定臂远离安装座的一端和固定板均设置为倾斜结构。

在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

1、通过夹持板在牵引弹簧的弹力作用下可以对安装座进行安装和固定，紧固螺栓贯穿固定底板可以对夹持板进行加固，使得固定底板与安装座之间的连接更加的稳固，通过第一连接螺栓、第二连接螺栓和固定螺栓使得探臂的各零部件可以紧密的连接在一起，使得工作人员可以便捷的对探臂进行组装和拆卸，同时当其中的零部件出现损坏时，工作人员可以便捷的对零部件进行检修和更换，可以提高探臂的使用寿命，同时可以减少探臂生产的成本；

2、通过固定销与固定槽之间的连接使得固定臂与安装座之间的连接更加的紧密，进而使得固定臂的安装更加的稳固，倾斜状态的固定臂和固定板使得安装杆处于倾斜状态，使得安装杆可以便捷的对探针进行安装，进而使得探针可以便捷的进行工作。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的立体结构剖视图。

图3为本实用新型图2的A部放大图。

图4为本实用新型的立体结构爆炸图。

附图标记说明：

1、固定底板；2、安装槽；3、牵引弹簧；4、夹持板；5、紧固螺栓；6、安装座；7、安装孔；8、固定臂；9、第一连接螺栓；10、固定板；11、第二连接螺栓；12、压板；13、连接孔；14、固定螺栓；15、安装杆；16、固定孔；17、安装螺栓；18、固定销；19、固定槽。

具体实施方式

本实用新型提供了如图1-4所示的一种三维磁场探针台的拆卸式探臂，包括固定底板1，所述固定底板1的顶部开设有安装槽2，所述安装槽2内壁两端的两侧均固定安装有牵引弹簧3，同端的两个所述牵引弹簧3远离安装槽2内壁的一端固定安装有夹持板4，所述固定底板1内壁与夹持板4之间设置有紧固螺栓5，两个所述夹持板4之间活动安装有安装座6，所述安装座6的一端外壁两侧均开设有两个安装孔7，同侧的两个所述安装孔7的外侧设置有固定臂8，所述固定臂8与同侧的两个安装孔7之间设置有第一连接螺栓9，所述固定臂8远离安装座6的一端顶部设置有固定板10，所述固定板10顶部设置有压板12，所述压板12与固定板10的内壁均开设有多个连接孔13，相对的两个连接孔13之间设置有固定螺栓14且通过固定螺栓14固定连接，所述压板12与固定板10相对的一侧设置有安装杆15，所述固定底板1的顶部两端内壁均开设有两个固定孔16，四个所述固定孔16的内壁均螺纹安装有安装螺栓17，紧固螺栓5使得夹持板4可以对安装座6进行夹持。

进一步的，在上述技术方案中，所述固定底板1内壁两端分别与两个紧固螺栓5螺纹连接，两个所述紧固螺栓5远离固定底板1的一端分别与两个夹持板4的外侧抵触连接，固定底板1可以对紧固螺栓5进行安装和固定，紧固螺栓5的活动可以推动夹持板4对安装座6进行夹持和固定，使得安装座6可以安装到固定底板1顶部的安装槽2内。

进一步的，在上述技术方案中，所述固定臂8靠近安装座6的一端两侧分别与两个第一连接螺栓9螺纹连接，两个所述第一连接螺栓9远离固定臂8的一端分别与相邻的安装孔7内壁螺纹连接，通过第一连接螺栓9贯穿固定臂8内壁并与安装孔7进行连接，使得固定臂8可以与安装座6进行连接。

进一步的，在上述技术方案中，所述安装座6靠近固定臂8的一端开设有两个固定槽19，两个所述固定槽19分别设置于同侧的两个安装孔7之间的空隙处，固定槽19可以对固定臂8进行安装和固定，所述固定臂8靠近安装座6的一端固定安装有固定销18，所述固定销18与相邻的固定槽19内壁活动连接，通过固定销18与固定槽19之间的连接使得固定臂8与安装座6之间的连接更加的稳固。

进一步的，在上述技术方案中，所述固定臂8远离安装座6的一端内壁与固定板10内壁之间设置有第二连接螺栓11且通过第二连接螺栓11固定连接，所述固定臂8远离安装座6的一端和固定板10均设置为倾斜结构，通过第二连接螺栓11可以将固定板10安装到固定臂8顶部，使得固定板10与固定臂8紧密连接。

实施方式具体为：在对探针臂进行安装和使用时，将固定底板1放置到磁场探针台顶部的安装位置，进而通过安装螺栓17贯穿固定孔16使其与安装部位进行连接，进而将安装座6放置到固定底板1顶部的安装槽2内壁，进而会对两个夹持板4产生挤压，使得两个夹持板4可以向着安装槽2内壁进行移动，进而使得牵引弹簧3出现收缩，进而当安装座6放置好后，夹持板4在牵引弹簧3的弹力作用下复位可以对安装座6进行夹持和固定，进而通过紧固螺栓5贯穿固定底板1内壁使其对夹持板4进行夹持，进而使得夹持板4与安装座6之间的连接更加的稳固，进而将固定臂8安装到安装座6的一侧，使得固定臂8内壁的孔洞可以与同侧的两个安装孔7对其，同时使得固定销18可以插入到固定槽19内，进而通过第一连接螺栓9贯穿固定臂8并与相邻的安装孔7进行连接，使得固定臂8与安装座6紧密连接，进而将固定板10与固定臂8远离安装座6的一端进行连接，通过第二连接螺栓11可以对固定板10和固定臂8进行连接，进而将安装杆15放置到固定板10顶部，进而将压板12压制在安装杆15外侧，使得压板12内壁的连接孔13与固定板10内壁的连接孔13对齐，进而使用固定螺栓14贯穿相对的两个连接孔13可以对压板12和固定板10进行连接和固定，使得安装杆15可以在固定板10与压板12之间的连接保持稳固，通过多种螺栓可以对探臂的零部件进行连接和固定，使得工作人员可以便捷的对探臂进行检修和更换，可以减少探臂生产的成本，该实施方式具体解决了现有技术中探臂无法便捷的进行安装和拆卸，工作人员无法便捷的对零部件进行检修和更换的问题。

以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。

Claims (6)

1.一种三维磁场探针台的拆卸式探臂，包括固定底板(1)，其特征在于：所述固定底板(1)的顶部开设有安装槽(2)，所述安装槽(2)内壁两端的两侧均固定安装有牵引弹簧(3)，同端的两个所述牵引弹簧(3)远离安装槽(2)内壁的一端固定安装有夹持板(4)，所述固定底板(1)内壁与夹持板(4)之间设置有紧固螺栓(5)，两个所述夹持板(4)之间活动安装有安装座(6)，所述安装座(6)的一端外壁两侧均开设有两个安装孔(7)，同侧的两个所述安装孔(7)的外侧设置有固定臂(8)，所述固定臂(8)与同侧的两个安装孔(7)之间设置有第一连接螺栓(9)，所述固定臂(8)远离安装座(6)的一端顶部设置有固定板(10)，所述固定板(10)顶部设置有压板(12)，所述压板(12)与固定板(10)的内壁均开设有多个连接孔(13)，相对的两个连接孔(13)之间设置有固定螺栓(14)且通过固定螺栓(14)固定连接，所述压板(12)与固定板(10)相对的一侧设置有安装杆(15)，所述固定底板(1)的顶部两端内壁均开设有两个固定孔(16)，四个所述固定孔(16)的内壁均螺纹安装有安装螺栓(17)。

2.根据权利要求1所述的一种三维磁场探针台的拆卸式探臂，其特征在于：所述固定底板(1)内壁两端分别与两个紧固螺栓(5)螺纹连接，两个所述紧固螺栓(5)远离固定底板(1)的一端分别与两个夹持板(4)的外侧抵触连接。

3.根据权利要求1所述的一种三维磁场探针台的拆卸式探臂，其特征在于：所述固定臂(8)靠近安装座(6)的一端两侧分别与两个第一连接螺栓(9)螺纹连接，两个所述第一连接螺栓(9)远离固定臂(8)的一端分别与相邻的安装孔(7)内壁螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种三维磁场探针台的拆卸式探臂，其特征在于：所述安装座(6)靠近固定臂(8)的一端开设有两个固定槽(19)，两个所述固定槽(19)分别设置于同侧的两个安装孔(7)之间的空隙处。

5.根据权利要求4所述的一种三维磁场探针台的拆卸式探臂，其特征在于：所述固定臂(8)靠近安装座(6)的一端固定安装有固定销(18)，所述固定销(18)与相邻的固定槽(19)内壁活动连接。

6.根据权利要求1所述的一种三维磁场探针台的拆卸式探臂，其特征在于：所述固定臂(8)远离安装座(6)的一端内壁与固定板(10)内壁之间设置有第二连接螺栓(11)且通过第二连接螺栓(11)固定连接，所述固定臂(8)远离安装座(6)的一端和固定板(10)均设置为倾斜结构。