CN219449955U - 一种辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于液相外延技术领域，涉及一种辅助装置。一种辅助装置，包括载物台、滑块、连接轴、可拆卸连接结构和石墨样品架；载物台的上端设有支撑板，石墨样品架通过可拆卸连接结构安装在连接轴的外壁，连接轴的一端与支撑板转动连接，滑块与载物台滑动连接，滑块设有第一限位结构，石墨样品架的外壁设有第二限位结构，第一限位结构和第二限位结构相互配合。本实用新型提高了石墨样品架装、取衬底片的稳定性与安全性，同时工装结构简单，操作方便快捷。

Description

一种辅助装置

技术领域

本实用新型属于液相外延技术领域，涉及一种辅助装置，具体涉及一种用于垂直液相外延装取片的辅助装置。

背景技术

液相外延是半导体材料生长的重要技术，是利用熔体固液相变过程，在衬底上生长薄膜晶体的一种工艺，该薄膜晶体称为薄膜材料，垂直液相外延技术在生长高质量外延薄膜材料方面有很大的优势。在外延前需要将衬底片固定在石墨样品架上，由于石墨样品架的形状不规整，易导致衬底片所处位置倾斜。

在实际操作过程中，常采取人为手动装、取片以及转动石墨样品架，若将石墨样品架水平放置在工作台上操作，靠近工作台的一端安装的衬底容易发生压伤或者划伤，且容易对衬底片引入污染源；若将石墨样品架竖直放置在工作台上操作，操作时片子在重力的作用下容易发生滑落，且大大地增加了取片破损的风险和人为操作难度。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于：提供一种辅助装置，该辅助装置能够将石墨样品架水平悬空，且在装取片时，操作面具有较高的水平度。

本实用新型提出的技术方案为：

一种辅助装置，包括载物台、滑块、连接轴、可拆卸连接结构和石墨样品架；

所述载物台的上端设有支撑板，所述石墨样品架通过所述可拆卸连接结构安装在所述连接轴的外壁，所述连接轴的一端与所述支撑板转动连接，所述滑块与所述载物台滑动连接，所述滑块设有第一限位结构，所述石墨样品架的外壁设有第二限位结构，所述第一限位结构和所述第二限位结构相互配合。

优选的，所述可拆卸连接结构包括螺纹轴和螺纹孔，所述螺纹轴设置在所述连接轴靠近所述支撑板的一端，所述螺纹孔设置在所述石墨样品架靠近所述支撑板的一端，所述螺纹孔的轴线与所述石墨样品架中心孔的轴线重合，所述螺纹轴和所述螺纹孔通过螺纹连接。

优选的，所述螺纹轴和所述螺纹孔的长度为20～25mm，连接轴的长度为12.5～15mm，螺纹轴和连接轴靠近支撑板的一端距离为5～8mm。

优选的，所述滑块移动的方向与所述连接轴的轴线平行。

优选的，所述第一限位结构为设置在所述滑块上端的卡槽，所述第二限位结构为设置在所述石墨样品架外壁的框架，所述框架的一端可插入所述卡槽内。

优选的，所述框架伸入所述卡槽内的一端和所述卡槽内壁分别设有至少一对相互配合的限位槽和限位件。

优选的，所述载物台设有槽体，所述滑块的水平端与所述槽体滑动连接。

优选的，还包括辅助转动装置。

优选的，所述辅助转动装置为转动板，所述转动板与所述连接轴铰接。

优选的，还包括固定结构，固定结构用于固定滑块和载物台的相对位置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过可拆卸连接结构能够将石墨样品架可拆卸安装在连接轴上，通过第一限位结构和第二限位结构能够将可转动的石墨样品架锁止，提高了石墨样品架装、取衬底片的稳定性与安全性，同时工装结构简单，操作方便快捷。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的石墨样品架主视图；

图3为本实用新型的石墨样品架内部结构示意图；

图4为本实用新型的载物台和连接轴主视图；

图5为本实用新型滑块的安装结构示意图。

图中：1、连接轴；2、可拆卸连接结构；21、螺纹轴；22、螺纹孔；3、辅助转动装置；4、支撑板；5、载物台；51、槽体；6、滑块；61、第一限位结构；7、石墨样品架；71、第二限位结构；8、固定结构。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例都属于本实用新型保护的范围。

为了清晰的描述和理解本专利，除本专利设计的工装外，其他的能够用到的工装结构和设备部分结构在图中也已给出。

实施例1

请参考图1-5，一种辅助装置，包括载物台5、滑块6、连接轴1、可拆卸连接结构2和石墨样品架7；

所述载物台5的上端设有支撑板4，所述石墨样品架7通过所述可拆卸连接结构2安装在所述连接轴1的外壁，所述连接轴1的一端与所述支撑板4转动连接，所述滑块6与所述载物台5滑动连接，所述滑块6设有第一限位结构61，所述石墨样品架7的外壁设有第二限位结构71，第一限位结构61和第二限位结构71相互配合将石墨样品架7固定。

使用时，首先将滑块6从载物台5上取下，再将石墨样品架7通过可拆卸连接结构2安装在连接轴1的外壁，转动连接轴1，使得石墨样品架7需要安装衬底的一面处于水平向上的位置，装入滑块6，然后移动滑块6，通过第一限位结构61配合第二限位结构71将石墨样品架7相对固定，从而能够限制石墨样品架7的转动，便于装卸衬底。

作为更进一步的方案，可进一步设置固定结构8，固定结构8用于固定滑块6和载物台5的相对位置，固定结构8（图中未示出）可采用插销插入载物台5表面的通孔和滑块6水平端相应的系列孔（为一组间隔设置的通孔）实现，显然固定结构8还有其他能够实现的方式，只要能够实现固定滑块6和载物台5相对位置即可。

需要说明书的是，支撑板4可采用一体成型的方式制作，连接轴1通过轴承实现与支撑板4的转动连接。

实施例2

对可拆卸连接结构2作进一步的说明。

请参考图3、图4，可拆卸连接结构2包括螺纹轴21和螺纹孔22，连接轴1为阶梯轴，靠近支撑板4的某一段具有较大的直径，加工外螺纹后形成螺纹轴21，石墨样品架7中心孔靠近支撑板4的一端扩孔后车内螺纹形成螺纹孔22，螺纹轴21和螺纹孔22通过螺纹连接。

作为更进一步的方案，所述螺纹轴21和所述螺纹孔22的长度为20～25mm，连接轴1的长度为12.5～15mm，螺纹轴21和连接轴1靠近支撑板4的一端距离为5～8mm，此设计能够保证连接轴1和石墨样品架7安装后的圆跳动在设定范围内。

需要说明的是，上述方案仅是可拆卸连接结构2的一种优选方案，可拆卸连接结构2显然还有其他方式可以实现，例如通过轴肩顶住石墨样品架7的一侧，另一侧通过螺母配合连接轴1上的螺纹也可实现；通过多个伸入石墨样品架7中心孔内的紧定螺钉顶紧连接轴1也可实现。

实施例3

对滑块6的移动方向做出详细说明。

请参考图1、图5，滑块6通过移动带动第一限位结构61与第二限位结构71连接，从而将石墨样品架7在径向方向固定，滑块6在水平方向移动时，滑块6移动的方向设置成与连接轴1的轴线平行，能够降低第一限位结构61与第二限位结构71卡接时，在径向方向上对石墨样品架7和连接轴1产生的作用力。

滑块6显然还可以沿垂直方向移动，但相应的，载物台5需要设置较厚的厚度，且只能适用同一种型号的石墨样品架7。

作为更进一步的方案，载物台5设有槽体51，滑块6的下端与槽体51滑动连接，槽体51的上端贯穿载物台5的上端面，槽体51的截面可设置成燕尾形，或者在槽体51的两侧设置能够限制滑块6上下位置的形状，从而能够限制与槽体51配合的滑块6下端的上下位置，保证滑块6前后移动时的水平度。

实施例4

对第一限位结构61和第二限位结构71做出详细说明。

请参考图1，第一限位结构61为设置在滑块6上端的卡槽，第二限位结构71为设置在石墨样品架7外壁的框架，框架的一端可插入所述卡槽内。

作为更进一步的方案，在框架伸入卡槽内的一端和卡槽内壁分别设置限位槽和限位件，相互配合的限位槽和限位件成对设置，数量不限于一对，限位槽和限位件均沿滑块6移动的方向设置，限位槽和限位件的位置可互换，限位槽和限位件的设计能够进一步防止石墨样品架7转动，第一限位结构61和第二限位结构71的固定效果更佳。

显然，也可将卡槽设置在石墨样品架7的外壁，将框架与卡槽配合的部分设置在滑块6的上端，同样能够实现第一限位结构61和第二限位结构71的功能。

卡槽的形状可以是矩形、梯形、弧形等，数量也不限于一个，只要能够实现第一限位结构61和第二限位结构71的功能即可，并不限制其形状和数据。

实施例5

还包括辅助转动装置3。

请参考图1，辅助转动装置3为转动板，转动板与连接轴1铰接。

连接轴1远离支撑板4的一端设有通槽，转动板通过转轴与通槽转动连接，使用时，扳动转动板，使得转动板与连接轴1平行，便于石墨样品架7安装，需要调整石墨样品架7的角度时，扳动转动板，使得转动板与连接轴1垂直，在调节时，利用转动板能够轻松实现。

显然，转动板还可以采用与连接轴1分离的方式实现，例如在连接轴1远离支撑板4的一端开设通孔，需要转动石墨样品架7时，将转动板插入通孔内，再扳动转动板即可调节石墨样品架7的角度。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种辅助装置，其特征在于，包括载物台（5）、滑块（6）、连接轴（1）、可拆卸连接结构（2）和石墨样品架（7）；

所述载物台（5）的上端设有支撑板（4），所述石墨样品架（7）通过所述可拆卸连接结构（2）安装在所述连接轴（1）的外壁，所述连接轴（1）的一端与所述支撑板（4）转动连接，所述滑块（6）与所述载物台（5）滑动连接，所述滑块（6）设有第一限位结构（61），所述石墨样品架（7）的外壁设有第二限位结构（71），所述第一限位结构（61）和所述第二限位结构（71）相互配合。

2.根据权利要求1所述的辅助装置，其特征在于，所述可拆卸连接结构（2）包括螺纹轴（21）和螺纹孔（22），所述螺纹轴（21）设置在所述连接轴（1）靠近所述支撑板（4）的一端，所述螺纹孔（22）设置在所述石墨样品架（7）靠近所述支撑板（4）的一端，所述螺纹孔（22）的轴线与所述石墨样品架（7）中心孔的轴线重合，所述螺纹轴（21）和所述螺纹孔（22）通过螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的辅助装置，其特征在于，所述螺纹轴（21）和所述螺纹孔（22）的长度为20～25mm，连接轴（1）的长度为12.5～15mm，螺纹轴（21）和连接轴（1）靠近支撑板（4）的一端距离为5～8mm。

4.根据权利要求1所述的辅助装置，其特征在于，所述滑块（6）移动的方向与所述连接轴（1）的轴线平行。

5.根据权利要求4所述的辅助装置，其特征在于，所述第一限位结构（61）为设置在所述滑块（6）上端的卡槽，所述第二限位结构（71）为设置在所述石墨样品架（7）外壁的框架，所述框架的一端可插入所述卡槽内。

6.根据权利要求5所述的辅助装置，其特征在于，所述框架伸入所述卡槽内的一端和所述卡槽内壁分别设有至少一对相互配合的限位槽和限位件。

7.根据权利要求4所述的辅助装置，其特征在于，所述载物台（5）设有槽体（51），所述滑块（6）的水平端与所述槽体（51）滑动连接。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的辅助装置，其特征在于，还包括辅助转动装置（3）。

9.根据权利要求8所述的辅助装置，其特征在于，所述辅助转动装置（3）为转动板，所述转动板与所述连接轴（1）铰接。

10.根据权利要求1所述的辅助装置，其特征在于，还包括固定结构（8），所述固定结构（8）用于固定滑块（6）和载物台（5）的相对位置。