CN219395165U - 真空吸附装置及生产设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供真空吸附装置及生产设备，真空吸附装置包括承载组件、开关组件和多个检测件，承载组件设置有多个间隔分布的抽真空腔室，每个抽真空腔室均具有与其连通的吸附孔和抽气孔；检测件用于检测与其对应的抽真空腔室连通的吸附孔是否被物料覆盖，当检测到被物料覆盖时，开关组件使与被物料覆盖的吸附孔连通的抽气孔与真空发生器连通，当检测到未被物料覆盖时，开关组件使与未被物料覆盖的吸附孔连通的抽气孔与真空发生器断开。如此设置，能够根据吸附的物料尺寸大小，自动使被物料覆盖的区域内的吸附孔内产生负压，未被覆盖的区域内的吸附孔内不产生负压。

Description

真空吸附装置及生产设备

技术领域

本申请涉及真空吸附技术领域，尤其涉及一种真空吸附装置及生产设备。

背景技术

物料在生产过程中，可以采用真空吸附的方式连接物料。例如在PCB板的生产过程中，可以将PCB板放置于真空吸附平台上，并使PCB板被真空吸附于真空吸附平台上。然而，物料的种类、型号不同，使得物料的尺寸大小不同，在生产过程中，使用现有技术中的真空吸附平台对不同大小的物料分别进行吸附时，真空吸附平台的吸附区域无法根据物料的大小自动进行改变。

实用新型内容

本申请提供了一种真空吸附装置及生产设备，能够根据所要吸附的物料的尺寸大小，自动使被物料覆盖的区域内的吸附孔内产生负压，未被覆盖的区域内的吸附孔内不产生负压。

本申请第一方面提供一种真空吸附装置，所述真空吸附装置包括：

承载组件，设置有多个间隔分布的抽真空腔室，每个所述抽真空腔室均具有与其连通的吸附孔和抽气孔，所述承载组件具有承载面，所述吸附孔设置于所述承载面，物料能够放置于所述承载面，并将所述吸附孔覆盖；

开关组件，与所述承载组件连接，所述开关组件能够使每个所述抽气孔与真空发生器连通或断开；

多个检测件，均连接于所述承载组件，每个所述抽真空腔室均对应设置至少一个所述检测件，所述检测件用于检测与其对应的所述抽真空腔室连通的所述吸附孔是否被物料覆盖，当检测到被物料覆盖时，所述开关组件用于使与被物料覆盖的所述吸附孔连通的所述抽气孔与真空发生器连通，当检测到未被物料覆盖时，所述开关组件用于使与未被物料覆盖的所述吸附孔连通的所述抽气孔与真空发生器断开。

在一种可能的设计中，所述承载面还设置有通孔，每个所述抽真空腔室还具有与其连通的安装孔，沿所述承载组件的厚度方向，所述通孔对应所述安装孔设置；

所述检测件安装于所述安装孔，且所述检测件的感应部朝向所述通孔。

在一种可能的设计中，所述真空吸附装置还包括第一安装件、第二安装件和进气接头，所述第一安装件安装于所述安装孔，所述第一安装件设置有第一安装通孔，所述第二安装件安装于所述第一安装通孔，且所述第二安装件的部分侧壁与所述第一安装通孔具有间隔，以形成通气腔；

所述第二安装件设置有第二安装通孔和通气孔，所述第二安装通孔通过所述通气孔与所述通气腔连通，所述检测件安装于所述第二安装通孔，且位于所述通气孔的下方；

所述进气接头安装于所述第一安装件的侧壁，且与所述通气腔连通。

在一种可能的设计中，所述开关组件包括气路分配件和多个开关件，所述气路分配件连接于所述承载组件，所述气路分配件设置有多个第一空腔，所述抽气孔与所述第一空腔一一对应，且与所述第一空腔连通，每个所述第一空腔均通过第一通气接头与真空发生器连通；

每个所述第一空腔均对应安装有所述开关件，所述开关件包括互相连接的驱动部和密封部，所述驱动部连接于所述气路分配件，所述密封部位于所述第一空腔内，所述驱动部能够驱动所述密封部靠近或远离所述抽气孔，以使所述密封部封堵或打开所述抽气孔。

在一种可能的设计中，所述真空吸附装置还包括分气件，所述分气件连接于所述承载组件，所述分气件设置有第二空腔和与所述第二空腔连通的第二通气接头和多个第三通气接头，所述第三通气接头与所述第一通气接头一一对应，且通过管路连通，所述第二通气接头与真空发生器连通。

在一种可能的设计中，所述真空吸附装置还包括负压检测仪，所述负压检测仪连接于所述承载组件，所述负压检测仪用于检测所述第二通气接头位置处的负压值。

在一种可能的设计中，沿所述承载组件的厚度方向，每个所述抽真空腔室的投影均为首尾闭合的形状，且多个所述抽真空腔室的投影从所述承载面的中心到外侧的方向逐渐放大；

每个所述抽真空腔室均连通有多个所述吸附孔。

在一种可能的设计中，沿第一方向，多个所述抽真空腔室并排分布。

在一种可能的设计中，所述承载组件包括互相连接的承料件和承载件，所述承料件具有所述承载面和所述吸附孔，所述承载件设置有所述抽气孔；

所述承料件置于所述承载件上，所述承料件和所述承载件之间形成所述抽真空腔室。

本申请第二方面提供一种生产设备，包括：

以上所述的真空吸附装置；

加工装置，用于加工被吸附至所述真空吸附装置的所述承载面上的物料。

本申请的有益效果是：

本申请提供的真空吸附装置及生产设备，尺寸大小不同的物料在放置于承载面时，各个物料覆盖的吸附孔的数量不同，通过检测件能够检测到各个抽真空腔室连通的吸附孔是否被覆盖，在检测件检测到吸附孔被覆盖时，开关组件使与吸附孔连通的抽气孔和真空发生器连通，使得被覆盖的吸附孔位置处与大气压产生压差，进而使得物料被吸附于承载面上，而未被覆盖的吸附孔对应的抽真空腔室始终和真空发生器之间处于断开状态，防止未被覆盖的吸附孔位置处与大气压产生压差，进而破掉真空，进而降低真空吸附装置吸附物料的稳定性。即本实施提供的真空吸附装置，能够根据所要吸附的物料的尺寸大小，自动使被物料覆盖的区域内的吸附孔内产生负压，而未被物料覆盖的区域内的吸附孔内不产生负压，进而提高了吸附尺寸大小不同的物料时的效率，以及使得尺寸大小不同的物料均能够被稳定地吸附。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。

附图说明

图1为本申请实施例所提供真空吸附装置的结构示意图；

图2为图1中真空吸附装置的爆炸图；

图3为图1的俯视图；

图4为图3中I处的放大图；

图5为图3沿A-A的剖视图；

图6为图5中II处的放大图；

图7为图2中检测件、第一安装件、第二安装件和进气接头的结构示意图；

图8为图7的剖视图；

图9为图3沿B-B的剖视图；

图10为图9中III处的放大图；

图11为本申请实施例所提供真空吸附装置在另一种具体实施例中的俯视图。

附图标记：

10-真空吸附装置；20-物料；

1-承载组件；

11-抽真空腔室；

12-吸附孔；

13-抽气孔；

14-承载面；

15-通孔；

16-安装孔；

17-承料件；

18-承载件；

2-开关组件；

21-气路分配件；

211-第一空腔；

22-开关件；

221-驱动部；

222-密封部；

23-第一通气接头；

3-检测件；

31-感应部；

32-光线；

4-第一安装件；

5-第二安装件；

51-第二安装通孔；

52-通气孔；

6-进气接头；

7-通气腔；

8-分气件；

81-第二通气接头；

82-第三通气接头；

9-负压检测仪。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

具体实施方式

为了更好的理解本申请的技术方案，下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

应当明确，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。

应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

需要注意的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。

本申请实施例提供一种真空吸附装置10，能够吸附物料20，物料20具体可以是PCB板(Printed Circuit Board，印制电路板)、显示屏、玻璃板等。

如图1-10所示，该种真空吸附装置10包括承载组件1、开关组件2和多个检测件3，承载组件1设置有多个间隔分布的抽真空腔室11，每个抽真空腔室11均具有与其连通的吸附孔12和抽气孔13，承载组件1具有承载面14，吸附孔12设置于承载面14，物料20能够放置于承载面14，并将吸附孔12覆盖；开关组件2与承载组件1连接，开关组件2能够使每个抽气孔13与真空发生器连通或断开；多个检测件3均连接于承载组件1，每个抽真空腔室11均对应设置至少一个检测件3，检测件3用于检测与其对应的抽真空腔室11连通的吸附孔12是否被物料20覆盖，当检测件3检测到与其对应的抽真空腔室11连通的吸附孔12被物料20覆盖时，开关组件2使与被物料20覆盖的吸附孔12连通的抽气孔13与真空发生器连通，当检测件3检测到与其对应的抽真空腔室11连通的吸附孔12未被物料20覆盖时，开关组件2使与未被物料20覆盖的吸附孔12连通的抽气孔13与真空发生器断开。

在使用时，由于检测件3能够检测吸附孔12是否被物料20覆盖，开关组件2能够根据检测件3的检测结果使抽气孔13与真空发生器连通或断开，所以承载组件1的承载面14上未放置物料20时，每个吸附孔12均未被覆盖，此时，开关组件2使每个抽气孔13与真空发生器均断开，使得每个吸附孔12位置处均不和大气压产生压差，即真空吸附装置10不具有吸附力。

在将尺寸较小的物料20放置于承载面14后，物料20将少量的吸附孔12覆盖，这些少量的吸附孔12在承载面14上组成一个较小的吸附区域，检测件3检测到较小的吸附区域内的所有吸附孔12被覆盖，此时，开关组件2使与这些少量的吸附孔12连通的所有抽气孔13均与真空发生器连通，在真空发生器的作用下，使得与这些少量的吸附孔12连通的所有抽真空腔室11内的空气被抽走，抽真空腔室11内产生负压，使得这些少量的吸附孔12位置处均和大气压产生压差，在大气压的作用下，使得尺寸较小的物料20被牢固地吸附于较小的吸附区域上；此过程中，其余未被物料20覆盖的吸附孔12对应的抽真空腔室11始终和真空发生器之间处于断开状态。

在将尺寸较大的物料20放置于承载面14后，物料20将大量的吸附孔12覆盖，这些大量的吸附孔12在承载面14上组成一个较大的吸附区域，检测件3检测到较大的吸附区域内的所有吸附孔12被覆盖，此时，开关组件2使与这些大量的吸附孔12连通的所有抽气孔13均与真空发生器连通，在真空发生器的作用下，使得与这些大量的吸附孔12连通的所有抽真空腔室11内的空气被抽走，抽真空腔室11内产生负压，使得这些大量的吸附孔12位置处均和大气压产生压差，在大气压的作用下，使得尺寸较大的物料20被牢固地吸附于较大的吸附区域上；此过程中，其余未被物料20覆盖的吸附孔12对应的抽真空腔室11始终和真空发生器之间处于断开状态。

其中，一个抽真空腔室11可以对应设置一个检测件3，即可以通过一个检测件3来检测与同一个抽真空腔室11连通的所有吸附孔12是否被物料20覆盖。或者，一个抽真空腔室11可以对应设置多个检测件3，例如两个、三个或更多个检测件3，通过多个检测件3来检测与同一个抽真空腔室11连通的所有吸附孔12是否被物料20覆盖。每个抽真空腔室11对应设置的检测件3的数量可以根据实际需要进行选择。

本实施例提供的真空吸附装置10，尺寸大小不同的物料20在放置于承载面14时，各个物料20覆盖的吸附孔12的数量不同，通过检测件3能够检测到各个抽真空腔室11连通的吸附孔12是否被覆盖，在检测件3检测到吸附孔12被覆盖时，开关组件2使与吸附孔12连通的抽气孔13和真空发生器连通，使得被覆盖的吸附孔12位置处与大气压产生压差，进而使得物料20被吸附于承载面14上，而未被覆盖的吸附孔12对应的抽真空腔室11始终和真空发生器之间处于断开状态，防止未被覆盖的吸附孔12位置处与大气压产生压差，进而破掉真空，进而降低真空吸附装置10吸附物料20的稳定性。即本实施提供的真空吸附装置10，能够根据所要吸附的物料20的尺寸大小，自动使被物料20覆盖的区域内的吸附孔12内产生负压，而未被物料20覆盖的区域内的吸附孔12内不产生负压，进而提高了吸附尺寸大小不同的物料20时的效率，以及使得尺寸大小不同的物料20均能够被稳定地吸附。

具体地，如图5-6所示，并结合图2、图4，承载面14还设置有通孔15，每个抽真空腔室11还具有与其连通的安装孔16，沿承载组件1的厚度方向Z，通孔15对应安装孔16设置；检测件3安装于安装孔16，且检测件3的感应部31朝向通孔15。

当物料20未放置于承载面14时，通孔15和吸附孔12均未被覆盖，检测件3的感应部31没有感应到物料20，所以此时检测件3检测的结果是吸附孔12未被覆盖，与吸附孔12连通的抽真空腔室11与真空发生器处于断开状态。当物料20放置于承载面14时，物料20将对应区域内的通孔15和吸附孔12覆盖，检测件3的感应部31感应到物料20，所以此时检测件3检测的结果是此区域内的吸附孔12被覆盖，此时开关组件2使与被覆盖的吸附孔12连通的抽真空腔室11与真空发生器处于连通状态，使得被覆盖的吸附孔12内产生负压，进而将物料20吸附。

其中，检测件3具体可以为光电传感器或接近开关等。以检测件3为光电传感器为例，请参考图6，当物料20覆盖通孔15时，光电传感器发出的光线32被物料20遮挡，光电传感器即检测到物料20。

通孔15对应安装孔16设置，例如可以是沿承载组件1的厚度方向Z，通孔15与安装孔16相对设置。

在真空吸附装置10长期使用后，环境中的灰尘等杂质会通过通孔15落入到检测件3的表面，进而使检测件3被污染。而且在物料20的加工过程中，也可能产生灰尘等杂质，此部分杂质也会通过通孔15落入到检测件3的表面，进而污染检测件3。进一步地，为了清洁检测件3，提高检测件3的检测准确性，及延长检测件3的使用寿命，如图6-8所示，真空吸附装置10还包括第一安装件4、第二安装件5和进气接头6，第一安装件4安装于安装孔16，第一安装件4设置有第一安装通孔，第二安装件5安装于第一安装通孔，且第二安装件5的部分侧壁与第一安装通孔具有间隔，以形成通气腔7；第二安装件5设置有第二安装通孔51和通气孔52，第二安装通孔51通过通气孔52与通气腔7连通，检测件3安装于第二安装通孔51，且位于通气孔52的下方；进气接头6安装于第一安装件4的侧壁，且与通气腔7连通。

进气接头6可以和风机等能够吹气的装置连通。当需要对检测件3进行清洁时，风机工作，使得气体从进气接头6进入通气腔7，然后再经过通气孔52后流向第二安装通孔51；流入第二安装通孔51的气体能够对检测件3的表面进行清洁，使得检测件3表面的灰尘最终被吹向通孔15外。

其中，第二安装件5可以采用螺纹连接的方式安装于第一安装通孔内，检测件3可以采用螺纹连接的方式安装于第二安装通孔51内。

在一种具体实施例中，如图1-2所示，承载组件1包括互相连接的承料件17和承载件18，承料件17具有承载面14和吸附孔12，承载件18设置有抽气孔13；承料件17置于承载件18上，承料件17和承载件18之间形成抽真空腔室11。

承料件17可以为承料板，承载件18可以为承载板，承载板朝向承料板的一侧表面可以设置有多个凹馅，在承料板置于承载板上之后，承料板和承载板之间形成抽真空腔室11。

在一种具体实施例中，如图2所示，并结合图9-10，开关组件2包括气路分配件21和多个开关件22，气路分配件21连接于承载组件1，气路分配件21设置有多个第一空腔211，抽气孔13与第一空腔211一一对应，且与第一空腔211连通，每个第一空腔211均通过第一通气接头23与真空发生器连通；每个第一空腔211均对应安装有开关件22，开关件22包括互相连接的驱动部221和密封部222，驱动部221连接于气路分配件21，密封部222位于第一空腔211内，驱动部221能够驱动密封部222靠近或远离抽气孔13，以使密封部222封堵或打开抽气孔13。

当检测件3检测到吸附孔12未被物料20覆盖时，在驱动部221的作用下，密封部222将与未被物料20覆盖的吸附孔12连通的抽气孔13进行封堵，使抽气孔13与真空发生器断开；当检测件3检测到吸附孔12被物料20覆盖时，驱动部221驱动密封部222远离抽气孔13，使抽气孔13与真空发生器连通。

具体地，真空吸附装置10还包括分气件8，分气件8连接于承载组件1，分气件8设置有第二空腔和与第二空腔连通的第二通气接头81和多个第三通气接头82，第三通气接头82与第一通气接头23一一对应，且通过管路连通，第二通气接头81与真空发生器连通。

本实施例中，真空发生器先通过第二通气接头81与分气件8连通，分气件8再通过多个第三通气接头82分别与气路分配件21的多个第一空腔211连通，如此设置，能够降低真空发生器与气路分配件21之间的管路布置复杂程度。

在一种具体实施例中，真空吸附装置10还包括负压检测仪9，负压检测仪9连接于承载组件1，负压检测仪9用于检测第二通气接头81位置处的负压值。由于第二通气接头81位置处的负压值即为真空发生器产生的总的负压值，负压检测仪9检测此位置处的负压值，便于及时获取真空发生器产生的负压压力是否满足使用需求，当此位置处的负压值未达到设定值时，负压检测仪9能够输出报警信号，以提醒相关工作人员。

在一种具体实施例中，沿承载组件1的厚度方向Z，每个抽真空腔室11的投影均为首尾闭合的形状，且多个抽真空腔室11的投影从承载面14的中心到外侧的方向逐渐放大；每个抽真空腔室11均连通有多个吸附孔12。

例如图2-3所示的，每个抽真空腔室11的投影均为正方形，从承载面14的中心到外侧的方向，多个正方形一圈一圈地呈放射性分布；而且每个抽真空腔室11均连通有多个吸附孔12，多个吸附孔12所形成的形状也大致成正方形。

在另一种具体实施例中，沿第一方向X，多个抽真空腔室11并排分布。

例如图11所示的，承载面14为长方形，沿承载组件1的厚度方向Z，每个抽真空腔室11的投影均为竖直条状(虚线所示的)，从承载面14的一个短边至另一个短边，多个竖直条状的抽真空腔室11并排分布。

本实施例还提供一种生产设备，包括以上所述的真空吸附装置10和加工装置，加工装置用于加工被吸附至真空吸附装置10的承载面14上的物料20。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种真空吸附装置，其特征在于，所述真空吸附装置(10)包括：

承载组件(1)，设置有多个间隔分布的抽真空腔室(11)，每个所述抽真空腔室(11)均具有与其连通的吸附孔(12)和抽气孔(13)，所述承载组件(1)具有承载面(14)，所述吸附孔(12)设置于所述承载面(14)，物料(20)能够放置于所述承载面(14)，并将所述吸附孔(12)覆盖；

开关组件(2)，与所述承载组件(1)连接，所述开关组件(2)能够使每个所述抽气孔(13)与真空发生器连通或断开；

多个检测件(3)，均连接于所述承载组件(1)，每个所述抽真空腔室(11)均对应设置至少一个所述检测件(3)，所述检测件(3)用于检测与其对应的所述抽真空腔室(11)连通的所述吸附孔(12)是否被物料(20)覆盖，当检测到被物料(20)覆盖时，所述开关组件(2)用于使与被物料(20)覆盖的所述吸附孔(12)连通的所述抽气孔(13)与真空发生器连通，当检测到未被物料(20)覆盖时，所述开关组件(2)用于使与未被物料(20)覆盖的所述吸附孔(12)连通的所述抽气孔(13)与真空发生器断开。

2.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于，所述承载面(14)还设置有通孔(15)，每个所述抽真空腔室(11)还具有与其连通的安装孔(16)，沿所述承载组件(1)的厚度方向(Z)，所述通孔(15)对应所述安装孔(16)设置；

所述检测件(3)安装于所述安装孔(16)，且所述检测件(3)的感应部(31)朝向所述通孔(15)。

3.根据权利要求2所述的真空吸附装置，其特征在于，所述真空吸附装置(10)还包括第一安装件(4)、第二安装件(5)和进气接头(6)，所述第一安装件(4)安装于所述安装孔(16)，所述第一安装件(4)设置有第一安装通孔，所述第二安装件(5)安装于所述第一安装通孔，且所述第二安装件(5)的部分侧壁与所述第一安装通孔具有间隔，以形成通气腔(7)；

所述第二安装件(5)设置有第二安装通孔(51)和通气孔(52)，所述第二安装通孔(51)通过所述通气孔(52)与所述通气腔(7)连通，所述检测件(3)安装于所述第二安装通孔(51)，且位于所述通气孔(52)的下方；

所述进气接头(6)安装于所述第一安装件(4)的侧壁，且与所述通气腔(7)连通。

4.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于，所述开关组件(2)包括气路分配件(21)和多个开关件(22)，所述气路分配件(21)连接于所述承载组件(1)，所述气路分配件(21)设置有多个第一空腔(211)，所述抽气孔(13)与所述第一空腔(211)一一对应，且与所述第一空腔(211)连通，每个所述第一空腔(211)均通过第一通气接头(23)与真空发生器连通；

每个所述第一空腔(211)均对应安装有所述开关件(22)，所述开关件(22)包括互相连接的驱动部(221)和密封部(222)，所述驱动部(221)连接于所述气路分配件(21)，所述密封部(222)位于所述第一空腔(211)内，所述驱动部(221)能够驱动所述密封部(222)靠近或远离所述抽气孔(13)，以使所述密封部(222)封堵或打开所述抽气孔(13)。

5.根据权利要求4所述的真空吸附装置，其特征在于，所述真空吸附装置(10)还包括分气件(8)，所述分气件(8)连接于所述承载组件(1)，所述分气件(8)设置有第二空腔和与所述第二空腔连通的第二通气接头(81)和多个第三通气接头(82)，所述第三通气接头(82)与所述第一通气接头(23)一一对应，且通过管路连通，所述第二通气接头(81)与真空发生器连通。

6.根据权利要求5所述的真空吸附装置，其特征在于，所述真空吸附装置(10)还包括负压检测仪(9)，所述负压检测仪(9)连接于所述承载组件(1)，所述负压检测仪(9)用于检测所述第二通气接头(81)位置处的负压值。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的真空吸附装置，其特征在于，沿所述承载组件(1)的厚度方向(Z)，每个所述抽真空腔室(11)的投影均为首尾闭合的形状，且多个所述抽真空腔室(11)的投影从所述承载面(14)的中心到外侧的方向逐渐放大；

每个所述抽真空腔室(11)均连通有多个所述吸附孔(12)。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的真空吸附装置，其特征在于，沿第一方向(X)，多个所述抽真空腔室(11)并排分布。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的真空吸附装置，其特征在于，所述承载组件(1)包括互相连接的承料件(17)和承载件(18)，所述承料件(17)具有所述承载面(14)和所述吸附孔(12)，所述承载件(18)设置有所述抽气孔(13)；

所述承料件(17)置于所述承载件(18)上，所述承料件(17)和所述承载件(18)之间形成所述抽真空腔室(11)。

10.一种生产设备，其特征在于，包括：

权利要求1-9中任一项所述的真空吸附装置(10)；

加工装置，用于加工被吸附至所述真空吸附装置(10)的所述承载面(14)上的物料(20)。