CN219342267U - 一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光学镀膜设备技术领域，具体涉及一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置，其包括镀膜机壳体，镀膜机壳体中心位置处转动连接有主修正杆，镀膜机壳体内对应主修正杆两侧位置处分别滑动连接有第一调节杆和第二调节杆，第一调节杆和第二调节杆均沿垂直于主修正杆的方向滑移，镀膜机壳体连接有驱动第一调节杆和第二调节杆沿垂直于主修正杆的方向滑移的驱动组件，主修正杆固定连接有主调节板，主调节板螺栓连接有辅助调节板，主调节板、辅助调节板、第一调节杆和第二调节杆均沿主修正杆的长度方向设置，本申请具有能够随时通过旋转主修正杆、滑动第一调节杆和第二调节杆等方式来对镀膜均匀性进行调整的效果。

Description

一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜设备技术领域，具体涉及一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置。

背景技术

目前光学薄膜厚度的均匀性是薄膜制备的一项重要指标，它影响着光学元件的光谱特性，并决定着能达到要求的实际有效镀膜面积。由于每种材料的蒸发特性不同，同一个蒸发枪蒸发不同材料膜层均匀性分布也不同。由于镀膜机空间有限，通常配置是配有双电子枪和以辅助蒸发源。而随着高精度、高性能光学器件的发展，往往2种镀膜材料不能满足性能要求，例如宽波段、宽角度PBS、X-Cube；高要求宽角度分光片等。因此大多数做法是牺牲产能，只用中间一圈来实现，这样造成了产品价格高。

现有一申请公开号为CN115572954A的发明专利，其保护了一种半球形工件高均匀性镀膜装置及方法。本发明创新性的采用在镀膜过程中驱动镀膜机靶枪的方式，使靶枪在镀膜过程中调整倾斜角度，进而提高半球形工件表面镀膜均匀性；另外通过一种半球形镀膜均匀性测试工装，完成多个不同倾斜角度下靶枪镀膜厚度和均匀性的标定，从而确定不同倾斜角度下靶枪对半球形工件各点的镀膜厚度，进而计算靶枪在整个半球形工件镀膜过程中各个角度下的时间占比，从而达到大幅度优化半球形工件镀膜均匀性的目的。

上述技术方案中，对于需要多种镀膜材料的情况下，现在需要一种能够随时调节镀膜均匀性的装置。

实用新型内容

为解决现有技术存在的不足，本实用新型提供了一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置。

本实用新型的技术方案为：

本实用新型提供了一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置，包括镀膜机壳体，镀膜机壳体中心位置处转动连接有主修正杆，镀膜机壳体内对应主修正杆两侧位置处分别滑动连接有第一调节杆和第二调节杆，第一调节杆和第二调节杆均沿垂直于主修正杆的方向滑移，镀膜机壳体连接有驱动第一调节杆和第二调节杆沿垂直于主修正杆的方向滑移的驱动组件，主修正杆固定连接有主调节板，主调节板螺栓连接有辅助调节板，主调节板、辅助调节板、第一调节杆和第二调节杆均沿主修正杆的长度方向设置。

本实用新型所达到的有益效果为：本方案能够随时通过旋转主修正杆、滑动第一调节杆和第二调节杆等方式来对镀膜均匀性进行调整，操作方便。

进一步，主修正杆靠近第一调节杆位置处连接有第一连接柱，第一连接柱靠近第一调节杆一侧开设有第一空槽，第一连接柱对应第一空槽位置处固定连接有第一弹簧，第一调节杆靠近每个第一弹簧位置处均连接有第一顶块，第一顶块能够抵接第一弹簧；

主修正杆靠近第二调节杆位置处连接有第二连接柱，第二连接柱靠近第二调节杆一侧开设有第二空槽，第二连接柱对应第二空槽位置处固定连接有第二弹簧，第二调节杆靠近每个第二弹簧位置处均连接有第二顶块，第二顶块能够抵接第二弹簧。

通过上述方案，主修正杆与第一调节杆和第二调节杆之间没有直接进行连接，通过第一弹簧和第二弹簧能够在第一调节杆和第二调节杆不受力的时候保持第一调节杆和第二调节杆远离主修正杆，同时也能够起到导向作用。

进一步，第一连接柱靠近主修正杆一端固定连接有第一螺纹柱，主修正杆对应第一螺纹柱位置处开设有第一螺纹槽，第一螺纹柱螺纹连接于第一螺纹槽，第二连接柱靠近主修正杆一端固定连接有第二螺纹柱，主修正杆对应第二螺纹柱位置处开设有第二螺纹槽，第二螺纹柱螺纹连接于第二螺纹槽，第一顶块靠近第一调节杆一端固定连接有第三螺纹柱，第一调节杆对应每个第三螺纹柱位置处均开设有第三螺纹槽，第三螺纹柱螺纹连接于第三螺纹槽内，第二顶块靠近第二调节杆一端固定连接有第四螺纹柱，第二调节杆对应每个第四螺纹柱位置处均开设有第四螺纹槽，第四螺纹柱螺纹连接于第四螺纹槽内。

通过上述方案，第一连接柱、第二连接柱、第一顶块和第二顶块均可以进行拆卸和微调位置。

进一步，第一连接柱对应第一空槽位置处固定连接有第一挡环，第一顶块远离第一调节杆一端固定连接有第一挡块，第一挡环靠近第一弹簧一侧能够抵接第一挡块；

第二连接柱对应第二空槽位置处固定连接有第二挡环，第二顶块远离第二调节杆一端固定连接有第二挡块，第二挡环靠近第二弹簧一侧能够抵接第二挡块。

通过上述方案，第一挡环和第二挡环分别能够阻挡第一弹簧和第二弹簧，保证第一弹簧和第二弹簧在不受力状态下的长度一定，使得第一调节杆和第二调节杆在不受力状态位置稳定。

进一步，主修正杆一端固定连接有旋转轴，旋转轴伸出镀膜机壳体。

通过上述方案，钻转轴方便用于转动主修正杆。

进一步，主修正杆固定连接有多个导向滑轮，第一调节杆和第二调节杆均固定连接有拉绳，拉绳均绕过导向滑轮，拉绳另一端均固定连接于旋转轴上。

通过上述方案，拉绳能够起到牵引第一调节杆和第二调节杆的作用，同时还能够起到保持第一调节杆和第二调节杆与主修正杆之间连接的作用。

进一步，驱动组件包括固定连接于主调节板的第一气缸和第二气缸，第一气缸的活塞杆固定连接于第一调节杆上，第一气缸的活塞杆沿垂直于主修正杆方向设置，第二气缸的活塞杆固定连接于第一调节杆上，第二气缸的活塞杆沿垂直于主修正杆方向设置。

通过上述方案，通过控制第一气缸和第二气缸能够控制第一调节杆和第二调节杆滑移。

本实用新型的一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置具有以下优点：

1.本方案能够随时通过旋转主修正杆、滑动第一调节杆和第二调节杆等方式来对镀膜均匀性进行调整，操作方便。

附图说明

图1是本实用新型整体结构剖视图；

图2是本实用新型辅助调节板、第一气缸和第二气缸的示意图；

图3是本实用新型第一连接柱、第二连接柱的剖视图；

图4是图3中A部分的放大图；

图5是图3中B部分的放大图。

图中，1、覆膜机壳体；11、驱动组件；111、第一气缸；112、第二气缸；2、主修正杆；21、主调节板；22、辅助调节板；23、第一连接柱；231、第一空槽；232、第一弹簧；233、第一螺纹柱；234、第一螺纹槽；235、第一挡环；24、第二连接柱；241、第二空槽；242、第二弹簧；243、第二螺纹柱；244、第二螺纹槽；245、第二挡环；25、导向滑轮；251、拉绳；26、旋转轴；3、第一调节杆；31、第一顶块；311、第三螺纹柱；312、第一挡块；32、第三螺纹槽；34、第二调节杆；4、第二调节杆；41、第二顶块；411、第四螺纹柱；412、第二挡块；42、第四螺纹槽。

具体实施方式

为便于本领域的技术人员理解本实用新型，下面结合附图说明本实用新型的具体实施方式。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本实用新型提供了一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置，如图1所示，包括镀膜机壳体，镀膜机壳体中心位置处转动连接有主修正杆2。主修正杆2一端固定连接有旋转轴26，旋转轴26伸出镀膜机壳体。钻转轴方便用于转动主修正杆2。主修正杆2固定连接有主调节板21，主调节板21螺栓连接有辅助调节板22。主调节板21和辅助调节板22均沿主修正杆2的长度方向设置。

如图1和图3所示，镀膜机壳体内对应主修正杆2两侧位置处分别滑动连接有第一调节杆3和第二调节杆434，第一调节杆3和第二调节杆434均沿垂直于主修正杆2的方向滑移。第一调节杆3和第二调节杆434均沿主修正杆2的长度方向设置。镀膜机壳体连接有驱动第一调节杆3和第二调节杆434沿垂直于主修正杆2的方向滑移的驱动组件11，驱动组件11包括固定连接于主调节板21的第一气缸111和第二气缸112，第一气缸111的活塞杆固定连接于第一调节杆3上，第一气缸111的活塞杆沿垂直于主修正杆2方向设置，第二气缸112的活塞杆固定连接于第一调节杆3上，第二气缸112的活塞杆沿垂直于主修正杆2方向设置。通过控制第一气缸111和第二气缸112能够控制第一调节杆3和第二调节杆434滑移。

如图1和图2所示，主修正杆2固定连接有多个导向滑轮25，第一调节杆3和第二调节杆434均固定连接有拉绳251，拉绳251均绕过导向滑轮25，拉绳251另一端均固定连接于旋转轴26上。拉绳251能够起到牵引第一调节杆3和第二调节杆434的作用，同时还能够起到保持第一调节杆3和第二调节杆434与主修正杆2之间连接的作用。

如图4和图5所示，主修正杆2靠近第一调节杆3位置处连接有第一连接柱23，第一连接柱23靠近第一调节杆3一侧开设有第一空槽231，第一连接柱23对应第一空槽231位置处固定连接有第一弹簧232，第一调节杆3靠近每个第一弹簧232位置处均连接有第一顶块31，第一顶块31能够抵接第一弹簧232。第一连接柱23靠近主修正杆2一端固定连接有第一螺纹柱233，主修正杆2对应第一螺纹柱233位置处开设有第一螺纹槽234，第一螺纹柱233螺纹连接于第一螺纹槽234。第一顶块31靠近第一调节杆3一端固定连接有第三螺纹柱311，第一调节杆3对应每个第三螺纹柱311位置处均开设有第三螺纹槽32，第三螺纹柱311螺纹连接于第三螺纹槽32内。

如图4和图5所示，主修正杆2靠近第二调节杆434位置处连接有第二连接柱24，第二连接柱24靠近第二调节杆434一侧开设有第二空槽241，第二连接柱24对应第二空槽241位置处固定连接有第二弹簧242，第二调节杆434靠近每个第二弹簧242位置处均连接有第二顶块41，第二顶块41能够抵接第二弹簧242。第二连接柱24靠近主修正杆2一端固定连接有第二螺纹柱243，主修正杆2对应第二螺纹柱243位置处开设有第二螺纹槽244，第二螺纹柱243螺纹连接于第二螺纹槽244。第二顶块41靠近第二调节杆434一端固定连接有第四螺纹柱411，第二调节杆434对应每个第四螺纹柱411位置处均开设有第四螺纹槽42，第四螺纹柱411螺纹连接于第四螺纹槽42内。主修正杆2与第一调节杆3和第二调节杆434之间没有直接进行连接，通过第一弹簧232和第二弹簧242能够在第一调节杆3和第二调节杆434不受力的时候保持第一调节杆3和第二调节杆434远离主修正杆2，同时也能够起到导向作用。第一连接柱23、第二连接柱24、第一顶块31和第二顶块41均可以进行拆卸和微调位置。

如图4和图5所示，第一连接柱23对应第一空槽231位置处固定连接有第一挡环235，第一顶块31远离第一调节杆3一端固定连接有第一挡块312，第一挡环235靠近第一弹簧232一侧能够抵接第一挡块312。第二连接柱24对应第二空槽241位置处固定连接有第二挡环245，第二顶块41远离第二调节杆434一端固定连接有第二挡块412，第二挡环245靠近第二弹簧242一侧能够抵接第二挡块412。第一挡环235和第二挡环245分别能够阻挡第一弹簧232和第二弹簧242，保证第一弹簧232和第二弹簧242在不受力状态下的长度一定，使得第一调节杆3和第二调节杆434在不受力状态位置稳定。

本实用新型提供了一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置的实施原理为：本方案能够随时通过旋转主修正杆2、滑动第一调节杆3和第二调节杆434等方式来对镀膜均匀性进行调整，操作方便。能够实现单枪多种材料均匀性的精准调节，整个镀膜伞罩范围内均匀性都能够调整到0.5％以内；有效的避免以上问题。使产能提高2.5-3倍；对大多数产品生产成本只有原来的50％，提高了产品市场竞争力。

以上所述的本实用新型实施方式，并不构成对本实用新型保护范围的限定。任何在本实用新型的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的权利要求保护范围之内。

Claims (7)

1.一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置，包括镀膜机壳体，其特征在于：镀膜机壳体中心位置处转动连接有主修正杆(2)，镀膜机壳体内对应主修正杆(2)两侧位置处分别滑动连接有第一调节杆(3)和第二调节杆(4)(34)，第一调节杆(3)和第二调节杆(4)(34)均沿垂直于主修正杆(2)的方向滑移，镀膜机壳体连接有驱动第一调节杆(3)和第二调节杆(4)(34)沿垂直于主修正杆(2)的方向滑移的驱动组件(11)，主修正杆(2)固定连接有主调节板(21)，主调节板(21)螺栓连接有辅助调节板(22)，主调节板(21)、辅助调节板(22)、第一调节杆(3)和第二调节杆(4)(34)均沿主修正杆(2)的长度方向设置。

2.根据权利要求1所述的一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置，其特征在于：主修正杆(2)靠近第一调节杆(3)位置处连接有第一连接柱(23)，第一连接柱(23)靠近第一调节杆(3)一侧开设有第一空槽(231)，第一连接柱(23)对应第一空槽(231)位置处固定连接有第一弹簧(232)，第一调节杆(3)靠近每个第一弹簧(232)位置处均连接有第一顶块(31)，第一顶块(31)能够抵接第一弹簧(232)；

主修正杆(2)靠近第二调节杆(4)(34)位置处连接有第二连接柱(24)，第二连接柱(24)靠近第二调节杆(4)(34)一侧开设有第二空槽(241)，第二连接柱(24)对应第二空槽(241)位置处固定连接有第二弹簧(242)，第二调节杆(4)(34)靠近每个第二弹簧(242)位置处均连接有第二顶块(41)，第二顶块(41)能够抵接第二弹簧(242)。

3.根据权利要求2所述的一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置，其特征在于：第一连接柱(23)靠近主修正杆(2)一端固定连接有第一螺纹柱(233)，主修正杆(2)对应第一螺纹柱(233)位置处开设有第一螺纹槽(234)，第一螺纹柱(233)螺纹连接于第一螺纹槽(234)，第二连接柱(24)靠近主修正杆(2)一端固定连接有第二螺纹柱(243)，主修正杆(2)对应第二螺纹柱(243)位置处开设有第二螺纹槽(244)，第二螺纹柱(243)螺纹连接于第二螺纹槽(244)，第一顶块(31)靠近第一调节杆(3)一端固定连接有第三螺纹柱(311)，第一调节杆(3)对应每个第三螺纹柱(311)位置处均开设有第三螺纹槽(32)，第三螺纹柱(311)螺纹连接于第三螺纹槽(32)内，第二顶块(41)靠近第二调节杆(4)(34)一端固定连接有第四螺纹柱(411)，第二调节杆(4)(34)对应每个第四螺纹柱(411)位置处均开设有第四螺纹槽(42)，第四螺纹柱(411)螺纹连接于第四螺纹槽(42)内。

4.根据权利要求2所述的一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置，其特征在于：第一连接柱(23)对应第一空槽(231)位置处固定连接有第一挡环(235)，第一顶块(31)远离第一调节杆(3)一端固定连接有第一挡块(312)，第一挡环(235)靠近第一弹簧(232)一侧能够抵接第一挡块(312)；

第二连接柱(24)对应第二空槽(241)位置处固定连接有第二挡环(245)，第二顶块(41)远离第二调节杆(4)(34)一端固定连接有第二挡块(412)，第二挡环(245)靠近第二弹簧(242)一侧能够抵接第二挡块(412)。

5.根据权利要求1所述的一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置，其特征在于：主修正杆(2)一端固定连接有旋转轴(26)，旋转轴(26)伸出镀膜机壳体。

6.根据权利要求5所述的一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置，其特征在于：主修正杆(2)固定连接有多个导向滑轮(25)，第一调节杆(3)和第二调节杆(4)(34)均固定连接有拉绳(251)，拉绳(251)均绕过导向滑轮(25)，拉绳(251)另一端均固定连接于旋转轴(26)上。

7.根据权利要求1所述的一种单枪多种材料镀膜均匀性调节装置，其特征在于：驱动组件(11)包括固定连接于主调节板(21)的第一气缸(111)和第二气缸(112)，第一气缸(111)的活塞杆固定连接于第一调节杆(3)上，第一气缸(111)的活塞杆沿垂直于主修正杆(2)方向设置，第二气缸(112)的活塞杆固定连接于第一调节杆(3)上，第二气缸(112)的活塞杆沿垂直于主修正杆(2)方向设置。

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