CN219309466U - 一种晶圆片高效去胶清洗机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆片高效去胶清洗机构，包括主体环，所述主体环的顶部转动连接有环形盖，环形盖的上表面固定连接有支撑架，支撑架的顶部固定连接有泵体，泵体的出液端插接有单头密封管，单头密封管的底部插接有多个喷头，所述主体环的一侧固定插接有固定筒，固定筒内固定连接有第一电动推杆，第一电动推杆的一端固定连接有条形擦，所述主体环的圆周内壁固定连接有多个支撑杆，多个支撑杆之间的另一端固定连接有密封罩，密封罩的底部内壁固定连接有电机，电机的输出端穿过密封罩的顶部键连接有支撑座。本实用新型可以在晶圆片除胶的过程中调整晶圆片的角度，以便更好的去除晶圆片上的胶。

Description

一种晶圆片高效去胶清洗机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆片技术领域，尤其涉及一种晶圆片高效去胶清洗机构。

背景技术

晶圆片在制作过程中，其通过需要利用光刻胶作为媒介来实现光刻掩膜版到晶圆片的图形转移，但因晶圆片在光刻过程中，其多余的光刻胶则是通过离心旋转作用甩出的，故而晶圆片表面仍旧存在有部分多余的胶质颗粒卡壳在其表面上，因而，需要使用到晶圆片去胶清洗机构。

目前，现有的晶圆片去胶清洗机构，大多存在以下的不足：在对晶圆片做去胶清洗时，由于对晶圆片表面的胶去除效果不佳，导致晶圆片的清洗时间较长，影响晶圆片的加工效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆片高效去胶清洗机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆片高效去胶清洗机构，包括主体环，所述主体环的顶部转动连接有环形盖，环形盖的上表面固定连接有支撑架，支撑架的顶部固定连接有泵体，泵体的出液端插接有单头密封管，单头密封管的底部插接有多个喷头，所述主体环的一侧固定插接有固定筒，固定筒内固定连接有第一电动推杆，第一电动推杆的一端固定连接有条形擦，所述主体环的圆周内壁固定连接有多个支撑杆，多个支撑杆之间的另一端固定连接有密封罩，密封罩的底部内壁固定连接有电机，电机的输出端穿过密封罩的顶部键连接有支撑座。

进一步的，所述主体环的底部卡接有斗口筒，斗口筒内固定连接有过滤网。

进一步的，所述支撑架的顶部固定连接有第二电动推杆，第二电动推杆的底端穿过支撑架固定连接有橡胶头。

进一步的，所述环形盖的顶部卡接有透明防护板。

进一步的，所述主体环的底部固定连接有固定架，固定架的底部固定连接有收集桶。

本实用新型的有益效果为：

1.通过在电机的带动下支撑座进行转动，从而带动晶圆片进行转动，进而调整晶圆片的角度，于是可以在晶圆片除胶的过程中调整晶圆片的角度，以便更好的去除晶圆片上的胶。

2.通过在斗口筒内设有过滤网的设置能够对清洗后清洗液中的胶进行过滤，过滤后的清洗液落在收集桶内进行收集，从而便于后续的使用。

3.通过在第二电动推杆的带动下橡胶头进行移动，从而使得橡胶头压在晶圆片上，进而对晶圆片进行固定，从而提升晶圆片的处理效果。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶圆片高效去胶清洗机构的左侧立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种晶圆片高效去胶清洗机构的局部放大结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种晶圆片高效去胶清洗机构的部分剖视结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种晶圆片高效去胶清洗机构的右侧立体结构示意图。

图中：1、主体环；2、环形盖；3、固定筒；4、支撑架；5、泵体；6、单头密封管；7、喷头；8、第一电动推杆；9、条形擦；10、支撑杆；11、密封罩；14、支撑座；15、斗口筒；16、过滤网；17、第二电动推杆；18、橡胶头；19、透明防护板；20、固定架；21、收集桶。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-图4，一种晶圆片高效去胶清洗机构，包括主体环1，主体环1的顶部转动连接有环形盖2，环形盖2的上表面通过螺栓固定有支撑架4，支撑架4的顶部通过螺栓固定有泵体5，泵体5的出液端插接有单头密封管6，单头密封管6的底部插接有多个喷头7，在泵体5的作用下使得清洗液输入到单头密封管6内，再从喷头7喷向晶圆片上，主体环1的一侧固定插接有固定筒3，固定筒3内通过螺栓固定有第一电动推杆8，第一电动推杆8的一端通过螺栓固定有条形擦9，在第一电动推杆8的带动下条形擦9来回的移动，从而对晶圆片进行擦除，进而去除晶圆片表面的胶，主体环1的圆周内壁焊接有多个支撑杆10，多个支撑杆10之间的另一端焊接有密封罩11，密封罩11的底部内壁通过螺栓固定有电机，电机的输出端穿过密封罩11的顶部键连接有支撑座14，在电机的带动下支撑座14进行转动，从而带动晶圆片进行转动，进而调整晶圆片的角度。

主体环1的底部卡接有斗口筒15，斗口筒15内通过螺栓固定有过滤网16，过滤网16对清洗液中的胶进行过滤，支撑架4的顶部通过螺栓固定有第二电动推杆17，第二电动推杆17的底端穿过支撑架4通过螺栓固定有橡胶头18，在第二电动推杆17的带动下橡胶头18进行移动，从而使得橡胶头18压在晶圆片上，进而对晶圆片进行固定，环形盖2的顶部卡接有透明防护板19，透明防护板19避免了清洗液的飞溅，主体环1的底部通过螺栓固定有固定架20，固定架20的底部通过螺栓固定有收集桶21，经过过滤的清洗液落在收集桶21内进行收集。

本实施例的工作原理：使用时，首先，打开环形盖2，将晶圆片放置在支撑座14上，然后，启动第二电动推杆17，在第二电动推杆17的带动下橡胶头18进行移动，从而使得橡胶头18压在晶圆片上，进而对晶圆片进行固定，接着，启动泵体5，在泵体5的作用下使得清洗液输入到单头密封管6内，再从喷头7喷向晶圆片上，再启动第一电动推杆8，在第一电动推杆8的带动下条形擦9来回的移动，从而对晶圆片进行擦除，进而去除晶圆片表面的胶，在去除胶的过程中，在电机的带动下支撑座14进行转动，从而带动晶圆片进行转动，进而调整晶圆片的角度，清洗后的清洗液经过过滤网16对清洗液中的胶进行过滤，经过过滤的清洗液落在收集桶21内进行收集。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种晶圆片高效去胶清洗机构，包括主体环(1)，其特征在于，所述主体环(1)的顶部转动连接有环形盖(2)，环形盖(2)的上表面固定连接有支撑架(4)，支撑架(4)的顶部固定连接有泵体(5)，泵体(5)的出液端插接有单头密封管(6)，单头密封管(6)的底部插接有多个喷头(7)，所述主体环(1)的一侧固定插接有固定筒(3)，固定筒(3)内固定连接有第一电动推杆(8)，第一电动推杆(8)的一端固定连接有条形擦(9)，所述主体环(1)的圆周内壁固定连接有多个支撑杆(10)，多个支撑杆(10)之间的另一端固定连接有密封罩(11)，密封罩(11)的底部内壁固定连接有电机，电机的输出端穿过密封罩(11)的顶部键连接有支撑座(14)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片高效去胶清洗机构，其特征在于，所述主体环(1)的底部卡接有斗口筒(15)，斗口筒(15)内固定连接有过滤网(16)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片高效去胶清洗机构，其特征在于，所述支撑架(4)的顶部固定连接有第二电动推杆(17)，第二电动推杆(17)的底端穿过支撑架(4)固定连接有橡胶头(18)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片高效去胶清洗机构，其特征在于，所述环形盖(2)的顶部卡接有透明防护板(19)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片高效去胶清洗机构，其特征在于，所述主体环(1)的底部固定连接有固定架(20)，固定架(20)的底部固定连接有收集桶(21)。

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