CN219292303U - 一种真空镀膜机用清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空镀膜机用清洁装置，包括机壳，所述机壳的一侧安装有可以打开或关闭的机门；所述机壳具有放置空间，所述机壳上通过电机支架固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴穿过机壳与转轴的上端固定连接，所述转轴的下端通过轴承与机壳连接，所述转轴的外侧固定安装有若干挂架单元，所述挂架单元间隔设置；所述机壳上安装有动力组件，所述机壳内设置有刷架，所述刷架固定安装有毛刷，所述毛刷与机壳的内侧壁贴合，所述动力组件用于带动刷架旋转。本实用新型具有具备自清洁功能，结构简单，便于使用的优点。

Description

一种真空镀膜机用清洁装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，特别是涉及一种真空镀膜机用清洁装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜机在长期使用时，真空镀膜机的内部，容易沾满镀膜的材料，同时对不同的工件镀膜时，使用的材料也不相同，因此为了方便对不同工件的加工，在对真空镀膜机使用时，需要对真空镀膜机的内部进行清洗，现阶段有带有内部清洁功能的镀膜机，其清洁方式为沿中心主轴旋转，端部加装毛刷对侧壁进行刷除清洁，此过程若在镀膜过程中，毛刷依然会跟随转动，扰乱镀膜空间，影响镀膜质量。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本专利申请所要解决的技术问题是如何提供一种具备自清洁功能，结构简单，便于使用的真空镀膜机用清洁装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下的技术方案：

一种真空镀膜机用清洁装置，包括机壳，所述机壳的一侧安装有可以打开或关闭的机门；

所述机壳具有放置空间，所述机壳上通过电机支架固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴穿过机壳与转轴的上端固定连接，所述转轴的下端通过轴承与机壳连接，所述转轴的外侧固定安装有若干挂架单元，所述挂架单元间隔设置；所述机壳上安装有动力组件，所述机壳内设置有刷架，所述刷架固定安装有毛刷，所述毛刷与机壳的内侧壁贴合，所述动力组件用于带动刷架旋转。

这样，挂架单元用于悬挂需要镀膜的工件，伺服电机带动转轴旋转，进而带动挂架单元和工件旋转，提高镀膜的均匀性。在对镀膜机进行清理时，动力组件带动刷架转动，进而带动毛刷对机壳的内侧壁进行清洁。本装置在对机壳的内侧壁清洁时，单独动作，无需转轴同步旋转，同时，在转轴带动挂架单元旋转时，毛刷也不会转动，可以使得工件更好的镀膜，避免毛刷影响。

其中，所述动力组件包括固定安装在机壳上的动力电机，所述动力电机的输出轴穿过机壳向下设置且固定安装有主动齿轮，所述转轴的外侧通过轴承固定有动力盘，所述动力盘上固定有内齿圈，所述主动齿轮与内齿圈啮合，所述动力盘与刷架固定连接。动力电机带动主动齿轮旋转，通过主动齿轮与内齿圈的啮合，带动内齿圈旋转，进而带动刷架旋转。

其中，所述机壳的上端固定安装有水管，所述水管向下固定安装有支管，所述支管穿过机壳向下延伸，所述支管与机壳密封连接，所述支管与机壳固定连接，所述支管的下端固定有出水弯管，所述出水弯管正对即可的内侧壁设置。水管通过水泵与水箱连接，通过水泵将水经过水管、支管和出水弯管送到机壳的内侧壁，配合毛刷，能够更好的对机壳的内侧壁进行清洁。机壳的下端设置有出水口，出水口向外固定有出水管，出水管上安装有阀门，便于排水。

其中，所述转轴上通过轴承安装有两个转臂，所述转臂的外端与刷架固定连接。通过两个转臂对刷架进行支撑。

其中，所述挂架单元包括挂盘，所述挂盘上固定安装有挂柱，所述挂盘上设置有减重槽。便于对工件进行悬挂，同时减轻重量。

其中，所述挂盘与转轴焊接连接。便于快速连接。

综上，本实用新型具有具备自清洁功能，结构简单，便于使用的优点。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种真空镀膜机用清洁装置的结构示意图。

图2为图1的内部结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“上、下”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

如图1-2所示，一种真空镀膜机用清洁装置，包括机壳1，所述机壳的一侧安装有可以打开或关闭的机门(未画出)；

所述机壳具有放置空间，所述机壳上通过电机支架固定安装有伺服电机2，所述伺服电机的输出轴穿过机壳与转轴3的上端固定连接，所述转轴的下端通过轴承与机壳连接，所述转轴的外侧固定安装有若干挂架单元4，所述挂架单元间隔设置；所述机壳上安装有动力组件，所述机壳内设置有刷架5，所述刷架固定安装有毛刷6，所述毛刷与机壳的内侧壁贴合，所述动力组件用于带动刷架旋转。

这样，挂架单元用于悬挂需要镀膜的工件，伺服电机带动转轴旋转，进而带动挂架单元和工件旋转，提高镀膜的均匀性。在对镀膜机进行清理时，动力组件带动刷架转动，进而带动毛刷对机壳的内侧壁进行清洁。本装置在对机壳的内侧壁清洁时，单独动作，无需转轴同步旋转，同时，在转轴带动挂架单元旋转时，毛刷也不会转动，可以使得工件更好的镀膜，避免毛刷影响。

本实施例中，所述动力组件包括固定安装在机壳上的动力电机7，所述动力电机的输出轴穿过机壳向下设置且固定安装有主动齿轮8，所述转轴的外侧通过轴承固定有动力盘9，所述动力盘上固定有内齿圈10，所述主动齿轮与内齿圈啮合，所述动力盘与刷架固定连接。动力电机带动主动齿轮旋转，通过主动齿轮与内齿圈的啮合，带动内齿圈旋转，进而带动刷架旋转。

本实施例中，所述机壳的上端固定安装有水管14，所述水管向下固定安装有支管，所述支管穿过机壳向下延伸，所述支管与机壳密封连接，所述支管与机壳固定连接，所述支管的下端固定有出水弯管15，所述出水弯管正对即可的内侧壁设置。水管通过水泵与水箱连接，通过水泵将水经过水管、支管和出水弯管送到机壳的内侧壁，配合毛刷，能够更好的对机壳的内侧壁进行清洁。机壳的下端设置有出水口，出水口向外固定有出水管，出水管上安装有阀门，便于排水。

本实施例中，所述转轴上通过轴承安装有两个转臂11，所述转臂的外端与刷架固定连接。通过两个转臂对刷架进行支撑。

本实施例中，所述挂架单元包括挂盘12，所述挂盘上固定安装有挂柱13，所述挂盘上设置有减重槽。便于对工件进行悬挂，同时减轻重量。

本实施例中，所述挂盘与转轴焊接连接。便于快速连接。

原理：

在对机壳的内侧壁进行清洁时，通过水泵动作，将水箱内的水通过出水弯管喷射到机壳的内侧壁，同时，动力电机带动主动齿轮，通过内齿圈带动刷架旋转，利用毛刷对内侧壁进行清洁，最后通过出水管排出。

最后应说明的是：本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等统计数的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型。

Claims (6)

1.一种真空镀膜机用清洁装置，其特征在于，包括机壳，所述机壳的一侧安装有可以打开或关闭的机门；

所述机壳具有放置空间，所述机壳上通过电机支架固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴穿过机壳与转轴的上端固定连接，所述转轴的下端通过轴承与机壳连接，所述转轴的外侧固定安装有若干挂架单元，所述挂架单元间隔设置；所述机壳上安装有动力组件，所述机壳内设置有刷架，所述刷架固定安装有毛刷，所述毛刷与机壳的内侧壁贴合，所述动力组件用于带动刷架旋转。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用清洁装置，其特征在于，所述动力组件包括固定安装在机壳上的动力电机，所述动力电机的输出轴穿过机壳向下设置且固定安装有主动齿轮，所述转轴的外侧通过轴承固定有动力盘，所述动力盘上固定有内齿圈，所述主动齿轮与内齿圈啮合，所述动力盘与刷架固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用清洁装置，其特征在于，所述机壳的上端固定安装有水管，所述水管向下固定安装有支管，所述支管穿过机壳向下延伸，所述支管与机壳密封连接，所述支管与机壳固定连接，所述支管的下端固定有出水弯管，所述出水弯管正对即可的内侧壁设置。

4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用清洁装置，其特征在于，所述转轴上通过轴承安装有两个转臂，所述转臂的外端与刷架固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机用清洁装置，其特征在于，所述挂架单元包括挂盘，所述挂盘上固定安装有挂柱，所述挂盘上设置有减重槽。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机用清洁装置，其特征在于，所述挂盘与转轴焊接连接。

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